二次配工程規(guī)范

1、中第稹膻重路（零波）有限公司二次配工程規(guī)范Ningbo SlNOMOS Semiconductor Inc.資料名耐tlse：W 敷 PAGE： I置晦國ISPECNOD版本REV.黑贈球衣甄配型醐m2 OF465NS-SP006 601.中稹醴甯路（搴波）新建工程氯颼管二次配工程規(guī)靶本知熊黜陪陋酒苫（事渡情照宏同野春街腌,非由雷面靜到，不4郎品一翻!捌哪蚊如件,亦不準海鎏THE INFORMATIONhCONTAINEDHERERN HSTHEEXCLUSME甲ROPERTY即FNingbOS峨OMOSSemSnductOdncdANDr Inc. ANDSHALL. NOT BE DIST

2、RIBUTEDD THE REPRODUCEDU,OR DISCLOSEDUIN WHOLE OR IN PART WITHOUOPERMISSIONOFFNMgboboLSISINOMOSISemiconductor Lkncor Inc.May 22, 12003fileInamen白:：915,07355.doc中罐稹皤重路（零波）有限公司Ningbo SlNOMOS Semiconductor Inc.資料名耐msE：黑峭球衣甄配撕翻mW 敷 PAGE： i 3 OF465置晦國ISPECNODNS-SP006 6版本REV.0PAGESContents目的2.S6B3.文件送事施工明

3、其他IS明176.197.保固期限22用事渡侑隈獨司秀春重雌,非由雷面都頊J，不/捌翻姣I件,亦不準旗鎏THE INFORMATIONhCONTAINEDHERERN ISTHEEXCEUSME甲ROPERTY即FNingbOS域OMOSSemSnductOdncdANDr Inc. ANDSHALL. NOT BE DISTRIBUTEDD THE REPRODUCEDU,OR DISCLOSEDUIN WHOLE OR IN PART WITHOUOPERMISSIONOFFNMgboboLSISINOMOSISemiconductor Lkncor Inc.May 22, 12003fi

4、leInamen白:：915,07355.doc中稹醴霜路（事波）有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄4 OF 46NS-SP0060Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄5 OF 46NS-SP00603.目的懸使段借械臺按照言十副K利裝械、逋樽，且亦能雉 Hook Up二次配管施工 之品II及作渠安全。本祝乾如有任何疑ft依棠主及余恩（曲公司解

5、釋懸舉。4. ffiH4.1.裂程管 Hook-up工程材料探瞞及管路安裝；Hook-up ffi H, GN2、PN2、PO2、CDA自主管5S留至械臺內部接黑占（含支管）， PH2、SiH4、SiH4/N2由氟醴站氧氟化器出口及 SiH4、SiH4/N2氧瓶 檀出口接至械臺（含VMB）,其他特殊氟醴自位於氟醴房或 Subfab之 氟瓶檀/架至械臺內部接黑占（含VMB/VMP）,其中必要的管、管件及焊 接所需氧均由承包商Ulf提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及55 留take-off尺寸及數(shù)量，言青參照 FAB楝一屑大宗氟H二次配平面BT闞虢SP-211）;各VMB/VMP位置，言青參

6、照 FAB1一屑特殊IfflS 二次配平面Bl ”m虢SP-212）;氟醴站至FAB 管,言青參照” 氟醴站至FAB楝氟H二次配管平面BI 闞虢SP-234）; GN2、PN?、Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄6 OF 46NS-SP0060PO2、CDA自take-off 至械臺所需裝IS之件，言青參照SP-2二 次配管群Bl ”（BI虢SP-231）;而take-off 及VMB/VMP典械臺街接 黑占等相隘1資料，言青參照附件一 Bulk gas take-off

