顯影、蝕刻、去膜DES工藝指導(dǎo)書

1、顯影、蝕刻、去膜（DES）工藝指導(dǎo)書.目的：本指導(dǎo)書規(guī)定顯影、蝕刻、去膜（DES工位的工作內(nèi)容和步驟2 .范圍：本指導(dǎo)書適用于內(nèi)層和掩孔法外層的顯影、蝕刻、和去膜的工作過程。3 .設(shè)備：IMLDES線4 .材料：碳酸鈉、鹽酸、雙氧水、氫氧化鈉、去泡劑、軟化水、該工位的生產(chǎn)板。5 .工藝：5.1操作步驟5. 11啟動將“MAINSWITCH'轉(zhuǎn)至"ON的位置，送入主電力電源，在按下控制面板上“POWER鈕，此時“POWER鈕內(nèi)之顯示燈亮，并注意“ENDSTOP燈是否亮著，若有應(yīng)即將控制面板上或機(jī)臺上之緊急停止按鈕予以復(fù)歸.5.12開機(jī)操作順序首先確定所有的開關(guān)均置OFF狀態(tài)；將

2、CONTROLSOURCE旋鈕旋開，使電源輸入；將所有的加熱系統(tǒng)依流程順序壓下，先使其預(yù)熱；再將所有的溫度設(shè)定器，依流程順序，設(shè)定在所需的作業(yè)溫度；壓上CONB使其輸送，再調(diào)整CONSPADJ旋鈕并調(diào)整適當(dāng)?shù)淖鳂I(yè)速度；待溫度到達(dá)所設(shè)定之溫度時再將所有的PUMPffl依順序壓下即完成作業(yè)前的開機(jī)程序；放板前10分鐘潤濕輻輪。5. 13關(guān)機(jī)操作順序依顯影、蝕刻、去膜順序依次關(guān)掉PUMPB,關(guān)掉所有加熱，熱風(fēng)車?yán)^續(xù)送風(fēng)，觀察蝕刻段溫度有否升高趨勢。當(dāng)熱風(fēng)車自動停止，且蝕刻段溫度沒有升高趨勢時，壓下STOP®鈕，關(guān)掉總電源POWER將MAINSWITCH轉(zhuǎn)至OFF。5.14 警報發(fā)生系統(tǒng)故障

3、警報系統(tǒng)依停機(jī)與否分二大類：a.停機(jī)：此項(xiàng)警報定義為主機(jī)或其一電器元件發(fā)生異常而無法運(yùn)做或?yàn)楸Ｗo(hù)人體安全而設(shè)置，如其一故障或保護(hù)條件成立便會使系統(tǒng)停止，須將故障或異常問題排除后再啟動系統(tǒng)否則啟動無效。b.不停機(jī)：此項(xiàng)警報定義為預(yù)先警報或周邊設(shè)備警報發(fā)生不會影響主機(jī)系統(tǒng)生產(chǎn)，所以異常發(fā)生本身停止運(yùn)轉(zhuǎn)，而不會停止主系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。故障緊急處理方式：步驟：當(dāng)緊急狀況發(fā)生是時，須先按“緊急停止”鈕，瞬間停止設(shè)備之一切動作，以保安全；停機(jī)后如內(nèi)部尚有板子在內(nèi)時，先行確認(rèn)輸送系統(tǒng)無異常后，可用"EMGCON鈕以寸動的方式強(qiáng)行使輸送部分運(yùn)轉(zhuǎn)，將板子送出；將其板子全部輸送后，再將操作箱上之電源開關(guān)關(guān)閉然后

4、再檢查故障區(qū)域；依指示區(qū)檢查確認(rèn)故障區(qū)的警示燈是何處故障；待將所有的故障區(qū)全部檢修完畢，再開機(jī)；開機(jī)時請遵守操作順序開機(jī);接板時不允許有疊板現(xiàn)象。5.15 藝控制：5.21 顯影段：傳送速度:1.3-1.5m/min控制點(diǎn):1.4m/min顯影槽溫度:28-32c控制點(diǎn):30C建浴槽溫度：28-32c控制點(diǎn):30C藥水濃度:0.8-1.1%控制點(diǎn):1.0%顯影壓力：上總壓:1.5-2.5BAR控制點(diǎn):2.0BAR下總壓:1.5-2.5BAR控制點(diǎn):2.0BAR烘干溫度：50c溶液更換與配制：顯影槽：每天更換槽液（由建浴槽直接注入）。建浴槽：低液位予警時配置。配置方法：建浴槽低液位予警時，把7.

