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1、QC-72022/4/221常用統(tǒng)計(jì)手法介紹QC七大手法1.查檢表(Check list)2.柏拉圖(Pareto chart)3.特性要因圖(Cause and effect diagram)4.散佈圖(Scatter diagram)5.直方圖(Histogram) 6.管制圖(Control chart)7.層別法(Stratification)2022/4/222查檢表 何謂查檢表:l查檢表是將原始收集到的數(shù)據(jù)用容易了解的方式作成圖形或表格,並記上檢查記號(hào),或加以統(tǒng)計(jì)整理,作為進(jìn)一步分析或核對(duì)檢查用。 查檢表的種類:l記錄用查檢表:目的在收集數(shù)據(jù)型的資料,做進(jìn)一步統(tǒng)計(jì)整理用。l點(diǎn)檢用查
2、檢表:目的主要在檢查事物。機(jī)械.等的運(yùn)作狀況,或檢查問(wèn)題用。 2022/4/223東西未歸定位查檢表記錄用查檢表第一季合 計(jì)客廳飯廳男主人女主人女主人其他 合 計(jì)42 983157462男主人臥室171873241379282530546868642002229第二季第三季2022/4/224汽車(chē)定期保養(yǎng)點(diǎn)檢表點(diǎn)檢用查檢表10000KM 時(shí)定期保養(yǎng)顧 客 名: 日 期:車(chē)牌號(hào)碼:車(chē) 種:行駛公里:作 業(yè) 者:電瓶液量水箱胎壓火星塞風(fēng)扇皮帶註: 檢查 調(diào)整 X更換空氣濾淨(jìng)器機(jī)油分電盤(pán)蓋化油器2022/4/225查檢表的製作要點(diǎn) Step 1.l決定所要蒐集的數(shù)據(jù)及希望把握的項(xiàng)目 Step 2.l
3、決定查檢表的格式 Step 3.l決定記錄形式 Step 4.l決定蒐集數(shù)據(jù)的方法 注意:查檢表的格式及內(nèi)容,要讓使用者最方便使用及最易記錄為最高原則。2022/4/226查檢表的使用 數(shù)據(jù)蒐集完成應(yīng)馬上使用,避免因時(shí)間過(guò)久而失去時(shí)效性。 首先觀察整體數(shù)據(jù)是否代表某些事實(shí)? 數(shù)據(jù)是否集中在某些項(xiàng)目或各項(xiàng)目之間有否差異? 是否因時(shí)間的經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生了變化?亦即是否有時(shí)間性的差異存在2022/4/227查檢表的實(shí)作 請(qǐng)準(zhǔn)備一份查檢表(check List),作為下周公司舉辦露營(yíng)應(yīng)攜帶物品清單:2022/4/228柏拉圖 何謂柏拉圖:l所謂柏拉圖是根據(jù)所蒐集的數(shù)據(jù),依據(jù)不良原因、不良狀況、不良發(fā)生位置或
4、客戶抱怨的種類、安全事故等不同區(qū)分標(biāo)準(zhǔn),找出比率最大的項(xiàng)目或原因,並且將所構(gòu)成的項(xiàng)目依照大小順序排列,再加上累積值的圖形。以作為改善的優(yōu)先順序。2022/4/229050100150200女飯廳男客廳男飯廳臥室女客廳其他050100150用前面例子的查檢表數(shù)字可以整理成底下的柏拉圖東西未歸定位柏拉圖2022/4/2210柏拉圖的製作方法Step1.決定不良的分類項(xiàng)目:藉由結(jié)果別分類藉由原因別分類 注意:最好不要超過(guò)6項(xiàng)Step2.決定數(shù)據(jù)蒐集期間,並且按照分類項(xiàng)目蒐集數(shù)據(jù): 決定一天、一周、一個(gè)月、一季或一年為期間Step3. 記入圖表紙並且依據(jù)大小排列畫(huà)出柱形:Step4. 點(diǎn)上累計(jì)值並且用
5、線連結(jié):累計(jì)比率各項(xiàng)累計(jì)數(shù)/總數(shù)*100Step5. 記入柏拉圖的主題及相關(guān)資料:2022/4/2211 掌握問(wèn)題點(diǎn) 發(fā)現(xiàn)原因 效果確認(rèn)使用時(shí)機(jī)注意要點(diǎn)發(fā)生頻率高不一定代表影響程度大,亦即並非立即要進(jìn)行對(duì)策。經(jīng)由不同的衡量標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確認(rèn)最重要的問(wèn)題。分析不同類別的數(shù)據(jù)。範(fàn)圍太廣的項(xiàng)目,應(yīng)再分成較細(xì)的類別,以免分析不易。柏拉圖的使用時(shí)機(jī)及注意要點(diǎn)2022/4/2212柏拉圖繪製實(shí)例以某家庭之某月支出查檢表為例,其柏拉圖繪製過(guò)程如下:支出項(xiàng)目出支金額累計(jì)金額累計(jì)比率伙食費(fèi)10,25010,25041零用錢(qián)5,00015,25061水電瓦斯費(fèi)3,75019,00076教育費(fèi)2,00021,00084交際
