Centrotherm2015擴散爐培訓

1、Centrotherm擴散爐培訓擴散爐培訓培訓內容l開機操作l生產操作l關機操作l維護保養(yǎng) l生產提示開機操作（一）開機操作（一）1、打開氣柜壓縮空氣的手動閥并調節(jié)調壓閥使其壓力在6Bar左右。2、打開氣柜氮氣和氧氣手動閥，并調節(jié)調壓閥使其壓力在2Bar左右。 開機操作（二）開機操作（二）3、打開電氣柜上的“Main Switch”在“ON”位置，設備上電；CMI電腦自動啟動。 4、打開設備冷卻水，先開出水閥，再開進水閥。檢查水壓在3-6kg /cm2 范圍內。 開機操作（三）開機操作（三）5、輸入XP操作系統(tǒng)用戶“Operator”密碼“6065”，進入CMI計算機的XP系統(tǒng)，自動啟動CMI

2、軟件。6、檢查并打開氣柜上1-4管“CESAR”的開關，啟動“CESAR”系統(tǒng)。 開機操作（四）開機操作（四）7、 設定各管“Paddle”溫度為默認值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、設定升溫速度為5/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，輸入“5”，并按確認鍵“ENTER”。開機操作（五）開機操作（五）9、當溫度到達500時，用手推動爐門的氣缸，使爐門關閉。 10、順時針打開TGA上部調壓閥，使壓縮空氣壓力恢復到4Bar左右。 開機操作（六）開機操作（六）11、打開恒溫箱控制器的黑色電源開關，檢

3、查并確認設定溫度20；按下“RUN”按鈕，啟動恒溫箱。當實際溫度達到設定溫度后，才可生產。12、當源瓶的磷源用盡需要更換時，恒溫控制器會有液位報警提示，需更換新的磷源。開機操作（七）開機操作（七）13、在CMI觸摸屏上按下各管的“Standby”，確認CMI上顯示各管“CESAR”正常；當“T_Paddle”達到設定溫度，準備生產。 爐體加熱部分共分5個溫區(qū)，每個溫區(qū)在600-1200范圍內的精度0.5。開機操作（八）開機操作（八）lStart：運行一個準備好的工藝或啟動正在暫停的工藝。lStop：停止正在運行工藝，在任一時間按下“Start”按鈕，被終止的工藝將被繼續(xù)運行。lStandby：

4、如果沒有運行工藝，按下Standby，所有設備參數(shù)恢復默認值和Standby狀態(tài)下設定值。如果正在運行工藝，按下Standby，使工藝一直保持在正在運行的這一步；在按下“Stop”按鈕之后，按下Standby，將自動終止工藝。生產操作（一）生產操作（一）1、檢查“Slider”是否在上料位置，若不在，手動狀態(tài)下移到上料處：“Manual/Slider/to port”。2、把插好硅片的舟放到“slider”上。盡量使舟在“slider”中間位置 。生產操作（二）生產操作（二）3、在“Setup”界面選擇“Boat”項，選擇一個舟號，進行工藝信息編輯。 4、選擇確定后，進入“boat activ

5、ation”界面，點選“Set boat active for handling”、 “Set boat to Ready for processing和Boat will be removed for unload”復選框,再點擊“Next”按鈕。 生產操作（三）生產操作（三）5、進入“Handling information”界面，把舟上的編號輸入到“Boat ID”一欄，同時選擇Load position為“Slider”，再點擊“Next”按鈕。 6、進入“Process tube selection”界面，選擇需運行工藝的管號，在正常情況下1-4管全部選中，再點擊“Next”按鈕。

6、生產操作（四）生產操作（四）7、進入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置選擇“Slider”，在Boat state位置選擇“Wait for tube”，再點擊“Next”按鈕。 8、進入“Process information”界面，選擇相應的運行工藝名，在“Lots in boat”中輸入相關舟的信息，再點擊“Finish”按鈕。 生產操作（五）生產操作（五）9、進入“Summary”界面，顯示3-8步輸入的信息，核對無誤后，點擊“OK”，信息輸入完成。10、在“Job”頁面點擊然 “Run” 按鈕，回到自動運行狀態(tài)。機械手自動送舟到

