鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及分析解決預(yù)防措施2

1、 鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及分析解決預(yù)防措施一. 常見(jiàn)故障,問(wèn)題及解決方法下表對(duì)一些鍍膜時(shí)常見(jiàn)的故障、真空度問(wèn)題、及掉膜和膜質(zhì)問(wèn)題做了一些簡(jiǎn)單分析,并給予解決方案及預(yù)防措施.故障點(diǎn)故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注1.高壓和束流1.1.開(kāi)槍有高壓，無(wú)束流1.燈絲保險(xiǎn)燒斷2.燈絲燒斷3.南光槍槍體右邊引線(xiàn)碰到槍體底坐1.檢查燈絲保險(xiǎn)，燒斷則更換2.保險(xiǎn)正常則檢查燈絲更換槍體.3.調(diào)整引線(xiàn)與槍體底坐的間距.在抽氣前檢查槍體.立即關(guān)高壓1.2.開(kāi)高壓顯示跳動(dòng)幅度大，并有束流跳動(dòng)1.束流控制調(diào)在手動(dòng)，電位器未歸零2.槍體短路3.高壓電極保護(hù)罩或屏蔽碰到高壓引線(xiàn)造成短路4.電柜故障1.電位器歸零.在預(yù)熔完后應(yīng)將燈

2、絲電位器歸零2.將連接燈絲變壓器的高壓引線(xiàn)取下（注意引線(xiàn)不能碰到機(jī)器應(yīng)懸空）開(kāi)高壓，正常則槍體或高壓電極保護(hù)罩或屏蔽短路造成3.放氣檢查電極保護(hù)罩或屏蔽4.檢修電柜立即關(guān)高壓1.3.開(kāi)槍無(wú)高壓，無(wú)束流1.高壓保護(hù)不到位（偏轉(zhuǎn).真空.柜門(mén)）2.高壓電路出問(wèn)題1.檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)2.檢修高壓控制電路1.4.鍍膜時(shí)高壓會(huì)下跌1.真空繼電器燒壞2.高壓電路出問(wèn)題1.更換真空繼電器2.檢修高壓電路常見(jiàn)4號(hào)機(jī)1.5.鍍膜時(shí)燈絲突然很亮(束流達(dá)到滿(mǎn)格)1.BT138可控硅被擊穿2.槍體短路1.更換BT1382.檢查槍體常見(jiàn)4號(hào)機(jī)1.6有高壓，有燈絲電流，無(wú)光斑1.柵極片短路2.掃描出問(wèn)題或掃描線(xiàn)接反了1.

3、整理槍體2.檢修掃描，正確連接掃描線(xiàn)1.7.束流上不去，達(dá)不到以前的水平（同樣功率達(dá)不到以前的速率）1.燈絲位置不正或變形2.燈絲被氧化3.連接槍體的各接頭松動(dòng)4.坩堝轉(zhuǎn)速太快5.材料被污染6.晶片被擋住1.重新安裝或更換燈絲. 為了更好的對(duì)燈絲定形及延長(zhǎng)燈絲使用壽命,在更換新燈絲后應(yīng)對(duì)燈絲進(jìn)行預(yù)熱處理2.更換燈絲.為防止燈絲氧化在放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉燈絲電源開(kāi)關(guān)3.擰緊各連接處.4.調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速5.取出被污染的材料或更換新材料6.調(diào)整晶片擋板位置.抽氣應(yīng)檢 17.電柜出問(wèn)題查晶片是否被擋7.檢修電柜1.8.阻蒸電流調(diào)不上去1.蒸發(fā)舟燒斷或松掉造成接觸不良2.空氣開(kāi)關(guān)跳閘3.調(diào)節(jié)電流的電位器壞

4、了4.銅電極與真空室底板下的引線(xiàn)接觸不良1.更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘.為了防止接觸不良，各電極和壓塊應(yīng)清洗干凈.更換在蒸發(fā)舟時(shí)應(yīng)將銅壓塊取下砂干凈再安裝蒸發(fā)舟2.打開(kāi)空氣開(kāi)關(guān)3.更換電位器4.清潔磨平接觸不良的地方并擰緊螺釘1.9.速率不穩(wěn)定1.晶片失效2.料面不好3.功率設(shè)置不合理4.控制參數(shù)PID設(shè)置不合理5.燈絲接觸不好或老化6.高壓打火1.選擇好的晶片，1.2槍的速率要匹配2.料要加平整，養(yǎng)成停坩堝的好習(xí)慣3.預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置合理(最大功率為略大于蒸發(fā)時(shí)所需功率）4.設(shè)置合理的PID參數(shù)5.緊固或更換燈絲6.解決打火現(xiàn)象1.10.高壓打火1.槍體污染，雜物掉入槍體2.各接線(xiàn)處未擰緊3

