SU8200場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件

1、SU8200SU8200場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件一、二次電子分辨率：一、二次電子分辨率： 0.8 nm (加速電壓 15 kV，工作距離4 mm)1.1 nm (著陸電壓 1 kV，工作距離1.5 mm)(減速模式) 以上分辨率的測試都是基于日立電鏡的分辨率測試標樣（蒸金磁帶樣品，蒸金碳樣品）二、放大倍率：二、放大倍率：低倍模式： 20 到 2k高倍模式： 100 到 1000k三、電子光學：三、電子光學：1.電子槍：冷場發(fā)射電子槍（帶有柔性flash功能）2.加速電壓: 0.5 到 30 kV 著陸電壓: 0.01到 2 kV3.透鏡系統(tǒng)三級電磁透鏡系統(tǒng)4.物鏡光

2、闌四孔可調光闌(內置加熱自清潔功能)5.掃描線圈二級電磁式偏轉線圈（高倍模式）一級電磁式偏轉線圈（低倍模式）6.消像散器 八級電磁系統(tǒng)（X，Y）7.探測器：低位（Lower）、高位（Upper）、和頂位（Top）三種探測器進行二次電子/背散射電子的接收能譜系統(tǒng) (選配)8.束閘 電磁型9.電位移： 12 m (工作距離8 mm) 注意：工作距離改變時，電位移范圍會改變四、樣品室和樣品臺：四、樣品室和樣品臺： 1. 樣品臺控制： 五軸馬達臺2. 可移動范圍和樣品尺寸：SU8220SU8220SU8230SU8230SU8240SU8240X0 50 mm0 110 mm0 110 mmY0 50

3、 mm0 110 mm0 80 mmZ1.5 30 mm1.5 40 mm1.5 40 mmT-5 70R0 360樣品尺寸最大樣品尺寸（直徑）150 mm3.可安裝樣品高度SU8220SU8220SU8230/SU8240SU8230/SU8240樣品最大直徑樣品最大高度樣品最大直徑樣品最大高度26 mm17 mm 26 mm24 mm75 mm8 mm75 mm15 mm100 mm6 mm125 mm12 mm150 mm2 mm150 mm8 mm4.換樣 預抽室5.樣品臺控制：圖形界面控制自動樣品更換位置定位功能樣品臺移動軌跡存儲功能優(yōu)中心旋轉功能圖片導航功能五、顯示系統(tǒng)五、顯示系統(tǒng)

4、1.用戶界面電腦顯示器上的圖形用戶界面2.電腦操作系統(tǒng)：微軟Windows 7 專業(yè)版（32位）操作臺：鼠標、鍵盤、旋鈕板、樣品臺控制方法（標配軌跡球，或選配操縱桿）3.顯示器24.1寸液晶顯示器或同等配置的顯示器（屏幕：1,9201,200像素）4.掃描模式： 二維圖像顯示 選區(qū)模式 點分析模式平均濃度分析模式圖像顯示模式大屏顯示模式 (1280 960)單屏顯示模式 (800 600)雙屏同時顯示模式 (800 600)四屏同時顯示模式 (640 480)選區(qū)顯示模式（圖像調整時使用）5.電子光學對中： 電子束對中光闌對中像散對中低倍對中6.掃描模式積分掃描快掃慢掃 縮小區(qū)域掃 高清捕圖

5、積分捕圖 荷電抑制掃描(CS掃描)7.掃描速度TV：兩級掃描速度（Rapid1Rapid2）快掃：兩級掃描速度（Fast1Fast2）慢掃：七級掃描速度（Slow1Slow7）CS掃描：七級掃描速度（CSS1CSS7）選區(qū)掃描8.自動調節(jié)功能：ABCC (自動亮度/對比度調節(jié))，自動聚焦9.信號和圖像處理功能： 通過積分，圖像的信噪比提高楨積分（最大積分數量：1,024）（TV和快掃模式）彩色圖像顯示兩種顏色混合圖像顯示（實時）偽彩圖像顯示（保存圖像）存儲圖像處理漸變轉換Gamma 調節(jié)多重濾波處理10. 圖像存儲：圖像存儲尺寸：640 480，800 600，1,280 960，2,560

6、1,920，5,120 3,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG11. 圖像打印自由布局打印功能12. 保存數據圖像的處理圖像管理和處理(SEM Data Manager) ：圖片數據庫管理 縮略圖顯示多種圖片處理功能 13. 其他功能：束閘功能（圖像凍結時）光柵旋轉/傾斜補償測量功能 (實時圖像或存儲圖像) 參數顯示 (照片號、加速電壓、放大倍率、微標尺、工作距離、日期、時間)參數條被底：透明、黑色數據輸入和標注（圓，矩形，箭頭，尺寸線）14. 外部設備接口：USB 接口網卡接口15.X射線分析功能掃描模式： 點掃描 面掃描 DBC接口（選配）六、真空系統(tǒng)六、真空系統(tǒng)1.真

7、空控制：完全自動氣動閥系統(tǒng)2.真空泵：離子泵： 60 L/s 1, 20 L/s 2磁懸浮分子泵： 300 L/min 1（主抽氣）機械泵 為減輕污染，推薦使用干泵3.真空量規(guī)：全量程量規(guī)，皮拉寧規(guī)兩個（控制真空系統(tǒng)），潘寧規(guī)一個4.真空度：電子槍： 10-8 Pa樣品室： 10-4 Pa5.樣品交換室：六寸預抽室七、保護措施七、保護措施斷電保護、斷水保護、漏氣保護八、循環(huán)水八、循環(huán)水冷卻水循環(huán)流速：1.01.5 L/min （冷卻物鏡）水壓：50100 kPa 水溫：10 to 20 C （10分鐘內最大可變化0.5度）九、防污染措施九、防污染措施 液氮冷阱十、十、SU8200SU8200系

8、列掃描電鏡（系列掃描電鏡（SU8220,SU8230,SU8240SU8220,SU8230,SU8240）主機.1顯示單元.1機械泵.1空壓機.1標配專用工具.1 套耗材及配件.1 套操作手冊.1 套十一、尺寸及重量十一、尺寸及重量長寬高重量主機（SU8220） 9908501,710 mm665 kg主機（SU8230）9908501,745 mm740 kg主機（SU8240） 9908501,745 mm 745 kg顯示單元 1,120 1,100 1,200mm 275 Kg空壓機 210420520 mm16 kg減震器 200180 160 mm 40 kg 十二、主要選項附件十二、主要選項附件探測器：頂探頭過濾器YAG型BSE探測器（SU8220/ SU8230/SU8240）掃透探測器（SU8220/ SU8230/SU8240）半導體型BSE探測器（SU8220/ SU82