傳感器原理與應用yyq3

1、傳感器原理與應用（三）三、發(fā)射類傳感器1光電傳感器 (1)原理和組成光電傳感器是將被測量轉換為光的變化，再將光的變化轉換成電信號的傳感器。光電傳感器在一般由發(fā)送器、接收器和檢測電路組成。發(fā)送器里裝有發(fā)光二極管、激光二極管等發(fā)光元件，對準目標發(fā)射連續(xù)光束或經(jīng)過調(diào)制的脈沖光束。接收器里裝有光電二極管、光電三極管等光敏元件。在接收器的前面，裝有透鏡、光圈等光學元件。在接收器的后面是檢測電路，用以濾出有效信號并進行信號處理。有的光電傳感器還有反射板、光導纖維等結構元件。 (2)光電元件現(xiàn)在應用的主要是半導體光電元件。常用光電元件有光敏電阻、光電池和光敏晶體管。光敏電阻 硫化鎘等半導體在光子轟擊下，電子

2、由價帶進入導帶，導電性明顯增強，電阻率明顯下降。應用這些材料可制成光敏電阻。在無光線照射的情況下，光敏電阻為兆歐級電阻（暗阻）；在有光線照射的條件下，光敏電阻的阻值在數(shù)千歐以下（亮阻）。圖54 光敏電阻的特性 光敏電阻的特性見圖54。(a)是伏安特性。它表明隨著照度的增加，光電流明顯增大，且線性良好。(b)是光照特性。它光電流與光通量城非線性，宜用作開關元件。(c)是光譜特性。光譜特性呈峰狀。其原因是波長增大時光子能量降低使靈敏度降低，而波長減小時部分不能到達光敏電阻也使靈敏度降低。(d)是頻率特性。它表明靈敏度隨脈沖頻率升高而下降，光敏電阻也有惰性。(e)是光譜溫度特性。她表明溫度升高時特性

3、左移。這是由于溫度升高時暗阻下降，光電流減小，靈敏度降低的緣故。光敏電阻具有體積小、制造簡單、性能穩(wěn)定、成本低的特點。光電池 是在光子轟擊下電子擴散增強，能產(chǎn)生電動勢的半導體元件，常見的有硅光電池和硒光電池。其光譜特性、頻率特性與光敏電阻相似。其光照特性見圖55(a)、溫度特性見圖55(b)。圖中，U為輸出電壓、I為輸出電流、F為照度、T溫度。光電池的特點是性能穩(wěn)定、光譜寬、效率高。圖55 光電池的特性 光敏晶體管 是根據(jù)光子轟擊能減小PN結阻擋層厚度制成的光電元件，包括光敏二極管和光敏三極管。對于光敏二極管；無光時正向電流極小，而有光時正向電流顯著增大。對于光敏三極管，無光時不導通；有光時，

4、出現(xiàn)基極電流，三極管導通。其特性與光敏電阻相似。光敏三極管的伏安特性見圖56。圖56 光敏三極管的伏安特性 (3)光電檢測傳感器 這類傳感器將被測量轉換成連續(xù)變化的光電流進行檢測。其光源的照度均勻恒定。所用光電元件的光照特性應有良好的單值性和線性。其主要類型有：輻射式  如圖57(a)所示，被測物體本身是光輻射源，由它釋出的光射向光電元件，有光電元件的輸出進行檢測。屬于這一類的應用有光電高溫計、光電比色高溫計、紅外偵察、紅外遙感、天文探測、防火報警等。 吸收式  如圖57(b)所示，被測物體位于恒定光源與光電元件之間，根據(jù)被測物對光的吸收程度或對其譜線的選擇來測定被測參數(shù)。

5、屬于這一類的應用有液體、氣體的透明度、混濁度的檢測，其他成分、液體成分分等。反射式  如圖57(c)所示，恒定光源釋出的光投射到被測物體，再從其表面反射到光電元件上，根據(jù)反射的光通量檢測被測物表面性質(zhì)和狀態(tài)。屬于這一類的應用有零件表面光潔度、表面缺陷、表面位移的檢測等。遮光式 如圖57(d)所示，被測物位于恒定光源與光電元件之間，根據(jù)被測物阻檔光通量的多少來測定被測物位移、轉速、振動等參數(shù)。時差測距式 是將恒定光源發(fā)出的光投射于目標物，經(jīng)目標物反射至光電元件，根據(jù)發(fā)射與接收之間的時間差測出距離。光電測距儀屬于這種裝置。圖57 光電檢測傳感器1-被測物；2-光源；3-光電元件光電式數(shù)字