6、費(fèi)1,00022,00088其他3,00025,000100Total25,00025,0001002022/4/221305,00010,00015,00020,00025,000伙食費(fèi)零用錢(qián)水電瓦斯費(fèi)教育費(fèi)交際費(fèi)其他020406080100120家庭之某月支出的柏拉圖2022/4/2214柏拉圖的錯(cuò)誤指正實(shí)作020406080100文件未收電話未設(shè)定垃圾未丟桌面不潔刮傷其他020406080100120項(xiàng)目個(gè)數(shù)累計(jì)數(shù)累計(jì)比率文件未收2 5電話未設(shè)定3 2垃圾未丟5桌面不潔8刮傷1 4其他1 1T o t a l9 52022/4/2215 在進(jìn)行品質(zhì)改善小組活動(dòng)(QIT)時(shí),有時(shí)會(huì)用柏拉圖
7、來(lái)做改善前後的效果比較,在製作對(duì)策前後的效果確認(rèn)時(shí)應(yīng)注意以下三項(xiàng):l柏拉圖蒐集數(shù)據(jù)的期間和對(duì)象必須一樣l對(duì)季節(jié)性的變化應(yīng)列入考慮l對(duì)於對(duì)策項(xiàng)目以外亦必須加以注意,避免消除了主要因而使得其他要因增加。柏拉圖與品質(zhì)改善小組活動(dòng)2022/4/2216特性要因圖 何謂特性要因圖:l一個(gè)問(wèn)題的特性受到一些要因的影響時(shí),我們將這些要因加以整理成為有相互關(guān)係而且有條理的圖形。這個(gè)圖形稱為特性要因圖。問(wèn)題的特性是由許多要因造成的!要 因要 因要 因要 因要 因 要 因問(wèn)題特性2022/4/2217 將這些要因分群成為大、中、小要因,可繪製成特性要因圖,因其像魚(yú)骨故又稱魚(yú)骨圖。大要因大要因大要因大要因中要因中要
8、因中要因中要因小要因特性2022/4/2218特性要因圖製作的六個(gè)步驟步驟一:決定問(wèn)題或品質(zhì)的特性為什麼延遲交貨特性2022/4/2219步驟二:決定大要因人製造交貨物品為什麼延遲交貨2022/4/2220步驟三:決定中、小要因:可利用親和圖法來(lái)將中、小要因區(qū)分出來(lái)。步驟四:討論影響問(wèn)題點(diǎn)的主要原因。步驟五:填上製作目的,日期及製作者等資料。人製造交貨物品為什麼延遲交貨情報(bào)錯(cuò)誤沒(méi)有危機(jī)感生產(chǎn)計(jì)劃不相吻合不良率高存放位置不佳庫(kù)存量低交期過(guò)短會(huì)議目的:會(huì)議日期:與會(huì)者:2022/4/2221特性要因圖的使用時(shí)機(jī) 問(wèn)題的整理,及原因的探索。 追查真正的原因 尋找對(duì)策:特性要因圖也可用來(lái)做對(duì)策整理用,
9、這時(shí)魚(yú)頭的方向會(huì)剛好相反過(guò)來(lái),又稱為反轉(zhuǎn)。大要因大要因大要因大要因中要因中要因中要因中要因小要因如何做2022/4/2222繪製特性要因圖應(yīng)該注意的事項(xiàng) 繪製特性要因圖要把握腦力激盪法的原則,讓所有的成員表達(dá)心聲。 列出的要因應(yīng)給予層別化。 繪製特性要因圖時(shí),重點(diǎn)應(yīng)放在“為何會(huì)有這種原因”並且依5W1H的方法逐一列出。 如果您是指導(dǎo)人員,切記不可憑個(gè)人好惡去決定或交辦給他人的方式而影響討論人員的熱忱。所謂5W1H就是:Why(為何必要)、What(目的為何)、Where(在何處做)、When(何時(shí)做) 、Who(誰(shuí)來(lái)做)、How(如何做)。2022/4/2223散佈圖何謂散佈圖? 以縱軸表示結(jié)
10、果,以橫軸表示原因:用點(diǎn)表示出分佈形態(tài),根據(jù)分佈的形態(tài)判斷對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)之間的相互關(guān)係的圖型,稱為散佈圖。 其相對(duì)應(yīng)之方法為相關(guān)係數(shù)之計(jì)算2022/4/2224散佈圖製作的五個(gè)步驟步驟一:蒐集相對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù),至少三十組以上,並且整理寫(xiě)到數(shù)據(jù)表上,如下表。步驟二:找出數(shù)據(jù)之中的最大值與最小值。No 工作時(shí)數(shù) 薪水 No 工作時(shí)數(shù) 薪水 No 工作時(shí)數(shù) 薪水1448201144810215989024983012578802250870355870135084023538204558601454880245186054882015498402556890646820165086026478107458301
