第5章電感式傳感器

1、1. 磁路及磁路定理 磁通的閉合路徑稱為磁路磁通的閉合路徑稱為磁路。圖示為交流接觸器的磁路，磁通經(jīng)圖示為交流接觸器的磁路，磁通經(jīng)過鐵心和空氣隙而閉合。過鐵心和空氣隙而閉合。根據(jù)安培換路定理有根據(jù)安培換路定理有IlHldlSlBHlIN線圈匝數(shù)線圈匝數(shù)磁勢(shì)磁勢(shì)磁路平均長(zhǎng)度磁路平均長(zhǎng)度mRFSlIN/磁通磁通磁阻磁阻 磁勢(shì)是產(chǎn)生磁通的激勵(lì) 磁阻是描述阻礙磁通的 物理量 該關(guān)系也稱作磁路歐姆 定律，簡(jiǎn)稱磁路定理NI 磁路歐姆定律與電路中的歐姆定律在形式上相似磁路歐姆定律與電路中的歐姆定律在形式上相似對(duì)照如下：磁路電路磁動(dòng)勢(shì) F磁通 磁感應(yīng)強(qiáng)度B磁阻 R= l / SmRF電動(dòng)勢(shì) E電流 I電流密度

2、J電阻 R= l / SREI NI +EIR若磁路不均勻，由不同材料構(gòu)成，則磁路的磁阻應(yīng)由不同的幾段串聯(lián)而成，即)(2211lHlHlHIN類似磁類似磁路路KVLv 結(jié)構(gòu)線圈、鐵芯和銜鐵三部分組成。鐵芯和銜鐵由導(dǎo)磁材料如硅鋼片或坡莫合金制成，在鐵芯和銜鐵之間有氣隙，氣隙厚度為，傳感器的運(yùn)動(dòng)部分與銜鐵相連。線圈鐵芯銜鐵2. 變磁阻式傳感器工作原理v 磁路構(gòu)成及磁阻由鐵芯、空氣隙和銜鐵三部分組成總磁阻為002221112SSlSlRm由于鐵磁材料的磁導(dǎo)率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空磁導(dǎo)率，所以002SRm根據(jù)磁路歐姆定律得mRIN v 變換原理20022SNRNINLm可見，當(dāng)氣隙厚度氣隙厚度或面積或面積S S

3、改變時(shí)，電感L就發(fā)生改變。當(dāng)傳感器線圈接入測(cè)量電路后，電感的變化進(jìn)一步轉(zhuǎn)換成電壓、電流或頻率的變化，實(shí)現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)換。 以變間隙式傳感器為例。改變銜鐵與鐵芯間的間隙厚度，變磁阻式傳感器輸出特性曲線如圖所示。變隙式電壓傳感器的L-特性 當(dāng)銜鐵上移時(shí)，傳感器氣隙減小，即=0-， 則此時(shí)輸出電感為L(zhǎng)=L0+L， 整理得： 設(shè)電感傳感器初始?xì)庀稙?，初始電感量為L(zhǎng)0，銜鐵位移引起的氣隙變化量為 。當(dāng)銜鐵處于初始位置時(shí)，初始電感量為： 020002NSL 00000201)(2LSLLLN 當(dāng)/01時(shí)，可將上式用泰勒級(jí)數(shù)展開為級(jí)數(shù)形式： 由上式可求得電感增量L和相對(duì)增量L/L0的表達(dá)式，即： 30

4、20001LL001LL200001LL200001LL同理，當(dāng)銜鐵隨被測(cè)體的初始位置向下移動(dòng)時(shí)，傳感器氣隙增加，即=0+， 則此時(shí)輸出電感為L(zhǎng)=L0-L，則： 銜鐵無(wú)論是上移還是下移，在忽略高次項(xiàng)后，均有30200001LL30200001LL00LL靈敏度為：?jiǎn)挝婚g隙變化引起的電感的變化量，即：0001LLK%100%100)(2oooL如果只考慮二次非線性項(xiàng)，忽略其它高次項(xiàng)，則得非線性誤差： 變間隙式電感傳感器的測(cè)量范圍與靈敏度及線性度相矛盾，因此變間隙式電感式傳感器適用于測(cè)量微小位移的場(chǎng)合。一般取測(cè)量范圍在 = 0.1 0.2mm較適宜。 差動(dòng)變間隙式自感傳感器結(jié)構(gòu)原理如圖所示：銜鐵銜

