特氣系統(tǒng)培訓(xùn)

1、特氣系統(tǒng)培訓(xùn) 特氣系統(tǒng)培訓(xùn) Gas Cabinet的用途 實(shí)現(xiàn)安全的連續(xù)的供應(yīng)某種特殊氣體,供機(jī)臺(tái)制程使用,滿足生產(chǎn)用氣要求. 為保證供氣的聯(lián)系性,一般左右盤面均為獨(dú)立的操作執(zhí)行體. 能夠在保證一邊供氣的前提下,另外一邊實(shí)現(xiàn)Purge, 更換鋼瓶,并直至到Standby. 等待被自動(dòng)切換當(dāng)另外一邊氣體被用完后.1.可以實(shí)現(xiàn)跟VMB, Scrubber 等設(shè)備的聯(lián)動(dòng)根據(jù)客戶的要求.NH3&SiH4Psi-pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）無水氨氣是一種刺激性、無無水氨氣是一種刺激性、無色儲(chǔ)存于鋼瓶的液化壓縮氣色儲(chǔ)存于鋼瓶的液

2、化壓縮氣體。其存儲(chǔ)壓力為其蒸汽壓體。其存儲(chǔ)壓力為其蒸汽壓114 psi 需避免的情況：需避免的情況： 高溫高溫(大于大于426)，鋼瓶儲(chǔ)存溫度不可，鋼瓶儲(chǔ)存溫度不可高于高于52比重：比重：(空氣空氣1) 0.59不可燃?xì)怏w不可燃?xì)怏w!但當(dāng)它在空氣但當(dāng)它在空氣中的濃度超過中的濃度超過15%時(shí)有立即時(shí)有立即造成火災(zāi)及爆炸的危險(xiǎn)造成火災(zāi)及爆炸的危險(xiǎn)可自燃?xì)怏w可自燃?xì)怏w! 硅烷是一種無色、與硅烷是一種無色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體。該空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧煙霧。 其存

3、儲(chǔ)壓力為其蒸汽壓其存儲(chǔ)壓力為其蒸汽壓9001100psi 。如果泄放硅烷時(shí)壓力過高或速度如果泄放硅烷時(shí)壓力過高或速度過快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的過快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要硅烷如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近。靠近。比重：（空氣比重：（空氣1) 1.2不要用鹵化物類滅火器。從最遠(yuǎn)不要用鹵化物類滅火器。從最遠(yuǎn)的距離用水冷卻暴露在火的距離用水冷卻暴露在火 焰中的焰中的鋼瓶。鋼瓶。特氣系統(tǒng)培訓(xùn) 硅烷和氨氣主要在太陽能生產(chǎn)上用于等離子化學(xué)氣相沉積(PEVCD) 之中. 等離子化學(xué)氣相沉積(PEVCD)：PEVCD被使用來在硅片上沉積氮化硅材料，是在300-900的溫度下

4、通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生Si3N4的過程。 典型的化學(xué)反應(yīng)為：SiH4 + NH3 Si3N4 + NH3 + N2全自動(dòng)氣柜安全配置 Fire Sensor(火焰?zhèn)蓽y) High Temp Sensor(高溫傳感器) Auto Guard(鋼瓶接口處的安全裝置) Sprinkler(噴淋裝置) Seismic Detector(防震探測器) Gas Leak Detector(毒氣偵測器) Fire Sensor(火焰?zhèn)蓽y) 定義:此設(shè)備是針對(duì)一些易燃?xì)怏w,易爆氣體或因?yàn)槠渌蚨O(shè) 工作原理:當(dāng)氣柜里面有火焰時(shí)氣柜內(nèi)部會(huì)有個(gè)超聲波檢測模塊(UV-TRON)探測到一個(gè)特殊的頻段,產(chǎn)生報(bào)警信號(hào)High

5、 Temp Sensor(高溫傳感器) 定義:此設(shè)備的目的是為了防止氣柜內(nèi)部溫度過高而導(dǎo)致危險(xiǎn) 工作原理:這是一個(gè)雙金屬開關(guān),它由兩個(gè)受熱膨脹綠不同的金屬片組成,從而控制電信號(hào)開關(guān). 規(guī)格:工作溫度是72,超過72度便產(chǎn)生報(bào)警信號(hào).Auto Guard(鋼瓶接口處的安全裝置) 定義:這個(gè)裝置的目的是為了保證換鋼瓶的安全.為了防止在沒有進(jìn)行換瓶前吹掃便把鋼瓶卸下從而導(dǎo)致毒氣泄漏. 工作原理:這是一個(gè)氣動(dòng)裝置.裝置內(nèi)部有一個(gè)控制開關(guān)的電磁閥.這個(gè)裝置保證了鋼瓶接口處的安全,操作者無法輕易卸下鋼瓶接口,除非是在安全流程下才會(huì)打開此裝置,允許操作者卸下接口Sprinkler(噴淋裝置) 定義:當(dāng)氣柜內(nèi)