11、75286027548508518301846830284281095387019548802948850105284020538503045840原因結(jié)果2022/4/2225步驟三:畫(huà)出縱軸與橫軸刻度,計(jì)算組距時(shí)數(shù)的組距:59-42=17原因的組距:890-810=80步驟四:將各組對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)標(biāo)示在座標(biāo)上405060800 810820 830 840850 860 870880 8902022/4/2226405060800 810 820 830 840 850 860 870 880 890步驟五:記入必要事項(xiàng)品名:?jiǎn)挝唬簣?zhí)行者:日期:2022/4/2227散佈圖的研判D.非顯著性負(fù)相
12、關(guān)散佈圖可以呈現(xiàn)如下幾種原因與結(jié)果之間的關(guān)係。A.正相關(guān)B.弱正相關(guān)C.負(fù)相關(guān)E.無(wú)相關(guān)F.曲線相關(guān)0.85r10.7r0.85-1r-0.85-0.85r-0.7-0.4r0.42022/4/2228使用散佈圖時(shí)應(yīng)注意事項(xiàng) 注意是否有異常點(diǎn)的存在:亦即該點(diǎn)和其他點(diǎn)相距很遠(yuǎn)。 是否有假相關(guān):雖然數(shù)據(jù)顯示具相關(guān)性,但是亦有其他文獻(xiàn)或經(jīng)驗(yàn)認(rèn)為此二者不具相關(guān)性,此時(shí)需在深入探討。 是否有必要加以層別:亦即由數(shù)據(jù)看是具有相關(guān),但將數(shù)據(jù)分群後卻發(fā)現(xiàn)不相關(guān),反之亦然。因此一個(gè)相關(guān)與否的散佈圖需要放入單純(必要)的數(shù)據(jù)。2022/4/2229何謂相關(guān)分析 相關(guān)分析(Correalation Analysis
13、):藉由計(jì)算自變數(shù)和應(yīng)變數(shù)之相關(guān)性,以了解及是否具有關(guān)係及是何種關(guān)係。rSSSSxxyySxxSyyxyxyxxyyxyiixxiyyi*22相關(guān)係數(shù)之公式2022/4/2230相關(guān)分析0246810121416182001020304050XYSxySxxSyy20.08.460.1121.029.922.09.539.381.019.124.011.814.549.04.326.010.417.325.012.028.013.31.79.00.330.014.8-0.91.00.932.013.2-0.71.00.434.014.72.59.00.736.016.412.725.06.43
14、8.016.518.449.06.940.018.945.381.025.342.018.551.0121.021.5Total261.2572 127.7267r=0.966352022/4/2231相關(guān)分析的判讀 相關(guān)係數(shù)r會(huì)介於-11之間。 以0.7071稱為正相關(guān),亦即此二者會(huì)有同時(shí)變大或變小的關(guān)係(包含線性及非線性)。 以-0.707-1稱為負(fù)相關(guān),亦即此二者會(huì)有呈現(xiàn)相反的變大或變小的關(guān)係(包含線性及非線性)。 介於-0.40.4稱為不相關(guān),亦即此二者不具備相關(guān)性。2022/4/2232次數(shù)直方圖 次數(shù)直方圖一般又稱直方圖,它通常用於:l其平均值是否在中央l判斷數(shù)據(jù)是否為鐘形曲線l製
15、程能力能否符合規(guī)定 直方圖適合用於做製程後的分析,不適合作為監(jiān)控正在生產(chǎn)的產(chǎn)品。051015202022/4/2233次數(shù)直方圖 繪製次數(shù)直方圖lStep 1 收集量測(cè)數(shù)據(jù):l假設(shè)為了調(diào)查SiO2之薄膜製程,因此每天收集一片量測(cè)五點(diǎn)膜厚。2/12/22/32/42/52/62/72/82/92/100.510.430.490.580.540.480.460.420.420.440.490.480.480.510.550.430.420.590.410.550.500.470.470.440.600.500.450.550.570.580.490.470.560.470.590.520.450.
