HRS-MF-039拉晶作業(yè)指導(dǎo)書(shū)(A2版)

1、工序名稱(chēng)進(jìn)車(chē)間前準(zhǔn)備適用范圍目的NO.作業(yè)順序"穿戴工作服裝頁(yè)數(shù)1/32拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)持有車(chē)間硅棒部進(jìn)入車(chē)間前準(zhǔn)備工作 保證作業(yè)環(huán)境 作業(yè)內(nèi)容1、換好工作服、防塵鞋、防塵帽作業(yè)環(huán)境的溫度2 要求2、車(chē)間溫度保持在保證工作環(huán)境的溫度2 考前須知工作服要潔凈、穿戴整齊單晶待檢單晶的取出HRS-MF-03拉晶作業(yè)指導(dǎo)書(shū)2.11修改 拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)作業(yè)流程圖硅棒部2/32適用范圍拉晶作業(yè)目的作業(yè)流程指導(dǎo)第2頁(yè)，共32頁(yè)第2頁(yè)，共32頁(yè)拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)真空泵的清理及泵油的更換硅棒部3/32適用范圍作業(yè)流程圖目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1放油1、換油員工準(zhǔn)備

2、好專(zhuān)用工具及棉絲置于就近位置。2、拉晶員工關(guān)閉主泵球閥。并在爐臺(tái)上懸掛"禁止啟動(dòng)真空泵"標(biāo)識(shí)牌。3、換油員工將廢油桶置于真空泵放油口下方翻開(kāi)上腔放油開(kāi)關(guān)，取下泵尾氣管。4、換油員工堵嚴(yán)尾氣口，緩慢翻開(kāi)下腔放油閥使之緩慢進(jìn)氣進(jìn)行快速放油，廢油倒入 指定油池。5、換油員工放完油后關(guān)閉上下腔放油閥，而后關(guān)閉真空泵斷開(kāi)真空泵對(duì)應(yīng)的空氣開(kāi)關(guān)。泵油每5爐更換一次?？记绊氈霸?、確認(rèn)關(guān)閉真空泵是否關(guān)閉到位。否那么會(huì)造成爐內(nèi)返氣。2、放油時(shí)應(yīng)靠下腔放油閥調(diào)解泵腔壓力，以免泵腔內(nèi)壓力過(guò)大尾氣口關(guān)閉不嚴(yán)使油煙 外泄擴(kuò)散到泵房。3、切記關(guān)閉上下腔的放油閥，防止漏油。4、處理廢油時(shí)注意泵房衛(wèi)生

3、。5、一定要斷開(kāi)真空泵控制開(kāi)關(guān)，以防他人不慎觸動(dòng)真空泵開(kāi)啟按鈕，造成人身傷害。6、杜絕在除塵罐處充氣。7、每次換油時(shí)將上泵腔內(nèi)的沉積物清理干凈。7、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。2清泵1、換油員工用工具翻開(kāi)真空泵側(cè)蓋，置于適當(dāng)位置。2、換油員工用棉絲徹底清理真空泵腔、及側(cè)蓋的油污70泵下腔濾油網(wǎng)。3、清掃完畢后，安裝好濾網(wǎng)而后安裝好側(cè)蓋。考前須知及原由1、側(cè)蓋在翻開(kāi)、安裝時(shí)小心操作，防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油。2、70泵切記安裝濾網(wǎng)。120泵噴油管對(duì)準(zhǔn)觀察窗利于觀察真空泵的工作狀態(tài)。3、泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其它異物，不然會(huì)造成油路的堵塞導(dǎo)致真空泵卡死。4、清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。

4、5、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。3注油1、換油員工翻開(kāi)真空泵注油口。2、換油員工將加油管放入真空泵注油孔。3、換油員工開(kāi)啟加油泵開(kāi)始注油。4、換油員工觀察真空泵油位至油位觀察窗1/2位置。5、換油員工關(guān)閉注油泵，取下注油管，移至適當(dāng)位置以防漏油，翻開(kāi)泵側(cè)的油路管道 閥門(mén)向下腔放油。6、換油員工裝上尾氣管，關(guān)閉注油口。7、拉晶員工開(kāi)啟真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門(mén)，觀察油位是否處于油位觀察窗1/3-1/2 位置。假設(shè)低于下限重復(fù)以上操作?？记绊氈霸?、注油管保持清潔。防止異物進(jìn)入泵腔。2、注油時(shí)注意注油管掉落且不要超過(guò)上限油位以防噴油。3、切記安裝好尾氣管及注油孔，以防開(kāi)

5、泵時(shí)噴油或油氣污染泵房。4、對(duì)灑落在地面的油污用鋸沫吸附收集，不準(zhǔn)沖洗至下水道內(nèi)，防止對(duì)環(huán)境的污染。5、注意清理真空泵及周?chē)l(wèi)生。6、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。7、操作人員需要做好相關(guān)記錄。拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全且保持潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)。2、取單晶前一定要將爐體徹底擦拭干凈，有利于整體環(huán)境，防止交叉污染。3、擦拭爐體時(shí)要小心，防止將所有控制接線及開(kāi)關(guān)碰斷或碰壞。單晶取1、單晶冷卻完畢后，關(guān)閉Ar氣同時(shí)提升單晶至副室，各爐型最大等頸長(zhǎng)度見(jiàn)下表，從小副室觀察窗確認(rèn) 單晶升至所需高度，蓋住翻板。假設(shè)等頸長(zhǎng)度超出以下范圍，那么升到相應(yīng)高度那么

6、不可以再升單晶。mm京運(yùn)通80爐華盛天龍85爐京運(yùn)通90爐創(chuàng)聯(lián)120爐1300 整棒等徑長(zhǎng)度910960146011502、待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限后關(guān)閉主室球閥，關(guān)閉真空泵電源后進(jìn)行檢漏，進(jìn)行相應(yīng)記錄。假設(shè)漏率大于0.5pa/min那么需要通知班長(zhǎng)進(jìn)行自查或?qū)で缶S修人員進(jìn)行維修。未收尾時(shí)等徑長(zhǎng)度106011101610工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)單晶的取出硅棒部4/32適用范圍拆爐時(shí)單晶的取出目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容作業(yè)準(zhǔn)O1備1、準(zhǔn)備好帆布手套或純棉紗手套、耐高溫手套、擦爐用的棉絲或紙巾。2、準(zhǔn)備好鉗子、取單晶的小車(chē)晶筐3、用濕棉絲或紙巾將爐體從上到下擦拭干凈。3、假設(shè)無(wú)異常，蓋好翻板閥，從副

