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1、第四章 常見傳感器第一節(jié)第一節(jié) 傳感器概述傳感器概述第二節(jié)第二節(jié) 機(jī)械式傳感器機(jī)械式傳感器第三節(jié)第三節(jié) 電阻傳感器電阻傳感器第四節(jié)第四節(jié) 電容傳感器電容傳感器第五節(jié)第五節(jié) 電感傳感器電感傳感器第六節(jié)第六節(jié) 壓電傳感器壓電傳感器第一節(jié)第一節(jié) 傳感器概述傳感器概述1.傳感器的作用: 工程上通常把直接作用于被測(cè)量,能按一定規(guī)律其轉(zhuǎn)換成同種或別種量值輸出的器件,稱為傳感器。作用:把被測(cè)量,如力、位移、溫度等,轉(zhuǎn)換為易測(cè)信 號(hào)(電信號(hào)),傳送給測(cè)量系統(tǒng)的信號(hào)調(diào)理環(huán)節(jié)。 傳感器是人類感官的延伸a視覺與光傳感器;b聽覺與聲壓傳感器;c觸覺與溫度、壓力傳感器;d嗅覺與氣敏傳感器; 是現(xiàn)代測(cè)控系統(tǒng)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

2、傳感器的作用類似于人的感覺器官,又是人的感官的延伸,它的作用是擴(kuò)展人的信息功能。因此,從廣義講,傳感器是一個(gè)感知系統(tǒng),是為了從外部感知信息而工作的系統(tǒng)。 傳感技術(shù)是信息科學(xué)中的一個(gè)重要組成部分,在現(xiàn)代被稱之為信息探測(cè)工程學(xué),是研究物質(zhì)的物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)及生物效應(yīng),作為信息探測(cè)實(shí)際應(yīng)用的一門科學(xué),它對(duì)科學(xué)技術(shù)發(fā)展的作用和意義,已日益顯得重要和突出。 借助于傳感器人們可以去探索那些無(wú)法用感官直接測(cè)量的事物,從微觀世界到宏觀世界、太空探索,從人體(CT)到自然界(海水深度、海底探測(cè))都離不開傳感器。 傳感器處于測(cè)試裝置的輸入端,其性能將直接影響著整個(gè)測(cè)試裝置的工作質(zhì)量。敏感元件敏感元件轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換

3、元件基本轉(zhuǎn)換電路基本轉(zhuǎn)換電路被測(cè)量被測(cè)量電量電量R L C輸入輸入P大氣壓大氣壓殼體膜盒電感線圈磁芯基本轉(zhuǎn)換電路敏感元件敏感元件轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件2 2傳感器的基本組成傳感器的基本組成:例:壓力傳感器:例:壓力傳感器: 結(jié)構(gòu)型:(電容、電感傳感器)物性型: (壓電、半導(dǎo)體傳感器)能量轉(zhuǎn)換型(無(wú)源傳感器):(壓電、磁電、光電)能量控制型(有源傳感器):(電阻、電容、電感)位移速度加速度 力溫度.1.2.3.3 3傳感器的分類:傳感器的分類:傳感器的命名傳感器的命名按用途按原理綜合命名4傳感器的發(fā)展動(dòng)向:1、發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象2、開發(fā)新材料3、采用微細(xì)加工技術(shù)4、研究多功能集成傳感器 “Intelligen

4、t Sensor”5、智能化傳感器 “Smart Sensor”,6、仿生傳感器第二節(jié)第二節(jié) 機(jī)械式傳感器機(jī)械式傳感器敏感元件敏感元件(彈性體)(彈性體)機(jī)械放大機(jī)械放大指示系統(tǒng)指示系統(tǒng)輸入量輸入量輸出量輸出量彈性變形彈性變形輸出輸出力力壓力壓力溫度溫度.1組成:組成: 彈性敏感元件在傳感器中因?yàn)橹苯訁⑴c變換和測(cè)彈性敏感元件在傳感器中因?yàn)橹苯訁⑴c變換和測(cè)量,所以對(duì)它有一定的要求。量,所以對(duì)它有一定的要求。2彈性敏感元件的材料:彈性敏感元件的材料:1)彈性滯后和彈性后效要?。椥詼蠛蛷椥院笮б?)彈性模數(shù)的溫度系數(shù)要?。椥阅?shù)的溫度系數(shù)要小機(jī)械式指機(jī)械式指針儀表針儀表3典型應(yīng)用典型應(yīng)用:3

