TFT LCD簡介與生產工藝流程

1、sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程 1TFT-LCD ProCess 2sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程TFT-LCD sTruCTure & PrinCiPiumTFTThin Film Transistor 薄膜電晶體LCDLiquid Crystal Display液晶顯示器v由于TFT-LCD具有體積小，重量輕，低輻射，低耗電量，全彩化等優(yōu)點，因此在各類顯示器材上得到了廣泛的應用。 3sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程TFT-LCD各結構的功能q 背光板模組:提供光的來源.q 上下偏光板，TFT Glass Substrate，液晶：形成偏振光，

2、控制光線的通過與否。q 彩色濾光片：提供TFT LCD紅，綠，藍(光的三原色)的來源。q ITO透明導電層：提供透明的導電通路。q Photo Spacer：提供一固定高度給彩色濾光片和TFT Glass Substrate。作為灌入液晶時的空間.及作為上下兩層Glass的支撐。 4sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程TFT-LCD顯示原理 5sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程TFT-LCD使用的液晶為TN（Twist Nematic）型液晶，液晶分子呈橢圓狀。qTN型液晶一般是順著長軸方向串接，長軸間彼此平行方式排列。q當接觸到槽裝表面時，液晶分子就會順著槽的方向排列于槽中

3、。液晶簡介 6sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程光與液晶分子產生的效果q當線性偏極光射入上層槽狀表面時，此光線隨著液晶分子的旋轉也產生旋轉。q當線性偏極光射出下層槽狀表面時，此光線已經產生了90度的旋轉。 7sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程偏光板的特性作用：將非偏極光（一般光線）過濾成偏極光。當非偏極光通過a方向的偏光片時，光線被過濾成與a方向平行的線性偏極光。v右上圖：線性偏極光繼續(xù)前進，通過 第二片偏光片時，光線通過。v右下圖：通過第二片時，光線被完全 阻擋。 8sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產生的光學效果（1）v當上下偏光

4、片相互垂直時，若未施加電壓，光線可通過。 9sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程v當施加電壓時，光線被完全阻擋。將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產生的光學效果（2）TFT LCD簡介與生產工藝流程TFT-LCD顯像原理（1）sunyesTFT-LCD顯像原理（2）sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程 12sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程 TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly ProcessTFT-LCD ProCess 13C/F ProCesssunyesTFT LCD簡介與生產工

5、藝流程 14sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程iTo透明導電層的作用sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程 16sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程保持電容TFT元件加入電壓液晶保持電容TFT元件加入電壓液晶TFT元件加入電壓液晶液晶v因TFT組件的動作類似一個開關(Switch)，液晶組件的作用類似一個電容，藉Switch的ON/OFF對電容儲存的電壓值進行更新/保持。vSW ON時信號寫入(加入、記錄)在液晶電容上，在以外時間 SW OFF，可防止信號從液晶電容泄漏。v在必要時可將保持電容與液晶電容并聯(lián)，以改善其保持特性。TFT ArrAy 等效電路 17sunye

6、sTFT LCD簡介與生產工藝流程 這是5次光刻形成TFT圖形，采用底柵背溝道刻蝕的工藝。以玻璃為基板。第一次光刻形成柵線原料為Cr。第二次光刻形成“硅島”SiNx，a-Si，n+-a-Si層，第三次光刻形成ITO導電膜，第四次光刻形成源極漏極，材料為Cr，并進行n+切斷，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保護膜。TFT-ArrAy ProCessData Bus Line and S/D Metal Sputtering Data Bus Line and S/D Patterning Using 4th MASKEtch-Back of n+a-Si Using S/D Layer

7、 as a MASKPassivation SiNx Deposition Using PECVDPassivation SiNx Atch Using RIE 18sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程CeLL ProCess(1) 19sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程CLeAning 20sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程 Pi CoATing淡黃色淡黃色8001200q 將PI液滴在Anilox Roll 上。qDoctor Roll將Anilox Roll上的PI液整平。qAPR板上的圓型凸出物將Anilox Rool凹槽內PI擠壓出來并帶走。q將APR 板

8、上PI均勻轉印到基板上，提供液晶配向層。 21sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程Pi rubbingPI膜配向:基板和Roller成45度角, TFT和CF基板方向差 90 度.Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路.Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機,將路面刨出紋路.配配 向向 絨絨 布布 22sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程CeLL ProCess(2) 23sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程seAL PrinTing 24sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程vSpacer Spray制程：將間隙粒子均勻地

9、分布在基板上，以作為TFT與CF間的支撐，使整個面板擁有均勻的間隙。sPACer sPrAy 25sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程濕式灑布 26sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程HoT Pressure 27sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程HoT PressHoT Press 28sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程CeLL ProCess(3) 29sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程sCribing & breAking 30sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程1ST CUTTING2ND CUTTINGCuTTing me

10、THoD 31sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程對設備的影響q玻璃基板的尺寸變大直接音響電極圖案形成設備。（Array）e.g.成膜設備：占地面積加大與確保膜厚均勻性等問題。e.g.濕式設備：更換效率與節(jié)省水等問題。q切割尺寸增大直接影響面板組裝設備。（CELL）e.g.液晶注入設備：處理時間過長等問題。q次代交替快，產品生命周期短，廠商設備開發(fā)成本高。 LCD面板世代sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程LC injeCTionv 將容器抽真空v 將裝有LC的容器上升與PANEL的注入端接觸，此時LC通過毛細現(xiàn)象上升。v 過一段時間后充入潔凈的空氣或氮氣破真空至常壓。v 通過真空差壓的原理，LC經過一段時間后充滿PANEL。 33sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程v目的：將灌好目的：將灌好LC的的PANEL封口。封口。enD seAL 34sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程beveLingv目的：將切裂后的玻璃毛邊用磨輪磨出倒角，并去除外圍的短路棒（Shorting Bar） 35sunyesTFT LCD簡介與生產工藝流程PoLArizer ATTACHmenTv上下偏光片濾光角度差90度偏光片貼附偏光片貼附 36suny