7、室充入 Ar氣至常壓，翻開(kāi)副室小門(mén)，再翻開(kāi)液壓泵，升起副室大熱場(chǎng)3、假設(shè)無(wú)異常，蓋好翻板閥，從副室充入 Ar氣至常壓，翻開(kāi)副室小門(mén)，再翻開(kāi)液壓泵，升起副室大熱場(chǎng)直接從副室沖入氬氣至常壓，副室及爐蓋一起移動(dòng)，向主室沖入氬氣至常壓，升起爐蓋。4把平安接晶盤(pán)移到爐筒口中央正下方處，緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)副室至側(cè)面大熱場(chǎng)，緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)副室及爐蓋至側(cè)面5、把取單晶的晶筐或小車(chē)放在副室爐筒或爐蓋的正下方，準(zhǔn)備接單晶。6、穩(wěn)定單晶，移開(kāi)平安接盤(pán)，按下晶快降，將單晶降入晶筐或小車(chē)內(nèi)。7、確認(rèn)單晶完全放入晶筐或小車(chē)內(nèi)后，拿無(wú)塵紙捏住籽晶，用鉗了將籽晶從細(xì)徑處夾斷，為防止重 錘高速旋轉(zhuǎn)，不要松開(kāi)籽晶，待鋼絲繩取消擰力后再將籽晶從重

8、錘上取下，放在指定場(chǎng)所，再將重錘升至 副室內(nèi)適當(dāng)位置鉬夾頭剛?cè)敫笔視r(shí)?？记绊氈霸?、提升單晶過(guò)程中，注意單晶的位置，防止過(guò)高或過(guò)低以造成拉斷鋼絲繩或翻板磕碰單晶。2、泄漏率0.5Pa/min 以下為正常。否那么有關(guān)人員處理并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。3、升起副室前必須確認(rèn)爐內(nèi)壓力為常壓。4、緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)副室，防止單晶與副室內(nèi)壁碰撞，必須將平安接盤(pán)移至爐筒口處，防止單晶在移動(dòng)過(guò)程中墜 落。5、取單晶的晶筐或小車(chē)必須放置平穩(wěn)，應(yīng)與單晶垂直對(duì)齊，防止單晶突然脫落掉進(jìn)晶筐或小車(chē) 內(nèi)摔壞單晶。6、夾斷細(xì)徑后，應(yīng)穩(wěn)定重錘，防止重錘快速轉(zhuǎn)動(dòng)，損壞鋼絲繩。重錘、籽晶溫度高，不可用手直接接 觸7、取籽晶時(shí)應(yīng)慎重作業(yè)，防止

9、損壞籽晶。&單晶冷卻后，必須及時(shí)、準(zhǔn)確的依照編碼規(guī)那么對(duì)晶棒記錄編號(hào)用記號(hào)筆標(biāo)注石墨件的取出適用范圍目的5/32適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時(shí)整個(gè)熱場(chǎng)的取出硅棒部NO.1作業(yè)順序取出導(dǎo)流筒及大蓋1、準(zhǔn)備好不銹鋼小車(chē)。取出殘骸標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容2、依次戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套。3、按順序取出導(dǎo)流筒及保溫大蓋。4、取岀的石墨件要放在不銹鋼臺(tái)車(chē)上。高溫的下保溫蓋與導(dǎo)流筒下沿不準(zhǔn)直接 接觸不銹鋼1、準(zhǔn)備好耐高溫手套、帆布手套或純棉紗布手套、鉗子、不銹鋼筒。2、用鉗子夾住石英堝的上端局部提起，使其松動(dòng)。3、戴好耐高溫手套將石英堝和堝底料取出并全部放入不銹鋼筒。假設(shè)出現(xiàn)悶爐等意3

10、、戴好耐高溫手套將石英堝和堝底料取岀并全部放入不銹鋼筒。假設(shè)岀現(xiàn)悶爐等意 外情況那么是能隨石英堝體一并取岀的一并取岀，否那么，用耐高溫手套、鉗子像裝料考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)。2、依次戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套。取導(dǎo)流筒及大蓋時(shí)要從 爐內(nèi)向上平移，輕拿輕放，小心燙傷人身及衣服，切忌石墨件的碰撞造成損壞及對(duì) 成型氈的磕碰，造成成型氈與熱電堆孔發(fā)生偏移影響歐陸，影響溫度，影響成晶。3、不銹鋼小車(chē)上一定要平鋪一層石墨板，而且要處于潔凈狀態(tài)，一是為了防止重 金屬原子在高溫時(shí)向石墨件的擴(kuò)散，進(jìn)而在拉晶時(shí)向單晶內(nèi)的擴(kuò)散，影響了單晶的 壽命，二是

11、不潔凈的石墨條對(duì)石墨件的再次污染。4、用工具操作時(shí)注意別磕碰壞石墨件，爐內(nèi)溫度高小心燙傷人身及衣服，切忌將堝底料不慎從熱場(chǎng)的縫隙掉下，這一工序盡量把堝內(nèi)的料全部取出5、對(duì)異常事故所出現(xiàn)的悶爐料一定要寫(xiě)明原因 方便以后對(duì)原料的處理。2、依次取岀三瓣堝、堝底、堝桿。堝桿從中央孔的位置用堝桿扳手取岀不銹鋼螺栓。3、取出的石墨件一并放在不銹鋼小車(chē)?yán)ё鳂I(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù):石墨件的取出硅棒部6/32適用范圍適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時(shí)整個(gè)熱場(chǎng)的取出目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容3三瓣堝、堝 底、堝桿的取出1戴好帆布手套或純棉紗布手套、耐高溫手套，準(zhǔn)備好堝桿扳手?？记绊氈霸?注意別

12、磕碰壞石墨件，爐內(nèi)溫度高小心燙傷人身及衣服。2、取三瓣堝、堝底時(shí)殘留的堝底料不要掉入爐底及爐底波紋管內(nèi)。假設(shè)岀現(xiàn)這樣的 情況，一定要清理大波紋管，否那么會(huì)造成下?tīng)t液面晃動(dòng)影響成晶，殘留的堝底料一 情況，一定要清理大波紋管，否那么會(huì)造成下?tīng)t液面晃動(dòng)影響成晶，殘留的堝底料一 并將其全部倒入不銹鋼筒內(nèi)。3、取堝桿時(shí)不要使堝桿碰到加熱器、保溫筒等其它石墨件以免造成損壞，取岀后 要將堝桿板手從堝桿內(nèi)取岀放到指定的位置保證堝桿板手再次使用仍然處于常溫以 防燙傷4、不銹鋼小車(chē)在移動(dòng)時(shí)不要碰到車(chē)間其它的物品，以陰燙壞或損壞而污染石墨件。5、操作時(shí)要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞，防止測(cè)溫孔位置發(fā)生移動(dòng)造成信號(hào)

