真空熱處理工藝原理

1、真空熱處理工藝原理真空熱處理工藝原理2真空熱處理工藝原理真空熱處理工藝原理v金屬在真空狀態(tài)下的相變特點及其表面狀態(tài)金屬在真空狀態(tài)下的相變特點及其表面狀態(tài)v氣體與金屬及其表面的作用氣體與金屬及其表面的作用v真空狀態(tài)下金屬表面的氧化真空狀態(tài)下金屬表面的氧化v真空下金屬的脫碳真空下金屬的脫碳v金屬的蒸發(fā)金屬的蒸發(fā)3金屬在真空狀態(tài)下的相變特點金屬在真空狀態(tài)下的相變特點v對金屬晶格施加外壓強對金屬晶格施加外壓強p，體積，體積V產(chǎn)生產(chǎn)生V變化有：變化有： p=-G(V/V)；(G：體積彈性模量）：體積彈性模量）vp V U， U 為金屬總結(jié)合能為金屬總結(jié)合能U的變化量；的變化量；v外壓強所引起的晶體體積和

2、結(jié)合能的變化將對伴隨外壓強所引起的晶體體積和結(jié)合能的變化將對伴隨有體積（比容）及原子間距離、晶格常數(shù)變化的相有體積（比容）及原子間距離、晶格常數(shù)變化的相變具有促進或抑制作用。變具有促進或抑制作用。v外壓強造成的彈性應(yīng)力將促進或抑制溶質(zhì)原子的擴外壓強造成的彈性應(yīng)力將促進或抑制溶質(zhì)原子的擴散。散。4壓力對相變的影響壓力對相變的影響鐵碳合金的溫度成分壓力相圖5壓力對相變的影響壓力對相變的影響0.44%C鋼在鋼在1atm及及24kbar壓力下的等溫的等溫轉(zhuǎn)變曲線圖壓力下的等溫的等溫轉(zhuǎn)變曲線圖6壓力對相變的影響壓力對相變的影響在在1atm及及30kbar壓力下，柱狀組織與壓力下，柱狀組織與馬氏體轉(zhuǎn)變的含

3、碳量溫度關(guān)系曲線馬氏體轉(zhuǎn)變的含碳量溫度關(guān)系曲線7金屬在真空狀態(tài)下的表面狀態(tài)金屬在真空狀態(tài)下的表面狀態(tài)v表面指固體金屬最外層的表面指固體金屬最外層的110個單原子層，其厚個單原子層，其厚度約為幾幾十埃。度約為幾幾十埃。v金屬的表面結(jié)構(gòu)金屬的表面結(jié)構(gòu) 金屬表面由于中斷了晶體內(nèi)原子排列的三維周期及金屬表面由于中斷了晶體內(nèi)原子排列的三維周期及破壞了表面電子特性等原因，從而導(dǎo)致了表面原子破壞了表面電子特性等原因，從而導(dǎo)致了表面原子位置的變動以使表面原子的位能（表面能）降低。位置的變動以使表面原子的位能（表面能）降低。v表面吸附表面吸附0.22.862.818 By J Liang表面能表面能表面能的產(chǎn)生

4、表面能的產(chǎn)生面心立方晶體（面心立方晶體（100）為表面）為表面9 By J Liang清清潔潔表表面面的的結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)和和特特點點10氣體與金屬及其表面的作用氣體與金屬及其表面的作用v吸附吸附: 氣體分子與金屬表面相互作用并附著于金屬氣體分子與金屬表面相互作用并附著于金屬表面的現(xiàn)象表面的現(xiàn)象;v吸收吸收: 氣體與金屬表面相互作用并進入到金屬內(nèi)部氣體與金屬表面相互作用并進入到金屬內(nèi)部的現(xiàn)象的現(xiàn)象;v退吸退吸:吸附的逆過程；吸附的逆過程；v金屬對氣體的收附：吸附與吸收同時存在的現(xiàn)象；金屬對氣體的收附：吸附與吸收同時存在的現(xiàn)象；v氣體分子在金屬中的擴散氣體分子在金屬中的擴散v金屬的除氣：將吸收的氣體原子