5、鐵R1R2L2L10UACU1=0-2=0+當(dāng)銜鐵向上移動(dòng)時(shí)，兩個(gè)線圈的電感分別變?yōu)椋篖LL01LLL02總的電感變化為4020002112LLLL-對(duì)上式進(jìn)行線性處理，即忽略高次項(xiàng)得 :靈敏度k0為：002LL0002/LLk總電感的相對(duì)變化量為40200012LL如果只考慮三次非線性項(xiàng)，忽略其它高次項(xiàng)，則得非線性誤差： %100)/(%100)(230ooL靈敏度提高1倍非線性也很低此外，由于結(jié)構(gòu)上的對(duì)稱，差動(dòng)式還可有效地補(bǔ)償溫度變化造成的誤差。電感式傳感器的測(cè)量電路形式較多，主要有： 交流電橋； 變壓器式交流電橋； 諧振式等。1、交流電橋、交流電橋 圖所示為交流電橋測(cè)量電路，傳感器的兩線

6、圈作為電橋的兩相鄰橋臂Z1和Z2，另外兩個(gè)相鄰橋臂為純電阻R。b）交流電橋等效電路ACUoU1Z2Z3R4Ra）交流電橋結(jié)構(gòu)示意圖R3R4L2L10UACU12Z1Z2根據(jù)第3章講述的知識(shí)，電橋輸出電壓為)(43213241ZZZZZZZZUUACo其中RZZ43）（LLrZ001j銅線銅線內(nèi)阻內(nèi)阻則）（LLrZ-j0020002)(2)(LLULrLUUACACojj又002LL所以0UUACo交流電橋的特點(diǎn)是：1）電橋輸出與氣隙變化量有關(guān)，并有正比關(guān)系；2) 橋路輸出與電橋電壓UAC有關(guān)，橋壓升高，輸出U0增加；3）橋路輸出與初始?xì)庀?0有關(guān)，初始間隙越小，輸出越大。初始初始電感電感2.

7、變壓器式交流電橋 圖所示電路為變壓器式交流電橋測(cè)量電路，電橋兩臂分別為傳感器兩線圈的阻抗，另外兩橋臂分別為電源變壓器的兩次級(jí)線圈，其匝數(shù)比為1/2。變壓器式交流電橋Z2Z1IABCD2U2U0UsU當(dāng)負(fù)載阻抗為無(wú)窮大時(shí)，橋路輸出電壓為： 2212121211UZZZZUUZZZUo當(dāng)傳感器的銜鐵處于中間位置，即Z1=Z2=Z時(shí)0oU當(dāng)傳感器銜鐵上移時(shí)，如Z1=Z+Z，Z2=Z-Z時(shí)， 22ULLUZZUo當(dāng)傳感器銜鐵下移時(shí)，如Z1=Z-Z，Z2=Z+Z， 此時(shí) 22ULLUZZUo由以上分析可知，這兩種交流電橋輸出的空載電壓相同，且當(dāng)銜鐵上下移動(dòng)相同距離時(shí)，電橋輸出電壓大小相等而相位相反。由于

8、是交流電壓，輸出指示無(wú)法判斷位移方向，必須配合相敏檢波電路來(lái)解決。 U諧振式測(cè)量電路分類：諧振式調(diào)幅調(diào)幅電路和諧振式調(diào)頻調(diào)頻電路。3. 諧振式（調(diào)幅、調(diào)頻）諧振式（調(diào)幅、調(diào)頻）諧振式調(diào)幅電路LCT0U傳感器電感傳感器電感Uv 調(diào)幅電路組成傳感器電感L與電容C、 變壓器初級(jí)繞組串聯(lián)在一起， 組成串聯(lián)諧振回路，接入交流電源 。v 調(diào)幅原理變壓器副邊輸出電壓的頻率與電源頻率相同, 而幅度隨原邊線圈中L的變化而變化 。圖中L0為諧振點(diǎn)的電感值，可見此時(shí)電路的輸出幅度最大 。該電路靈敏度很高，線性差，適用于線性要求不高的場(chǎng)合。v 調(diào)頻電路組成傳感器電感L與電容C并聯(lián)組成振蕩回路。諧振式調(diào)頻電路L傳感器電