6、轉速表的工作原理見圖58。圖58(a)表示轉軸上涂黑白兩種顏色的工作方式。當電機轉動時，反光與不反光交替出現(xiàn)，光電元件間斷地接收反射光信號，輸出電脈沖。經(jīng)放大整形電路轉換成方波信號，由數(shù)字頻率計測得電機的轉速。圖58 (b)為電機軸上安裝一帶齒的調(diào)制盤。其工作原理與圖58(a)相同。圖58 光電式數(shù)字轉速表(4)光電開關槽型光電開關 將一個光發(fā)射器裝在槽的一側，將一個接收器裝在槽的對側。光發(fā)射器發(fā)出紅外光或可見光，在無阻礙的情況下接收器能收到光信號。當被檢測物體從槽中通過時，光線被遮擋，光電開關便動作，并輸出開關控制信號，切斷或接通電路。 對射式光電開關 相當于一個將光發(fā)射器和光接收器分離安裝

7、的槽型光電開關。其檢測距離可達數(shù)米到數(shù)十米。 反光板反射式光電開關 將光發(fā)射器和光接收器裝在同一個裝置內(nèi)，在其前方裝一塊反光板，利用反射光制成的光電開關。 擴散反射式光電開關 也是將光發(fā)射器和光接收器裝在同一個裝置內(nèi)，但前方?jīng)]有反光板。正常情況下接收不到反射光。當檢測物通過時，把光部分反射回來起控制作用。 (5)光電耦合器 光電耦合器由發(fā)光二極管和光敏三極管組成（圖59），用以傳遞信號并屏蔽干擾。圖59 光電耦合器 (6)光纖傳感器光纖傳感器是應用光導纖維傳遞光信號的光電傳感器。光纖傳感器具有靈敏度高、抗電磁干擾能力強、耐腐蝕、體積小、質(zhì)量小等許多優(yōu)點，是一種前途寬廣的新型傳感器。光導纖維用比

8、頭發(fā)還細的石英玻璃絲制成，每一根光導纖維由一個圓柱形纖芯和包層組成，為雙層同心圓柱結構。光導纖維用光透射率高的電介質(zhì)（如石英、玻璃、塑料等）制成。纖芯對光的折射率略大于包層對光的折射率，構成光通路。如圖60所示，當光線入射角（光線與界面垂線的夾角）的正弦大于或等于包層折射率與纖芯折射率時，光線將不進入包層，而在界面上發(fā)生全發(fā)射，逐次折射，傳遞到光導纖維的另一端（詳見Snell定律）。圖60 光導纖維光纖傳感器分為功能型光纖傳感器和非功能型光纖傳感器。前者是由對外界信息具有敏感能力和檢測功能的光導纖維制成的“感”、“傳”合為一體的傳感器；后者的光導纖維只起傳輸光線的作用，與其他敏感元件一起組成測

9、試系統(tǒng)。圖61所示為半導體吸光式光纖溫度傳感器。在一根切斷的光纖的兩端面間夾一塊半導體感溫薄片。這種半導體感溫薄片吸收入射光的能力隨溫度變化，當光纖一端輸入恒定光強的光時，另一端接收元件所接受的光強將隨被測溫度的變化而變化。圖61 半導體吸光式光纖溫度傳感器 (7)激光傳感器 激光傳感器激光器、激光檢測器和測量電路組成。其特點是，響應快、精度高、量程大、能實現(xiàn)遠距離測量、抗干擾能力強。激光由激光器產(chǎn)生。激光器的工作物質(zhì)，在正常狀態(tài)下，多數(shù)原子處于穩(wěn)定的低能級狀態(tài)；在適當頻率的外界光線的作用下，即在光子轟擊下，低能級的原子吸收光子能量（光子能量與光的頻率成正比）躍遷到高能級狀態(tài)。反之，處于高能級