6、部由于火焰或其他原因?qū)е聝?nèi)部溫度超過72時(shí)噴淋啟動(dòng) 工作原理:當(dāng)氣柜內(nèi)部溫度上升到一定極限(72)時(shí)消防水便會(huì)被開啟Gas Leak Detector(毒氣偵測器) 定義:此設(shè)備是偵測大氣中毒氣含量的裝置,根據(jù)所設(shè)定值來產(chǎn)生報(bào)警 工作原理:公司常用的是電化學(xué)式的偵測器,通過采樣管從氣柜風(fēng)管里抽取少量氣體從如偵測器分析毒氣含量,之后排出大氣.(采樣管必須接在排氣管的下面) 安裝:可以采集氣柜內(nèi)部的氣體進(jìn)行分析,也可以采集環(huán)境中的氣體進(jìn)行分析特氣系統(tǒng)培訓(xùn)各零部件的簡圖及名稱氣柜閥門及零件概述AV1低壓吹掃閥AV9氮?dú)獯祾呶⒙╅yPT1高壓供氣閥REG調(diào)壓閥PT3低壓供氣閥CV單向閥AV4低壓端抽空閥

7、GF墊片式過濾器AV5高壓端抽空閥MV供氣確認(rèn)手動(dòng)閥AV6高壓保壓閥AV7氮?dú)獯祾唛yAV8抽空微漏閥氣柜運(yùn)作流程圖供電 參數(shù)設(shè)定 傳感器校零 END 泄壓吹掃 PT1設(shè)定值 負(fù)壓保壓 供氣 前吹掃 后吹掃 換瓶 正壓保壓系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(1)NOITEMDESCRIPTION1Pre-purge 1st time(允許參數(shù):109999)這三次吹掃的目的都是在換鋼瓶前將管道內(nèi)殘留的有毒氣體排出管道以外. 根據(jù)氣體的屬性來決定, 將這三個(gè)吹掃的總和設(shè)在不低于150次較合理2Pre-2st LPT Purge(109999)3Pre-purge 2st time(109999)4post-pur

8、ge 1st time(109999)此兩種是發(fā)生在換鋼瓶以后的吹掃,目的是將管道中可能存在的顆粒進(jìn)行吹掃以達(dá)到去除這些顆粒的目的5post purge 2st time(109999)6PositiveL/C Low limit(159999)正壓保壓最低底線值.檢查鋼瓶與豬尾巴有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4可能會(huì)受溫度的影響系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(2)7Vacuum low limit(-159999Psi)吹掃時(shí)真空端的壓力底線吹掃時(shí)真空端的壓力底線,低于此設(shè)定值便產(chǎn)生報(bào)低于此設(shè)定值便產(chǎn)生報(bào)警警.8Positve L/C Time(0999

9、9)正壓保壓時(shí)間,檢查鋼瓶與連接頭有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4保高壓可能會(huì)受溫度的影響9Negative L/C Time(09999)負(fù)壓保壓時(shí)間.檢查鋼瓶閥門是否關(guān)緊,若保壓失敗一般情況下可以確認(rèn)是鋼瓶閥沒有關(guān)緊10P-N2 Low Limit(-159999)高純氮吹掃最低壓力值,低于此設(shè)定值產(chǎn)生報(bào)警11Leak Check stable time(09999)保壓穩(wěn)壓時(shí)間.經(jīng)過穩(wěn)壓可以讓PT SENSOR保持穩(wěn)定,待數(shù)分鐘穩(wěn)定后方開始保壓,高壓時(shí)建議穩(wěn)壓30分鐘以上12Leak change pressure(09999)保壓時(shí)允許

10、降低/升高的壓力值.超過此設(shè)定值保壓失敗,須重新走保壓流程13Torque wrench pressure力矩扳手提示壓力,只供操作者參考系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(3)14PT1 1st Low limit(-159999)當(dāng)當(dāng)PT1的顯示值低于這個(gè)參數(shù)時(shí)的顯示值低于這個(gè)參數(shù)時(shí),屏幕會(huì)出屏幕會(huì)出現(xiàn)字幕提醒用戶做好換鋼瓶的準(zhǔn)備現(xiàn)字幕提醒用戶做好換鋼瓶的準(zhǔn)備15PT1 2nd Low limit(-159999)當(dāng)PT1的顯示值低于這個(gè)參數(shù)時(shí)并且滿足切換條件時(shí).系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行鋼瓶的切換,報(bào)警消失16PT1 1st High limit(-159999)此參數(shù)是為了防止一些受加熱的氣體由于溫度太高導(dǎo)致壓力過高