13、取值偏差過(guò)大。6、岀現(xiàn)異常立刻處理，開(kāi)報(bào)告班長(zhǎng)或主管石墨件的取出 適用范圍 目的NO.作業(yè)順序1堝底料的分類(lèi)硅棒部7/32適用于每爐石墨件及殘骸的取出及大清時(shí)整個(gè)熱場(chǎng)的取出標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容i、堝底料或事故引起的悶爐料都要將其存放在不銹鋼筒內(nèi)移到指定的區(qū)域自然冷 知-_2、不銹鋼筒內(nèi)的堝底料或事故引起的悶爐料待其冷卻后都要將其放入指定料筐指定區(qū)域。在石英坩堝明顯位置處用記號(hào)筆注明晶體編號(hào)考前須知及原由1堝底料的應(yīng)及時(shí)存放到指定的區(qū)域，防止多個(gè)拆爐對(duì)堝底料分類(lèi)記憶不清。2、在石英坩堝明顯位置處對(duì)事故料一定要注明事故原因，目的是再利用時(shí)減少因 別離不清而造成單晶參數(shù)的不合格。適用范圍目的單晶爐的清掃

14、作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)準(zhǔn)備1、準(zhǔn)備好毛刷、吸管、專(zhuān)用工具。2、戴好帆布手套或純棉紗布手套、防塵口罩?？记绊氈霸汕謇泶蠊?、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)2、用專(zhuān)用工具翻開(kāi)大罐蓋。3、用毛刷和吸塵器仔細(xì)清掃大罐內(nèi)的揮發(fā)物。4、用刷子和吸塵器清掃大罐蓋。5、蓋好大罐蓋并用專(zhuān)用工具上好大罐蓋。1、翻開(kāi)大罐前確認(rèn)所清掃的真空泵球閥在關(guān)閉狀態(tài)，否那么在清理過(guò)程中會(huì)向爐內(nèi)返氣, 造成爐內(nèi)污染。2、工作時(shí)要慎重作業(yè)，防止造成意外傷害。3、蓋大罐蓋前要將大罐蓋密封圈擦凈。4、安裝大罐蓋時(shí)檢查密封圈是否完全就位，防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空5、大罐內(nèi)揮發(fā)物較多

15、，在清掃時(shí)應(yīng)盡量防止與周?chē)鳂I(yè)造成交叉污染。NO.適用范圍T的作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、戴口罩、PVC手套。2、準(zhǔn)備好防塵口罩、紙巾、酒精、清掃用的氬氣氮?dú)?、研磨布、吸塵氣管等清 掃所需物品。注意事壩及原由1、工作服必須潔凈。工作服及物品如果不潔凈會(huì)給清掃作業(yè)及后續(xù)的工作帶來(lái)污染。2、所用物品必須潔凈、就近擺放整齊。物品的齊全及就近擺放能減少不必要的時(shí)間 浪費(fèi)。22道的的青管管道靜青掃掃1用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管1用毛刷和吸塵器清掃抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物，吸塵器管必須伸入管道底部以便將管 道內(nèi)的揮發(fā)物徹底吸凈。爐蓋清掃2、3、認(rèn)真擦?它小孔、翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸

16、?？记绊氈霸?1、清掃時(shí)要自上而下，先清理小副室，如果先清理爐蓋后清理小副室，在清掃翻板 閥時(shí)都會(huì)給清埋過(guò)的爐蓋造成污染。NO.-3-適用范圍T的作業(yè)順序 爐蓋清掃-5、擦拭過(guò)的部位要氮?dú)庹J(rèn)真吹凈單晶爐的清掃作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容、翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用紙巾卷成利于操作的形狀認(rèn)真擦拭?？记绊氈霸?、揮發(fā)物附著較多時(shí)，先用毛刷及吸塵器處理。2、清掃副室抽氣孔時(shí)要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)抽氣孔內(nèi)部更容易清理。當(dāng)岀現(xiàn)返氣 情況時(shí)要將副室抽氣管拆下用酒精或丙酮清理并吹凈。3、用氮?dú)獯祾邥r(shí)應(yīng)注意向外或向下吹，這樣會(huì)將附著物及紙巾碎屑完全吹出小副室6、以上做過(guò)的部位反復(fù)操作，直至確認(rèn)無(wú)污物。7、清

17、掃過(guò)的小副室將翻板閥蓋住閥口，并關(guān)閉副室小門(mén)8、用潔凈的紙巾將小副室上口蓋住。4反復(fù)操作有利于徹底去除污物。5、蓋住閥口，防止在清理爐蓋時(shí)將污物帶入小副室。6、注意閥板上的翻板水管是否擰勁兒，接頭是否松動(dòng)漏水，造成不成晶。7、注意檢查閥口密封圈是不是損壞或?qū)绮邸?、用紙巾蓋住小副室上口防止空氣中的污物進(jìn)入小副室。9、出現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。NO.-"3-掃作業(yè)內(nèi)容作業(yè)順序爐蓋清 1、先用紙巾擦拭內(nèi)壁。2、小孔部位、觀察窗部位、CCD頁(yè)相部位、閥口部位等各處的接口及焊縫接口等不易清掃的部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭，直至確認(rèn)無(wú)污物。不易去除的揮發(fā) 物用研磨布反復(fù)研磨3、用氮

18、氣將擦拭過(guò)的部位認(rèn)真吹凈，直至確認(rèn)尢污物。4、以上做過(guò)的部位反復(fù)操作，直至確認(rèn)無(wú)污物。 考前須知及原由1、附著物較多時(shí)停電、真空泵故障等造成返氣先用毛刷和吸塵器清理。2、揮發(fā)物強(qiáng)力附著時(shí)要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐蓋整個(gè)內(nèi)壁光潔無(wú)污物3、觀察窗、伊爾根窗口要認(rèn)真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)氣孔 內(nèi)部更容易清理直至沒(méi)有污物。4、反復(fù)操作有利于徹底去除污物。工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)石墨件及爐內(nèi)的清掃正常清理硅棒部12/32NO.1目的作業(yè)順序石墨件的清掃作業(yè)內(nèi)容、石墨件必須在指定的清掃臺(tái)進(jìn)行清掃。2、準(zhǔn)備好清掃用品毛刷、紙巾、氮?dú)?、吸塵器管、研磨布、除硅點(diǎn)的專(zhuān)用工具、 放石墨件的潔凈小車(chē)等戴

19、好帆布手套或純棉的紗手套、防塵口罩。1、清掃臺(tái)內(nèi)及周?chē)h(huán)境必須潔凈。3、依次用毛刷、吸塵器、紙巾清掃石墨件直至確認(rèn)無(wú)污物考前須知及原由2、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi) 3、操作時(shí)要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞工序名稱(chēng)石墨件及爐內(nèi)的清掃正常清理 適用范圍目的""NO.序持有車(chē)間硅棒部單晶爐的清掃作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容13/32石墨件的清掃5、依次按三瓣堝、堝底、堝桿、導(dǎo)流筒大蓋必須分開(kāi)清理的先后順序進(jìn)行認(rèn)真 的清掃并吹凈直至無(wú)污物。A6、清理完畢旳石墨件放到事先準(zhǔn)備好旳潔凈小車(chē)上?？记绊氈霸?、必須保證氮?dú)獾膲毫?、清掃時(shí)注意檢查各石墨件

