文丘里的工作原理 課件

1、 文丘里和除毒系統(tǒng)的工作原理文丘里和除毒系統(tǒng)的工作原理Venturi Vacuum GeneratorAgenda文丘里工作原理介紹文丘里工作原理介紹1除毒系統(tǒng)工作原理介紹除毒系統(tǒng)工作原理介紹 2Case study3文丘里工作原理文丘里工作原理高壓排空高壓排空GN2進(jìn)口進(jìn)口手閥手閥VGS放空口放空口文丘里的作用：文丘里的作用： 抽真空排放抽真空排放 保持氮?dú)饬鬟^，排放管道保持氮?dú)饬鬟^，排放管道 干燥通暢干燥通暢 單向功能單向功能低壓排空低壓排空外觀圖外觀圖文丘里工作原理文丘里工作原理排風(fēng)表頭監(jiān)控點(diǎn)排風(fēng)表頭監(jiān)控點(diǎn)排風(fēng)量調(diào)節(jié)器排風(fēng)量調(diào)節(jié)器氣柜探頭監(jiān)控點(diǎn)氣柜探頭監(jiān)控點(diǎn)文丘里排放文丘里排放排風(fēng)：排風(fēng)

2、：50-200帕斯卡帕斯卡歲修排風(fēng)降至歲修排風(fēng)降至10%文丘里工作原理文丘里工作原理氣柜探頭氣柜探頭監(jiān)控點(diǎn)監(jiān)控點(diǎn)氣柜探頭氣柜探頭監(jiān)控點(diǎn)監(jiān)控點(diǎn)除毒裝置（除毒裝置（ASMC 8”毒毒性氣房和腐蝕性氣房有性氣房和腐蝕性氣房有次裝置）次裝置）酸性酸性氣柜氣柜烷類烷類/毒性毒性氣柜氣柜酸排風(fēng)管道酸排風(fēng)管道ventventvent一般排風(fēng)管道一般排風(fēng)管道酸排風(fēng)處酸排風(fēng)處理裝置理裝置環(huán)境環(huán)境文丘里工作原理文丘里工作原理排氣口排氣口真空口真空口 文丘里文丘里閥門驅(qū)動(dòng)閥門驅(qū)動(dòng)活塞活塞 閥門驅(qū)動(dòng)彈簧閥門驅(qū)動(dòng)彈簧 單向閥單向閥 閥閥座座 閥座閥座連續(xù)進(jìn)氣口連續(xù)進(jìn)氣口（可選）（可選）氮?dú)膺M(jìn)氣口氮?dú)膺M(jìn)氣口微流閥（可選）

3、微流閥（可選）驅(qū)動(dòng)控制端口驅(qū)動(dòng)控制端口內(nèi)內(nèi)部部結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)圖圖廉價(jià)廉價(jià)制造方便制造方便文丘里工作原理文丘里工作原理排空排空吸力吸力氮?dú)膺M(jìn)口氮?dú)膺M(jìn)口結(jié)合伯努利原理與流體連續(xù)性方程結(jié)合伯努利原理與流體連續(xù)性方程可以知道，對(duì)于理想流體，在細(xì)處可以知道，對(duì)于理想流體，在細(xì)處流速會(huì)增加，壓強(qiáng)則會(huì)減少；文丘流速會(huì)增加，壓強(qiáng)則會(huì)減少；文丘里管的窄口處就起到了抽真空的作里管的窄口處就起到了抽真空的作用。用。為為什什么么能能產(chǎn)產(chǎn)生生真真空空效效應(yīng)應(yīng)文丘里工作原理文丘里工作原理AP71系列（目前系列（目前TGCM主要使用）主要使用）AP72系列系列真空口最大壓真空口最大壓力及流速范圍力及流速范圍 真空口最大承受壓力真