7、 list 、”附件 二 Specialty gas VMB/VMP list 及附件三 CDA takeoff list 。承包 商需根atig表資料，is言十至械臺管之路彳至。4.2.前氟醴管 Hook-up工程之管路余田部段言十、施工裂、ISO BIB a （Auto 2000或以上版本圄槽予K曲及棠主 卜安裝彳爰波漏值測、各 不物量測、虢測材料存放及屢料清澈等SKS工程。其中施工 圄及ISO圄面，需依照械臺用量流程圄（P&ID）及械臺段借外 a, at配合材料明系田表供棠主碓4.3.本工程懸逋工帶料施工，或包含施工中所需之施工工具、施工段借、 瓢廛服、安全防器具、管支撐及sks消耗等，

8、均由承包商me。4.4.配合”二次配工程明”（祝靶襟虢NS-SP001）要求所需各費用。4.5.所有管路襟示，管路襟示依照”二次配工程明”辨理Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄7 OF 46NS-SP00604.6.所有管路防震固定支撐架之安裝定位。4.7.高架地板K孔及收遏之工程彝包、言青款，切割K域管理。4.8.氟醴站至FAB I需管所需管槁由渠主提供，承包商需KU依棠主指示祝副氟醴管路彳至，atme安裝所需管爽等固定裝置。5.文件送寄文件名耦投襟F皆段（3份）tgt

9、H皆段（5份）竣工F皆段（5份）1.幸艮僵表(Quotation form)X2.事案表(Project organization)XX3.事案孰行日寺程表（Project schedule）XX4.工 程界面清罩及位置BE (List & location of tie-in point)XXX5.系統(tǒng)管倭圜（P&IDs）XXX6.焊接段:借清軍 (Equipment list)XXX7.IS借及材料型及資料(Vendor scatalogs and information to support his quotation,including electrical system & I/C

10、system)XXX8.倭 表安 裝官羊 H (Instrumentinstallationdrawing)XX9.送 寄 文件 清罩及日寺程(Transmittal list and schedule)X10.品 H 管制程序 U(Quality control procedure)X11.工地辨公室及物料暫存IM需求(Site office and warehouse requirements)X12.瞬收及 音十HU /幸艮告(Inspection & test plan/reports)XX13.裂 造商 幸艮告(Manufacture inspection & test report

11、s/records)XXNingbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄8 OF 46NS-SP0060文件名耦投襟F皆段（3份）tgtH皆段（5份）竣工F皆段（5份）14.W (Contractor s calculations)XX15.管 配置 BE (Pipe routing plan)XXX16.管支飾羊 BE (Pipe support drawing)XX17.管材規(guī)格 (Piping material specification)XX18.管施 工程序 H (Pipin

12、g construction specification)XX1.2周提送言十文件及相信司管件及檄示供塞核；送寄6I面即需在渠主提出意兄彳爰3天內修改她再次送富。2 .所有送寄文件必須以中文或英文善:W;英文送寄文件需附 中文明。3 .所有竣工P皆段需提送之文件均需檢附重子槽6.施工茨;明6.1.一般茨明3.1.1. 承包商鷹於施工前提送施工程序耆及管路測就程序耆，余墨塞核通謾彳爰，方可at以施工3.1.2. 承st商需於工作埸所is置工程me人，需有相工程三年以上，其工作3.1.2.1. 施工迤度控制。3.1.2.2. 施工人管理及安排。Ningbo SINOMOS Semiconducto

13、r Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄9 OF 46NS-SP00603.1.2.3. 材料數(shù)量管制。3.1.2.4. 琪埸曾勘放檬。3.1.2.5. 參典承fit商潢通曲湖曾St3.1.3. 承st商需於工作埸所is置品管me人，需有相工作三年以上，其p皆屑典工程me人同等，具工作殿責懸：3.1.3.1. 施工品U控制。3.1.3.2. 施工完工品1O如I攵。3.1.3.3. 施工瞬收幸艮告18條恩。3.1.3.4. 原料ifij自主榜T查。3.1.4. 承st商需於工作埸所is置物管me人，需有相工作一年以上，其工作3.1.