20、是否有損壞及粘硅，假設(shè)有必須處理到能夠滿足正常生產(chǎn) 的要求，否那么會(huì)造成下?tīng)t三瓣堝碰到加熱器造成液面晃動(dòng)或打火，堝桿碰到堝桿護(hù) 套造成液面晃動(dòng)等情況。3、清掃垃圾放入垃圾筒內(nèi)定期處理。4、清掃完畢后的石墨件禁止疊加，挪動(dòng)不銹鋼小車(chē)時(shí)要緩慢。防止相互磨擦或碰撞 而脫落石墨粉。5、出現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。適用范圍目的NO.T作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容爐內(nèi)的清掃及檢查I 、準(zhǔn)備好毛刷和吸塵器及專(zhuān)用工具。 2'、用專(zhuān)用工具仔細(xì)疏通廢氣孔。爐內(nèi)的清掃 及檢查考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)2、加熱器清理不凈加熱時(shí)揮發(fā)物會(huì)迅速揮發(fā)擴(kuò)散，從而嚴(yán)重污

21、染原料的質(zhì)量3、電極螺絲如果松動(dòng)、脫落或粘硅，在化料時(shí)很可能引起打火，造成事故。NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容爐內(nèi)的清掃及檢查-I考前須知及原由1、爐底必須清理潔凈不然會(huì)造成化料時(shí)污染物揮發(fā)影響料的質(zhì)量，再就是不揮發(fā)的 雜質(zhì)滲透到爐底影響下保溫，或者要操作時(shí)不慎會(huì)掉進(jìn)波紋管內(nèi)造成液面抖不成晶 嚴(yán)重時(shí)造成事故。2、在清理廢氣孔時(shí)必須作到兩側(cè)徹底清理，假設(shè)兩側(cè)的廢氣孔抽氣速率不同會(huì)造成氣 流向某一側(cè)偏移而導(dǎo)致單晶晃，假設(shè)兩側(cè)都是疏通不暢會(huì)影響抽氣速率至使揮發(fā)物大 量的向副室揮發(fā)。3、熱場(chǎng)不對(duì)稱(chēng)一是會(huì)造成單晶晃，二是單晶晃會(huì)碰到導(dǎo)流筒。4、在清掃爐內(nèi)過(guò)程中，防止殘?jiān)俅蔚袈洹?、如果在拆爐時(shí)不小心引起熱場(chǎng)移

22、動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)一定要檢查熱場(chǎng)是否對(duì)稱(chēng)，測(cè)溫孔是否 校正。如下圖，距離是否一致7、用吸塵器吸凈爐底、爐底波紋管、廢氣孔內(nèi)的浮塵及殘?jiān)?amp;再用吸管吸凈爐筒和保溫材料及加熱器上沿的殘?jiān)?、用帶有酒精的紙巾清理爐筒內(nèi)壁上部。5、如果測(cè)溫孔有偏離會(huì)影響測(cè)光信號(hào)導(dǎo)致歐陸數(shù)值過(guò)小，無(wú)法對(duì)爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng) 控制無(wú)法成晶。NO.適用范圍 目的作業(yè)順序標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容熱場(chǎng)的取出準(zhǔn)備工具：1、準(zhǔn)備好不銹鋼小車(chē)及專(zhuān)用工具。2、戴好帆布手套或純棉紗手套、及耐高溫手套?？记绊氈霸桑?、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)取出石墨件:?見(jiàn)石墨件的取出操作?升起爐筒: 1、取下熱電堆，將其及對(duì)應(yīng)的密封及

23、玻璃放到適當(dāng)?shù)奈恢靡苑艙p壞喪失。2、翻開(kāi)液壓泵開(kāi)關(guān)3、按住爐筒升按鈕，升起爐筒至限位考前須知及原由1、爐筒升起過(guò)程中注意與爐蓋的間隙，切忌與爐蓋發(fā)生接觸。否那么會(huì)油缸損壞或爐 蓋、爐筒、對(duì)應(yīng)支架、液壓缸導(dǎo)柱發(fā)生變形損壞。2、爐筒上升一定要到上限，否那么在旋轉(zhuǎn)爐筒時(shí)造成爐筒機(jī)械限位損壞。3、旋轉(zhuǎn)后的爐筒一定要降到適當(dāng)高度的位置，否那么爐筒的突然下滑造成人員的傷 害，再就是不下降長(zhǎng)期會(huì)導(dǎo)致油缸導(dǎo)柱彎曲變形。取岀熱場(chǎng)1、依次取岀保溫材料放在不銹鋼小車(chē)上移至適當(dāng)位置自然冷卻1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)。2、取岀保溫材料時(shí)要輕拿輕放小心燙傷人身及衣服，切忌成型氈、加熱器的

24、碰撞造 .成損壞。適用范圍目的NO.1作業(yè)順序熱場(chǎng)的取作業(yè)內(nèi)容2、用專(zhuān)用工具取下電極螺絲此后取下加熱器移至指定區(qū)域自然冷卻。3、取岀爐底碳?xì)??？记绊氈?、所需物品必須準(zhǔn)備齊全，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)。2、取出保溫材料時(shí)要輕拿輕放小心燙傷人身及衣服，切忌成型氈、加熱器的碰撞造 成損壞。3、出現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。1、準(zhǔn)備好毛刷、吸管、紙巾、研磨布、石墨紙等所需物品。熱場(chǎng)的清理及安裝2、用吸管、毛刷清掃不銹鋼爐底、電極柱，直致無(wú)污物。3、用毛刷、吸管認(rèn)真清掃爐底碳?xì)值膿]發(fā)物。4、清掃后的爐底碳?xì)盅b好。5、用毛刷、吸塵器、氮?dú)庖来吻鍜弑赝?、成型氈等保溫材料，清掃后的保溫材?/p>

25、考前須知及原由1、清掃不銹鋼爐底時(shí)一定注意將管道抽氣孔徹底清理，否那么可能會(huì)造成管道堵塞， 影響抽速。大清時(shí)爐底碳?xì)直仨毴咳绮⒄J(rèn)真檢查各焊點(diǎn)處是否存在漏水點(diǎn)。2、清掃電極柱時(shí)檢查接觸面是否平整。3、清掃成型氈爐底時(shí)要徹底清掃廢氣孔，安裝爐底及成型氈時(shí)要慎重作業(yè)，防止磕 碰成型氈造成損壞。成型氈按照東洋標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容熱場(chǎng)的清及安裝6、用毛刷、吸塵器清掃加熱器后，用研磨布、吸塵器認(rèn)真打磨加熱器上的揮發(fā)物。7、再次用毛刷、吸塵器吸凈加熱器，此后用氮?dú)庹J(rèn)真吹凈加熱器，直至確認(rèn)無(wú)污物8、清掃后的加熱器裝好。9、用沾有酒精的紙巾清掃主室爐筒及測(cè)溫孔，直至確認(rèn)無(wú)污物?？记绊氈霸蔂t筒復(fù)