5、或分子自金屬內(nèi)部金屬的除氣：將吸收的氣體原子或分子自金屬內(nèi)部排走并呈氣體從金屬表面析出的過程。排走并呈氣體從金屬表面析出的過程。11氣體在金屬表面的吸附氣體在金屬表面的吸附v物理吸附物理吸附v 范德華力、無選擇性、速度較快、可多分子層、易解吸，可范德華力、無選擇性、速度較快、可多分子層、易解吸，可逆。逆。v化學(xué)吸附化學(xué)吸附v 結(jié)合力與化合物中原子間化學(xué)鍵的力相似、特定的固氣體結(jié)合力與化合物中原子間化學(xué)鍵的力相似、特定的固氣體系間、速度較慢、單分子層、難吸解、不可逆。系間、速度較慢、單分子層、難吸解、不可逆。v吸附過程是金屬對氣體收附現(xiàn)象的基礎(chǔ)。吸附過程是金屬對氣體收附現(xiàn)象的基礎(chǔ)。12退吸退吸v

6、退吸過程受對吸附過程有影響的各因素的影響，包退吸過程受對吸附過程有影響的各因素的影響，包括：壓力、溫度、零件的形狀及其表面狀況等。括：壓力、溫度、零件的形狀及其表面狀況等。v一定溫度，壓力降低可產(chǎn)生退吸；退吸是吸熱過程，一定溫度，壓力降低可產(chǎn)生退吸；退吸是吸熱過程，提高溫度可以加速退吸；提高溫度可以加速退吸；v利用退吸降低爐內(nèi)壓力并提高溫度將各種氣體分子利用退吸降低爐內(nèi)壓力并提高溫度將各種氣體分子（對金屬產(chǎn)生不利反應(yīng)的氣體分子，氧、二氧化碳）（對金屬產(chǎn)生不利反應(yīng)的氣體分子，氧、二氧化碳）從金屬零件表面退吸掉或部分退吸掉。從金屬零件表面退吸掉或部分退吸掉。13金屬對氣體的收附作用金屬對氣體的收附

7、作用v多種金屬及合金（液態(tài)或固態(tài)）對多種氣體多種金屬及合金（液態(tài)或固態(tài)）對多種氣體均有收附作用均有收附作用v液態(tài)金屬對氣體的收附能力遠大于固態(tài)金屬。液態(tài)金屬對氣體的收附能力遠大于固態(tài)金屬。在不同溫度下金屬對氫的溶解度在不同溫度下金屬對氫的溶解度溶解度溶解度s的單位為每的單位為每100g金屬對標準態(tài)氣體容積單位為金屬對標準態(tài)氣體容積單位為cm3的溶解量的溶解量鐵鐵 溫度溫度15001535（熔點）（熔點）15501650溶解度溶解度s12.75 27.7530.97鎳鎳溫度溫度14001452（熔點）（熔點）15001600溶解度溶解度s16.52 41.643.1銅銅溫度溫度10001083（

8、熔點）（熔點）11001200溶解度溶解度s1.582.10（固態(tài)）（固態(tài)）6.38.1 6.10（液態(tài)）（液態(tài)） 14氣體原子在金屬中的擴散氣體原子在金屬中的擴散v由吸附變?yōu)槭崭绞呛徒饘俦砻嬖优c吸附氣體分子由吸附變?yōu)槭崭绞呛徒饘俦砻嬖优c吸附氣體分子（原子）（原子） 之間的表面反應(yīng)及氣體原子（或質(zhì)子）之間的表面反應(yīng)及氣體原子（或質(zhì)子） 在金屬中的擴散兩個基本過程有關(guān)。在金屬中的擴散兩個基本過程有關(guān)。v氣體原子在金屬中的擴散服從費克第一定律，即在氣體原子在金屬中的擴散服從費克第一定律，即在穩(wěn)定態(tài)（金屬試樣中的氣體原子濃度不隨時間而變）穩(wěn)定態(tài)（金屬試樣中的氣體原子濃度不隨時間而變）時，時， 有