5、5瓶500克碳酸鈉倒入建浴槽（通過建浴槽濾網(wǎng)）然后向建浴槽注入軟化水，到指定位置（500升處）,啟動建浴槽攪拌和加熱。*顯影時先做四塊首板，檢板人員檢驗(yàn)合格后方能批量生產(chǎn)。5.22 蝕刻段：傳送速度：內(nèi)層:Hoz1.9-2.1m/min控制點(diǎn):2.0m/min、1oz0.8-1.2m/min控制點(diǎn):1.1m/min、2oz0.5-0.7m/min控制點(diǎn):0.6m/min控制點(diǎn):0.6m/min外層：底銅，Hoz0.8-1.1m/min控制點(diǎn)：0.9m/min、1oz0.5-0.7m/min蝕刻溫度：48C蝕刻壓力：一槽：上總壓:2.9kg/cm2下總壓:2.5kg/cm2二1f:上總壓:3.0

6、kg/cm2下總壓:2.4kg/cm2AQUA空制器設(shè)定值（只由工藝工程師設(shè)定）S.G:1.26-1.30控制點(diǎn):1.28HCL:2.50-3.50控制點(diǎn):3.00H2O2:18.0-25.0控制點(diǎn):20.0TEMP:40.0-45.0C控制點(diǎn):40.0C鹽酸和雙氧水添加槽低液位時分別添加精制鹽酸和雙氧水（*兩個槽千萬不能加錯*）,方能批量生產(chǎn)。*蝕刻時先做4塊首板，確認(rèn)無殘銅并經(jīng)檢板人員確認(rèn)后5.23 去膜段傳送速度：1.3-1.5m/min控制點(diǎn):1.4m/min去膜槽溫度：38-42c控制點(diǎn):40C建浴槽溫度：38-42c控制點(diǎn):40C藥水濃度：1.5-2.5%控制點(diǎn):2%去膜壓力：2.

7、2-2.4kg/cm2控制點(diǎn):2.3kg/cm2烘干溫度：70c溶液更換與配置去膜槽：隔一天更換去膜槽藥液.建浴槽：低液位予警時配制.配制方法：將20瓶500克氫氧化鈉倒入建浴槽,（通過建浴槽濾網(wǎng)）,然后向建浴槽注入軟化水至指定位置（500升處）啟動建浴槽攪拌和加熱。去泡劑添加槽：低液位時加入去泡劑400ml,然后加滿軟化水。*確任4塊首板無殘膜時方能批量生產(chǎn)。5.3維護(hù)保養(yǎng)：每天清洗各水洗段濾網(wǎng)，更換水槽中的水。每天目視檢查各噴嘴是否堵塞。每周對顯影段和去膜段以及水洗段進(jìn)行徹底清洗，清洗方法如下：a.把槽中溶液排凈，往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，在顯影槽和去膜槽中各加20升濃堿（

8、氫氧化鈉），三段水洗各加10升濃堿（氫氧化鈉），開啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋。b.排凈槽中清洗液。重新往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，開啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋，排凈槽中清洗液。c.把槽中溶液排凈，往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，顯影槽和去膜槽中加20升濃鹽酸，三段水洗各加10升濃鹽酸，開啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋。d.排凈槽中清洗液。重新往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，開啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停止噴淋，排凈槽中清洗液。e.然后在顯影槽和去膜槽中分別添加已經(jīng)配制好的碳酸鈉和氫氧化鈉溶液。向水洗段加滿軟化水。開始生產(chǎn)。六、安全事項(xiàng):謹(jǐn)慎操作，若有疑問，與工藝聯(lián)系。操作者在處理過顯影液后必須洗手.在添加鹽酸和雙氧水時戴塑膠手套，面具、口罩，穿防護(hù)服若藥液濺到皮膚或眼睛立即用干凈布或紙擦