16、550.450.480.460.500.460.430.560.440.540.470.450.552022/4/2234次數(shù)直方圖lStep 2 找各組中最大及最小值:l找出每組之最大、最小之?dāng)?shù)據(jù),並標(biāo)註符號(hào)2/12/22/32/42/52/62/72/82/92/100.510.430.490.580.540.480.460.420.420.440.490.480.480.510.550.430.420.590.410.550.500.470.470.440.600.500.450.550.570.580.490.470.560.470.590.520.450.550.450.480.46
17、0.500.460.430.560.440.540.470.450.552022/4/2235次數(shù)直方圖lStep 3 找全部中最大及最小值:l找出所有數(shù)據(jù)之最大、最小,並標(biāo)註符號(hào)2/12/22/32/42/52/62/72/82/92/100.510.430.490.580.540.480.460.420.420.440.490.480.480.510.550.430.420.590.410.550.500.470.470.440.600.500.450.550.570.580.490.470.560.470.590.520.450.550.450.480.460.500.460.430.5
18、60.440.540.470.450.552022/4/2236次數(shù)直方圖lStep 4 計(jì)算量測(cè)值之全距(Range):l計(jì)算量測(cè)值之全距(Range),亦即最大和最小的差距 Range=0.6-0.41=0.192/12/22/32/42/52/62/72/82/92/100.510.430.490.580.540.480.460.420.420.440.490.480.480.510.550.430.420.590.410.550.500.470.470.440.600.500.450.550.570.580.490.470.560.470.590.520.450.550.450.480
19、.460.500.460.430.560.440.540.470.450.552022/4/2237lStep 5 決定條狀圖的區(qū)間(亦稱為組距):l為了使每一個(gè)圖形之寬度都相等,因此有必要將數(shù)據(jù)區(qū)分為數(shù)個(gè)組。為使圖形能正確,選擇適當(dāng)之組數(shù)是相當(dāng)重要。 太少之組數(shù)將造成資訊不足,極端的說(shuō)在此例將所有數(shù)據(jù)皆分為一組,其結(jié)果是一堆數(shù)字而已。 至於太多組數(shù)將造成每一組之個(gè)數(shù)皆相等,例如將本例分為25組則各組將各有一個(gè)數(shù)據(jù),最多一組23個(gè)而已。決定組數(shù)的準(zhǔn)則樣本數(shù)組數(shù)小於505750100610101150712大於1501012次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖2022/4/2238lStep 6 決定組距的組界
20、及組中點(diǎn):l在本例中,由於樣本個(gè)數(shù)為50因此決定使用7組。而在Step 4 所算出之全距為0.19,因此將0.19/7=0.0271.,由於數(shù)據(jù)之有效位數(shù)為0.01,因此組距寬度設(shè)到小數(shù)點(diǎn)下二位即可,所以令為0.03。l至於如何決定組界呢?為使同一點(diǎn)不至於在2個(gè)組出現(xiàn),而造成區(qū)分上之困擾,所以組界一般是採(cǎi)用數(shù)據(jù)有效位數(shù)的下一位,亦即0.005。各組的組距、組中點(diǎn)與組界 組距組中點(diǎn) 組界0.390.42 0.405 0.3950.4250.420.45 0.435 0.4250.4550.450.48 0.465 0.4550.4850.480.51 0.4950.4850.5150.510.5
21、4 0.525 0.5150.5450.540.57 0.555 0.5450.5750.570.60 0.585 0.5750.605次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖2022/4/2239lStep 7 計(jì)算各組出現(xiàn)之個(gè)數(shù):l配合Step 6 所作出的表計(jì)算各組出現(xiàn)之個(gè)數(shù)其結(jié)果如下:次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖各組的組距、組中點(diǎn)與組界及次數(shù) 組距組中點(diǎn)組界次數(shù)0.390.42 0.405 0.3950.42540.420.45 0.435 0.4250.455100.450.48 0.465 0.4550.485120.480.51 0.4950.4850.51580.510.54 0.525 0.5150.5