5、.聚四氟套管太臟4.槍體陽(yáng)極，柵極變形5.高壓電極太臟6.屏蔽不佳或未屏蔽7.光斑位置不合理，掃描狀態(tài)不好8.2槍高壓干擾9.材料污染有雜物10.高壓打在10KV11.預(yù)熔不夠充分12.功率設(shè)置不合理1.整理槍體，在吹槍體時(shí)應(yīng)用吸塵器邊吸使吹出的雜物吸走不被落在槍體里2.擰緊各連接處，使其接觸良好3.清洗或更換套管，應(yīng)定時(shí)清洗4.調(diào)整或更換陽(yáng)極，柵極片5.更換高壓電極6.調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽7.調(diào)整好光斑，檢查掃描8.蒸鍍1槍時(shí)應(yīng)關(guān)閉2槍高壓9.將被污染的材料去除或更換新材料10.將高壓調(diào)在正確的檔位（中檔8KV）.在觸摸屏上操作時(shí)(如調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速時(shí))應(yīng)注意是否誤碰到高壓調(diào)節(jié)檔位11.預(yù)熔時(shí)間及

6、加的束流應(yīng)合理（束流最后應(yīng)加到接近鍍第一套時(shí)所需束流坩鍋轉(zhuǎn)一到兩圈）12.設(shè)置合理的功率,預(yù)熔功率不應(yīng)太大,最大功率應(yīng)與速率相匹配,注意在第一套時(shí)速率較小時(shí)功率的設(shè)置 22.掃描和光斑2.1.光斑不能調(diào)整1.掃描引線(xiàn)或線(xiàn)圈短路2.整流橋擊穿3.引線(xiàn)或線(xiàn)圈斷路4.遙控盒上的連線(xiàn)松脫或電位器壞了1.檢查引線(xiàn)及線(xiàn)圈,引線(xiàn)間不能碰在一起,抽氣前應(yīng)檢查引線(xiàn)是否互相觸碰和松動(dòng)2.更換整流橋3.檢查引線(xiàn)及線(xiàn)圈4.接好連線(xiàn)或更換電位器2.2光斑及掃描狀態(tài)不好1.燈絲變形2.極靴位置不正3.掃描頻率不合適4.短路條多或少了,位置不好5.高壓檔位不對(duì)6.掃描連接線(xiàn)有誤1.更換燈絲2.調(diào)整極靴位置.在拆下清洗時(shí)要做

7、好記號(hào)避免安裝時(shí)位置不正3.調(diào)整合適頻率,頻差和密度4.調(diào)整短路條的位置及數(shù)量5.調(diào)整正確的高壓檔位6.正確連接掃描線(xiàn),維修時(shí)應(yīng)做好記號(hào)3.坩堝和工轉(zhuǎn)3.1坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)不靈或不轉(zhuǎn)1.坩堝周邊間隙太小2.坩堝間隙有材料(卡料)3.軸承銹死4.減速器出問(wèn)題5.電機(jī)出問(wèn)題6.防污底板頂?shù)桔釄?2槍)7.連接鍵脫落1.調(diào)整坩堝周邊的間隙2.清理間隙中的材料.注意料不要加得太高,預(yù)熔時(shí)數(shù)量不要加得太快,防止材料飛濺掉入間隙里使坩堝卡住或轉(zhuǎn)得不順暢3.清洗或更換軸承.在打掃真空室及洗機(jī)時(shí)應(yīng)將坩堝下面的料渣清除,防止料渣太多影響軸承的性能4.檢查減速器5.維修或更換電機(jī)6.調(diào)整好大門(mén)底板的位置(稍高于坩堝),關(guān)

8、門(mén)時(shí)感到異常(如較平時(shí)緊)應(yīng)檢查底板及防污板的位置7.重新安裝好鍵3.2工轉(zhuǎn)噪音大,晃動(dòng)大1.電機(jī)軸承壞了2.大軸承干磨性能下降3.電機(jī)與減速箱連接不好4.傳動(dòng)齒輪磨損1.更換電機(jī)軸承2.清洗或更換大軸承3.將電機(jī)與減速箱連接好4.更換齒輪3.3工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1.電機(jī)損壞2.電機(jī)與傳動(dòng)部分的鍵脫落或磨損3.傳動(dòng)的齒輪磨損4.單向器壞了5.電路出問(wèn)題1.更換電機(jī)2.重裝或更換鍵3.更換齒輪4.更換或維修單向器(2樓)5.檢修電路 33.4.工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不上,電壓顯示指針跳動(dòng)大1.調(diào)節(jié)電位器損壞2.控制器出問(wèn)題3.工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)4.碳刷接觸不良5.電壓表有問(wèn)題1.更換電位器2.檢修控制器3.維修傳動(dòng)部分4