9、感傳感器電感振振蕩蕩回回路路Cfv 調(diào)頻原理LC振蕩回路的振蕩頻率 為L(zhǎng)Cf210 當(dāng)L變化時(shí)，振蕩頻率隨之變化，根據(jù)f的大小即可測(cè)出被測(cè)量的值。f 與L的關(guān)系曲線如右圖，它具有明顯的非線性關(guān)系。 電路輸出頻率變化與傳感器的電感值變化有如下關(guān)系:L/L)(-(f/f2 諧振式調(diào)頻電路輸出特性有嚴(yán)重的非線性，這種傳感器限制在動(dòng)態(tài)范圍在較小的情況下使用。因此調(diào)頻電路只有在諧振頻率較大情況下才能達(dá)到較高精度。 當(dāng)壓力進(jìn)入膜盒時(shí)，膜盒的頂端在壓力P 的作用下產(chǎn)生與壓力P 大小成正比的位移，于是銜鐵也發(fā)生移動(dòng)，從而使氣隙發(fā)生變化，流過線圈的電流也發(fā)生相應(yīng)的變化，電流表A的指示值就反映了被測(cè)壓力的大小。

10、當(dāng)被測(cè)壓力進(jìn)入C形彈簧管時(shí)， C形彈簧管產(chǎn)生變形， 其自由端發(fā)生位移，帶動(dòng)與自由端連接成一體的銜鐵運(yùn)動(dòng)，使線圈1和線圈2中的電感發(fā)生大小相等、符號(hào)相反的變化。即一個(gè)電感量增大，另一個(gè)電感量減小。電感的這種變化通過電橋電路轉(zhuǎn)換成電壓輸出。由于輸出電壓與被測(cè)壓力之間成比例關(guān)系， 所以只要用檢測(cè)儀表測(cè)量出輸出電壓， 即可得知被測(cè)壓力的大小。 游標(biāo)卡尺分辨率為0.02mm; 千分尺分辨率為0.01mm; 電感傳感器的分辨率可達(dá)0.01m 。新型測(cè)量工具設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖新型測(cè)量工具設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖互感式傳感器：被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳感器。M1234次級(jí)線圈初級(jí)線圈v 基本結(jié)構(gòu) 主要包括有銜鐵

11、、初級(jí)繞組、次級(jí)繞組和線圈框架等。次級(jí)繞組用差動(dòng)形式連接，也差動(dòng)變壓器式傳感器。 v 工作原理 繞組間的互感隨被測(cè)位移的改變而變化 。 v 基本類型有變隙式、變面積式和螺線管式等。應(yīng)用最多的是螺線管式差動(dòng)變壓器。v 基本結(jié)構(gòu) 1.初級(jí)繞組 2.次級(jí)繞組a 3.次級(jí)繞組b 4.活動(dòng)銜鐵 5.骨架 v 基本形式根據(jù)初、次級(jí)排列不同有二節(jié)式、三節(jié)式、四節(jié)式和五節(jié)式等形式。12345 (a) 二節(jié)式 (b) 三節(jié)式 (c) 四節(jié)式 (d) 五節(jié)式31121 21122121232123v 等效電路 兩個(gè)次級(jí)線圈反相串兩個(gè)次級(jí)線圈反相串聯(lián)，理想條件下等效電路聯(lián)，理想條件下等效電路如左圖。如左圖。L1ar

12、2bL2aM1M2L2br2ar1iU0UaE2b2E 銜鐵位于中間位置銜鐵位于中間位置一次繞組加電壓iU二次繞組產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì) 和aE2b2E假設(shè)差動(dòng)變壓器線圈完全對(duì)稱則兩線圈的互感系數(shù)相等，所以b22EEa00U 銜鐵移動(dòng)時(shí)銜鐵移動(dòng)時(shí)兩線圈的互感系數(shù)向相反方向變化，所以00U輸出將隨銜鐵位移大小發(fā)生變化當(dāng)次級(jí)開路時(shí)有 則次級(jí)繞組中感應(yīng)電勢(shì)的表達(dá)式分別為 L1ar2bL2aM1M2L2br2ar1iU0UaE2b2E111LjrUIi12IMjEaa22IMjEbb 由于次級(jí)兩繞組反向串聯(lián)，且考慮到次級(jí)開路，則：11220LjrUMMjEEUibaba輸出電壓的有效值為 21210LrUMM