22、4530.540.57 0.555 0.5450.57580.570.60 0.585 0.5750.60552022/4/2240lStep 8 繪製次數(shù)直方圖:l繪製次數(shù)直方圖,其原則如下: 敘述資料的緣由。 容易閱讀 縱、橫座標(biāo)的尺度及標(biāo)示次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖2/12/10三號(hào)機(jī)製程能力調(diào)查圖051015200.4050.4350.4650.4950.5250.5550.5850.615SiO2膜厚次數(shù)2022/4/2241 次數(shù)直方圖透露出何種訊息:l在本例中可看出很明顯為2個(gè)山峰,經(jīng)過(guò)調(diào)閱生產(chǎn)記錄得知,2/5日有進(jìn)行新配方之試作研究,而在2/8及2/10日再次進(jìn)行。因此可看出此三日之
23、平均值高於一般。l若捨棄此三日之?dāng)?shù)據(jù)其結(jié)果如下:可看出為一個(gè)偏下限之常態(tài)分配圖。次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖2/12/10三號(hào)機(jī)製程能力調(diào)查圖去掉測(cè)試日051015200.4050.4350.4650.4950.5250.5550.5850.615SiO2膜厚次數(shù)2022/4/2242 繪製次數(shù)直方圖的注意事項(xiàng):l使用等寬的組距,不等寬的組距將造成視覺(jué)上的差異,因此儘可能採(cǎi)用等寬的組距。l不要使用跳蛙式座標(biāo)的繪圖,在某個(gè)數(shù)據(jù)組中,由於個(gè)數(shù)過(guò)多??吹酱艘焕L圖方式,建議發(fā)生此一情形可改用對(duì)數(shù)座標(biāo)或再次審核數(shù)據(jù)。l組距不要採(cǎi)用開(kāi)放式,開(kāi)放式常會(huì)令人無(wú)法得知其界限到底為多少。l組距不可太少或太多。l不要將多個(gè)
24、數(shù)據(jù)資訊放在一張圖表上,如此將造成閱讀上的困難。次數(shù)直方圖次數(shù)直方圖2022/4/2243 記錄接腳強(qiáng)度,調(diào)查日期為其數(shù)值如下:7/17/4日,每日量測(cè)10個(gè),一個(gè)量測(cè)一點(diǎn)(一隻腳),其數(shù)據(jù)如下:7/17/27/37/4715131910129121413131611141414131016121117131515141516131714151614151215131416次數(shù)直方圖實(shí)作題目次數(shù)直方圖實(shí)作題目2022/4/2244管制圖 管制圖的分類,管制圖分兩種:l計(jì)量值管制圖又分X-R平均值及全距管制圖、中位值及全距管制圖、個(gè)別值及全距管制圖l計(jì)數(shù)值管制圖又分P百分不良率管制圖、nP不良個(gè)
25、數(shù)管制圖、C缺點(diǎn)數(shù)管制圖 計(jì)量管制圖適用的狀況是:資料是可量測(cè)的,且數(shù)據(jù)形式是連續(xù)性的。 計(jì)數(shù)管制圖則適用於資料大半只能判定為良或不良,數(shù)據(jù)不為連續(xù)量的狀況,一般常用於外觀檢查。2022/4/2245 管制圖用途:l判斷未來(lái)之?dāng)?shù)據(jù)是否會(huì)超出規(guī)格l其平均值是否和目標(biāo)值相吻合l何時(shí)需要進(jìn)行對(duì)策的找尋l何時(shí)可以延長(zhǎng)檢查間隔l何時(shí)可以不需注意(管制)此特性值數(shù)據(jù)l適合作為監(jiān)控正在生產(chǎn)監(jiān)控正在生產(chǎn)的產(chǎn)品 製作管制圖的注意事項(xiàng):l正確選擇管制點(diǎn)、以免發(fā)現(xiàn)問(wèn)題卻無(wú)法反應(yīng)。l訂定合理之管制界限管制界限,以免產(chǎn)品或製程條件超出規(guī)格。l訂定適當(dāng)?shù)臋z查間隔檢查間隔,以免造成資源(人力)浪費(fèi)或者不良品發(fā)生而不知道。l
26、對(duì)於製程持續(xù)加以監(jiān)控,以期在問(wèn)題未發(fā)生前進(jìn)行對(duì)策的處理。2022/4/2246最大平均值=0.63最小平均值=0.54總平均=0.58UCLx=0.655LCLx=0.505最大全距=0.19最小全距=0.07平均全距=0.13UCLR=0.275LCLR=0計(jì)量值管制圖0.500.550.600.650.701234567890.000.100.200.301234567892022/4/2247 X-R管制圖作法:lStep 1 選擇量測(cè)點(diǎn):l在每一個(gè)製程中會(huì)有很多量測(cè)點(diǎn),但如何確定量測(cè)點(diǎn)是有效的且重要的呢?有以下數(shù)點(diǎn)可供參考: 要找出製程中最重要的點(diǎn),不要使管制圖淪為“日記”。 或許該點(diǎn)