26、位1、清掃及安裝加熱器時(shí)要慎重作業(yè)，防止損壞加熱器。2、電極柱、電極角、加熱器各接觸面要保證平整，安裝時(shí)要在接觸面上墊一層石墨 紙，防止熱場(chǎng)打火1、翻開(kāi)液壓泵，升起爐筒至上限，用沾有酒精的紙巾擦拭下?tīng)t筒上部的結(jié)合部和爐 筒下部的結(jié)合部，同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)爐筒到適當(dāng)位置。2、按爐筒降，降爐筒至下限。3、爐筒降到位后，校對(duì)測(cè)溫孔，轉(zhuǎn)入日常清理工序?？记绊氈霸?、轉(zhuǎn)動(dòng)爐筒時(shí)要確認(rèn)爐筒與爐蓋的間隙，防止損壞爐筒及爐蓋的支架和油缸導(dǎo)柱2、確認(rèn)爐筒是否降至下限，否那么會(huì)造成抽空漏氣。3、要認(rèn)真校對(duì)測(cè)溫孔，防止測(cè)光信號(hào)過(guò)小無(wú)法溫度自控。工序名稱(chēng)-石墨件的安裝與裝料準(zhǔn)備適用范圍 目的NO. 作業(yè)順序n安裝石墨件 1

27、、用專(zhuān)用工具裝好堝桿持有車(chē)間硅棒部適用于裝爐作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容MS19/322、依次裝好堝底、堝邦?？记绊氈霸裳b料準(zhǔn)備1、裝堝桿、堝底、堝邦時(shí)要認(rèn)真、細(xì)心，防止碰壞保溫材料或加熱器。2、在裝堝桿前認(rèn)真檢查波紋管是否有異物，假設(shè)有及時(shí)清理。安裝堝桿時(shí)一定要擰緊堝 桿螺絲，防止因松動(dòng)造成液面晃動(dòng)。3、確認(rèn)堝底、堝桿、堝邦是否吻合，假設(shè)有異常及時(shí)處理并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。3、確認(rèn)堝底 '堝桿'堝邦是否吻合，假設(shè)有異常及時(shí)處理并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。2、從指定的場(chǎng)所將指定的原料及石英堝取來(lái)。3、將取來(lái)的原料放在裝料車(chē)上。4、帶好防塵口罩、裝料用的汗布手套。5、遠(yuǎn)離操作區(qū)，用氮?dú)鈱⒉僮髡呱眢w

28、整體吹凈浮塵?？记绊氈霸?、徹底清掃爐體及周?chē)l(wèi)生，防止裝料過(guò)程中造成污染。2、取來(lái)的原料及石英堝應(yīng)與上次的數(shù)據(jù)對(duì)照，防止影響單晶型號(hào)及各種參數(shù) 3、遠(yuǎn)離操作區(qū)，吹掃操作者，防止環(huán)境交叉污染。適用范圍目的NO.作業(yè)順序3 石英堝的檢查安裝適用于裝爐作業(yè) 標(biāo)準(zhǔn)作業(yè) 作業(yè)內(nèi)容1、翻開(kāi)石英堝包裝，依次戴好汗布手套和PVC手套，用手電筒確認(rèn)有無(wú)裂紋、污物、氣泡。2、在爐內(nèi)的石墨堝上裝好石英堝3、安裝好石英坩堝后按動(dòng)堝快降按鈕下降30-100mm 目的在于安裝保溫蓋時(shí)不觸及石英坩堝。4、用紙巾蘸酒精將保溫蓋擦拭干凈，遠(yuǎn)離裝料爐臺(tái)用氮?dú)獯祾吒蓛艉笃椒€(wěn)安裝。5、 按動(dòng)堝快升按鈕將石英坩堝上沿升至距下保溫

29、蓋10mn左右準(zhǔn)備裝料?？记绊氈霸?、一定要仔細(xì)檢查石英堝是否有異常，石英堝假設(shè)有異?？赡軙?huì)導(dǎo)致成晶困難或漏硅。2、注意要將石英堝平衡安裝，否那么會(huì)導(dǎo)致石英堝變形造成液面抖動(dòng)。3、在檢查完畢后安裝過(guò)程中石英坩堝不允許接觸其他物體防止污染石英坩堝外部或磕 碰石英坩堝適用范圍目的適用于裝料作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO."T料作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、依次戴好汗布手套及PVC手套。2、將配送的合金放入石英堝底部。3、將粉材、小材平鋪于堝底。4、將大塊料放置中央，用中型料隱于大料四周予以固定。5、將小料填入料塊之間，石英坩堝上部周邊用中塊料或邊皮料圈其周?chē)?、將小塊料放置在頂部中間位置1、及時(shí)更換PV手

30、套，防止污染原料。2、裝料前先將合金放入石英堝，防止遺忘。3、裝料時(shí)要就近擺放，防止碰撞石英堝造成事故。4、裝料時(shí)不要接觸其他物體防止交叉污染。5、裝料時(shí)注意不要使料探岀石英堝或四周材料，否那么會(huì)在化料過(guò)程中硅液流下，損 壞石墨件，甚至燜爐。6、裝料時(shí)要慎重作業(yè)，不要使料掉在保溫材料的縫隙，以免造成打火。7、裝料時(shí)一定要使料合理搭配，防止化料過(guò)程中原料沖擊石英坩堝造成漏硅等事故。8、裝料前認(rèn)真核對(duì)原料、母合金配比及重量是否與配料清單一致，如有異常需及時(shí) 報(bào)告班長(zhǎng)。9、裝料時(shí)在保證裝料質(zhì)量的情況下，應(yīng)提高裝料速度，降低裝料過(guò)程中材料被污染 的幾率。工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)裝爐硅棒部22/32適用范圍

31、適用于裝料作業(yè)_目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、裝料完成后堝轉(zhuǎn)給定為2轉(zhuǎn)/分旋轉(zhuǎn)，確認(rèn)無(wú)摩擦快速將堝降至設(shè)定下限。安裝導(dǎo)流筒及大蓋2、完畢后將保溫蓋上部等部位用干凈吸塵管吸凈硅渣。3、堝降到位后停止旋轉(zhuǎn)4、用紙巾蘸酒精擦拭導(dǎo)流筒外表并在遠(yuǎn)離裝料爐臺(tái)處用氮?dú)獯祾吒蓛艉笃椒€(wěn)安裝?？记绊氈霸?、給堝轉(zhuǎn)降堝便于查看加熱器與石墨坩堝間是否有夾料，以便處理。2、吸凈硅渣可防止在后續(xù)工作中掉入堝中影響成晶，此時(shí)必須確認(rèn)吸管在干凈狀 態(tài)，防止污染材料。3、保溫蓋、導(dǎo)流筒安裝前要遠(yuǎn)離裝料區(qū)用氮?dú)獯祪敉獗怼?、安裝導(dǎo)流筒時(shí)要與保溫蓋相互吻合，安裝導(dǎo)流筒時(shí)要慎重作業(yè)，如果與材料發(fā)生 接觸時(shí)要調(diào)整料的擺放，