10、狀態(tài)的原子在一定頻率的光的誘發(fā)下，會躍遷到低能級狀態(tài)，并釋放能量而發(fā)光（受激輻射）。由此可見，激光器必須先使工作物質(zhì)的多數(shù)原子處于高能級狀態(tài)，實現(xiàn)所謂粒子數(shù)反轉分布。然后，使一定頻率的光誘發(fā)，并可通過平行的反射鏡形成雪崩式的放大作用，產(chǎn)生激光。與普通光相比，激光的特點是：高方向性，激光束在數(shù)千米外的擴展范圍不過數(shù)厘米；高單色性，激光的頻率寬度不到普通光的1/10；高亮度，利用激光束會聚可產(chǎn)生數(shù)百萬攝氏度的高溫。 按照工作物質(zhì)，激光器分為以下幾類。 固體激光器 常用的有紅寶石激光器、釔鋁石榴石激光器、和釹玻璃激光器。其特點是體積小、堅固、功率高。紅寶石激光器的組成見圖62。激光在紅寶石內(nèi)往復反射

11、并放出強激光。圖62 紅寶石激光器示意圖1-全反射鏡；2-紅寶石；3-部分反射鏡；4-脈沖氙燈 氣體激光器 常用的有二氧化碳激光器、氦氖激光器、一氧化碳激光器。其形狀類似普通放電管。其特點是輸出穩(wěn)定、單色性好、壽命長，功率較小、轉換效率較低。 液體激光器 分為無機液體激光器和有機染料激光器。其最大特點是波長連續(xù)可調(diào)。 半導體激光器 常用的有砷化鎵激光器。其特點是效率高、體積小、重量輕、結構簡單，功率較小、定向性較差、受環(huán)境溫度影響較大。激光傳感器可用于長度、距離、振動、速度、方位等物理量的測量，還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測等。2紅外傳感器 紅外傳感器是利用紅外輻射制成的傳感器，可用于測溫、探

12、傷、氣體分析。 (1)紅外輻射紅外輻射俗稱紅外線，是一種不可見光。無線電波的頻率和波長大約為3´1053´108Hz和105102cm，微波的大約為3´1083´1011Hz和10210-1cm，紅外線的3´10113´1015Hz和10-110-5cm，紫外線的3´10153´1016Hz和10-510-6cm。頻率更高、波長更小的還有X射線、g射線、宇宙射線?？梢姽獾念l段是很窄的，波長為0.1mm數(shù)量級。紅外線的頻段比可見光寬得多。波長0.763mm 的為近紅外波段，波長36mm 的為中紅外波段，波長615mm

13、 的為遠紅外波段，波長151000mm 的為超遠紅外波段。紅外輻射的實質(zhì)熱輻射。物體溫度越高，輻射出來的紅外線越多，輻射能量大。與可見光一樣，紅外輻射在真空中也以光速傳播，也具有反射、折射、散射、干涉、吸收等特性，而且具有明顯的波粒兩重屬性。 與所有電磁波一樣，紅外輻射以波的形式在空間直線傳播。紅外輻射在大氣中傳播時，大氣層對不同波長的紅外線有不同的吸收帶。紅外氣體分析器就是利用這一特性工作的。空氣中對稱的雙原子氣體，如N2、O2、H2等不吸收紅外線。紅外線通過大氣層時，有三個波段的透過率高。這三個波段是22.6m、35m和814m，統(tǒng)稱為“大氣窗口”。紅外探測器一般都工作在這三個波段。 (2

14、)紅外探測器紅外傳感器由光學系統(tǒng)、紅外探測器、信號調(diào)理電路及顯示單元等組成。紅外探測器是紅外傳感器的核心。紅外探測器是利用紅外輻射與物質(zhì)相互作用所呈現(xiàn)的物理效應來探測紅外輻射的。紅外探測器的種類很多，按探測機理主要分為熱探測器和光子探測器。熱探測器 熱探測器的工作原理是：利用紅外輻射的熱效應，探測器的敏感元件吸收輻射能后溫度升高，引起某些物理參數(shù)發(fā)生變化，再通過測量物理參數(shù)的變化量來確定探測器所吸收的紅外輻射。熱探測器主要有熱釋電型、熱敏電阻型、熱電阻型和氣體型四類。其中，熱釋電型探測器探測率最高、頻率響應最寬，應用廣泛。熱釋電型探測器的原理見圖63。電介質(zhì)加上電壓將發(fā)生極化，表面上生成極化電