9、.整理碳刷接觸面或更換5.維修或更換電壓表4.閥門(mén)4.1.閥門(mén)打不開(kāi)1.氣壓不夠2.控制閥門(mén)的氣動(dòng)閥有問(wèn)題3.閥門(mén)間互鎖1.調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置2.維修或更換氣動(dòng)閥3.檢查與其互鎖的閥門(mén).應(yīng)注意閥門(mén)指示燈顯示關(guān)閉但實(shí)際閥門(mén)并未關(guān)閉的現(xiàn)象4.2.閥門(mén)打開(kāi)后會(huì)自動(dòng)關(guān)閉1.氣壓不夠2.氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的橡皮松脫1.調(diào)高氣壓到合適位置2.更換閥芯或氣動(dòng)閥4.3.放氣取膜,放氣閥打不開(kāi)1.高閥沒(méi)關(guān)到位2.放氣閥的氣動(dòng)閥有問(wèn)題1.檢查高閥沒(méi)關(guān)到位的原因,不能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉2.更換或維修氣動(dòng)閥5.真空度5.1.在鍍膜過(guò)程中真空度突然下跌1.高閥,預(yù)閥等閥門(mén)自動(dòng)關(guān)閉2.擴(kuò)散泵斷相或跳閘3.坩堝卡料強(qiáng)行轉(zhuǎn)動(dòng)造成漏氣1.

10、檢查氣壓是否正常,正常則是相應(yīng)的閥門(mén)問(wèn)題,一般為氣動(dòng)閥的閥芯松脫2.合上閘刀,斷相表現(xiàn)為三相指示燈有一或兩個(gè)燈不亮,更換電爐盤(pán)3.維修坩堝,當(dāng)卡料時(shí)不能強(qiáng)行轉(zhuǎn)坩5.2.低真空突然抽不動(dòng)1.機(jī)械泵摻氣閥沒(méi)關(guān)2.真空室門(mén)壓到東西3.并路閥(旁通閥),截止閥自動(dòng)關(guān)閉4.機(jī)械泵出問(wèn)題5.羅茨泵出問(wèn)題6.管道漏氣7.機(jī)械泵上的機(jī)放閥漏氣8.真空室漏氣1.關(guān)閉摻氣閥2.檢查大門(mén)密封.關(guān)門(mén)抽氣時(shí)應(yīng)檢查大門(mén)是否壓到東西或密封圈上有雜物3.檢查相應(yīng)的閥門(mén)及控制閥門(mén)的氣動(dòng)閥和氣壓4.維修機(jī)械泵5.維修羅茨泵6.維修管道7.更換或維修機(jī)放閥8.按5.4步驟檢漏5.3抽氣慢1.真空室太臟,沒(méi)換防污板2.擴(kuò)散泵太久沒(méi)洗

11、3.擴(kuò)散泵出氣口擋油板被吸起4.機(jī)械泵沒(méi)摻氣5.真空測(cè)量表基準(zhǔn)不準(zhǔn)6.機(jī)械泵,羅茨泵有問(wèn)題1.更換防污板或清洗真空室2.清洗擴(kuò)散泵(大約一年洗一次)3.調(diào)整擋油板4.給機(jī)械泵摻氣或換油5.調(diào)節(jié)真空表基準(zhǔn)或更換真空表6.檢修機(jī)械泵,羅茨泵 47.真空室暴露在大氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或玻片未烘干8.漏氣7.盡量減少敞大氣時(shí)間,玻片應(yīng)完全烘干8.按5.4步驟檢漏5.4.真空度低1.真空表測(cè)量不準(zhǔn)2.真空規(guī)管測(cè)量口被百葉窗擋住3.真空室大門(mén)沒(méi)關(guān)好4.真空泵出問(wèn)題5.管道漏氣6.動(dòng)密封如坩堝,工轉(zhuǎn),觀察窗,擋板等密封漏氣7.洗機(jī)或維修時(shí)動(dòng)過(guò)的部件或附近有松動(dòng)8.堵頭沒(méi)裝好9.通了水的如坩堝,工轉(zhuǎn),探頭等地方有漏點(diǎn)1