9、下式：有下式：qD（dC/dx） q單位時間（單位時間（s）內(nèi)通過垂直于擴散方向的單位面積（）內(nèi)通過垂直于擴散方向的單位面積（cm2）的擴散物）的擴散物質(zhì)量，質(zhì)量，D擴散系數(shù)，擴散系數(shù)，dC/dxx方向上的濃度（方向上的濃度（C）梯度，擴散由濃度）梯度，擴散由濃度高到低進行。高到低進行。 15氣體原子在金屬中的擴散氣體原子在金屬中的擴散v氣體原子在金屬中是通過晶格而主要不是晶界進氣體原子在金屬中是通過晶格而主要不是晶界進行擴散的；行擴散的；v任意時刻，擴散只在金屬表面的氣體吸附層處進任意時刻，擴散只在金屬表面的氣體吸附層處進行；行；v不同的表面處理可引起不同的擴散效果。不同的表面處理可引起不同

10、的擴散效果。材料材料表面處理方式表面處理方式溫度溫度壓力壓力p mmHg擴散速度擴散速度q（atmcm3/(cm2s)）（10-6）鎳鎳拋光拋光氧化和還原氧化和還原拋光拋光氧化和還原氧化和還原7507507507500.0420.0420.0910.091 1.392.702.914.23鐵鐵拋光拋光酸蝕酸蝕拋光拋光600氧化和還原氧化和還原800氧化和還原氧化和還原4004005905905900.770.770.0730.0730.073 0.4710-7 4.41.280.761.5416金屬中的氣體元素金屬中的氣體元素v氣體元素在金屬中以幾種形態(tài)存在：氣體元素在金屬中以幾種形態(tài)存在：分

11、解并以原子或離子形態(tài)固溶于金屬中；分解并以原子或離子形態(tài)固溶于金屬中；由于位錯的應(yīng)力場作用，氣體原子可集聚與位錯處由于位錯的應(yīng)力場作用，氣體原子可集聚與位錯處形成柯氏氣團；形成柯氏氣團；金屬與氣體元素形成化合物存在于金屬表面或呈夾金屬與氣體元素形成化合物存在于金屬表面或呈夾雜存在于金屬內(nèi)部。雜存在于金屬內(nèi)部。以分子形式存在于氣孔、白點和顯微裂紋中；以分子形式存在于氣孔、白點和顯微裂紋中；氣體在金屬表面和內(nèi)部氣孔表面化學(xué)及物理吸附；氣體在金屬表面和內(nèi)部氣孔表面化學(xué)及物理吸附；17金屬中含有氣體時的性能特點金屬中含有氣體時的性能特點溶解氣體的含量對再結(jié)晶之后的高熔點金屬的硬度和電阻的影響（1）顯微

12、硬度（2）比電阻溶解氣體的含量對淬火狀態(tài)金屬的機械性能的影響（1）沖擊韌性（2）斷面收縮率18氫脆氫脆v氫脆氫脆v柯垂耳斷裂核心形柯垂耳斷裂核心形成機制成機制v斷裂核心的形成斷裂核心的形成 是由于晶體中產(chǎn)生是由于晶體中產(chǎn)生了局部的塑性變形，了局部的塑性變形，a/2型位錯能型位錯能在滑移面上移動是在滑移面上移動是由于屈服應(yīng)力的作由于屈服應(yīng)力的作用。用。在Fe 100 斷裂平面上斷裂核心的形成過程a/2111+a/2111a001- -19氫脆氫脆v斷裂核心的形成是晶體中產(chǎn)斷裂核心的形成是晶體中產(chǎn)生局部塑性變形，生局部塑性變形，a/2型位錯在滑移面上移動是由型位錯在滑移面上移動是由于屈服應(yīng)力的作用