15、荷。極化強度與溫度有關。溫度越高時極化強度越低。如圖所示，在電極外側貼上黑色膜，令其接受紅外線照射。在紅外線照射下，溫度升高，電極上電荷減少，電路中的電流將發(fā)生變化。由于電荷減少相當于釋放部分電荷，這種傳感器稱為熱釋電型探測器。熱釋電型紅外探測器的電介質(zhì)采用水晶、酒石酸鉀鈉、鈦酸鋇等晶體材料。圖63 熱釋電型紅外探測器原理與光子探測器相比，熱探測器的探測率比光子探測器的峰值探測率低，響應時間長。但熱探測器的響應波段寬，響應范圍可擴展到整個紅外區(qū)域；可以在常溫下工作，使用方便。 光子探測器 光子探測器的工作原理是：利用紅外線輻射的光子流與探測器材料內(nèi)的電子互相作用，改變材料內(nèi)電子的能量狀態(tài)，以改

16、變電路的某些參數(shù)。光子探測器的主要特點是靈敏度高，響應速度快，具有較高的響應頻率；其探測波段較窄，一般需在低溫下工作。 (3)紅外測溫儀當物體溫度低于1000時，向外輻射的不再是可見光而是紅外光。紅外測溫儀是利用熱輻射體在紅外波段的輻射通量來測量溫度的。如采用濾光片分離紅外光的波段，可使紅外測溫儀工作在任意紅外波段。紅外測溫儀的框圖見圖64。被測目標的紅外輻射通過透鏡、濾光片、調(diào)制盤聚焦在紅外探測器上，并轉換為電信號輸出到前置放大級；調(diào)制盤由步進電機帶動，步進電機由多諧振蕩器提供電源；加法器將經(jīng)紅外照射的溫度電信號與經(jīng)溫度傳感器取得的溫度電信號進行比較和運算；最后經(jīng)數(shù)/模轉換并顯示被測目標的溫

17、度。濾光片的作用是只讓一定波長（一般為814m）的紅外光通過。調(diào)制盤的作用是將被測的紅外線轉換成交變的紅外線。圖64 紅外測溫儀的框圖1-透鏡;2-濾光片;3-調(diào)制盤;4-紅外探測器;5-溫度傳感器;6-步進電機 紅外測溫儀的光學系統(tǒng)可以是透射式的，也可以是反射式的。反射式光學系統(tǒng)采用凹面玻璃反射鏡，并在反射鏡的表面鍍金、鋁、鎳等對紅外輻射反射率很高的金屬材料。 (4)紅外氣體分析儀紅外氣體分析儀是根據(jù)不同氣體對紅外線具有不同的吸收特性來分析氣體成分的。幾種氣體對紅外線的透射光譜見圖65。該圖表明，CO氣體對波長4.65m左右的紅外線有很強的吸收能力；CO2氣體對波長2.78m、4.26m左右

18、以及波長13m以上紅外線有很強的吸收能力等。根據(jù)透射光譜圖，選取適當波長的紅外線就可對氣體進行分析。 圖65 氣體對紅外線的透射光譜 紅外氣體分析儀由紅外線輻射光源、氣室、紅外檢測器、測量電路等組成（圖66）。光源是先由鎳鉻絲通電加熱發(fā)出310m的紅外線，再由切光片將連續(xù)的紅外線調(diào)制成脈沖的紅外線，以便于紅外線檢測器的檢測。濾波氣室濾去不需要的紅外線。測量氣室中通入被分析的氣體，參比氣室中封入不吸收紅外線的氣體（如N2等）。紅外檢測器是帶有兩個吸收氣室的薄膜電容型檢測器。吸收氣室的氣體吸收了紅外輻射能量后，氣體溫度升高，室內(nèi)壓力將發(fā)生變化。例如，分析CO氣體的含量時，兩束紅外線經(jīng)反射、切光后射

19、入測量氣室和參比氣室，由于CO氣體對4.65m的紅外線有較強的吸收能力，而參比氣室中氣體不吸收紅外線，射入紅外探測器兩個吸收氣室的紅外線產(chǎn)生能量差異，使測量邊吸收室的壓力較小，薄膜向右方偏移，輸出電容量增大。也就是說，電容的變化量是被分析氣體中某種氣體濃度的函數(shù)。 圖66 紅外氣體分析儀組成圖(5)紅外探傷紅外熱成像無損檢測技術有被動式和主動式兩種。被動式紅外檢測技術是利用待測對象本身發(fā)熱的紅外線輻射來進行檢測。主動式紅外檢測技術就是紅外探傷。紅外探傷技術包括針對各類工件選擇不同特性的熱源進行周期、脈沖、直流等方式的加熱；采用紅外成像技術，并在計算機控制下進行時序熱波信號探測和數(shù)據(jù)采集；使用專