13、Uiba 活動(dòng)銜鐵向上移動(dòng)MMMaMMMb則212102LrMUUi與 同極性。 aE2 活動(dòng)銜鐵向下移動(dòng)MMMaMMMb則212102LrMUUi與 同極性。 bE2差動(dòng)變壓器輸出電壓的特性曲線 e21e220 xe2 當(dāng)差動(dòng)變壓器的銜鐵處于中間位置時(shí)，理想條件下其輸出電壓為零。但實(shí)際上，當(dāng)使用橋式電路時(shí)，在零點(diǎn)仍有一個(gè)微小的電壓值(從零點(diǎn)幾mV到數(shù)十mV)存在，稱為零點(diǎn)殘余電壓。x-x0e2e20零點(diǎn)殘余電壓產(chǎn)生原因 v 基波分量 由于差動(dòng)變壓器兩個(gè)次級(jí)繞組不可能完全一致，因此它的等效電路參數(shù)（互感M、自感L及損耗電阻R）不可能相同，從而使兩個(gè)次級(jí)繞組的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)數(shù)值不等。 又因初級(jí)線圈中

14、銅損電阻及導(dǎo)磁材料的鐵損和材質(zhì)的不均勻，線圈匝間電容的存在等因素，使激勵(lì)電流與所產(chǎn)生的磁通相位不同。 v 高次諧波 高次諧波分量主要由導(dǎo)磁材料磁化曲線的非線性引起。由于磁滯損耗和鐵磁飽和的影響，使得激勵(lì)電流與磁通波形不一致產(chǎn)生了非正弦(主要是三次諧波)磁通，從而在次級(jí)繞組感應(yīng)出非正弦電勢(shì)。 另外，激勵(lì)電流波形失真，因其內(nèi)含高次諧波分量，這樣也將導(dǎo)致零點(diǎn)殘余電壓中有高次諧波成分。減少零點(diǎn)殘余電壓的措施。選用合適的測(cè)量線路。采用相敏檢波電路不僅可鑒別銜鐵移動(dòng)方向，而且把銜鐵在中間位置時(shí)，因高次諧波引起的零點(diǎn)殘余電壓消除掉。RP(a)RP(b)C(c)CR(d)RPR1.差動(dòng)整流電路R2R1abhg

15、cfde+uU0當(dāng)e點(diǎn)為“”，f點(diǎn)為“”，則電流路徑是eacdbf.v工作原理當(dāng)e點(diǎn)為“”，f點(diǎn)為“+”，則電流路徑是fbcdae.無(wú)論次級(jí)線圈的輸出瞬時(shí)電壓極無(wú)論次級(jí)線圈的輸出瞬時(shí)電壓極性如何，通過電阻性如何，通過電阻R的電流總是的電流總是從從c到到d。整流電路的輸出電壓整流電路的輸出電壓UhgdcUUU0鐵芯在零位鐵芯在零位UdctttUghU2tUdctUghtU2鐵芯在零位以上鐵芯在零位以上ttUdcUghtU2v 波形hgdcUUU0R2R1abhgcfde+uU02.二極管相敏檢波電路v電路組成u1u2+R-RD3D2D1D4RRT1T2-+RLuiusu0來(lái)自傳感器來(lái)自傳感器參考

16、信號(hào)參考信號(hào)輸出信號(hào)輸出信號(hào) D1D4為四個(gè)性能相同的二極管，以同一方向串聯(lián)接成一個(gè)閉合回路，形成環(huán)形電橋。 平衡電阻R起限流作用，以避免二極管導(dǎo)通時(shí)變壓器T2的次級(jí)電流過大。 輸入信號(hào)ui通過變壓器T1加到環(huán)形電橋的一個(gè)對(duì)角線上。參考信號(hào)us通過變壓器T2加到環(huán)形電橋的另一個(gè)對(duì)角線上。 輸出信號(hào)uo從變壓器T1與T2的中心抽頭引出。u1u2+R-RD3D2D1D4RRT1T2-+RLuiusu0來(lái)自傳感器參考信號(hào)輸出信號(hào)v工作原理iLiLT2是中間抽頭，u1=u2,流經(jīng)RL的電流為同理，當(dāng)ui與us都是負(fù)半周，將對(duì)應(yīng)D1和D2導(dǎo)通uiusLRRui1LLRRui2L +-u1u2+R-RD3

