潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

1、潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范第一章總則第1.0.1條潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。第1.0.2條本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)，但不適用于以細(xì)菌為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過(guò)24米的高層潔凈廠(chǎng)房和地下潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)。第1.0.3條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。第1.0.4條潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。第1.0.5條潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)除應(yīng)

2、按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。第二章空氣潔凈度等級(jí)第2.0.1條空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個(gè)等級(jí)?？諝鉂崈舳缺?.0.1等級(jí)每立方米（母升）空Q中另0.6微米塵粒數(shù)每立方汴（每升）空氣中/5微米塵粒數(shù)100吸35X100（3.5）1000級(jí)36X1000（35）這2500,6IV?60ISO通道、休息室100暗房工作室30第8.2.4條無(wú)采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)該按等級(jí)混合照明照度值的1015%采用，并不應(yīng)低于150勒克斯。第8.2.5條潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應(yīng)急安全出口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置標(biāo)志燈。在專(zhuān)用消防口處應(yīng)

3、設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。第8.2.6條潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。第三節(jié)控制、通信和防護(hù)第8.3.1條潔凈廠(chǎng)房的凈化空氣調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝對(duì)溫度、濕度和正壓的要求。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。第8.3.2條潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠(chǎng)房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。第8.3.3條潔凈廠(chǎng)房（包括技術(shù)夾層）應(yīng)單獨(dú)或組合設(shè)置感溫、感光、感煙等形式的火災(zāi)探測(cè)器。報(bào)警器（受訊臺(tái)）應(yīng)設(shè)置在有人值班的地點(diǎn)，供電應(yīng)可靠。第8.3.4條潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災(zāi)危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)能發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并應(yīng)同時(shí)切斷風(fēng)機(jī)電源。附錄一名詞解釋序號(hào)本規(guī)范用名詞曾用名詞解釋檢聲車(chē)合章一中和間級(jí)特氣力

4、空等要空壓閉度主對(duì)、密凈為，度的活定要濕制氣規(guī)需、控空范據(jù)度行其規(guī)根溫進(jìn)原本5技術(shù)夾層管道夾層技術(shù)閣樓主的的以案鞏水裝夾平管道1技不夾道技J、走J即技n技，E管械雙墻主要以垂直構(gòu)件分隔成的供安裝管線(xiàn)等設(shè)質(zhì)庾用的建筑走道技術(shù)豎井主要以垂直鉤件分隔制成的供安裝鳥(niǎo)可管法使用的井式建筑輔助空間建筑風(fēng)道以建筑構(gòu)件組成田風(fēng)道輕型吊頂輕吊頂、軟吊頂以輕型骨架和飾面板材安裝組成的頂棚2潔凈區(qū)凈化區(qū)由潔存室所組成的區(qū)域3人身得1旬用篁人潮生活潔摩區(qū)工作人員在進(jìn)入潔間窗區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的輔助用富4物料凈化用室物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一,J-.cn、力LMMtFLLEOri10的綜合效果it含塵濃JS指單位停

5、積空氣中所含懸浮塵粒的數(shù)量潔凈度指潔凈環(huán)境中空氣含生粒紜少的程度指塵粒由某種測(cè)定方法測(cè)出的長(zhǎng)度名義尺寸，并不含有具體的幾何形狀的意義口當(dāng)采用光學(xué)顯微鏡測(cè)B湍的長(zhǎng)度當(dāng)采目光散射式粒子計(jì)效器測(cè)定時(shí)，是才善港生粒（如聚本爆小球）作散射光強(qiáng)度的等效比較而得至室空氣凈化全面凈優(yōu)通過(guò)空氣凈化等技術(shù)措施使軍內(nèi)整個(gè)空間的空氣含生濃度達(dá)到本規(guī)池的空氣潔凈度等級(jí)，這種方式稱(chēng)全空空氣凈化14局部空氣凈化局!到這才慟見(jiàn)犁的空氣潔凈度等級(jí)卷編局部空q凈化15層流潔凈室平行希在潔凈室內(nèi)，空氣以均勻的斷面速度沿平行湎線(xiàn)流動(dòng)（與流體力學(xué)的層流概念不完全相同）16亂標(biāo)潔凈室在潔凈室內(nèi)，空氣以不均勻的速度呈不平行流線(xiàn)流前17潔凈

6、工作區(qū)指潔凈室內(nèi)（除生產(chǎn)工藝特寐重京外）寓曲面0.81.5米高度的區(qū)域IB第一潔凈工作區(qū)指水平層流潔密室工作區(qū)內(nèi)空氣潔凈度最后的工作位置19空工收淋堂、通道式空氣吹海室風(fēng)淋辭空氣潛浴室齡翳具.衣20氣閘室為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈度和正壓控制而退置的援沖121潔凈工作服尼龍服、無(wú)生殖為了把工作人員1衣服產(chǎn)生的生粒娘;落艇用笛翅童唐裝的皮膚和F最小程9、田潔凈22過(guò)謔器顫定風(fēng)指彳和P即任一定流速下，回力為最合理時(shí)i吏其效率的過(guò)濾器23隨道式潔凈室在潔凈室內(nèi)采用層流簟組成隧道式的垂直層流理的局部潔凈工海區(qū)，以布富有較局空氣潔凈前要求的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)流水線(xiàn)24外圍建筑指安裝裝配式潔凈室所在,的新建或改建