12、0.高閥,低閥氣缸漏氣11.金屬焊縫漏1.更換真空表2.關(guān)閉高閥,若此時(shí)真空室真空度比較穩(wěn)定,則放氣調(diào)整百葉窗的位置3.用酒精注射大門(mén)密封看真空度變化,如有變化則放氣整理真空室門(mén)密封4.維修或更換真空泵5.維修管道6.更換或重裝動(dòng)密封 快速連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)看真空度是否有較大的變化,有則是該轉(zhuǎn)動(dòng)部動(dòng)密封有問(wèn)題7.檢查動(dòng)過(guò)的部件及附近,確認(rèn)后緊固8.用酒精注射堵頭,若真空度有變化則緊固或重裝該堵頭9.通過(guò)用高壓氣來(lái)沖水管看真空度是否有變化,有則檢查水路10.通過(guò)開(kāi)關(guān)高閥,低閥或用酒精注射閥門(mén)確認(rèn)后更換閥體或密封圈11.用酒精注射各焊縫來(lái)確認(rèn)是否有漏,有則補(bǔ)焊焊縫6.掉膜問(wèn)題6.1.掉膜1.真空室或玻片潮濕

13、（更換防污板后）2.玻片沒(méi)洗干凈3.更換新玻片,玻片上有油污4.真空度低5.打火嚴(yán)重,造成膜厚不均勻引起應(yīng)力大6.真空室有油污7.蒸發(fā)速率過(guò)高8.脫膜劑鍍得過(guò)多9.擴(kuò)散泵返油造成高閥蓋及冷井處有油污1.烘烤玻片及防污板的時(shí)間要適當(dāng)2.用干凈的布清洗好玻片,清洗時(shí)應(yīng)認(rèn)真仔細(xì)3.先用洗潔精清洗干凈玻片,再用清水將玻片沖洗干凈4.檢漏5.解決打火現(xiàn)象6.清洗真空室7.降低速率到合適位置8.減少脫膜劑的厚度9.擦洗高閥蓋及冷井.給擴(kuò)散泵加熱時(shí)間不能少于90分鐘.6.2.周一掉膜嚴(yán)重且膜質(zhì)不好1.洗機(jī)時(shí)產(chǎn)生的一些粉塵在抽氣時(shí)飛到玻片上2.洗機(jī)時(shí)的潮氣及防污板的潮氣未干1.用酒精仔細(xì)擦干凈真空室2.延長(zhǎng)轟

14、擊時(shí)間,防污板應(yīng)徹底烘干后才裝入真空室7.膜質(zhì)7.1.膜質(zhì)發(fā)黑不亮澤1.U5材料鍍少了(有時(shí)有銀灰色)2.2槍光斑能量太散(掃描頻率有問(wèn)題)3.U3材料鍍多了(膜質(zhì)稀爛)4.2槍坩堝位置不合適5.U5材料太舊或氧化6.真空度低1.適當(dāng)增加U5厚度2.調(diào)節(jié)光斑和掃描頻率3.適當(dāng)減少U3厚度4.將2槍坩堝位置移到適當(dāng)位置5.更換新料6.檢查真空度7.2.膜發(fā)銀1.U5材料鍍多了2.跳程序或假速率造成U5材料沒(méi)鍍上或鍍少3.U3材料蒸發(fā)過(guò)快造成U5沒(méi)鍍上或鍍少1.適當(dāng)減少U5厚度2.發(fā)現(xiàn)時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些U5,在鍍2.6層時(shí)應(yīng)特別注意有無(wú)此現(xiàn)象3.鍍U3材料時(shí)速率不要過(guò)高,鍍完U3材料時(shí)應(yīng)稍微停頓5秒

15、再鍍U57.3.膜質(zhì)發(fā)硬,打卷1.玻片太臟2.玻片表面光潔度差3.U3材料鍍的過(guò)少1.仔細(xì)清洗玻片,玻片放入真空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清洗后才能使用.應(yīng)打掃完真空室衛(wèi)生后再裝玻片,減少污染2.更換好的玻片3.適當(dāng)增加U3厚度8.膜厚控制儀8.1.晶片失效1.晶片使用壽命已到2.晶片壓簧損壞3.連接探頭的各接觸點(diǎn)接觸不良4.探頭冷卻水過(guò)小或水溫過(guò)高5.探頭擋板碰到工1.更換好的晶片.在用超聲波清洗晶片時(shí)應(yīng)注意打晶片的時(shí)間及方法,延長(zhǎng)晶片的使用壽命2.更換晶片壓簧.在取壓簧時(shí)應(yīng)輕拿輕放3.整理各連接處4.調(diào)大探頭冷卻水流量或開(kāi)啟冷凍機(jī)降水溫,水溫小于28度5.調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離8.2.開(kāi)始鍍