27、不易量測(cè),此時(shí)可考慮使用代用特性。 儘可能選在發(fā)生問(wèn)題時(shí),可以補(bǔ)救的點(diǎn)。 此點(diǎn)在現(xiàn)在為量測(cè)點(diǎn),但並不表示長(zhǎng)久一定是量測(cè)點(diǎn)。計(jì)量值管制圖2022/4/2248lStep 2 取樣:l在進(jìn)行管制圖的製作時(shí),由於需要“連續(xù)取樣”,因此通常一個(gè)樣本會(huì)包含45件,將其一一量測(cè)後再填入管制圖中。l如何取樣在SPC中是十分重要,因此取樣原則上最好不要包含“非隨機(jī)性誤差”,因?yàn)榇艘徽`差將造成數(shù)據(jù)上很大差異,若不得已時(shí)最好能使此一誤差同樣出現(xiàn)在各個(gè)樣本中。計(jì)量值管制圖2022/4/2249lStep 3 規(guī)劃資料圖表格式:l在進(jìn)行管制圖的製作時(shí),一份好的表格應(yīng)包括之背景資料如下(下圖是ASQC所用之表格): 日
28、期 品名或零件 量測(cè)單位 操作者 其他相關(guān)資料計(jì)量值管制圖2022/4/2250計(jì)量值管制圖產(chǎn)品名稱:16MDRAM作業(yè)程序:蝕刻製程零件編號(hào):3388338操作者: Tsai量具:SEM測(cè)量單位:M測(cè)量值:1.00E-06日期7/17/27/3時(shí)間08:0016:0024:0008:0016:0024:0008:0016:0024:00樣本量測(cè)值合計(jì)平均值全距123456789平均值全距2022/4/2251lStep 4 取樣並記錄量測(cè)結(jié)果:l依照計(jì)劃進(jìn)行取樣、量測(cè)及記錄,並填入表中。計(jì)量值管制圖lStep 5 計(jì)算各組的平均值及全距:l在本例中是以每8小時(shí)為一組,因此必須算出9組各別的平
29、均值及其全距並將最大及最小的數(shù)值圈出。完成之圖表如下2022/4/2252平均值全距計(jì)量值管制圖產(chǎn)品名稱:16MDRAM作業(yè)程序:蝕刻製程零件編號(hào):3388338操作者: Tsai量具:SEM測(cè)量單位:M測(cè)量值:1.00E-06日期7/17/27/3時(shí)間08:0016:0024:0008:0016:0024:0008:0016:0024:00樣0.580.650.580.540.50.660.50.510.67本0.610.650.540.660.620.650.550.50.54量0.570.540.610.560.560.650.690.640.51測(cè)0.650.690.650.530.5
30、10.590.620.520.5值0.570.630.540.50.50.590.620.560.52合計(jì)2.983.162.922.792.693.142.982.732.74平均值0.600.630.580.560.540.630.600.550.55全距0.080.150.110.160.120.070.190.140.171234567892022/4/2253lStep 6 計(jì)算總平均及平均全距:l計(jì)算出全部數(shù)據(jù)的平均值及平均全距。在本例分別為平均值=0.58,平均全距為=0.13。計(jì)量值管制圖lStep 7 決定座標(biāo)範(fàn)圍及點(diǎn)繪資料:l首先找出最大和最小的平均值,在找出最大和最小的全
31、距,以便確定座標(biāo)的範(fàn)圍及最小刻度,如此才可將所有資料全部點(diǎn)繪在圖表中。2022/4/2254最大平均值=0.63最小平均值=0.54總平均=0.58最大全距=0.19最小全距=0.07平均全距=0.130.132 0.132 0.132 0.132 0.132 0.132 0.132 0.132 0.1320.000.100.200.300.400.500.600.701234567890.000.100.200.300.400.500.600.70123456789計(jì)量值管制圖2022/4/2255lStep 8 決定全距管制界限:l在計(jì)算平均值的管制界限時(shí),先求出全距的管制圖,如此可知“非
32、隨機(jī)性誤差”是否存在,假使超出則代表有“非隨機(jī)性誤差”,若不穩(wěn)定則不須檢查平均值是否在監(jiān)控(亦即是否超出管制界限)。此時(shí)應(yīng)著手於製程穩(wěn)定度的改善工作。l全距的管制上限為 D4*R=2.114*0.13=0.275=UCLRl全距的管制下限為 D3*R=0*0.13=0.00=LCLR計(jì)量值管制圖恨玒 計(jì)nA2D3D4d221.8800.0003.2681.12831.0230.0002.5741.69340.7290.0002.2822.05950.5570.0002.1142.32660.4830.0002.0042.53470.4190.0761.9242.7042022/4/2256最大