20、用計算機軟件進行實時圖象信號處理和分析。人為給工件加熱后，在工件中形成熱流傳播。由于工件有缺陷地方的熱傳導率不同，工件表面上產(chǎn)生不同的溫度，并有有不同的紅外輻射強度。于是，可以根據(jù)紅外熱圖像判定工件中有無裂紋、剝離、夾層等缺陷。紅外探傷有穿透法和反射法。穿透法是加熱工件的一個側面，在其另一個側面用紅外攝像儀接收工件表面的溫度場分布并生成熱圖像。工件內(nèi)的缺陷會對熱流的傳播產(chǎn)生阻礙作用，并在待測工件表面上對應的位置形成一個低溫區(qū)，在紅外攝像儀上接收到的熱圖像將則是一個暗區(qū)。反射法加熱工件的一面，在同一面用紅外攝像儀接收工件表面的溫度場分布并生成熱圖像。工件內(nèi)的缺陷阻礙熱流的傳播，并造成能量反射，在

21、缺陷部位對應的表面形成一個高溫區(qū)，在熱圖像出現(xiàn)一個亮區(qū)。通過熱圖像可以計算出缺陷的位置、形狀、大小等需要探測的特征。紅外檢測技術可用于有摩擦的運動部件、鋼包、鍋爐、電器、電子線路、電纜、變配電裝置等場合。3超聲波傳感器 (1)超聲波 超聲波是頻率20kHz以上的機械波。幾種波的頻段見圖67。超聲波的頻率越高，聲場的指向性越好、能量越集中，而且與光波的某些特性越接近。用于檢測的超聲波的頻段是0.25´10620´106Hz。圖67 波的頻段超聲波的特點是：波長小，散射小，方向性好。穿透性強，在固體內(nèi)可達數(shù)十米。反射、折射特征明顯，宜用于探傷、測厚。例如，對于厚度為1/2波長整

22、數(shù)倍者，反射最小，容易穿透；對于厚度為1/4波長整數(shù)倍者，反射最大，不易穿透。超聲波有以下幾種基本波型，即縱波 質(zhì)點振動方向與波的傳播方向一致的波?？v波能在固體、液體和氣體介質(zhì)中傳播。 橫波 質(zhì)點振動方向與波的傳播方向垂直的波。橫波只能在固體介質(zhì)中傳播。 表面波 質(zhì)點的振動介于橫波與縱波之間，沿著介質(zhì)表面?zhèn)鞑?。其質(zhì)點軌跡為橢圓形（見圖68）；其振幅隨深度增加而迅速衰減的波。表面波只在固體的表面?zhèn)鞑?。圖68 表面波 蘭姆波 沿厚度與波長近似相等的薄板傳播的超聲波。超聲波的傳播速度與介質(zhì)密度、彈性、壓強等因素有關。超聲波在氣體和液體中傳播時，由于不存在剪切應力，僅有縱波的傳播。氣體中的傳播速度為3

23、44m/s、液體中的為9001900m/s。在固體中，橫波傳播速度為縱波的1/2，表面波傳播速度為橫波的90%。如圖69所示，當超聲波從一種介質(zhì)傳播到另一種介質(zhì)時，在兩介質(zhì)的上，一部分能量從分界面反射回原介質(zhì)，另一部分能量則透過分界面，在另一介質(zhì)內(nèi)繼續(xù)傳播。如果第一種介質(zhì)是均勻介質(zhì)，則入射角等于反射角。入射角與折射角的關系是c1和c2是超聲波在兩種介質(zhì)里的傳播速度。折射和反射常用于超聲波檢測。圖69 超聲波反射和折射 (2)常用超聲波傳感器 超聲波探頭有壓電式探頭、磁致伸縮式探頭、電磁式探頭等。最為常用的是壓電式探頭。壓電式探頭是利用壓電晶體、壓電陶瓷等壓電材料的壓電效應來工作的。發(fā)射探頭利用

