德國蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVOMA10技術(shù)說明

1、德國蔡司鴇燈絲掃描電鏡技術(shù)文件儀器型號：EVOMA10北京歐波同光學技術(shù)有限公司2017年09月07日一、聚焦CARLZEISS.3二、產(chǎn)品概述4.三、技術(shù)參數(shù)5.四、計劃進度及培訓.7.五、環(huán)境要求8.六、質(zhì)保及其他服務(wù)9聚焦CARLZEISSCambridgeInstruments世界可見光及電子光學的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)一德國蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學前身為LEO(里奧),更早叫Cambridge(劍橋)和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域50年及透射電鏡領(lǐng)域60多年的經(jīng)驗，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個第一：第一臺靜電式透射電鏡(1949)第一臺商業(yè)化掃描電鏡(1965)第一臺數(shù)字化掃描

2、電鏡(1985)第一臺場發(fā)射掃描電鏡(1990)第一臺帶有成像濾波器的透射電鏡(1992)第一臺具有Koehler照明的200kV場發(fā)射透射電鏡(2003)第一臺具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場發(fā)射透射電鏡(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的設(shè)計融合歐洲至上制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無可撼動的王者地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鴇燈絲掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIBandSEM)、掃描離子顯微鏡等全系列解決方案。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶

3、的信賴與認可。作為全球電鏡標準締造者的CARLZEISS將一路領(lǐng)跑高端電鏡市場為您開創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀元。歐波同有限公司做為CarlZeiss集團顯微鏡事業(yè)部的戰(zhàn)略合作伙伴，在北京，上海，廣州，鞍山、濟南、關(guān)B州、西安等地設(shè)有營銷機構(gòu)和維修服務(wù)站，致力于蔡司電鏡的技術(shù)咨詢，銷售和售后服務(wù)工作。二、產(chǎn)品概述掃描電鏡是以電子束作為光源，電子束在加速電壓的作用下經(jīng)過三級電磁透鏡，在末級透鏡上部掃描線圈的作用下，在試樣表面做光柵狀掃描，產(chǎn)生各種同試樣性質(zhì)有關(guān)的物理信息（如二次電子，背散射電子），然后加以收集和處理，從而獲得表征試樣形貌的掃描電子像。掃描電鏡已廣泛用于材料科學（金屬材料、非金屬材料、

4、納米材料）、冶金、生物學、醫(yī)學、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。在材料科學、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學材料等領(lǐng)域，進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。蔡司的EVO系列掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料和生命科學領(lǐng)域，能夠為您提供更高分辨率的圖像和更豐富的組織細節(jié)；在低電壓下，借助電子束減速和高分辨背散射電子成像

5、技術(shù)獲取出色的樣品形貌細節(jié)。您還可以在可變環(huán)境下實時觀察材料的相互作用；借助自動化工作流程實現(xiàn)高效應(yīng)用。EVO獨一無二的X射線幾何學設(shè)計能確保在分析工作條件下達到最佳分辨率。三、技術(shù)參數(shù)EVOMA10多功能多用途掃描電鏡。EVOMA10是一臺高性能、功能強大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設(shè)計，提供高、低真空成像功能，可對各種材料表面進行分析。并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線分析條件，樣品臺為五軸全自動控制。標準的高效率無油渦輪分子泵滿足快速白樣品更換和無污染成像分析。EVOMA10可以提供較大的X-Y樣品臺行程，并具有最佳的可重復(fù)性。它是顆粒和槍擊殘留物(GSR)

6、分析等高效應(yīng)用的理想之選。主要參數(shù)1、光學系統(tǒng)1.1、 發(fā)射源：鴇燈絲?？蛇x擇普通燈絲或預(yù)對中式燈絲。具有自動電子槍啟動，自動對中，自動選擇電子槍偏壓功能。1.2、 聚焦:具有手動及自動聚焦功能。1.3、 光闌：三級可調(diào)物鏡光闌，能快速對光闌孔定位，并可作電子束自動對中。1.4、 加速電壓：0.2-30kV,10V步進連續(xù)可調(diào)。1.5、 電子束位移：士20口。1.6、 放大倍數(shù)：7-1,000,000X1.7、 分辨率：3.0nm30kV(SE)3.5nm30kV(VP、SE)1.8、 探針電流范圍：0.5pA-5隱,連續(xù)可調(diào)。2、真空系統(tǒng)2.1、 真空泵系統(tǒng)：渦輪分子泵+機械泵，不需要冷卻水