11、(如NH3)設(shè)定的報(bào)警點(diǎn)17PT3 1st Low limit(-159999)供氣調(diào)壓之后PT3端的壓力1段報(bào)警,這時(shí)請(qǐng)調(diào)節(jié)調(diào)壓閥增大壓力18PT3 2st Low limit(-159999)供氣調(diào)壓之后PT3端的壓力2段報(bào)警,這時(shí)請(qǐng)調(diào)節(jié)調(diào)壓閥增大壓力系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(4)19PT3 1st High limit(-15999)PT3低壓端壓力過高產(chǎn)生的一段報(bào)警低壓端壓力過高產(chǎn)生的一段報(bào)警.此此時(shí)屏幕會(huì)指示操作者調(diào)節(jié)調(diào)壓閥來解決時(shí)屏幕會(huì)指示操作者調(diào)節(jié)調(diào)壓閥來解決此問題此問題20PT3 2st High limit(-15999)PT3低壓端壓力過高產(chǎn)生的二段報(bào)警低壓端壓力過高產(chǎn)生的二段報(bào)

12、警.此此時(shí)供氣將被臨時(shí)停止時(shí)供氣將被臨時(shí)停止,系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行短暫的系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行短暫的泄壓步驟泄壓步驟.待壓力正常后才恢復(fù)工作待壓力正常后才恢復(fù)工作21W/S 1st Low limit(0999.9)此參數(shù)多用于以重量來切換的氣體如NH3,當(dāng)達(dá)到此設(shè)定值時(shí)系統(tǒng)報(bào)警提示即將切換鋼瓶22W/S 2st Low limit(0999.9)此參數(shù)為重量切換的臨界值參數(shù).當(dāng)重量低于此值時(shí),并且滿足切換條件,系統(tǒng)正常切換左右鋼瓶氣柜的安全性能(1)各類安全裝置各類安全裝置(切斷氣柜切斷氣柜)供氣狀態(tài)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令系統(tǒng)執(zhí)行的命令UVIR（光感應(yīng)器）任何供氣狀態(tài)所有氣動(dòng)閥關(guān)閉/氣柜頂部紅色指示燈閃爍/蜂鳴器

13、持續(xù)報(bào)警/屏幕上出現(xiàn)報(bào)警字幕且無法被消除(重啟電源并排除故障后方能開機(jī))Emergency StopHi-temperature sensorPT3 2st High Limit 氣柜安全性能(2)各類安全裝置各類安全裝置(提示報(bào)警提示報(bào)警)供氣狀態(tài)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令系統(tǒng)執(zhí)行的命令 所有供氣狀態(tài)氣柜頂燈:橙色指示燈亮/蜂鳴器間歇性報(bào)警/屏幕上出現(xiàn)報(bào)警提示(待問題解決后可消除報(bào)警字幕)Exhaust Fail（抽風(fēng)失?。㎜/D 1st alarmL/D 2st alarmPLC CPU memory errorPLC battery low error常見的故障及處理方法(1)NO狀況狀況原

14、因原因措施措施12st壓力高于設(shè)定值由于顆粒導(dǎo)致調(diào)壓閥內(nèi)漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內(nèi)部溫度突然變化更換調(diào)壓閥進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換調(diào)整氣柜內(nèi)部溫度2在供氣之前(備用狀態(tài))PT1壓力下降由于顆粒導(dǎo)致氣動(dòng)閥門內(nèi)漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內(nèi)部溫度突然變化更換調(diào)壓閥進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換調(diào)整氣柜內(nèi)部溫度3在1st調(diào)壓時(shí)壓力達(dá)不到設(shè)定值鋼瓶內(nèi)壓力過低PT不穩(wěn)定或損壞報(bào)警設(shè)定的值有問題更換鋼瓶進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換重新調(diào)整設(shè)定值4排風(fēng)負(fù)壓表沒有讀數(shù)主排風(fēng)的負(fù)壓力過低排風(fēng)閥被關(guān)閉負(fù)壓表損壞調(diào)排風(fēng)的壓力值打開排風(fēng)閥更換負(fù)壓表5設(shè)備運(yùn)行壓力過低調(diào)壓閥沒調(diào)整到正常壓力過濾器被堵塞在2st減壓時(shí)有泄漏調(diào)整調(diào)壓閥壓力更換過濾器進(jìn)行保壓確