33、平均值=0.63最小平均值=0.54總平均=0.58最大全距=0.19最小全距=0.07平均全距=0.13UCLR=0.275LCLR=0計(jì)量值管制圖0.000.100.200.300.400.500.600.701234567892022/4/2257lStep 9 全距是否都在管制界限內(nèi):計(jì)量值管制圖資料全距皆在管制界限內(nèi)?No只有12個(gè)資料的全距在管制界線外?Yes全距皆在管制中Yes剔除超出全距管制界限的樣本重新計(jì)算XR的全距管制界限其餘全距皆在管制界限內(nèi)?YesNo有個(gè)以上的全距在界限外全距失控停止計(jì)算平均值界限進(jìn)行非隨機(jī)性誤差的追求及改善重新收集資料計(jì)算新的管制界限計(jì)算平均值的管制
34、界限2022/4/2258lStep 10 決定平均值管制界限:l確定全距在監(jiān)控下,再求平均值管制界限。l平均值的管制上限為 UCLX=X+(A2*R)=0.58+(0.557*0.13)=0.655l平均值的管制下限為 LCLX=X-(A2*R)=0.58-(0.557*0.13)=0.505計(jì)量值管制圖2022/4/2259計(jì)量值管制圖資料平均值皆在管制界限內(nèi)?No只有12個(gè)資料的平均值在管制界線外?Yes平均值皆在管制中繼續(xù)使用此表作為製程管理用Yes剔除超出平均值管制界限的樣本重新計(jì)算X的平均值管制界限其餘平均值皆在管制界限內(nèi)?YesNo有個(gè)以上的平均值在界限外平均值失控進(jìn)行非隨機(jī)性誤
35、差的追求及改善重新收集資料計(jì)算新的全距管制界限下接全距流程圖lStep 11 平均值是否都在管制界限內(nèi):2022/4/2260最大平均值=0.63最小平均值=0.54總平均=0.58UCLx=0.655LCLx=0.505最大全距=0.19最小全距=0.07平均全距=0.13UCLR=0.275LCLR=0計(jì)量值管制圖0.000.100.200.300.400.500.600.701234567892022/4/2261在製程中如何運(yùn)用管制圖l假使全距及平均值都在管制界限以內(nèi),則可確定沒(méi)有“非隨機(jī)性誤差”存在。l又總平均值是否符合目標(biāo)值,也是另一個(gè)重點(diǎn)。l若全距及平均值皆落在管制界限內(nèi),此一情
36、形代表此一製程目前已在管制中,但並非表示往後量產(chǎn)不需注意,因?yàn)榧词乖俜€(wěn)定製程中也會(huì)有突發(fā)之情勢(shì)發(fā)生。而且是否能在不增加太多成本下,將製程做的更穩(wěn)定是工程師的希望,因此管制圖即可在未來(lái)製程的問(wèn)題未發(fā)生時(shí),立即給與必要的資訊。一般常作為判斷的依據(jù)有: 平均值連續(xù)7點(diǎn)分在總平均值兩側(cè)且具有同一趨向。 平均值連續(xù)3點(diǎn)中,有2點(diǎn)在2倍和3倍之間,即A區(qū)。 平均值連續(xù)5點(diǎn)中,有4點(diǎn)在1倍和2倍之間,即B區(qū)。 平均值連續(xù)8點(diǎn)皆在同一側(cè),即A,B,C區(qū)。2022/4/2262計(jì)量值管制圖應(yīng)用摘要 管制圖能告知是否可以繼續(xù)生產(chǎn),亦或需要進(jìn)行製程上的調(diào)整。亦即可以判定目前的偏差量是由隨機(jī)性或非隨機(jī)性誤差所造成。
37、資料形式為計(jì)量值時(shí),採(cǎi)用上述的3個(gè)圖表之一。 先要製作全距管制圖全距管制圖,以確保數(shù)據(jù)沒(méi)有很不合理的情形發(fā)生,才可以進(jìn)行平均值平均值或中位值中位值或個(gè)別值個(gè)別值的判定。管制界限管制界限只和製程穩(wěn)定度製程穩(wěn)定度有關(guān),和規(guī)格並無(wú)關(guān)係,但一般常採(cǎi)取規(guī)格是否比管制界限的4/3倍大,以判斷製程穩(wěn)定與否的依據(jù)。 完成的計(jì)量管制圖可使用在製程上進(jìn)行監(jiān)測(cè)的工作,並依據(jù)上述異常的判斷基準(zhǔn),作為調(diào)整的依據(jù)。2022/4/2263異常現(xiàn)象圖ABC計(jì)量值管制圖2022/4/2264 記錄蝕刻後的線寬,其數(shù)據(jù)如下:X-R圖實(shí)作題目圖實(shí)作題目10. 2490. 2510. 2510. 2480. 25020. 2510.
38、 2460. 2520. 2480. 25030. 2500. 2500. 2460. 2500. 25140. 2490. 2530. 2450. 2540. 24950. 2500. 2460. 2510. 2490. 25060. 2500. 2500. 2510. 2510. 25170. 2470. 2510. 2530. 2490. 24880. 2500. 2510. 2530. 2490. 24890. 2460. 2500. 2480. 2500. 251100. 2510. 2480. 2490. 2490. 250110. 2510. 2480. 2490. 2510.