5、)線膨脹系數(shù)要小且穩(wěn)定)線膨脹系數(shù)要小且穩(wěn)定4)彈性極限和強(qiáng)度極限要高)彈性極限和強(qiáng)度極限要高5)具有良好的穩(wěn)定性和耐腐蝕性)具有良好的穩(wěn)定性和耐腐蝕性6)具有良好的機(jī)械加工性和熱處理性)具有良好的機(jī)械加工性和熱處理性 機(jī)械式放大,指示系統(tǒng)使其慣性大,固有頻率低,機(jī)械式放大,指示系統(tǒng)使其慣性大,固有頻率低, 故多用于靜態(tài)量或低頻變化量的測(cè)量。故多用于靜態(tài)量或低頻變化量的測(cè)量。 彈性元件的蠕變,彈性后效現(xiàn)象會(huì)影響輸入、輸彈性元件的蠕變,彈性后效現(xiàn)象會(huì)影響輸入、輸 出的關(guān)系。出的關(guān)系。5.改進(jìn):改進(jìn): 為提高測(cè)量的頻率范圍為提高測(cè)量的頻率范圍,常把機(jī)械傳感器與其它傳常把機(jī)械傳感器與其它傳感器結(jié)合起

6、來(lái)感器結(jié)合起來(lái),即先用彈性元件把被測(cè)量轉(zhuǎn)換成位移量即先用彈性元件把被測(cè)量轉(zhuǎn)換成位移量,再用其它類型的傳感器再用其它類型的傳感器(電阻、電容、電渦流式等)把電阻、電容、電渦流式等)把位移轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出。位移轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出。 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便;價(jià)格低廉,讀數(shù)直觀。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便;價(jià)格低廉,讀數(shù)直觀。4特點(diǎn):特點(diǎn):第三節(jié) 電阻式傳感器AlR ),(lAfR)(lfR 變阻器式傳感器金屬電阻應(yīng)變式電阻應(yīng)變式傳感器半導(dǎo)體應(yīng)變式基本原理:將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化。基本原理:將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化。一變阻器式傳感器:1工作原理:即 。 當(dāng)電阻絲直徑A與材質(zhì)一定時(shí), 的單值

7、函數(shù)。2直線位移型變阻器式傳感器:設(shè)電位計(jì)觸頭移動(dòng)x,其相應(yīng)電阻值變化R,則:(常量)傳感器的靈敏度:AtbaxRS)(2txbaAAlR)(21成線性關(guān)系。與輸入(位移)傳感器的輸出(電阻)常量)(2AtrxRS)(xfRx3角位移型角位移型 同理,可得:4非線性電位計(jì)非線性電位計(jì): 5電阻分壓電路電阻分壓電路:xxuuRRxxRRxxuupypLpLppy00)1 (時(shí):當(dāng)6特點(diǎn)特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,性能穩(wěn)定,使用方便。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,性能穩(wěn)定,使用方便。分辨力低,噪聲大。分辨力低,噪聲大。二電阻應(yīng)變式傳感器二電阻應(yīng)變式傳感器 金屬電阻應(yīng)變式半導(dǎo)體應(yīng)變式AlR1電阻應(yīng)變效應(yīng):電阻應(yīng)變效應(yīng):電阻應(yīng)變效應(yīng)