32、防止在化料過(guò)程中發(fā)生沾硅。工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)合爐及籽晶的安裝硅棒部23/32適用范圍合爐及籽晶的安裝作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容11、用沾有酒精的紙巾擦拭爐蓋接合部的密封圈，爐筒的接合部，再確認(rèn)導(dǎo)流筒保溫大 蓋是否就位同時(shí)將爐蓋旋轉(zhuǎn)至爐筒上部。2、翻開(kāi)液壓泵電源，按爐蓋降按鈕降下?tīng)t蓋。2副室的清掃安裝考前須知及原由1、爐蓋降到位后要確認(rèn)爐蓋是否合好，防止漏氣。 !、準(zhǔn)備好清掃棒、紙巾、酒精、氮?dú)狻?、在清掃棒上纏上沾有酒精的紙巾，將副室內(nèi)部清掃干凈。4、用蘸有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭副室壓力表接口并用氮?dú)鈧?cè)吹禁止正面吹掃壓力表5、快速降下籽晶卡頭至與加熱器上沿高度水平位置附近，用紙巾蘸酒

33、精擦拭鋼絲繩后 用氮?dú)獯祾摺?、用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氮?dú)庹J(rèn)真吹凈7、按晶快升升起籽晶至副I至內(nèi)部，用沾有酒精的紙巾擦拭副I至下部的接合部和小副I至上部的接合部，轉(zhuǎn)動(dòng)副室，降下與爐蓋合爐 考前須知及原由1、所需物品必須準(zhǔn)備齊全而且潔凈，且就近擺放，以減少不必要的時(shí)間浪費(fèi)。2、副室上部也要清掃，中央部位用氮?dú)庹J(rèn)真吹掃。3、擦拭過(guò)的重錘及鉬夾頭一定要用氮?dú)獯祪?，防止有殘留紙巾碎屑?、需要時(shí)要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨，并清掃干凈。摘下重錘時(shí)要慎重作業(yè)，防 止鋼絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。5、 清掃鋼絲繩時(shí)要檢查其接頭部位是否老化或損壞，假設(shè)有應(yīng)截去一截約50mn左右鋼絲 繩，防

34、止在拉晶過(guò)程中發(fā)生掉棒等嚴(yán)重事故。6、吹掃壓力表時(shí)必須要側(cè)吹，假設(shè)正面吹掃容易造成壓力表的損壞。7、升重錘時(shí)，不要使重錘晃動(dòng)，防止重錘掛住副室下沿，拉斷鋼絲繩。8、要緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)副室，防止重垂與副室內(nèi)壁碰撞。合爐及籽晶的安裝適用范圍目的NO.3晶作業(yè)順序安裝籽硅棒部合爐及籽晶的安裝作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容1、從指定的場(chǎng)所將腐蝕好的籽晶取來(lái)。24/322、用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦拭籽晶，而后用氮?dú)饣驓鍤獯祪簟?、把籽晶裝在鉬夾頭上，裝好鉬銷(xiāo)。4、用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后按晶快升使其上升至副室內(nèi)。5、用沾有酒精的紙巾擦拭副室小門(mén)的密封圈和接合部，關(guān)閉小門(mén)。6、翻開(kāi)翻板閥開(kāi)始抽空?？记绊氈霸?/p>

35、由 1、注意不要直接用手接觸籽晶，防止汁漬污染籽晶。1、注意不要直接用于接觸籽晶，防止汗?jié)n污染籽晶。2、籽晶上升到適當(dāng)位置后，確認(rèn)籽晶不再上升前方可關(guān)閉小門(mén)。3、翻開(kāi)翻板前要確認(rèn)籽晶上升的高度，防止碰到籽晶，同時(shí)不要用力過(guò)猛否那么可能會(huì) 損壞或擠出閥口密封圈。4、對(duì)丁沒(méi)有副室小門(mén)的單晶爐那么在安裝副室前安裝籽晶。5、抽空前檢查鋼絲繩是否與卷輪吻臺(tái)，以防鋼絲繩岀槽，造成單晶卜墜甚至單晶脫落。適用于單晶爐抽空加熱作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)抽空、加熱適用范圍T的NO."T空作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容1、翻開(kāi)真空泵電源。2、 緩慢翻開(kāi)球閥三四車(chē)間為電磁閥抽空開(kāi)始開(kāi)度調(diào)至30%,待爐壓將至2000帕?xí)r在將球閥全部翻開(kāi)

36、三四車(chē)間主室球閥開(kāi)度給至100%。3、抽空后爐內(nèi)力達(dá)<20Pa時(shí)進(jìn)行反復(fù)充氣使?fàn)t內(nèi)壓力 <10Pa。4、檢漏漏率到達(dá)1pa/min以下轉(zhuǎn)入加熱工序。5、將清爐點(diǎn)檢表見(jiàn)附表所羅列的工程核實(shí)后如實(shí)填寫(xiě)，將原料、母合金、石英坩 堝等信息填寫(xiě)至拉晶體記錄本，并將隨工單和石英坩堝合格證粘貼至拉晶記錄本?？记绊氈霸?、真空泵開(kāi)啟時(shí)應(yīng)點(diǎn)動(dòng)幾次真空泵開(kāi)關(guān)按鈕，以防真空泵電機(jī)電流過(guò)大損壞電機(jī)、真 空泵、及線路控制系統(tǒng)。2、球閥必須緩慢翻開(kāi)，否那么會(huì)造成真空泵電機(jī)瞬間電流過(guò)大損壞電機(jī)、真空泵、及線 路控制系統(tǒng)還會(huì)造成真空泵向尾氣管內(nèi)噴油，造成真空泵油量缺乏影響抽空和真空泵 的壽命以至造成真空泵的卡

37、死。3、進(jìn)行充氣時(shí)對(duì)流量計(jì)的使用必須先翻開(kāi)流量計(jì)球閥，而后緩慢翻開(kāi)流量計(jì)針閥。先 關(guān)閉流量計(jì)球閥而后關(guān)閉流量計(jì)針閥。否那么會(huì)因?yàn)闅鍤夤軆?nèi)的壓力過(guò)大使流量計(jì)浮子 突然上升打碎流量計(jì)內(nèi)的玻璃管。切記流量計(jì)所有開(kāi)關(guān)在不使用時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài)。4、反復(fù)充氣爐內(nèi)真空達(dá)不到加熱的要求時(shí)，應(yīng)及時(shí)報(bào)告有關(guān)人員進(jìn)行處理。5、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。1、抽空完成后，翻開(kāi)充氣系統(tǒng)，調(diào)整氬氣流量針閥到25L/min，使?fàn)t內(nèi)壓力保持在加熱化料700-1300Pa范圍內(nèi)沒(méi)有氬氣流量針閥的爐臺(tái)調(diào)節(jié)氬氣球閥開(kāi)度10%-25%之間，使?fàn)t壓保持1100-1300Pa范圍內(nèi)。2、翻開(kāi)加熱開(kāi)關(guān)，進(jìn)行分步加熱。3、根據(jù)下表通過(guò)