7、SiC槳上，開始運行工藝。 生產操作（六）生產操作（六）11、當某一管的“Tube state” 顯示藍色時，需要人工輸入信息，打開相應管的CESAR界面。12、在紅色的對話框“Adjust temperature?”中輸入需要修改的溫度或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。 生產操作（七）生產操作（七）13、在彈出的紅色對話框“Adjust diffusion time?”中輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。 14、在彈出的紅色對話框“Adjust drive in time?” 中輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵,信息輸入完畢，槳自動

8、送舟到石英管，開始擴散工藝。 生產操作（八）生產操作（八）15、當工藝運行完，自動取舟到“Storage”位置冷卻；冷卻后“Slider”自動取舟到下料位置并伴有蜂鳴提示，進行取舟卸片和測試方塊電阻；再放上需要擴散的舟。 16、同時CMI電腦彈出“Boat Info”界面，點擊“Unload done”按鈕，在軟件中完成卸舟信息。17、進入“Boat Info Mode Select”界面，選擇“Wafer（Production wafer with host validation）”項，點擊“OK”按鈕。 關機操作（一）關機操作（一）1、檢查并確定各管工藝已運行完畢，設定“Paddle”溫度

9、為500：按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,輸入“500”并按 “ENTER” 確認。2、逆時針旋轉TGA頂部調壓閥，關閉爐門的壓縮空氣，使壓力為零。 關機操作（二）關機操作（二）3、當各管爐溫降到500，用手推開爐門5mm左右，防止冷凝后偏磷酸粘住爐門。 4、設定“Spike”溫度到20。按下“Manual/T_Spike/All/Setpoint”,輸入“20” 并按確認“ENTER”。5、在CMI觸摸屏上分別關閉1-4管的CESAR系統(tǒng)，按下“Service/Shutdown/Yes”；并且關閉氣柜上1-4管“CESAR”的開關。 關機操作（三）關機操作（

10、三）6、按下恒溫箱控制面板的“RUN”按鈕，使恒溫箱停止工作，再關閉黑色的電源開關。 7、退出CMI軟件，關閉CMI電腦。 關機操作（四）關機操作（四）8、關閉設備冷卻水：先關進水閥，再關出水閥。 9、關閉電器柜總斷路器，使設備斷電。 關機操作（五）關機操作（五）10、關閉氣柜的氮氣、氧氣和壓縮空氣的手動閥。維護保養(yǎng)（一）維護保養(yǎng)（一）1、清理冷卻瓶和過濾瓶的偏磷酸。清理冷卻瓶和過濾瓶的偏磷酸。2、檢查并更換聚四氟密封圈。、檢查并更換聚四氟密封圈。維護保養(yǎng)（二）維護保養(yǎng)（二）3、檢查并清理氣柜抽風管道下部的偏磷酸。、檢查并清理氣柜抽風管道下部的偏磷酸。4、清理冷阱內部和盛放冷凝瓶的接液盤。、清

11、理冷阱內部和盛放冷凝瓶的接液盤。維護保養(yǎng)（三）維護保養(yǎng)（三）5、檢查石英管內的碎片并清理。、檢查石英管內的碎片并清理。6、清理石英管口冷凝的偏磷酸。、清理石英管口冷凝的偏磷酸。維護保養(yǎng)（四）維護保養(yǎng)（四）7、檢查冷卻水管道和、檢查冷卻水管道和SSR冷卻部分是否漏水。冷卻部分是否漏水。8、檢查觸摸屏使用是否正常，矯正。、檢查觸摸屏使用是否正常，矯正。生產提示生產提示-信號指示燈信號指示燈1、黃色燈：手動狀態(tài)；警告或在設定模式時警告，沒有蜂、黃色燈：手動狀態(tài)；警告或在設定模式時警告，沒有蜂鳴報警。鳴報警。2、綠色燈：自動狀態(tài)；暫停狀態(tài)和準備好可以操作，沒有、綠色燈：自動狀態(tài)；暫停狀態(tài)和準備好可以操作，沒有蜂鳴報警。蜂鳴報警。3、藍色燈：需要人工輸入信息，沒有蜂鳴報警。、藍色燈：需要人工輸入