8、是指電阻絲在外力的作用下發(fā)生變形,其電阻值發(fā)生變化的現(xiàn)象。 設(shè)一根電阻絲,未受力時(shí)的原始電阻值:drdrldlRdRdrdrldlRdrldrrldlrdRrA2)2(22322當(dāng)受到外力F作用,其R的變化:dRdAARdllRdR(縱向應(yīng)變)ldl為泊松系數(shù))(橫向應(yīng)變r(jià)dr 變引起的。是由電阻絲電阻率的改改變引的;是由電阻絲幾何尺寸的其中,(E)21常量21)21 (RdRSRdR為材料彈性摸量。)為正應(yīng)力;為壓阻系數(shù);(EEdERdR22金屬電阻應(yīng)變片:金屬電阻應(yīng)變片:工作原理: 結(jié)構(gòu):絲式箔式a絲式: 四個(gè)基本部分組成:敏感柵(電阻絲)基片覆蓋層引出線b箔式: 特點(diǎn):光刻技術(shù),應(yīng)變花;

9、橫向效應(yīng)??;散熱條件好;疲勞壽命長(zhǎng);生產(chǎn)率高。 ERdRSERdR材料: 見表3-2。3半導(dǎo)體應(yīng)變片:半導(dǎo)體應(yīng)變片:工作原理:“壓阻效應(yīng)壓阻效應(yīng) ” :?jiǎn)尉О雽?dǎo)體材料在沿某一軸向受到外力作用時(shí),其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。特點(diǎn):(1)靈敏度高;機(jī)械滯后小,橫向效應(yīng)?。唬?)溫度穩(wěn)定性差;靈敏度離散度大; 在較大應(yīng)力作用下,非線性誤差大等。為材料的壓阻系數(shù) 膠膜襯底半導(dǎo)體敏感柵內(nèi)引線焊接端外引線結(jié)構(gòu):材料: 見表3-3。 P型硅單晶ttRRt1)(;)(0tll絲試靈敏度系數(shù); 橫向效應(yīng);機(jī)械滯后;溫度效應(yīng); 虛假應(yīng)變虛假應(yīng)變a由敏感柵材料的電阻溫度系數(shù) 引起的;b由敏感柵材料和試件材料的膨脹系數(shù)不

10、同引起的;;)1(;)1(0201tlltll絲試;0201tlltll絲試tll)(0絲試4電阻應(yīng)變片的主要特性:ttkkRRtt)()(絲試總的虛假應(yīng)變:;)(2kRR21)()(RRRRRR零漂及蠕變:應(yīng)變極限;疲勞壽命;最大工作電流;絕緣電阻;動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性。k為應(yīng)變片的靈敏度應(yīng)用:u0uyR1R2R3R4)(4)(4,43210443322110gyySuuRRRRRRRRuuRR則:若:)(4;021043gySuu實(shí)驗(yàn)應(yīng)力分析電橋電路:相鄰兩臂R1,R2為性能相同的應(yīng)變計(jì);其余兩臂為平衡電阻。043214231)(uRRRRRRRRuy43214321,RRRRRRRRR四個(gè)橋臂電

11、阻的變化為若: )(4;031042gySuupggySuSuu002141總相對(duì)兩臂R1,R3為應(yīng)變計(jì),其余兩臂為平衡電阻。應(yīng)變片的布置和接橋方法:; 0; 0;43332111MpMp;總4321pppMM2;3131總又 )1 (214100pggySuSuu總)(;112111MpMp);(;334333MpMp;總4321pppMM)1 (2;3131總又 電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用示例電阻應(yīng)變傳感器應(yīng)用示例 立柱應(yīng)力 橋梁應(yīng)力 柱式測(cè)力傳感器位移傳感器 加速度傳感器 筒式壓力傳感器第四節(jié)第四節(jié) 電感式傳感器電感式傳感器 被測(cè)量的變化被測(cè)量的變化 線圈自感或互感的變化線圈自感或互感的變化 位