16、膜控制儀無(wú)工作1.程序清零2.沒(méi)選擇到鍍膜程1.重新設(shè)置程序.在操作膜厚控制儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過(guò)快,控制儀要有良好的接地2.選擇好鍍膜程序.在調(diào)程序時(shí)應(yīng)注意光標(biāo)是否在對(duì)應(yīng)的鍍膜程序上8.3.手動(dòng)遙控盒不受控1.連接控制儀的接頭沒(méi)接好2.遙控盒上的按鍵的接線(xiàn)脫焊1.接好接頭2.焊好接線(xiàn).在用遙控時(shí)應(yīng)注意連線(xiàn)不要用力過(guò)大拉扯連線(xiàn)9.其他9.1.開(kāi)槍鍍膜時(shí)發(fā)現(xiàn)膜厚儀上沒(méi)速率顯示1.晶片被擋住2.槍擋板未打開(kāi)3.高壓沒(méi)開(kāi)1.放氣整理.關(guān)門(mén)抽氣時(shí)應(yīng)檢查晶片是否被擋2.修理?yè)醢?.打開(kāi)高壓 64.束流控制調(diào)在手動(dòng)4.將束流控制調(diào)的自動(dòng)9.2.槍擋板打不開(kāi)1.氣壓不夠2.控制擋板的氣動(dòng)閥壞了3.氣缸與擋板軸的連接

17、鍵或螺釘脫落1.調(diào)高氣壓到合適位置2.維修或更換氣動(dòng)閥3.重新裝上鍵或螺釘二. 一些基礎(chǔ)知識(shí)及注意事項(xiàng)和應(yīng)急措施1. 膜厚控制儀1.1. 控制參數(shù)Soak power1-預(yù)熔功率1 約為蒸發(fā)功率的一半Soak power2-預(yù)熔功率2 也稱(chēng)預(yù)蒸鍍功率 略小于最大功率Maxpower -最大功率 Dep Rate -蒸發(fā)速率Final Thk -膜厚（波長(zhǎng)） Soak time-預(yù)熔時(shí)間Rise time -功率上升時(shí)間 Density -材料密度1.2. 檢測(cè)膜厚原理 通過(guò)改變探頭上晶片的頻率（由于膜的蒸發(fā)改變了其重量，所以其震動(dòng)頻率發(fā)生變化）來(lái)計(jì)算膜厚，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響

18、到測(cè)試精度，探頭的位置和測(cè)試膜厚的關(guān)系如小： (1).探頭高了,測(cè)試得到的厚度<實(shí)際得到的膜厚(玻片上厚度) (2).探頭低了,測(cè)試得到的厚度>實(shí)際得到的膜厚(玻片上厚度) (3).工具因數(shù)調(diào)高,相當(dāng)于探頭位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系2.1.U5吸收雜光,影響膜質(zhì)和亮度.鍍的過(guò)多,膜會(huì)發(fā)銀;鍍的過(guò)少,膜發(fā)黑,不亮澤,有銀色;沒(méi)鍍上,則為銀白 2.2.U3脫膜劑,影響膜質(zhì).鍍的過(guò)多,膜質(zhì)稀爛,易脫落;鍍的過(guò)少,膜會(huì)打卷,發(fā)硬 2.3.SiO2決定顏色 2.4.U6基層,影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性 3.1.徑向均勻性:同一玻片上部與下部的不均勻,與光斑的調(diào)節(jié)、材

19、料的料面、坩堝轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān) 3.2.重復(fù)均勻性:同一鍋膜的每一套間的不均勻,與真空度的高低、操作者看顏色有關(guān) 3.3.整體均勻性:同一套膜四塊玻片上的均勻性,與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率的匹配、真空度的高低、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問(wèn)題 4.1.放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源,以免氧化燈絲 4.2.初次使用或更換新燈絲,應(yīng)進(jìn)行燈絲預(yù)熱定型處理,以防燈絲加熱過(guò)快變形.預(yù)熱時(shí),高壓關(guān)閉,直接加熱燈絲,緩慢加燈絲電流,由幾安培加至15A時(shí),維持3-5分鐘 4.3.燈絲安裝a.燈絲不宜太高或太低:太高會(huì)造成光斑不可調(diào),容易打爛柵極和陽(yáng)極片;太低會(huì)造成光斑能量太散,不易蒸發(fā)b.柵極片應(yīng)略低于陽(yáng)極片c.各個(gè)壓塊、引線(xiàn)的接觸面應(yīng)清洗干凈避免造