38、歐陸分步增加功率。關(guān)閉先關(guān)閉流量計(jì)球閥而后關(guān)閉流量計(jì)針閥。否那么會(huì)因?yàn)闅鍤夤軆?nèi)的壓力使流量計(jì)浮 子突然上升打碎流量計(jì)內(nèi)的玻璃管。切記流量計(jì)所有開(kāi)關(guān)在不使用時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài)。2、對(duì)歐陸的使用應(yīng)小心操作，防止功率迅速增大，瞬時(shí)造成變壓器負(fù)荷過(guò)大，或?qū)φ?個(gè)加熱回路造成瞬間電流過(guò)大而打火或損壞。3、根據(jù)爐內(nèi)情況，按照加熱順序進(jìn)行分步加熱。拉晶作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)抽空、加熱硅棒部26/32適用范圍_適用于單晶爐抽空加熱作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容2加熱化料4、化料過(guò)程中時(shí)刻注意觀察爐內(nèi)的情況，假設(shè)無(wú)異常塌料后給定堝轉(zhuǎn)2r/min，根據(jù)塌料情況及時(shí)上升堝位。5、料化完后，降低加熱功率至引

39、晶溫度與上爐對(duì)應(yīng)，將堝升至引晶堝位導(dǎo)流筒 以下20mr左右。6、歐陸值降至引晶溫度對(duì)應(yīng)的數(shù)值后切入自動(dòng)?？记绊氈霸?、必須時(shí)刻注意觀察爐內(nèi)的情況，以防導(dǎo)流筒粘硅、石英堝粘硅、漏硅、石英堝變形 、塌料時(shí)濺硅、跳硅、化完后的液面有雜質(zhì)漂浮等一些異情況的岀現(xiàn)得到有效及時(shí)的 處理并記錄。2、時(shí)刻注意電流電壓是否正常，以防歸零、擺動(dòng)歸零不報(bào)警。3、升堝時(shí)注意不要使硅料和液面觸到導(dǎo)流筒下沿。4、升完堝后通過(guò)對(duì)堝位標(biāo)尺確實(shí)認(rèn)堝無(wú)動(dòng)作，方可完成，否那么會(huì)使導(dǎo)流筒粘硅，發(fā)生 跳硅。5、熔料過(guò)程中重錘應(yīng)保持在副室觀察口處，防止重錘和鋼絲繩因溫度過(guò)高被烤壞。7、注意校正工藝參數(shù)。8化料過(guò)程中所有記錄及異常情況及

40、時(shí)真實(shí)地填寫(xiě)至拉晶記錄本上。9、岀現(xiàn)異常立刻處理，并報(bào)告班長(zhǎng)或主管。適用范圍目的NO. |作業(yè)順序1預(yù)熱接觸籽晶降至導(dǎo)流 筒上沿位置溫度高10分溫度低適宜籽晶在液面10mri處20分籽晶與硅熔液 接觸20分汪意事項(xiàng)及原由些調(diào)整溫度檢查溫度是否檢查溫度是否適宜""20分適用于單晶爐引、放、轉(zhuǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)作業(yè)內(nèi)容1、溫度切入自動(dòng)后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗剛能看到的位置，并翻開(kāi)晶轉(zhuǎn)電源，給定晶轉(zhuǎn) 10r/mi n,堝轉(zhuǎn)4-6r/min 。2、 10分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至導(dǎo)流筒上沿位置預(yù)熱10分鐘，10分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至距液面10mmt預(yù)熱20分鐘。3、

41、 降籽晶使之與液面接觸，浸潤(rùn)20分鐘，根據(jù)接觸光圈的形狀，確定引頸溫度是否合適，假設(shè)適宜開(kāi)始引頸；假設(shè)不適宜，通過(guò)歐陸調(diào)整溫度20分鐘后開(kāi)始引頸，溫度不宜偏低1、降籽晶快速上升或下降每一位置的必需給予確定，升降操作方可完成，否那么會(huì)溶掉籽 晶甚至重錘，升至上限會(huì)導(dǎo)至重錘掉下進(jìn)入熔硅內(nèi)，造成漏硅或整爐料徹底報(bào)廢，無(wú)法 再次利用。2、必須預(yù)熱，不然會(huì)由于籽晶由低溫區(qū)到高溫區(qū)、由固態(tài)到液態(tài)轉(zhuǎn)變時(shí)，溫差太大造成 籽晶產(chǎn)生位錯(cuò)。1、翻開(kāi)晶升電源，計(jì)長(zhǎng)歸零。2、給定堝轉(zhuǎn)至8r/mi n。3、 緩慢提升拉速至1.5mm/min左右10mr后，提升拉速讓拉速保持在1.5mm/min- 6mm/min之間，引頸

42、直徑控制在 3-5mm左右，引頸長(zhǎng)度為 150mm180mm4、引晶過(guò)程中假設(shè)溫度不適可適當(dāng)進(jìn)行溫度的調(diào)整，但不宜過(guò)大。考前須知及原由1、翻開(kāi)晶升電源前，確認(rèn)晶升電位器在歸零狀態(tài)。2、堝轉(zhuǎn)調(diào)整時(shí)應(yīng)緩慢進(jìn)行，否那么會(huì)造成液面晃動(dòng)。3、 引晶開(kāi)始時(shí)，應(yīng)先引10mn左右直徑較粗的細(xì)頸，可作為下次接觸使用，這樣防止籽晶 的浪費(fèi)。4、引晶過(guò)程中拉速不可過(guò)高，這樣不利于排除位錯(cuò)。5、細(xì)頸不宜過(guò)粗、過(guò)細(xì)，盡量保持平滑。6、細(xì)頸的長(zhǎng)度不可低于_150mm尤其是引晶過(guò)程中岀現(xiàn)異常溫度波動(dòng)較大、細(xì)頸質(zhì)量 不高等時(shí)，應(yīng)適當(dāng)?shù)募娱L(zhǎng)加細(xì)頸長(zhǎng)度，以便更好的排除位錯(cuò)，利于成晶。適用范圍目的適用于單晶爐引、放、轉(zhuǎn)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)