17、D2D1D4RRT1T2-+RLuiusu0來(lái)自傳感器參考信號(hào)輸出信號(hào)e1e2iLiLuius同頻同相設(shè)計(jì)要求us的振幅遠(yuǎn)大于ui的振幅。正半周LRReui21LLRReui2 2L負(fù)半周+-+LRReui1 1LLRReui12L+-u1u2+R-RD3D2D1D4RRT1T2-+RLuiusu0來(lái)自傳感器參考信號(hào)輸出信號(hào)e1e2iLiLuius同頻反相正半周LRReui21LLRReui2 2L負(fù)半周+-+LRReui1 1LLRReui12L結(jié)論：銜鐵在中間位置時(shí)，無(wú)論參考電壓是正半周還是負(fù)半周，在負(fù)載RL上的輸出電壓始終為0。銜鐵在零位以上移動(dòng)時(shí)，無(wú)論參考電壓是正半周還是負(fù)半周，在負(fù)載

18、RL上得到的輸出電壓始終為正。 銜鐵在零位以下移動(dòng)時(shí)，無(wú)論參考電壓是正半周還是負(fù)半周，在負(fù)載RL上得到的輸出電壓始終為負(fù)。由此可見，該電路能判別鐵芯移動(dòng)的方向。1、電感測(cè)厚儀2、電感測(cè)微儀3、電感壓力計(jì)4、張力測(cè)量控制系統(tǒng) 根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈渦流狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，以上現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱為電渦流傳感器。 電渦流傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、頻率響應(yīng)寬、靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)、測(cè)量線性范圍大，而且又具有非接觸測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)。電渦流傳感器可以測(cè)量位移、振動(dòng)、厚度、轉(zhuǎn)速、溫度等參數(shù)，并且還可以進(jìn)行無(wú)損

19、探傷和制作接近開關(guān)。 v 存在交變磁場(chǎng)1、形成渦流的條件v 導(dǎo)體處于交變磁場(chǎng)中2、影響渦流的因素v 金屬板的電阻率v 磁導(dǎo)率v 金屬板厚度hv 金屬板與線圈的距離v 激勵(lì)電流角頻率v 導(dǎo)體上形成的渦流等效成一個(gè)短路環(huán)中的電流，短路環(huán)中的電流，短路環(huán)可短路環(huán)可以認(rèn)為是以認(rèn)為是一匝短路線圈，其電一匝短路線圈，其電阻為阻為R R2 2、電感為、電感為L(zhǎng) L2 2。1、等效電路v 線圈與導(dǎo)體等效為兩個(gè)相互耦合的線圈。線圈與導(dǎo)體間的互感M隨線圈與導(dǎo)體間距x的減小而增大。MMR R1 1L L2 2L L1 1R R2 21I1U2I2、等效電路分析MMR R1 1L L2 2L L1 1R R2 21I

20、1U2I根據(jù)KVL，可列出下面的方程：022221121111ILjIRIMjUIMjILjIR解方程得等效阻抗的表達(dá)式為eqeqLjRLLRMLjRLRMRIUZ222222221222222221111可以看到：v 導(dǎo)體的電阻率、導(dǎo)磁率、線圈與被測(cè)體間的距離x，激勵(lì)線圈的角頻率,都通過渦流效應(yīng)和磁效應(yīng)影響?？刂颇承﹨?shù)不變，只改變其中一個(gè)參數(shù)，可使線圈阻抗 Z1成為這個(gè)參數(shù)的單值函數(shù)。從而實(shí)現(xiàn)對(duì)這個(gè)參數(shù)的測(cè)量。 因?yàn)榻饘俅嬖?，渦流只存在于金屬導(dǎo)體的表面薄層內(nèi), 存在一個(gè)渦流區(qū)。渦流區(qū)內(nèi)各處的渦流密度不同,存在徑向分布和軸向分布。金屬金屬扁平線圈扁平線圈渦流區(qū)渦流區(qū)r/rosjmaxhros