15、認(rèn)2st是否存在問題NO狀況狀況原因原因措施措施6在通電運(yùn)行的狀態(tài)輸送壓力沒有變化沒有氣供給氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)供給氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)的壓力過低由于電磁閥損壞導(dǎo)致沒有氣體檢查供給氣動(dòng)閥的氣源是否充足調(diào)整供給氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)的壓力值檢查電磁閥,并更換7在吹掃的時(shí)候低壓報(bào)警發(fā)生氮?dú)獯祾叩拈y沒打開特氣室內(nèi)氮?dú)獯祾叨藟毫^低打開氮?dú)獯祾叩拈y調(diào)整氮?dú)獯祾邏毫?管道內(nèi)有發(fā)生泄露當(dāng)你沒有為管道做保壓測試時(shí)可能會(huì)由于某些原因?qū)е滦孤┐藭r(shí)高溫,煙霧,火焰?zhèn)蓽y會(huì)啟動(dòng)當(dāng)更換零件,鋼瓶后未做壓力測試如果是毒性氣體必須裝備偵測器9在鋼瓶接口處發(fā)生泄漏火焰,高溫報(bào)警探測到高溫后產(chǎn)生報(bào)警.鋼瓶接口處沒有安裝墊片或沒有密封將鋼瓶接口處加入新墊片在操

16、作時(shí)裝備PPE等安全裝備10在更換零件的時(shí)候發(fā)生泄漏當(dāng)更換零件時(shí)沒有經(jīng)過置換管路直接拆卸裝置時(shí)會(huì)發(fā)生泄漏在操作時(shí)必須兩人同時(shí)在場,并裝備PPE常見的故障及處理方法(2)常見電信號(hào)故障及處理方法NO狀況狀況原因原因措施措施1電源出現(xiàn)錯(cuò)誤主電源被打斷電路保護(hù)跳確認(rèn)主電源工作狀態(tài)（AC100-240 50/60Hz）重新打開空氣開關(guān)電源2觸摸屏電源被停止主電源出現(xiàn)問題線路出線問題檢查電源和線路的狀態(tài)3零點(diǎn)值顯示不正確電源錯(cuò)誤磅秤損壞信號(hào)連接出錯(cuò)零度值出錯(cuò)檢查是否輸入24V輸出4-20MA重新調(diào)整零點(diǎn)值檢查信號(hào)線連接處磅秤顯示值不對(duì)電源錯(cuò)誤磅秤損壞信號(hào)連接出錯(cuò)輸出范圍錯(cuò)誤檢查是否輸入24V輸出4-20

17、MA重新調(diào)整零點(diǎn)值檢查信號(hào)線連接處4氣動(dòng)閥錯(cuò)誤N2輸送問題電磁閥出現(xiàn)問題檢查N2驅(qū)動(dòng)的壓力時(shí)5-7公斤檢查是否24V輸入報(bào)警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(1)報(bào)警提示信息狀態(tài)參數(shù) EMSEmergency StopShut-down 設(shè)備出場已設(shè)定 安全裝置Safety Module FailShut-down設(shè)備出場已設(shè)定Exhaust FailAlarm設(shè)備出場已設(shè)定High Temp Sensor Alarm(UV/IR)Shut-down可自行設(shè)定High Temp Sensor AlarmShut-down可自行設(shè)定Smoke Sensor AlarmShut-downN/AL/D 2st

18、AlarmAlarm可自行設(shè)定Remote Shutdown OnShut-downN/A報(bào)警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(2)報(bào)警提示信息狀態(tài)參數(shù) 報(bào)警提示裝置GMS ShutdownShut-down設(shè)備出場已設(shè)定CDA Low AlarmAlarm設(shè)備出場已設(shè)定Z-purge FailAlarm設(shè)備出場已設(shè)定Heater Low Temp AlarmAlarm可自行設(shè)定Heater High Temp AlarmAlarm可自行設(shè)定L/H A Sensor ErrorAlarm可自行設(shè)定L/H B Sensor ErrorAlarm可自行設(shè)定L/D 1st AlarmAlarm可自行設(shè)定報(bào)警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(3)報(bào)警提示信息狀態(tài)參數(shù) 供氣狀態(tài)的報(bào)警W/S 1st Low LimitAlarm可自行設(shè)定W/S 2st Low LimitAlarm可自行設(shè)定PT1 1st Low AlarmAlarm可自行設(shè)定PT1 2st Low AlarmAlarm可自行設(shè)定PT3 1st Low AlarmAlarm可自行設(shè)定