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文件名稱：氮?dú)夤袷褂靡?guī)程編制： 日期：審核： 日期：批準(zhǔn)： 日期：一、目的正確描述氮?dú)夤竦慕Y(jié)構(gòu)、使用注意事項(xiàng)，作為氮?dú)夤竦氖褂谜f(shuō)明。二、適用范圍制程全體人員三、設(shè)備原理 氮?dú)夤袷遣捎贸涞獨(dú)獾姆绞剑ㄟ^(guò)置換和中和的方法使柜體內(nèi)氧氣含量下降，從而達(dá)到無(wú)氧化的目的，同時(shí)也能營(yíng)造低濕環(huán)境。一般來(lái)說(shuō)，效果良好的氮?dú)夤?，柜體內(nèi)氮?dú)鉂舛葢?yīng)該達(dá)到95%以上。四、職責(zé)4.1工程師負(fù)責(zé)該文件的編寫(xiě)、修訂、培訓(xùn)；4.2生產(chǎn)主管負(fù)責(zé)該文件的校對(duì)、組織培訓(xùn)；4.3氮?dú)夤袷褂谜甙匆?guī)定操作。五、內(nèi)容氮?dú)饬髁坑?jì)1 、外觀和結(jié)構(gòu)導(dǎo)靜電輪設(shè)置說(shuō)明溫濕控制面板安全鎖柜體層板圖1 氮?dú)夤裢庥^組件：氮?dú)饬髁坑?jì)，用于調(diào)節(jié)氮?dú)饬?；圖2 氮?dú)饬髁坑?jì)組件：溫濕控制面板，用于設(shè)置溫濕度，并有數(shù)據(jù)輸出口，可采集溫濕度曲線；圖3 溫濕度控制面板組件：導(dǎo)靜電輪，可以導(dǎo)走柜體產(chǎn)生的靜電；組件：溫濕度管理模塊，可視化管理氮?dú)夤駜?nèi)部溫濕度，位于柜體內(nèi)部右上角；圖4 管理模塊組件：氮?dú)釷DN，有急速降濕功能，有利于產(chǎn)品的保護(hù)；圖5 氮?dú)釷DN2、 使用注意事項(xiàng) 2.1 氮?dú)饬髁勘M可能要大，從而能快速達(dá)到無(wú)氧氛圍；2.2 使用時(shí)盡量降低柜門(mén)的開(kāi)關(guān)頻率，減少開(kāi)門(mén)時(shí)間，減少氮?dú)鈸p失，有利于產(chǎn)品安全和成本節(jié)約；2.3 同時(shí)不能忽略氮?dú)夤竦腅SD防護(hù)工作。六、附件 無(wú)七、文件修改記錄發(fā)

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