4、空口最大承受壓力真空口最大承受壓力真空口最大承受壓力 氮?dú)馕⒘髁魉俚獨(dú)馕⒘髁魉俚獨(dú)馕⒘髁魉俚獨(dú)馕⒘髁魉傥那鹄锕ぷ髟砦那鹄锕ぷ髟鞟P72625 S 3PW MV4 FV6 TW4 CB005AP71 S MV4 FV6 TW4 CB009系列系列材質(zhì)材質(zhì)氮?dú)膺M(jìn)口氮?dú)膺M(jìn)口接口類型接口類型排空口接排空口接口類型口類型真空口接真空口接口類型口類型真空口真空口真空口真空口真空口真空口真空口真空口排排放放排排放放N2進(jìn)口進(jìn)口N2進(jìn)進(jìn)口口排排放放N2進(jìn)口進(jìn)口氮?dú)馕⒌獨(dú)馕⒘髁魉倭髁魉?25：1/4轉(zhuǎn)隔膜閥轉(zhuǎn)隔膜閥540：裝配氣動(dòng)閥：裝配氣動(dòng)閥文丘里工作原理文丘里工作原理真空口最大承受壓力真空口最大承受壓力

5、托，真空度單位。在80 psig (5.5 bar) ， 60標(biāo)升/分的氮?dú)饬髁繒r(shí)的真空度。止回閥最大承受壓差止回閥最大承受壓差驅(qū)動(dòng)壓力驅(qū)動(dòng)壓力氮?dú)馕⒘髁魉俚獨(dú)馕⒘髁魉僦黧w主體活塞活塞 彈簧彈簧密封密封可選密封材料可選密封材料操作參數(shù)操作參數(shù)材材質(zhì)質(zhì)參參數(shù)數(shù)1torr=133.3paThe world leader in industrial and medical gases9、 人的價(jià)值，在招收誘惑的一瞬間被決定。2022-3-142022-3-14Monday, March 14, 202210、低頭要有勇氣，抬頭要有低氣。2022-3-142022-3-142022-3-143/14/

6、2022 10:37:55 PM11、人總是珍惜為得到。2022-3-142022-3-142022-3-14Mar-2214-Mar-2212、人亂于心，不寬余請(qǐng)。2022-3-142022-3-142022-3-14Monday, March 14, 202213、生氣是拿別人做錯(cuò)的事來懲罰自己。2022-3-142022-3-142022-3-142022-3-143/14/202214、抱最大的希望，作最大的努力。2022年3月14日星期一2022-3-142022-3-142022-3-1415、一個(gè)人炫耀什么，說明他內(nèi)心缺少什么。2022年3月2022-3-142022-3-142

7、022-3-143/14/202216、業(yè)余生活要有意義，不要越軌。2022-3-142022-3-14March 14, 202217、一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。2022-3-142022-3-142022-3-142022-3-14文丘里工作原理文丘里工作原理型號(hào)參數(shù)型號(hào)參數(shù)Inch face seal male-英寸面密封公頭英寸面密封公頭Inch face seal male-英寸面密封母頭英寸面密封母頭Inch tube weld stub-英寸管焊接英寸管焊接 slpm-標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘文丘里工作原理文丘里工作原理真空口流速真空口流速/slpmNotes：1.

8、N2進(jìn)口壓力進(jìn)口壓力 小于小于10psig時(shí)，文時(shí)，文丘里不會(huì)產(chǎn)生真空丘里不會(huì)產(chǎn)生真空效應(yīng)。效應(yīng)。2. 當(dāng)當(dāng)N2進(jìn)口壓力進(jìn)口壓力大于大于90psig時(shí)，再時(shí)，再提高進(jìn)口壓力也不提高進(jìn)口壓力也不會(huì)有明顯效果。會(huì)有明顯效果。真空口壓力真空口壓力(in-Hg)除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理除什么？- 取出氣柜排空而出的含有某種有害物質(zhì)的氣體。怎么除？- 有毒氣體在除毒系統(tǒng)筒體內(nèi)與化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)或燃燒而解毒。除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理內(nèi)部側(cè)視圖內(nèi)部側(cè)視圖內(nèi)部前視圖內(nèi)部前視圖氣體進(jìn)氣體進(jìn)口閥門口閥門旁通閥旁通閥氣體出氣體出口閥門口閥門氣體進(jìn)氣體進(jìn)口壓力口壓力表表GN2進(jìn)進(jìn)口隔離口隔離閥閥（關(guān)）（關(guān)