12、移位移振動(dòng)振動(dòng)壓力壓力 利用磁場(chǎng)作為媒介利用磁場(chǎng)作為媒介或鐵磁體的某些現(xiàn)象或鐵磁體的某些現(xiàn)象主要特征:具有線圈繞組。主要特征:具有線圈繞組。分類:分類: 電感式電感式 自感式自感式互感式互感式- 差動(dòng)變壓器式差動(dòng)變壓器式可變磁阻式(氣隙型、截面型、螺管型)可變磁阻式(氣隙型、截面型、螺管型)渦電流式渦電流式一自感型:(一)可變磁阻式:(一)可變磁阻式:基本組成:基本組成:線圈線圈 鐵心鐵心銜鐵銜鐵基本工作原理基本工作原理:磁路總磁阻。線圈匝數(shù);mmRWRWL/2002AuuAlRm,則:假設(shè)氣隙磁場(chǎng)是均勻的0002AuRuum),(,200002AfLuWAuWL為常數(shù),當(dāng)動(dòng)畫演示類型類型(變

13、量)靈敏度:2002200222AuWSdAuWdLL0L0021S單線圈變氣隙型:?jiǎn)尉€圈變氣隙型:10LA一定,當(dāng)特點(diǎn):特點(diǎn):a , ,非線性關(guān)系。取較小的初始間隙,非線性關(guān)系。取較小的初始間隙0可獲得可獲得 高的靈敏度;高的靈敏度;b,由于非線性,工作范圍受限。只能對(duì)微小的位移進(jìn)行測(cè)量。由于非線性,工作范圍受限。只能對(duì)微小的位移進(jìn)行測(cè)量。(/00.1 ,:0.0011mm)差動(dòng)變氣隙型:差動(dòng)變氣隙型:a.結(jié)構(gòu)特點(diǎn)結(jié)構(gòu)特點(diǎn):兩個(gè)完全相同的單線圈電感兩個(gè)完全相同的單線圈電感傳感器共用一個(gè)活動(dòng)銜鐵。傳感器共用一個(gè)活動(dòng)銜鐵。(電氣參數(shù)、幾何尺寸均相同)(電氣參數(shù)、幾何尺寸均相同))(2)(2000

14、2000221AuWAuWLLL差)(122222000002220002AuWAuW)(122000L單差差SAuWLLS22220200200)(122000 L0002, 1LL差有當(dāng)b.與單線圈相比,有下列優(yōu)點(diǎn):與單線圈相比,有下列優(yōu)點(diǎn):(常量)一定時(shí),當(dāng)20200uWALSAL線圈1線圈2磁芯x線性得到改善;線性得到改善;靈敏度提高一倍。靈敏度提高一倍。變截面型:變截面型:差動(dòng)螺管型:差動(dòng)螺管型:動(dòng)畫演示渦電流型渦電流型渦電流效應(yīng)12工作原理:工作原理:),u,(fZ12金屬板金屬板的電阻率金屬板的電阻率金屬板的磁導(dǎo)率金屬板的磁導(dǎo)率距離距離線圈激勵(lì)電流的圓頻率線圈激勵(lì)電流的圓頻率線圈

15、阻抗:線圈阻抗:測(cè)量電路測(cè)量電路fee0e1e2f0f1f2=12e12e2e1阻抗分壓式調(diào)幅電路:阻抗分壓式調(diào)幅電路:LCf210調(diào)頻電路調(diào)頻電路eeffLL00渦流傳感器的應(yīng)用:渦流傳感器的應(yīng)用:主要用于動(dòng)態(tài)非接觸測(cè)量;主要用于動(dòng)態(tài)非接觸測(cè)量; 金屬導(dǎo)體。金屬導(dǎo)體。測(cè)位移;測(cè)位移;測(cè)軸的振動(dòng);測(cè)軸的振動(dòng);測(cè)轉(zhuǎn)速;測(cè)轉(zhuǎn)速;分)轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)齒數(shù)/)(60NZHzfZfN測(cè)厚度測(cè)厚度;探傷探傷.二二. .互感式互感式-差動(dòng)變壓器式電感傳感器差動(dòng)變壓器式電感傳感器dtidMe112工作原理:工作原理:把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)化成互感系數(shù)把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)化成互感系數(shù)M的變化。的變化。M-互感系數(shù)(互感系數(shù)(H)