14、4.1. 材料數(shù)量管理。3.1.4.2. ifij 料件瞬收。Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄10 OF 46NS-SP00603.1.5. 承攬商需於工作埸所is置工安南me人，需有相信在工作魔一年以上，其p皆屑典工程me人同等，具工作殿責懸：3.1.5.1. 垣埸安全南生工作整:督。3.1.5.2. 參典承38商安全南生曲湖曾18。3.1.5.3. 承38商施工人JM安全衢生前|糠。3.1.6. 施工人H教黜，依工程數(shù)量逾畤增加人H,但在工程期限內最低需保留三黜，每

15、黜人H最少三人，每黜至少有一人 有焊接新照，或由一資深黜H帶領，所有迤JS施工之人H 必須余圣謾熬可且通謾工安梅T定之人jM。3.1.7. 品管人H數(shù)黜，依工程數(shù)量逾畤增加人H,但在工程期限內最低需保留一黜，每黜人H最少二人，由一資深黜H帶 領，但不可由品管me人搭任。3.1.8. 承fit商有任何人H湖勤需謾可，且棠主相之人H有榷提出10!要求更換，承fit商不得有UStNingbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄11 OF 46NS-SP00606.2.1. 材料茨:明6.2.

16、2. 氯醴管之分I及其材II要求如下表規(guī)定辨理氯 福S材a.一般大宗氯ftGN 2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb.自燃性氟mSiH 4, SiH 4/N2, PH3/N2內管SUS 316L EP/夕卜管SUS 304c.其他靠iPN2, PO2, SiH2Cl2, NH 3, PH2, B2H6/N2, Cl2,HBr, NF3, BCl 3, HF, CHF 3, CF4, C2F6, SF6,PAr, PHe, N 2O, He/O 2SS 316L EP/ 5S ;另 BCl 3、SiH 2

17、 cl2之管需 提供加熱帶以碓保供氧 量。6.2.3. 各I管管件及倭表牌，言青依下表規(guī)定辨理，承包商鷹以一次配退用JS牌懸便先考量，如欲退用非下表規(guī)定之JS牌，需謾棠主寄核同意彳爰使得退用目規(guī)格J牌a.SUS 316L BA pipeRmax 3.0 gmSumikin/ Kuzeb.SUS 316L BA tubeRmax 3.0 gSumikin/ Kuzec.SUS 316L BA fitting (forpipe)Rmax 4.5 jjmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letd.SUS 316L BA fitting (fortube)Rmax 4.5 jjmKitz/

18、Kuze/Swagelok/Ham-lete.SUS 316L EP pipeRmax 0.7 1jmSumikin/ Kuzef.SUS 316L EP tube ( 注 1)Rmax 0.7 gmSumikin/ Kuzeg.SUS 316L EP fitting ( 注 1)Rmax 0.7 gmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letNingbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄12 OF 46NS-SP0060目規(guī)格J牌h.SUS 316L BA valve (

19、 三 15A)Bellow valve, R max 4.5 gKitz/ Ohno/ Motoyamai.SUS 316L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, R max 3.0MmKitz/Fujikin/MotoyamaOhno/j.SUS 316L EP valve ( 三 15A)Bellow valve, R max 1.0 pmKitz/ Ohno/ Motoyamak.SUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, R max 0.7MmKitz/Fujikin/MotoyamaOhno/l.RegulatorSUS

20、 316L EP, VCR type, R1.0師max 0.1m)PN2、PO2每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=1 pcs/scf ( 0.1m)其他裂程氟醴檄臺Tie-in黑占前=1 pcs/scf ( 0.1m)8.6.氧氧含量測就：8.6.1. 承包商使用PN2作懸purge gas ， 3t逋SBE金泉氧氟含量建化，以（察其下降趣勢及作懸是否合格之依SL8.6.2. 各I氟H測制裸占及含量要求鷹依下表辨理:8.7.腐鷹測U位置氧氟含量要求GN2每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。三 100 ppbPN2每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=10 ppb其他裂程

21、氟醴檄臺Tie-in黑占前=10 ppb收畤需梅T附各就幸艮告及竣工ISO I1面9.保固期限Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄24 OF 46NS-SP0060自瞬收合格彳爰保固期限一年Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄25 OF 46NS-SP0060B付件一 Bulk Gas Take-off ListTAKE-OFFTAKE-OFFNO.尺寸