7、。2.2、 真空度：最高真空度：優(yōu)于2X10-4Pa；超低真空壓力范圍：10Pa-400Pa；在10Pa133Pa范圍內(nèi)無需安裝壓差光闌就可實現(xiàn)高低真空自由切換。2.3、 抽真空時間：小于3分鐘。3、樣品室3.1、 樣品室類型：高剛性、圓形、厚壁，大樣品室。3.2、 樣品室內(nèi)部尺寸：310mm（。）x220mm（h）。3.3、 可放置的最大樣品尺寸：直徑230mm,高度100mm3.4、 最大允許樣品重量：不小于5kg。3.5、 樣品臺移動方式：5軸電動計算機優(yōu)中心。3.6、 樣品臺移動范圍：X=80mm,Y=100mm,Z=35mm,T=-1090,R=360。3.7、 樣品臺具有接觸報警與

8、自動停止功能。3.8、 具備樣品位置感知功能。3.9、 X射線分析條件：出射角35度；分析工作距離：8.5-20mm。4、探測、成像系統(tǒng)4.1、 高真空二次電子探測器。4.2、 背散射電子探測器。4.3、 具有X射線能譜儀接口。4.4、 探測器成像模式：同時對二次電子和背散射電子成像，可用分屏方式同時顯示兩種圖像，并可在一種圖像中任意位置顯示另外一種圖像。4.5、 掃描方式：全屏、選區(qū)、定點、線掃描、線輪廓、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補償。4.6、 整機系統(tǒng)控制要求獨立控制單元，為檢修提供方便。4.7、 圖像解析度：3072x2304像素（最大）。4.8、 圖像控制：最高電子光學性能與易用性相結(jié)合的Opt

9、iBeam模式（分辨率模式、景深模式、分析模式、視場模式）。4.9、 操作系統(tǒng)：Windows7,靈活易用的SmartSEM掃描電鏡操作控制軟件。4.10、 顯示器：24TFT四、計劃進度及培訓交貨期為收到L/C后六個月。供方與需方配合進行：1 .設(shè)備到達需方地址后，供方在接到需方安裝通知十四日內(nèi)派工程師到達現(xiàn)場進行安裝調(diào)試。2 .安裝調(diào)試完畢后，馬上對用戶人員進行培訓。培訓內(nèi)容：(1)電鏡及附件的操作(2)電鏡及附件的日常維護(3)樣品觀測、分析、獲取圖象3 .培訓方式：前期基礎(chǔ)操作培訓：設(shè)備安裝后的現(xiàn)場培訓，為期5天左右，可根據(jù)客戶需要免費延長培訓時間；中期應(yīng)用培訓：免費尋訪指導(dǎo)，鞏固、提

10、高，使設(shè)備使用更加得心應(yīng)手；高級應(yīng)用培訓：針對客戶的疑難問題，邀請資深應(yīng)用專家為您免費提供解決方案。五、環(huán)境要求電源電源100-240V50/60Hz單相功耗2kVA3kVA（取決于安裝的附件）進來的單相電源最好是供給SEM的支線。對于SEM需個13安培的電源插座，另加一個用于旋轉(zhuǎn)泵的插座（如果系統(tǒng)是帶有兩個旋轉(zhuǎn)泵的EP,則另加兩個插座）。用于附件的電源插座應(yīng)連接到同一相上。它應(yīng)不供給附近可能產(chǎn)生異常干擾的儀器。需個小于1Q接地電阻的保護接地。一根5米長的接地線與EVO一起提供，并將連接到獨立的M8地線螺栓上。環(huán)境溫度為了操作者的舒適，建議室溫保持在23oC和25。間相對濕度小于65%壓縮氮氣