7、建筑物25氣流組織指對(duì)氣流流向和均勻度按一定要求進(jìn)行組織26浦膜顯微鏡計(jì)故法18iwr同空粒大小和故里的方法27純水去離十水深度脫鹽水指溫度25c時(shí)，電阻率大于0.1X106歐姆E米的水28高純水指涓度2EC時(shí)，電阻率大于0.1X1/6歐嫄厘米，水中大手或等于口.5,喬的塵粒小于300粒，竄升，潔微生物小于9個(gè)，量升的觸水29純水絡(luò)端凈化裝置純水后處理設(shè)備在用水點(diǎn)附近，對(duì)水質(zhì)作進(jìn)一步凈化處理的裝置30高純氣體指眄度大于或等于英，9曲%,含水量小于期的氣ft31氣怦蟄端得化建置在用氣京附近，電國(guó)體作進(jìn)一手兜化通的裝置G2高效氣壓過(guò)濾器氣棒過(guò)濾后，達(dá)到小干或等干0.5微米塵粒含量小于或等于粒/升的

8、氣體過(guò)淳器附錄二潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試：（一）空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒(méi)有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測(cè)試。靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。（二）動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。二、潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。三、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試（一）測(cè)試前的準(zhǔn)備1、應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。2、采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣

9、過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)）粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開(kāi)始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2-3厘米處，可以24厘米/秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過(guò)3粒/分升（或其穿透率大于0.01%。）即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。（二）測(cè)試內(nèi)容1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等；2、潔凈室壓力值；3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；4、潔凈工作區(qū)的潔凈度；5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試；6、潔凈

10、室內(nèi)噪聲。（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法對(duì)于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法：1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升。1,000級(jí)10,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0.1升。對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試；如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。2、采樣注意事項(xiàng)(1)采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。(2)采樣管的長(zhǎng)度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無(wú)規(guī)定時(shí)，不宜大于1.5米。(3)

11、采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。(4)采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。3、測(cè)點(diǎn)布置(1)檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米。(2)層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0.52.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過(guò)。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)(附圖2),每增加2050平方米，增加3-5個(gè)測(cè)點(diǎn)。4、數(shù)據(jù)整理(1)每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。(2)對(duì)于大于或

12、等于0.5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。(四)正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。四、動(dòng)態(tài)測(cè)試在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試附錄三潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例生產(chǎn)類(lèi)別舉例甲徽型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間精密F它螺儀裝配的漕洗間碳荒棘希世甲工段化工尸的寸酮、丙酮、壞乙酮易燃熔布的物理提油工作演（為敵抗飩劑的眼前工作問(wèn)）雷卓體抽料廠(chǎng)隹用喜氣麗拉晶就硅烷熱金解室盍帆造工廠(chǎng),也孽清洗間（使用迫點(diǎn)小手犯匕的曷嫩液溜）外通最化孝氣相沆祖同疝化學(xué)試劑K薦而乙膠片廠(chǎng)的洗ED車(chē)間丙計(jì)算機(jī)店記錄數(shù)據(jù)

13、的磁盤(pán)貯存間顯像管廠(chǎng)愛(ài)配工段燒槍閭磴帶裝配工般集成電路工廠(chǎng)的氧化、獷散間、光刻間附錄四凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合下列要求：（一）施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)行；（二）風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、干燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施；（三）采用復(fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過(guò)程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料；（四）清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。二、高效和亞高效空氣過(guò)濾器的安裝，應(yīng)符合下列要求：（一）必須在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效

14、空氣過(guò)濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進(jìn)行檢查、擦試、吹洗運(yùn)轉(zhuǎn)12小時(shí)后方能進(jìn)行；（二）高效空氣過(guò)濾器必須在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；（三）過(guò)濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施；（四）過(guò)濾器安裝就位后，必須進(jìn)行檢漏和堵漏。三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應(yīng)嚴(yán)格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)行。附錄五凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求一、潔凈室的空氣，宜按附表5規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)潔凈室的空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù)附表5、空氣活鑒測(cè)凈度項(xiàng)目,等緩100100010,000100,000溫度每班二次濕度野旺二校正壓值用周一次每月

15、一次、潔凈度每周一次每三個(gè)月一次每大個(gè)月一次附錄六凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚風(fēng)管壁厚附表6冷軋鍍鋅翎板制風(fēng)管鋁板制風(fēng)管不銹鋼板制風(fēng)管塑料板制風(fēng)營(yíng)外徑或最大迫寶岸親）壁厚年君外用或最大邊檜煌疝壁厚（S求）外管或最煌米）壁厚（W羽）外徑或聚曜塔i忍壁！1002000,51003201.01005000.51003203.022AB000.753606301.5麗011200.7&3506304.056s11301.0T0920002.012502001.0TOO”10005.0125020001.21.51120200000i1002000.5L0A3201.0lOOFOO0.51203203.02205000.TE3606301.556011200.761005004.056Ck-JI皺.1.0TOCr-,2&頗.2.0.刖1.0,n做5.01191BrB125020001.21.5100012505.016002000S.0附錄七本規(guī)范用詞說(shuō)