16、表示兩線圈之間的耦合程度。表示兩線圈之間的耦合程度。其大小與兩線圈相對(duì)位置及其大小與兩線圈相對(duì)位置及周圍介質(zhì)的導(dǎo)磁能力等因素周圍介質(zhì)的導(dǎo)磁能力等因素 有關(guān)。有關(guān)。 i1-一次側(cè)線圈的勵(lì)磁電流。一次側(cè)線圈的勵(lì)磁電流。e12-二次側(cè)線圈的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)二次側(cè)線圈的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。相當(dāng)于一個(gè)互感系數(shù)可變的變壓器相當(dāng)于一個(gè)互感系數(shù)可變的變壓器差動(dòng)結(jié)構(gòu)差動(dòng)結(jié)構(gòu):e1e2e0 xe0輸出特性輸出特性:測(cè)量電路:測(cè)量電路:差動(dòng)相敏檢波電路補(bǔ)償零點(diǎn)殘余電壓-可調(diào)電位器R;分辨鐵心移動(dòng)方向(極性判別)-相敏檢波電路。各點(diǎn)信號(hào)波形。第五節(jié)第五節(jié) 電容式傳感器電容式傳感器)。極板面積();極板間距離()(空氣極間介質(zhì)相對(duì)介

17、電常數(shù)真空介電常數(shù)(212001)/1085. 8mAmmFACrrr),(AfC 一工作原理:一工作原理:將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成電容的變化。將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成電容的變化。平行平板電容器平行平板電容器:)。(介質(zhì)變化型);(面積變化型);(極距變化型fCAfCfC極距變化型極距變化型(常量)時(shí),僅當(dāng)2001ASrCACr0dAdCr20兩邊微分:(變量)靈敏度:20AddCSr差動(dòng)式差動(dòng)式00單差動(dòng)SSCAACCCrrba2.)(1 220000000常數(shù))(222020rddCSrCrr常數(shù))(00bdxdCSbxCrr常數(shù))()/ln(2)/ln(200dDdxdCSdDxCrr面積變化型

18、:面積變化型:角位移型角位移型 線位移型線位移型圓柱體線位移型圓柱體線位移型如圖3-23特點(diǎn):特點(diǎn):輸入輸出成線性關(guān)系;輸入輸出成線性關(guān)系;靈敏度相對(duì)較小靈敏度相對(duì)較??;適用于較大直線位移及角位移的測(cè)量。適用于較大直線位移及角位移的測(cè)量。121212)/ln()(2)/ln(2KhACrRKrRhA;令介質(zhì)變化型:介質(zhì)變化型:如圖3-24液位測(cè)量液位測(cè)量。)/ln()(2)/ln(221222rRhhrRhC氣體介質(zhì)間的電容量:)/ln(2111rRhC液體介質(zhì)間的電容量:)/ln()(2)/ln(2211221rRhrRhCCC介質(zhì)溫度,濕度或介質(zhì)溫度,濕度或厚度測(cè)量;厚度測(cè)量;二電容傳感器

19、的測(cè)量電路二電容傳感器的測(cè)量電路dtdAREdtdCREuRtiutidtdCEdtdQCEQryy200000)()(測(cè)量時(shí):穩(wěn)態(tài)時(shí):交流電橋直流極化電路諧振電路調(diào)頻電路運(yùn)算放大器電路三電容傳感器的特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):溫度穩(wěn)定性好;溫度穩(wěn)定性好; 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適應(yīng)性強(qiáng);結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適應(yīng)性強(qiáng);動(dòng)態(tài)響應(yīng)好;動(dòng)態(tài)響應(yīng)好;可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,具有平均效應(yīng)??梢詫?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,具有平均效應(yīng)。缺點(diǎn):缺點(diǎn):輸出阻抗高,負(fù)載能力差;輸出阻抗高,負(fù)載能力差;寄生電容大;寄生電容大;措施:措施:驅(qū)動(dòng)電纜技術(shù)驅(qū)動(dòng)電纜技術(shù);縮短距離,集成技術(shù);縮短距離,集成技術(shù)。輸出的非線性。輸出的非線性。四、影響電容傳感器精度的因素四、影