24、逆壓電效應，即將高頻電氣振蕩轉換成高頻機械振動，發(fā)射超聲波；接收探頭利用正壓電效應，即將超聲振動波轉換成電信號，接收超聲波。 壓電式超聲波探頭主要由壓電晶片、吸收塊（阻尼塊）、保護膜、連接線等組成。其結構見圖70。壓電晶片多為圓形；其兩面鍍銀作導電的極板用；超聲波頻率與其厚度成反比。阻尼塊的作用是當激勵停止時，晶片迅速停止振動以提高傳感器的分辨率。 圖70 壓電式超聲波探頭 超聲波物位傳感器是利用超聲波在兩種介質(zhì)的分界面上的反射的特性制成的。根據(jù)發(fā)射波脈沖與反射波脈沖之間的時間間隔可測物位（或距離）。圖71是物位傳感器探頭的幾種安裝方式。71 (a)、(b)將探頭裝在液體內(nèi)，超聲波衰減較慢，發(fā)

25、射波脈沖的幅值可以較?。?1 (c)、(d) 將探頭裝在空氣中，超聲波衰減較快，發(fā)射波脈沖的幅值必須較大，但安裝方便。圖71 超聲波物位測量超聲波在液體里的傳播速度與液體流速有關。如在靜止液體里的傳播速度為c、液體流速為v，則超聲波順流速方向和逆流速方向的傳播速度分別為c+v和c-v。如果在管道內(nèi)不同位置安裝超聲波發(fā)射探頭和接收探頭，根據(jù)發(fā)射波與反射波之間的時間間隔可測量流速、流量。 (3)超聲波探傷超聲波探傷常應用反射法和穿透法。超聲波探可利用脈沖波、連續(xù)脈沖波進行檢測。反射法是將超聲波脈沖發(fā)射波到被檢測工件內(nèi)，根據(jù)反射波的情況來檢測工件的缺陷。圖72是缺陷回波法的示意圖。無缺陷時，底面反射

26、波略低于發(fā)射波。有缺陷時，底面反射波明顯低于發(fā)射波甚至消失，而且中間出現(xiàn)缺陷反射波。圖72 缺陷回波法(a)無缺陷 (b)有缺陷1-入射波;2-底面反射波;3-缺陷反射波圖73是多次底波法的示意圖。無缺陷時，屏幕顯示均勻波形。有小缺陷時，出現(xiàn)缺陷反射波，屏幕顯示不均勻。有大缺陷時，相鄰波之間的間隔減小。圖73 多次底波法(a)無缺陷 (b)有缺陷 (c)有大缺陷 穿透法是根據(jù)發(fā)射波穿透工件之后的能量變化來判斷缺陷情況的。因此，穿透法需要兩個探頭，一個用于發(fā)射，一個用于接收，分置在被測工件的兩側。 為適應被檢測工件形狀和探測要求的需要，有多種型式的探頭，如直探頭（縱波）、斜探頭（橫波）、表面波探

27、頭（表面波）、蘭姆波探頭（蘭姆波）等。探頭陪有不同形狀的楔塊，并用耦合劑接觸法或液浸法與固定在被檢測工件上。4微波傳感器微波是波長為1 mm1 m的電磁波，分為分米波、厘米波、毫米波三個波段。微波的特點是：遇到各種障礙物易于反射；繞射能力差；傳輸能力強，傳輸過程受煙霧、火焰、灰塵、強光的影響?。唤橘|(zhì)對微波的吸收與介質(zhì)的介電常數(shù)成比例，水對微波的吸收作用最強。此外，微波定向輻射裝置工藝較簡單。 (1)微波傳感器的組成 微波傳感器的工作包括發(fā)射和接收兩個階段。由微波天線發(fā)射微波，微波遇到被測物體時將被吸收或反射，功率發(fā)生變化。由接收天線接收到通過被測物體的或由被測物體反射回來的微波，并將其轉換為電信號，再經(jīng)過處理，即可以顯示出被測量，實現(xiàn)了微波檢測。 微波傳感器分為反射式和遮斷式兩類。反射式微波傳感器是通過檢測被測物反射回來的微波功率或經(jīng)過的時間間隔來進行測量的，可用于測量物體的位置、位移、厚度等參數(shù)。遮斷式微波傳感器是通過接收天線收到的微波功率來進行測量的，可用于測量被測物體的厚度、含水量等參數(shù)