21、jv 徑向分布 渦流范圍與線圈外徑有固定比例關(guān)系，如圖所示。 r = ro s 線圈外徑處，金屬渦流密度最大； r = 0 線圈中心處，渦流密度為零 ( j = 0 ) ； r 0.4ros 處（以內(nèi)）基本沒有渦流； r = 1.8ros 線圈外徑處，渦流密度衰減到最大值的5%。v 軸向分布 由于趨膚效應(yīng)渦流只在表面薄層存在，沿磁場(chǎng)H方向（軸向）也是分布不均勻的。距離金屬表面Z處,渦流按指數(shù)規(guī)律衰減。hz10ej0jZjhzzejj/0j0 Z = 0 處金屬表面渦流密度(最大） jz 金屬表面距離Z 處的渦流h 趨膚深度 I1為線圈激勵(lì)電流，I2 為金屬導(dǎo)體中的等效電流（渦流） x = 0

22、處，I2 = I1；x/ros= 1，I2 = 0.3I1, I2 只有在 x/ros ros時(shí)電渦流很弱了，所以測(cè)大位移時(shí)線圈直徑要大。 當(dāng)線圈與導(dǎo)體距離x發(fā)生變化時(shí)，渦流密度發(fā)生變化，電流強(qiáng)度隨之變化，根據(jù)導(dǎo)體系統(tǒng)的電磁作用得到電流強(qiáng)度為22121osrxxIIx/rosI2/I11.01 2 3 4 要增加測(cè)量范圍需加大線圈直徑，傳感器體積增大要增加測(cè)量范圍需加大線圈直徑，傳感器體積增大, ,這是電渦流傳感器應(yīng)用的局限性。這是電渦流傳感器應(yīng)用的局限性。U U0 0交流電橋測(cè)量電路交流電橋測(cè)量電路L L1 1振蕩器振蕩器R R1 1R R2 2C C2 2 C C1 1L L2 2檢波檢波

23、放大放大石英晶體振蕩器起恒流源的作用，給諧振回路提供一個(gè)頻率f0穩(wěn)定的激勵(lì)電流io，LC回路的阻抗為Z時(shí)輸出電壓當(dāng)金屬導(dǎo)體遠(yuǎn)離傳感器線圈時(shí)，諧振回路諧振頻率f0，回路呈現(xiàn)的阻抗最大，諧振回路上的輸出電壓也最大。調(diào)幅式測(cè)量電路原理框圖調(diào)幅式測(cè)量電路原理框圖晶體振蕩器晶體振蕩器L LC C輸出輸出放大放大檢波檢波濾波濾波R R當(dāng)金屬導(dǎo)體靠近時(shí)，線圈的等效電感L發(fā)生變化，導(dǎo)致回路失諧，輸出電壓降低，L的數(shù)值隨距離的變化而變化。因此，輸出電壓也隨而變化。傳感器線圈接入LC振蕩回路。當(dāng)傳感器與被測(cè)導(dǎo)體距離改變時(shí)，在渦流影響下，傳感器的電感變化，導(dǎo)致振蕩頻率的變化。 振蕩頻率可由數(shù)字頻率計(jì)直接測(cè)量，或者通過F-V變換，用數(shù)字電壓表測(cè)量對(duì)應(yīng)的電壓。L LC C接頻率計(jì)接頻率計(jì)R R2 2R R1 1C C1 1+ +U U調(diào)頻式測(cè)量電路調(diào)頻式測(cè)量電路1、測(cè)量過程： 電渦流位移傳感器是一種輸出為模擬電壓的電子器件。接通電源后，在電渦流探頭的有效面（感應(yīng)工作面）將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng)。當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬表面將吸取電渦流探頭中的高頻振蕩能量，使振蕩器的輸出幅度線性地衰減，根據(jù)衰減量的變化，可地計(jì)算出與被檢物體的距離、振動(dòng)等參數(shù)。這種位移傳感器屬于非接觸測(cè)量，工作時(shí)