20、響電容傳感器精度的因素1、溫度、溫度2、漏電阻的影響、漏電阻的影響3、邊緣效應(yīng)與寄生參量的影響、邊緣效應(yīng)與寄生參量的影響五、應(yīng)用舉例五、應(yīng)用舉例電容測(cè)厚儀電容測(cè)厚儀軋輥軋輥工作極板工作極板被測(cè)帶材被測(cè)帶材第六節(jié)第六節(jié) 壓電式傳感器壓電式傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器一壓電效應(yīng):一壓電效應(yīng):正向壓電效應(yīng):機(jī)正向壓電效應(yīng):機(jī) 電電逆向壓電效應(yīng):電逆向壓電效應(yīng):電 機(jī)機(jī)可逆過(guò)程可逆過(guò)程二壓電材料:二壓電材料:?jiǎn)尉尉⒕w石英晶體鈮酸鋰,鉭酸鋰鈮酸鋰,鉭酸鋰多晶多晶- 壓電陶瓷(鈦酸鋇,鋯鈦酸鉛壓電陶瓷(鈦酸鋇,鋯鈦酸鉛PZT)新型材料新型材料石英晶體石英晶體xzy光軸光軸機(jī)械軸機(jī)械軸xF

21、Dq11電軸電軸石英晶體并不是在任何方石英晶體并不是在任何方 向都存在壓電效應(yīng)。向都存在壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)模型:壓電效應(yīng)模型:縱向效應(yīng)縱向效應(yīng):yFDq22FDq33橫向效應(yīng)橫向效應(yīng):切向效應(yīng):切向效應(yīng):特點(diǎn):特點(diǎn):溫度穩(wěn)定好;機(jī)械強(qiáng)度高;溫度穩(wěn)定好;機(jī)械強(qiáng)度高;可用來(lái)測(cè)量大量程的力和加速度??捎脕?lái)測(cè)量大量程的力和加速度。ACra0aCqU0三壓電式傳感器及其等效電路:三壓電式傳感器及其等效電路: 等效電路:等效電路:具有一定電容的電荷源具有一定電容的電荷源等效電容:等效電容:開路電壓開路電壓:等效電路等效電路: )()()(0sQssIsICR兩邊取拉氏變換:等效電路等效電路aiicaRRR

22、CCCC/0idtCuq式:根據(jù)電荷平衡建立方程qidtiCRRui00:則又)(1)()(0sHCsRssQsI壓電元件常用結(jié)構(gòu)形式壓電元件常用結(jié)構(gòu)形式C=2C u=u q=2q時(shí)間常數(shù)大,動(dòng)態(tài)響應(yīng)差,適合于慢變時(shí)間常數(shù)大,動(dòng)態(tài)響應(yīng)差,適合于慢變信號(hào)的測(cè)量。以電荷量輸出的場(chǎng)合。信號(hào)的測(cè)量。以電荷量輸出的場(chǎng)合。C=C/2 u=2u q=q時(shí)間常數(shù)小,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,適合于快變時(shí)間常數(shù)小,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,適合于快變信號(hào)的測(cè)量。以電壓作為輸出的場(chǎng)合。信號(hào)的測(cè)量。以電壓作為輸出的場(chǎng)合。并聯(lián):并聯(lián):串聯(lián):串聯(lián):四測(cè)量電路四測(cè)量電路 壓電傳感器對(duì)測(cè)量電路的要求:壓電傳感器對(duì)測(cè)量電路的要求:壓電傳感器內(nèi)阻很高,且信號(hào)微弱,因此,一般不能直接顯示壓電傳感器內(nèi)阻很高,且信號(hào)微弱,因此,一般不能直接顯示和記錄,而需經(jīng)過(guò)二次儀表進(jìn)行阻抗變換和信號(hào)放大。和記錄,而需經(jīng)過(guò)二次儀表進(jìn)

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