9、）氣體出氣體出口壓力口壓力表表流量計(jì)流量計(jì)（關(guān)）（關(guān)）除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理 部件名稱部件名稱 基本功能基本功能By-pass valve 旁通閥旁通閥如果進(jìn)口壓力過大，切換到旁通管道如果進(jìn)口壓力過大，切換到旁通管道 Inlet valve 進(jìn)口閥進(jìn)口閥控制氣體進(jìn)入筒體控制氣體進(jìn)入筒體Outlet valve 出口閥出口閥控制氣體由筒體排出控制氣體由筒體排出GN2單向閥單向閥防止回流防止回流Inlet進(jìn)氣口壓力表進(jìn)氣口壓力表監(jiān)控進(jìn)口壓力監(jiān)控進(jìn)口壓力GN2進(jìn)口隔離閥進(jìn)口隔離閥控制吹掃氮?dú)忾_關(guān)控制吹掃氮?dú)忾_關(guān)除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理工作原理點(diǎn)火點(diǎn)點(diǎn)火點(diǎn)排風(fēng)口排風(fēng)口出口熱電偶出口熱

10、電偶工藝氣進(jìn)口工藝氣進(jìn)口工藝氣放空工藝氣放空壓力表壓力表低壓切換低壓切換燃燒室熱電偶燃燒室熱電偶變壓器變壓器溶解環(huán)溶解環(huán)火焰火焰漩渦器漩渦器變相裝置變相裝置進(jìn)口進(jìn)口出廠設(shè)置出出廠設(shè)置出口溫度不高口溫度不高于于200攝氏攝氏度度工藝氣進(jìn)入燃燒工藝氣進(jìn)入燃燒室燃燒后，通過室燃燒后，通過變相裝置和漩渦變相裝置和漩渦器使之與空氣充器使之與空氣充分混合冷卻，從分混合冷卻，從而使出口溫度低而使出口溫度低于設(shè)定值。于設(shè)定值。安全裝置：溫安全裝置：溫度過熱可導(dǎo)致度過熱可導(dǎo)致shutdown硅烷、砷烷、磷烷硅烷、砷烷、磷烷空氣進(jìn)空氣進(jìn)口壓力口壓力表表燃料壓力表燃料壓力表點(diǎn)火點(diǎn)點(diǎn)火點(diǎn)1顯示器顯示器排放口溫度排放口

11、溫度燃料流量閥燃料流量閥火焰狀態(tài)顯示器火焰狀態(tài)顯示器點(diǎn)火點(diǎn)點(diǎn)火點(diǎn)2顯示器顯示器緊急制動(dòng)緊急制動(dòng)除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理初始啟動(dòng)程序初始啟動(dòng)程序1.在對(duì)Burn-box進(jìn)行操作之前確保所有裝置都已安裝完 畢，并且處于“OFF”狀態(tài)。具體設(shè)備包括：電力系統(tǒng)、房間排風(fēng)、氮?dú)狻?.確保所有連接的氣體管路都已經(jīng)做過保壓測漏。3.順時(shí)針旋轉(zhuǎn)點(diǎn)火閥，確保點(diǎn)火閥處于關(guān)閉狀態(tài)。4.按動(dòng)EMO按鈕，將STOP/START按鈕到STOP鍵。5.連接設(shè)備電源到Fab的斷路保護(hù)器上。打開前控制面板下面的“POWER DISCONNECT”。6.順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)EMO閥1/4圈直到EMO閥彈出。檢查所有的報(bào)警裝置處于“

12、ON”狀態(tài)。7.確保保所有控制裝置的顯示燈都亮啟，紅色表示環(huán)境溫度。確保所有的報(bào)警顯示都有效，包括Warning、Shutdown、以及Low Air Flow(空氣流速低報(bào)警) 。除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理8.打開CDA（80Psi），打開RESET按鈕消除所有報(bào)警，確認(rèn)點(diǎn)火控制器SETPOINTS 設(shè)置正確；確認(rèn)排空溫度控制器設(shè)置正確。9.斷開EXHAUST TEMPERATURE（排空溫度）按鈕確認(rèn)排空溫度報(bào)警有效性。重新連接EXHAUST TEMPERATURE（排空溫度）報(bào)警，按RESET按鈕兩次，重置排空高溫報(bào)警。（消警需要等待數(shù)秒）10.打開煤氣供應(yīng)管路，對(duì)煤氣管路進(jìn)行檢漏