13、。于屈服應(yīng)力的作用。v屈服應(yīng)力對溫度敏感屈服應(yīng)力對溫度敏感斷裂斷裂強度對溫度敏感強度對溫度敏感v對含氫的鋼：變形速度越小、對含氫的鋼：變形速度越小、溫度越高，脆斷成分高；溫度越高，脆斷成分高；v對不含氫的鋼：變形速度越對不含氫的鋼：變形速度越大，溫度越低，脆斷成分大。大，溫度越低，脆斷成分大。室溫下，應(yīng)變速度對溶有氫（曲線室溫下，應(yīng)變速度對溶有氫（曲線1）及未溶有氫（曲線及未溶有氫（曲線2）鋼的韌性的影響）鋼的韌性的影響A0：試棒原始斷面積，：試棒原始斷面積，A：試棒斷裂處的斷面積：試棒斷裂處的斷面積20西佛斯定律西佛斯定律v氣體如氫氣、氧氣、氮氣在金屬中的溶解度氣體如氫氣、氧氣、氮氣在金屬中

14、的溶解度于其分壓的平方根成正比于其分壓的平方根成正比vS=KP S氣體在金屬中的溶解度，氣體在金屬中的溶解度，P氣氛中被溶解于金屬中的氣體分壓，氣氛中被溶解于金屬中的氣體分壓，K西佛西佛斯常數(shù)，與溫度有關(guān)斯常數(shù)，與溫度有關(guān)21兩種類型的除氣過程兩種類型的除氣過程vA型除氣：真空條件下，金屬中的氣體是型除氣：真空條件下，金屬中的氣體是以分子形式或以分子狀態(tài)從金屬表面釋放以分子形式或以分子狀態(tài)從金屬表面釋放出來，并隨機被真空泵抽走；出來，并隨機被真空泵抽走；vB型除氣：以與金屬生成的化合物蒸氣自型除氣：以與金屬生成的化合物蒸氣自金屬表面揮發(fā)而將其除去。金屬表面揮發(fā)而將其除去。22表面反應(yīng)在除氣過程

15、中的作用表面反應(yīng)在除氣過程中的作用vN金屬中金屬中 N吸附吸附(過程過程1) N吸附吸附N 2吸附吸附(過程過程2)vN吸附吸附 +H吸附吸附 NH吸附吸附 NH吸附吸附+ H吸附吸附 NH2吸附吸附 NH2吸附吸附+ H吸附吸附 NH3吸附吸附 NH3吸附吸附NH3氣體氣體按體積比在氮（或氬）氣中混以氫氣按體積比在氮（或氬）氣中混以氫氣對對0.7mm純鐵絲脫氮的影響純鐵絲脫氮的影響600C/0.5h 充氣總壓充氣總壓750TorrC0 試樣原始含氮量：試樣原始含氮量：0.025-0.027wt%Ct在各種實驗條件下獲得的含氮量在各種實驗條件下獲得的含氮量wt%23除氣過程除氣過程v氣體以原子

16、或離子形式存在金屬點陣，其除氣體以原子或離子形式存在金屬點陣，其除氣過程為：氣過程為：v溶解于固體金屬內(nèi)，溶解于固體金屬內(nèi)， 位于金屬點陣間作為間位于金屬點陣間作為間隙原子的氣體原子或離子，隙原子的氣體原子或離子， 在真空除氣開始在真空除氣開始通過空通過空 隙隙,沿晶界或小平面形狀的點陣缺陷如沿晶界或小平面形狀的點陣缺陷如位錯、低角晶界向表面擴散；位錯、低角晶界向表面擴散；被吸附在金屬表面的相同氣體的原子重新結(jié)合為氣被吸附在金屬表面的相同氣體的原子重新結(jié)合為氣體分子；體分子；H吸附吸附 +H吸附吸附 H224除氣過程除氣過程被吸附在金屬表面的不同氣體的原子化合為新的氣被吸附在金屬表面的不同氣體