39、252120. 2510. 2550. 2480. 2470. 249130. 2500. 2520. 2520. 2490. 251140. 2500. 2510. 2540. 2510. 251150. 2520. 2510. 2480. 2520. 251160. 2490. 2500. 2490. 2510. 252170. 2500. 2490. 2500. 2500. 250180. 2480. 2500. 2490. 2510. 251190. 2510. 2480. 2500. 2500. 252200. 2540. 2510. 2540. 2470. 2512022/4/22
40、65計(jì)數(shù)值管制圖 計(jì)數(shù)管制圖適用於資料大半只能判定為良或不良,且數(shù)據(jù)不為連續(xù)量之管理用圖表。 常用計(jì)數(shù)管制圖有: P圖:用來(lái)管制製程中百分不良率 nP圖:用來(lái)管制不良數(shù) c圖:用來(lái)管制每一件產(chǎn)品上的缺點(diǎn)數(shù) 計(jì)數(shù)管制圖主要用途: 用於管理不能計(jì)量的管制點(diǎn)。 可以將製品分成兩大類者,一為“良品”另一為“不良品”者。2022/4/2266 製作P(百分不良率)管制圖的注意事項(xiàng): P圖大多採(cǎi)用百分率,亦即在一百件產(chǎn)品中,不良品所佔(zhàn)比率,因此我們常稱其為百分不良率P圖。 一般檢查項(xiàng)目會(huì)有很多,所以可能1件產(chǎn)品同時(shí)具有2個(gè)以上的不合格項(xiàng)目,此時(shí)我們僅能以1件產(chǎn)品來(lái)計(jì)算。 從分析圖中試著去了解不同變數(shù)下造成
41、不良數(shù)量改變的情況。計(jì)數(shù)值管制圖2022/4/2267 P(百分不良率)管制圖的製作: Step 1 取樣: 決定樣本規(guī)模要件如下規(guī)模至少50件或規(guī)模要大到每次取樣個(gè)數(shù)中,至少含有4個(gè)以上不良品發(fā)生。避免在一長(zhǎng)時(shí)段(如一天)觀察一個(gè)大樣本,而應(yīng)該改為24小時(shí)觀察小樣本。當(dāng)每次取樣的大小不同時(shí),若樣本大於或小於平均樣本的20%時(shí),要重新計(jì)算管制界限。計(jì)數(shù)值管制圖2022/4/2268 Step 2 將基本資料填入P圖中: 記錄可以描述相關(guān)訊息的資料 Step 3 收集樣本及記錄資料: 假設(shè)你每次取樣50個(gè)樣本,建議你至少連續(xù)取樣20次,並區(qū)分“良品”及“不良品”,此時(shí)“檢驗(yàn)數(shù)”填入50,將“不良
42、品數(shù)量”填入“不良數(shù)中。如下表所示:計(jì)數(shù)值管制圖2022/4/2269百分不良率(P)管制圖產(chǎn)品名稱:16MDRAM 作業(yè)程序:烘烤製程 零件編號(hào):33883檢驗(yàn)者: Tsai量具:觀察測(cè)量單位:個(gè)2468101214161820222426缺點(diǎn)種類備註時(shí)間 檢驗(yàn)數(shù)不良數(shù)百分不良率10: 30 50411: 00 50511: 30 50912: 00 50612: 30 50513: 00 50 1113: 30 50414: 00 50714: 30 50815: 00 50315: 30 50716: 00 50916: 30 50617: 00 50 1017: 30 50718: 0
43、0 50418: 30 50919: 00 50719: 30 50820: 00 505百分不良率2022/4/2270 Step 4 計(jì)算百分不良率P: P不良率的公式:P=不良個(gè)數(shù)/樣本大小*100%=4/50*100%=8% Step 5計(jì)算製程中平均不良率: 將不良數(shù)將加總再除以檢驗(yàn)總數(shù)P=134/1000*100%=13.4%計(jì)數(shù)值管制圖2022/4/2271 Step 6 決定座標(biāo)範(fàn)圍及點(diǎn)繪資料: 預(yù)留適當(dāng)空間以免圖形過(guò)小不易觀察或過(guò)大超出界限 Step 7 計(jì)算百分不良率圖的管制界限: 百分不良率圖的上下管制界限公式如下:在計(jì)算管制下限有時(shí)會(huì)有負(fù)值產(chǎn)生,此時(shí)以0%代替UCLpppnLCLpppnpp33*(100)*(100)計(jì)數(shù)值管制圖2022/4/2272缺 點(diǎn) 種 類備 註時(shí) 間檢驗(yàn)數(shù)不良數(shù)百分不良率1 0 :3 0 5 048 .01 1 :0 0 5 051 0 .01 1 :3 0 5 091 8 .01 2 :0 0 5 061 2 .01 2 :3 0 5 051 0 .01 3 :0 0 5 0 1 12 2 .01 3 :3 0 5 048 .01 4 :0 0 5 071 4 .01 4 :3 0 5 081 6 .01 5 :
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