43、NO.3作業(yè)順序放放肩壞肩壞作業(yè)內(nèi)容1、 引頸到達(dá)預(yù)定的長(zhǎng)度后，緩慢降低拉速直至0.7mm/min進(jìn)行放肩。2、放肩務(wù)必要放平肩，放肩時(shí)用溫校速率來(lái)調(diào)節(jié)溫度。3、放肩時(shí)要時(shí)刻觀察肩的形狀，放肩過(guò)快過(guò)慢時(shí)應(yīng)及時(shí)進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整?？记绊氈霸?、引頸結(jié)束降低拉速時(shí)必須分步緩慢至0.7mm/min，防止成錐肩或因拉速降低過(guò)快使細(xì)頸迅速生長(zhǎng)而斷棱。2、放肩拉速0.7mm/min、放平肩目的是為了降低液面溫度，利于轉(zhuǎn)肩后單晶前30mnt勺生長(zhǎng)，否那么造成轉(zhuǎn)肩后溫度波動(dòng)較大造成單晶斷棱。1、放肩壞時(shí)，將肩放至直徑150-160mm提離液面上升到導(dǎo)流筒的中間位置。2、到達(dá)導(dǎo)流筒中間部位后，將晶升設(shè)疋在4mm/

44、mi n的拉速上升10min后，關(guān)閉晶升電源電位器歸零，按晶升快速上升至副室，翻開(kāi)主室充氣針閥后蓋住翻板閥。3、增大副室氬氣流量，到達(dá)常壓后關(guān)閉副室充氣針閥。4、翻開(kāi)副室門(mén)或升起副室旋轉(zhuǎn)后，取出不成晶品放到適當(dāng)位置待其冷卻后按分類(lèi)要求放 入指定場(chǎng)所。5、更換籽晶見(jiàn)?籽晶的更換?作業(yè)?？记绊氈霸?、放肩壞將肩放大至直徑 100mn左右提岀，是為了吸附更多的雜質(zhì)，對(duì)整爐硅起到提純 的作用利于再次成晶。2、壞肩提出忌直接上升至副室這樣溫差太大會(huì)造成籽晶內(nèi)裂。3、打完快速后要確認(rèn)快速已經(jīng)停止可通過(guò)晶升電機(jī)是否轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)確認(rèn)。4、蓋翻板前切記一定要翻開(kāi)主室氬氣流量計(jì)針閥并確認(rèn)提岀的肩是否影響翻板的操作，

45、 以免磕碰卡住翻板或掉入堝中造成濺硅事故。5、對(duì)翻板的操作不宜用力過(guò)猛。6、關(guān)閉副室充氣針閥要認(rèn)真操作，防止誤關(guān)主室針閥或氬氣流量計(jì)球閥開(kāi)關(guān)。1、將肩放到適宜直徑時(shí)，將拉速緩慢提高。2、密切關(guān)注單晶的生長(zhǎng)速度，確定拉速。3、待單晶生長(zhǎng)到目標(biāo)直徑時(shí)緩慢降低拉速同時(shí)適當(dāng)給定堝跟隨動(dòng)。4、轉(zhuǎn)肩過(guò)后計(jì)長(zhǎng)清零，實(shí)時(shí)觀察單晶生長(zhǎng)情況待其生長(zhǎng)穩(wěn)定后，調(diào)整伊爾根使其壓?jiǎn)尉?光圈1/3-1/2之間位置。使用CCD勺爐臺(tái)調(diào)整CCDX光點(diǎn)至所需。5、調(diào)整好拉速和溫度，將計(jì)算機(jī)切入自動(dòng)狀態(tài)。考前須知及原由1、合理控制溫度使轉(zhuǎn)肩后前30mn拉速能穩(wěn)定在1.21.3mm/min之間。2、轉(zhuǎn)肩時(shí)拉速不宜調(diào)整太快、太高，否那

46、么可能會(huì)造成轉(zhuǎn)肩斷棱。3、切記轉(zhuǎn)肩后計(jì)長(zhǎng)清零，轉(zhuǎn)肩后單晶直徑應(yīng)該是目標(biāo)直徑不宜過(guò)大或過(guò)小。4、確認(rèn)計(jì)算機(jī)測(cè)量直徑是否適宜，能滿足單晶生長(zhǎng)受控。5、一定要注意單晶生長(zhǎng)穩(wěn)定前方可切入自動(dòng)，否那么會(huì)造成單晶生長(zhǎng)失控。工序名稱(chēng)持有車(chē)間頁(yè)數(shù)等徑硅棒部29/32適用范圍適用于拉晶過(guò)程中等徑作業(yè)目的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)NO.作業(yè)順序作業(yè)內(nèi)容12直徑控制等徑壞1、計(jì)算機(jī)切入自動(dòng)控制后認(rèn)真做好各項(xiàng)記錄。2、等徑過(guò)程中應(yīng)時(shí)常觀察爐內(nèi)單晶生長(zhǎng)情況，每隔15-30分鐘對(duì)爐內(nèi)巡視一次，確認(rèn)有無(wú)異常，每一個(gè)小時(shí)做一次拉晶記錄。3、不同熱場(chǎng)尺寸對(duì)應(yīng)的堝跟比參數(shù)可參照?爐臺(tái)堝跟比參數(shù)表?，需要根據(jù)等徑實(shí)際 情況進(jìn)行調(diào)整?？记绊氈霸?

47、、各項(xiàng)記錄必須及時(shí)、真實(shí)、工整的認(rèn)真做好。2、等徑過(guò)程中必須時(shí)常觀察爐內(nèi)單晶生產(chǎn)情況，如有異常如各速度異常，單晶斷棱 、變晶、變形、直徑粗或細(xì)，溫度不適等應(yīng)聽(tīng)從班長(zhǎng)或主管的意見(jiàn)及時(shí)處理。等徑中壞時(shí)，根據(jù)投料量、拉制單晶直徑、及所剩余硅液量來(lái)確疋拉制方法。1、棱線長(zhǎng)度在350mm以內(nèi)斷時(shí)，進(jìn)行回熔處理。1、將歐陸設(shè)置為 OP直，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為3-5轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)為2轉(zhuǎn)。2、降低堝位至化料堝位，功率調(diào)整到化料功率的90%。3、觀察爐內(nèi)狀態(tài)，待溫度升上來(lái)以后，慢慢下降晶體進(jìn)行回熔4、回熔完成后進(jìn)行常規(guī)作業(yè)。2、提岀或停爐1、在350-1300mm范圍內(nèi)壞時(shí)，將單晶提岀。如投料120公斤，拉制6.5寸單晶2、單晶提離液面 30mm給定拉速2.0mm/min上升1.5小時(shí)，而后 上升到副室爐筒內(nèi)，30min后翻開(kāi)主室流量計(jì)至適當(dāng)流量，蓋住翻 板3、蓋住翻板后，增大副室氬氣流量，壓力表指針到達(dá)-0.05Mpa后關(guān)閉副至流量計(jì)冷卻 60min，完畢后充氬氣至常壓，關(guān)閉副至氬 氣升起副室爐筒取出壞單晶4、對(duì)爐筒及小副室進(jìn)行清掃5、安裝籽晶，見(jiàn)?籽晶的更換作業(yè)?工序，進(jìn)行二次作業(yè)