17、的原子化合為新的氣體分子；體分子；C吸附吸附 +O吸附吸附 COC吸附吸附 +2O吸附吸附 CO2被吸附在金屬表面的氣體原子與金屬基本點陣的原被吸附在金屬表面的氣體原子與金屬基本點陣的原子結(jié)合而生成化合物子結(jié)合而生成化合物 Ta吸附吸附 +O吸附吸附 TaOv重新結(jié)合的氣體分子脫離固體金屬表面進入重新結(jié)合的氣體分子脫離固體金屬表面進入真空室并被真空泵抽走，金屬內(nèi)部除氣。真空室并被真空泵抽走，金屬內(nèi)部除氣。25除氣過程除氣過程v氣體以分子形式存在與金屬內(nèi)部的氣孔、裂氣體以分子形式存在與金屬內(nèi)部的氣孔、裂紋中，其除氣過程為：紋中，其除氣過程為：氣體分子在氣孔或裂縫處成物理吸附狀態(tài)；氣體分子在氣孔或

18、裂縫處成物理吸附狀態(tài)；由物理吸附變?yōu)榛瘜W(xué)吸附并分解為氣體原子或離子；由物理吸附變?yōu)榛瘜W(xué)吸附并分解為氣體原子或離子；分解的氣體原子或離子溶解于金屬點陣中；分解的氣體原子或離子溶解于金屬點陣中；通過擴散遷移而使氣體原子在金屬表面呈被吸附狀通過擴散遷移而使氣體原子在金屬表面呈被吸附狀態(tài)；態(tài)；按前述除氣過程使氣體從金屬表面除去。按前述除氣過程使氣體從金屬表面除去。26真空加熱技術(shù)特點真空加熱技術(shù)特點v優(yōu)點：優(yōu)點：v防止氧化作用、無氫脆防止氧化作用、無氫脆v真空脫氣、脫脂作用真空脫氣、脫脂作用v淬火變形小、節(jié)約能源淬火變形小、節(jié)約能源v工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好v生產(chǎn)成本低、耗電少生產(chǎn)成本低、

19、耗電少1.操作安全、自動化程度高。操作安全、自動化程度高。v缺點缺點:v真空中蒸發(fā)較大的元素真空中蒸發(fā)較大的元素1.設(shè)備一次性投資較大設(shè)備一次性投資較大27真空狀態(tài)下金屬表面的氧化及分解真空狀態(tài)下金屬表面的氧化及分解vMO = M+1/2O2vGG0RTlnpO21/2 G 吉布斯函數(shù)的改變吉布斯函數(shù)的改變G0標準吉布斯函數(shù)的改變標準吉布斯函數(shù)的改變R為氣體常數(shù)為氣體常數(shù)T溫度；溫度；v常壓下常壓下G00, G0,金屬氧化物一般不分解；高金屬氧化物一般不分解；高溫下僅有少數(shù)溫下僅有少數(shù)HgO，Ca2O，Ag2O等氧化物分解；等氧化物分解；v真空狀態(tài)下高溫真空狀態(tài)下高溫G0則氧化物分解。則氧化物

20、分解。28防止氧化作用防止氧化作用v 金屬的氧化與氧化物的分解：金屬的氧化與氧化物的分解：2M+O2=2MOv 氧化反應(yīng)的速度由離子在氧化膜晶格中氧化反應(yīng)的速度由離子在氧化膜晶格中的擴散過程決定瓦格納電化學(xué)模型：的擴散過程決定瓦格納電化學(xué)模型：dn/dt=(px1/n(s)- px1/n(m) n為為t秒中氧化膜增加的重量；秒中氧化膜增加的重量；px(s) 為氧分壓；為氧分壓；px(m)為為氧化物分解壓；氧化物分解壓；v 真空中氧的分壓大于氧化物的分解壓真空中氧的分壓大于氧化物的分解壓PO2時，金屬氧化；反之，當時，金屬氧化；反之，當MO的分解的分解壓力大于真空中氧的分壓時，壓力大于真空中氧的