22、Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN55011/2CV-etcher/QC LabCV-etcher553/8DECAP(QC)-1/8ETCHER(QC)-1/4GN55021/29F19F1251/49F11203/89F11203/8GN55031/29F29F21203/89F21203/8GN55041/28F8F553/88F503/88F503/8GN55051/2WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)553/8WJ-999(2)553/8GN55061/2SPAREGN55071/2ND-6200ND-6200201/4ND-6200201/4G

23、N55081/2NOVELLUSNOVELLUS201/4NOVELLUS201/4GN55091/2SPAREGN55101/2SPAREGN55111/2SPAREGN55121/2SPAREGN55131/2AMI 8330CAMI 8330C31/4AMI 8330C31/4AMI 8330C31/4AMI 8330C31/4GN55141/2SPAREGN55151/2AMI 8330DNingbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄26 OF 46NS-SP0060TAKE

24、-OFFTAKE-OFFNO.尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEAMI 8330D31/4AMI 8330D31/4AMI 8330D31/4AMI 8330D31/4GN55161/2AMI 8330BAMI 8330B31/4AMI 8330B31/4AMI 8330B31/4AMI 8330B31/4GN55171/2SPAREGN55181/2LAM 590A/PSC-4LAM 590A101/2LAM 590A31/2LAM 590A31/4LAM 590A11/2PSC-431/4PSC-431/4GN55191/2LAM 590C/BLAM 590C1

25、01/2LAM 590C31/2LAM 590C31/4LAM 590C11/2LAM 590B101/2LAM 590B31/2LAM 590B31/4LAM 590B11/2GN55201/2LAM 4420A/B/S6000LAM 4420A103/8LAM 4420A103/8LAM 4420A31/4LAM 4420A31/4LAM 4420B103/8LAM 4420B103/8LAM 4420B31/4LAM 4420B31/4S6000-1/4GN55211/2SPAREGN55221/2LAM 490C/BLAM 490C101/2LAM 490C31/2LAM 490C31

26、/4Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄27 OF 46NS-SP0060TAKE-OFFTAKE-OFFNO.尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTELAM 490C11/2LAM 490B101/2LAM 490B31/2LAM 490B31/4LAM 490B11/2GN55231/2LAM 490ALAM 490A101/2LAM 490A31/2LAM 490A31/4LAM 490A11/2GN55241/2Tegal900A/B（位置未定

27、）Tega1900A31/4Tega1900A31/4Tegal900B31/4Tegal900B31/4GN55251/2SPAREGN55261/2SPAREGN55271/2H2H2-3/8H2-3/8GN55281/2HF1703/8GN55291/2SPAREGN55301/2H1H1-3/8H1-3/8GN55311/2H31703/8GN55321/2SPAREGN65011/27F7F553/87F1503/8GN65021/27F7F1503/87F1503/8GN65031/26F553/8GN65041/2SPAREGN65051/2SPAREGN65061/2SOG-2

28、73/8GN65071/2SPAREGN65081/2SPAREGN65091/2SPARENingbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名耦TITLE:M 數(shù) PAGE:資料虢碣SPEC NO版本REV.氟醴管二次配工程規(guī)甄28 OF 46NS-SP0060TAKE-OFFTAKE-OFFNO.尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN65101/2AMI 8310B/AAMI 8310A31/4AMI 8310A31/4AMI 8310A31/4AMI 8310A31/4AMI 8310B31/4AMI 8310B31/4AMI 8310B31/4AMI 8310B31/4GN65111/2SPAREGN65121/2MATRIX(1)/(2)MATRIX(1)31/2MATRIX(2)31/2GN65131/2LAM 4520LAM 4520103/8LAM 4520103/8LAM 452031/4LAM 452031/4GN65141/2SPAREGN65151/2SPAREGN65161/2PSC-5PSC-531/4PSC-531/4GN651