11、強烈建議，在樣品更換期間用干燥的氮氣對樣品室與真空泵進氣。最低壓力應(yīng)不小于0.2bar；不然，對樣品室進氣時間將太長。最大壓力必須限制在0.3bar。在高于周圍壓力0.2bar時，在樣品室打開時氮氣的消耗量大約是3l/min。氮氣的純度應(yīng)約為99.996%o提供的管子為4mm內(nèi)徑和6mm外徑。旋轉(zhuǎn)泵排氣在抽真空期間，旋轉(zhuǎn)泵產(chǎn)生油霧，在封閉環(huán)境中使用時，它能污染環(huán)境并危害健康。旋轉(zhuǎn)泵上必須連接提供的油霧過濾器和/或外部排氣。管子應(yīng)為內(nèi)經(jīng)為10mm的塑料管。震動速度水平6am/secrms。0-30Hz12師/secrms。30Hz以上測量方向：X、Y、Z雜散磁場室內(nèi)最大允許雜散磁場為3x10-7

12、T（峰-峰值）=3mG（峰-峰值）。環(huán)境與實用要求是用戶的責任，并應(yīng)在安裝時提供。如果不滿足這些條件，可能會對技術(shù)規(guī)格中給出的性能產(chǎn)生不利的影響。ZEISS技術(shù)支持建議使用減震臺和AC磁場消除系統(tǒng)尺寸及重量:卜面提供的數(shù)據(jù)只作為指導(dǎo)：ZEISSEVO?用兩個包裝箱來提供。包裝箱1:可重復(fù)使用的木箱整體尺寸134cmx122cmx205cm整體重量708kg包裝箱2:歐洲推薦的硬紙板箱整體尺寸140cmx122cmx135cm整體重量123kg基體（無包裝）整體尺寸98cm深x78.4cm寬x158cm高整體重量600kg六、質(zhì)保及其他服務(wù)A、規(guī)范化的服務(wù)體系：ZEISS產(chǎn)品售后服務(wù)具有ISO9

13、001服務(wù)體系認證資格，執(zhí)行ISO9001售后服務(wù)標準。B、貼近用戶的服務(wù)網(wǎng)點：ZEISS在中國設(shè)立直屬專業(yè)維修中心，下設(shè)有北京、上海、廣州、無錫四個專業(yè)維修站負責售后服務(wù)工作。近在咫尺的專業(yè)人士為您提供快捷、周到的服務(wù)。4 .固定維修站：在北京有15位維修工程師、無錫有10位維修工程師，上海有12位維修工程師，廣州有10位維修工程師，各服務(wù)網(wǎng)點均有多位應(yīng)用專家，向目前ZEISS的用戶提供服務(wù)。5 .流動維修站：目前在新加坡有4位資深工程師及4位維修工程師，如有需要將隨時協(xié)助ZEISS中國境內(nèi)工程師包括安裝、檢修工作等，以彌補由于ZEISS用戶數(shù)量短期內(nèi)的急劇增加而需要的安裝調(diào)試及維修工作。6 .遠程遙控服務(wù)：根據(jù)我們多年在世界各地的經(jīng)驗，80%以上用戶提出的技術(shù)問題”都是由于用戶本身，特別是電鏡新用戶還沒有完全熟練掌握電鏡的操控，或?qū)τ谀承悠返臏y試方式不熟悉而產(chǎn)生的，并非電鏡本身出現(xiàn)故障。針對此點，我們設(shè)立了遠程遙控技術(shù)服務(wù)，我們的技術(shù)人員每天24小時提供熱線電話技術(shù)服務(wù)，即時協(xié)助、解答操作員提出的問題。C、完善的呼叫服務(wù)中心：ZEISS在中國設(shè)有統(tǒng)一的售后服務(wù)電話，對用戶提出的技術(shù)及質(zhì)量問題8小時內(nèi)答復(fù)，如要求現(xiàn)場維修則24小時內(nèi)到達解決。在保修期內(nèi)，非人為故障免費負責修理。D.全國領(lǐng)先的保修政策：ZEISS產(chǎn)品質(zhì)量保障期為最終驗收后12個月，如果設(shè)備到貨后3個月內(nèi)仍