21、分壓時，MO會分會分解出金屬來。解出金屬來。金屬氧化物分解壓力29防止氧化作用防止氧化作用與不同的金屬氧化物呈平衡態(tài)的分壓比pH2O/pH2v 金屬氧化物與金屬基體中的金屬氧化物與金屬基體中的C作用并形成作用并形成COMO+CM=COv 殘余氣體中的殘余氣體中的CO2與鋼表面與鋼表面反應(yīng)反應(yīng)C+CO22COv 殘余氣體中仍有殘余氣體中仍有CO2，則則Fe+CO2FeO+CO3FeO+CO2Fe3O4+CO30真空下脫碳真空下脫碳v脫碳的危害脫碳的危害v水蒸氣加強脫碳水蒸氣加強脫碳C4HCH4v氫氣產(chǎn)生脫碳氫氣產(chǎn)生脫碳C2H2CH4在不同溫度下分壓比pCH4/p2H2與不同含碳量的鋼的平衡曲線3

22、1真空中元素的蒸發(fā)真空中元素的蒸發(fā)v金屬及合金在一定溫度金屬及合金在一定溫度及真空度下具有蒸發(fā)現(xiàn)及真空度下具有蒸發(fā)現(xiàn)象，對真空熱處理有不象，對真空熱處理有不可忽視的影響?？珊鲆暤挠绊?。v蒸汽壓表達式蒸汽壓表達式 logpA-B/T (mHg)v真空度的適當選擇。真空度的適當選擇。金屬蒸氣壓與溫度關(guān)系金屬蒸氣壓與溫度關(guān)系（圖中圓點表示熔點）（圖中圓點表示熔點）32真空中元素的蒸發(fā)及防止真空中元素的蒸發(fā)及防止1Cr18Ni9鋼脫鉻和表面粗糙度鋼脫鉻和表面粗糙度不同不同Ar壓力下，壓力下，Nb的相對蒸發(fā)速度的相對蒸發(fā)速度33金屬元素的蒸發(fā)的防止金屬元素的蒸發(fā)的防止不同純度的不同純度的Ar氣體氣體Mo

23、蒸發(fā)速度的影響，各曲蒸發(fā)速度的影響，各曲線的實驗條件為：線的實驗條件為：a真空容器抽氣至真空容器抽氣至2.510-4 Pa,充入充入氬氣純度氬氣純度99.999，（內(nèi)有，（內(nèi)有Ti絲加熱吸收微量的氧氣和水蒸汽絲加熱吸收微量的氧氣和水蒸汽等）等）b410-3 Pa,氬氣純度同氬氣純度同a，有，有Ti絲加熱；絲加熱；c410-3 Pa,氬氣純度同氬氣純度同a；d410-3 Pa,氬氣純度氬氣純度99.9。1100C、10-2Pa條件下進行真空退火，高速鋼條件下進行真空退火，高速鋼（M41）表面的元素含量隨加熱時間的變化。）表面的元素含量隨加熱時間的變化。34真空脫脂作用真空脫脂作用v金屬表面油脂的

24、產(chǎn)生金屬表面油脂的產(chǎn)生熱處理前機械加工、沖壓成型的冷卻劑、潤滑劑熱處理前機械加工、沖壓成型的冷卻劑、潤滑劑搬運過程的污染搬運過程的污染v常規(guī)的脫脂方法常規(guī)的脫脂方法v真空脫脂真空脫脂35真空無氧化加熱的基本原理真空無氧化加熱的基本原理v金屬實現(xiàn)無氧化加熱的基本條件金屬實現(xiàn)無氧化加熱的基本條件v降低真空中氧分壓的主要途徑降低真空中氧分壓的主要途徑v氧分壓與真空度的近似關(guān)系氧分壓與真空度的近似關(guān)系v金屬實現(xiàn)物氧化加熱所需的真空度金屬實現(xiàn)物氧化加熱所需的真空度v原理的實際應(yīng)用原理的實際應(yīng)用 控制真空爐漏、放氣的重要性及真空度、脫氧劑的選擇控制真空爐漏、放氣的重要性及真空度、脫氧劑的選擇36真空實現(xiàn)無

