溝道長度相關參數(shù)Leff等_第1頁
溝道長度相關參數(shù)Leff等_第2頁
溝道長度相關參數(shù)Leff等_第3頁
溝道長度相關參數(shù)Leff等_第4頁
溝道長度相關參數(shù)Leff等_第5頁
已閱讀5頁,還剩3頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、1、Leff即有效溝道長度,由于做COMS的時候,為了防止HCE(Hot Carrier effect),會打LDD,再加上其他很多因素,實際的NMOS和PMOS之間的通道,并不是和Poly Gate的長度一樣。如下圖。l&S$c)D&d_T半導體技術天地Semiconductor Technology WorldLeff量測方法是通過測電阻得來,總電阻Rdrain端的電阻外加電阻(比如contact的接觸電阻等等)圖中兩條曲線表示,加兩個不同的gate電壓(4v,6v),在兩個不同CD的Gate之下(20um,0.5um),測出來的R。交點表示剛好Vg相同,并且有效溝道長度為

2、0的情況,由此算出L &Z7uJ%h0K半導體技術天地Semiconductor Technology World另外還有Weff,有效溝道寬度,道理一樣。圖片附件: Leff.jpg (2007-2-5 00:19, 64.19K)v s;v        h,H$oT半導體技術天地Semiconductor Technology World2、Kappa與Beta()估計大家對Kappa的了解是最少的。Kappa實際上就是Poly能力的本質(zhì)所在,只與Gox的厚度和電子遷移率有關,它決定了當gate開啟的時候,電流的大小。但是電流大小還會與Po

3、ly本身的尺寸有關,所以Beta是融合了Poly長寬(L/W)的Kappa。#j8UpfV"L:XBo半導體技術天地Semiconductor Technology World當客戶設計的時候,就會問fab的Kappa是多少,如果fab制程提供的Kappa不滿足design的需求,客戶就會在長寬(L/W)上動腦筋,長度增加,電流也增加了。圖片附件: Kappa.jpg (2007-2-5 00:19, 63.48 K) 3.Isatk*e6y        io)S芯片,設計,版圖,晶圓制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,

4、design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA即飽和電流,即Gate開啟后,電流在一定drain端電壓范圍內(nèi)不再增加。溝道長度越短,Gate開啟(Vg>Vt)時的電流越大,就越早達到飽和電流。那么是不是Isat一定與Vt成反比呢?大家去查任何一本半導體的書,或者問自己的師傅,一定會告訴你:是。4p-I0G BJc$A但是答案是不一定。芯片制造過程中會遇到很多想像不到的問題,我?guī)У漠a(chǎn)品確實是Isat和Vt成正比。這個案例非常復雜,以后我會告訴大家。芯片, 圖片附件: Isat.jpg (2007-2-5 00:19, 52.0

5、5 K) 9d)n#k6b,3j!g4、Bv#g5r!?$i+S(i6Kt芯片,設計,版圖,晶圓制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA這里特別說明,Bv與VBD本質(zhì)上不同,Bv是Gate不開的時候,只在drain端加高壓,量測drain端電流,所以量測的是source到drain的擊穿,當然與溝道長度有關; VBD是量測drain到Gox的擊穿,所以是評估Gox好不好的參數(shù)。圖片附件: Bv.jpg (2007-2-5 00:19, 58.27 K)5、Swing和DIBLN-?8u;XT芯片,設計,版圖,晶圓制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA這兩個參數(shù)都是MOS在subthreshold區(qū)的參數(shù)。在subthreshold區(qū),Vg略小于Vt,這個時候的通道電流不應該是強反轉(zhuǎn)時候的電流,而是弱反轉(zhuǎn),即npn或pnp之間的電流。所以一句話概括,當MOS關閉的時候,我們當然希望里面什么電流都沒有,當MOS開啟的時候才有電流。4aGaX Ym&q2KSwing就

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論