13、，在控制面板上檢查點(diǎn)火器的壓力表。11.按RESET鍵兩次，重置低燃料壓，把STOP/START按鈕打到START位置，檢查控制面板上IGNITOR 1 和IGNITOR 2指示燈是否開啟，確認(rèn)點(diǎn)火指示器的紅燈開啟。12.調(diào)整點(diǎn)火流量閥，保持反應(yīng)箱溫度在450到600度之間。當(dāng)反應(yīng)箱溫度超過200度，按RESET鈕兩次，重置反應(yīng)箱體溫度。13.確保點(diǎn)火溫度指示讀數(shù)保持平穩(wěn)。按動(dòng)EMO，確保EMO保持正常工作。旋轉(zhuǎn)EMO按鈕順時(shí)針1/4圈，直到EMO閥彈出。14.打開氮?dú)馊肟?，按?dòng)RESET鍵兩次，消除所有報(bào)警。除毒系統(tǒng)工作原理除毒系統(tǒng)工作原理普普通通啟啟動(dòng)動(dòng)程程序序1.確保所有對(duì)GUARDIA

14、N的維修工作都已經(jīng)完成，確認(rèn)并關(guān)閉所有相連接的氣柜和設(shè)備。2.確保所有的手閥處于正確的狀態(tài)，關(guān)閉（開啟）前控制面板上的POWER DISCONNECT鍵。 3.重置一下EMO閥。通過檢查排空溫度指示檢查電源是否連通。4.打開STOP/START鍵到START，檢查ACTIVE FLAME INDICATOR（火焰指示器）是否正常。5.檢查IGNITOR氖光燈閃爍正常，確保ACTIVE FLAME INDICATOR處于穩(wěn)定狀態(tài)。Case study在做次級(jí)吹掃時(shí)發(fā)現(xiàn)抽真空抽不下去，在做次級(jí)吹掃時(shí)發(fā)現(xiàn)抽真空抽不下去，請(qǐng)問由哪些可能的原因？請(qǐng)問由哪些可能的原因？VMB和和GC的氮?dú)馔瑫r(shí)開著，文丘里

15、壓的氮?dú)馔瑫r(shí)開著，文丘里壓力偏低，會(huì)導(dǎo)致什么后果？如何解決？力偏低，會(huì)導(dǎo)致什么后果？如何解決？8”HCl氣柜文丘里抽真空時(shí)，氮?dú)鈮毫夤裎那鹄锍檎婵諘r(shí)，氮?dú)鈮毫﹂_大，面板壓力越來越大？開大，面板壓力越來越大？文丘里校零后，抽真空抽不到負(fù)壓？文丘里校零后，抽真空抽不到負(fù)壓？排空困難，排空困難，PT校驗(yàn)校驗(yàn)不準(zhǔn)，需要換文丘里不準(zhǔn)，需要換文丘里真空度不夠，調(diào)高真空度不夠，調(diào)高GN2壓力，將壓力，將VMB/GC的氮?dú)怅P(guān)掉的氮?dú)怅P(guān)掉，只使用一個(gè)；打電，只使用一個(gè)；打電話給空分查明情況。話給空分查明情況。文丘里排放管道與酸排文丘里排放管道與酸排放接口處堵住導(dǎo)致氮?dú)夥沤涌谔幎伦?dǎo)致氮?dú)獾构唷５构?。文丘里校?/p>

16、時(shí)本應(yīng)該關(guān)文丘里校零時(shí)本應(yīng)該關(guān)掉，排放口與空氣相通掉，排放口與空氣相通。但如果文丘里常開導(dǎo)。但如果文丘里常開導(dǎo)致校零時(shí)處于負(fù)壓。致校零時(shí)處于負(fù)壓。The End9、 人的價(jià)值，在招收誘惑的一瞬間被決定。2022-3-142022-3-14Monday, March 14, 202210、低頭要有勇氣，抬頭要有低氣。2022-3-142022-3-142022-3-143/14/2022 10:37:56 PM11、人總是珍惜為得到。2022-3-142022-3-142022-3-14Mar-2214-Mar-2212、人亂于心，不寬余請(qǐng)。2022-3-142022-3-142022-3-14Monday, March 14, 202213、生氣是拿別人做錯(cuò)的事來懲罰自己。2022-3-142022-3-142022-3-