25、氧化加熱的基本條件真空實現(xiàn)無氧化加熱的基本條件v 氣氛中氧的分壓低于金屬氧化物氣氛中氧的分壓低于金屬氧化物的平衡分解壓的平衡分解壓v MO2=M+O2v pO2=Kp(金屬氧化物的平衡分解金屬氧化物的平衡分解壓壓pO2就是上述化學(xué)反應(yīng)式中的就是上述化學(xué)反應(yīng)式中的化學(xué)反應(yīng)平衡常數(shù)化學(xué)反應(yīng)平衡常數(shù)Kp）v Kp=-FT/RT FT自由能變化值（自由能變化值（J/mol)v 金屬氧化物的平衡分解壓隨溫度金屬氧化物的平衡分解壓隨溫度升高而加大。升高而加大。鋼中常見元素氧化物的平衡分解鋼中常見元素氧化物的平衡分解壓隨溫度變化曲線壓隨溫度變化曲線37降低真空爐中氧分壓的主要途徑降低真空爐中氧分壓的主要途徑

26、v 碳與氧和水化合成一氧化碳與氧和水化合成一氧化碳和氫氣碳和氫氣v 碳在高溫與氧和水化合生碳在高溫與氧和水化合生成成CO、CO2、H2，可以顯，可以顯著降低氣氛中的氧分壓；著降低氣氛中的氧分壓；v 加熱后真空爐中的反應(yīng)主加熱后真空爐中的反應(yīng)主要是碳和水，生成碳的氧要是碳和水，生成碳的氧化物及氫氣；化物及氫氣；v pCO2 / pCO2=Kpv2CO=2C+O2vCO2=C+O2vCO+ H2 =C+ H2 OvCO2 +2H2 =C+2H2Ov2CO= CO2 +C38氧分壓與工作真空度的近似關(guān)系氧分壓與工作真空度的近似關(guān)系v 不同溫度下，氧分壓與一氧化碳不同溫度下，氧分壓與一氧化碳分壓的關(guān)系

27、分壓的關(guān)系 2CO=2C+O2v pO2=Kppco2v 當溫度恒定時，一氧化碳分壓每當溫度恒定時，一氧化碳分壓每降低一個數(shù)量級，氧分壓降低兩降低一個數(shù)量級，氧分壓降低兩個數(shù)量級。個數(shù)量級。v 一氧化碳分壓恒定時，所對應(yīng)的一氧化碳分壓恒定時，所對應(yīng)的氧的分壓隨溫度升高而增大。氧的分壓隨溫度升高而增大。Pco 為恒壓時與為恒壓時與po2 隨溫度隨溫度變化曲線變化曲線39真空實現(xiàn)無氧化加熱的真空度真空實現(xiàn)無氧化加熱的真空度金屬氧化物平衡分解壓對應(yīng)于一金屬氧化物平衡分解壓對應(yīng)于一氧化碳分壓的平衡曲線氧化碳分壓的平衡曲線v金屬氧化物平衡分解壓對應(yīng)的一氧化碳分壓金屬氧化物平衡分解壓對應(yīng)的一氧化碳分壓金屬氧化物平衡分解壓與一氧化碳恒金屬氧化物平衡分解壓與一氧化碳恒壓時的平衡分解壓的對應(yīng)曲線壓時的平衡分解壓的對應(yīng)曲線40影響真空熱處理質(zhì)量的因素影響真空熱處理質(zhì)量的因素工件裝爐方式對加熱速度工件裝爐方式對加熱速度的影響的影響1爐溫；爐溫；2工件整齊排放工件整齊排放3工件堆積放置工