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會(huì)計(jì)學(xué)1ch溶液鍍膜法化學(xué)溶液沉積溶液鍍膜法化學(xué)溶液沉積第1頁(yè)/共23頁(yè)第2頁(yè)/共23頁(yè)第3頁(yè)/共23頁(yè)第4頁(yè)/共23頁(yè)第5頁(yè)/共23頁(yè)第6頁(yè)/共23頁(yè)第7頁(yè)/共23頁(yè)第8頁(yè)/共23頁(yè)旋覆法旋覆法 浸漬法膜厚控制不易,不適合于小襯底,浸漬法膜厚控制不易,不適合于小襯底,特別是小圓襯底。而旋覆正好適合于小圓襯底特別是小圓襯底。而旋覆正好適合于小圓襯底,但大面積均勻膜困難。,但大面積均勻膜困難。第9頁(yè)/共23頁(yè)MM2n +2ne第10頁(yè)/共23頁(yè)第11頁(yè)/共23頁(yè)屏蔽形膜,電解電容器。屏蔽形膜,電解電容器。第12頁(yè)/共23頁(yè)第13頁(yè)/共23頁(yè)第14頁(yè)/共23頁(yè)第15頁(yè)/共23頁(yè)第16頁(yè)/共23頁(yè)表面平滑,水平的基板從上向表面平滑,水平的基板從上向下緩慢下降,可制得理想的下緩慢下降,可制得理想的X型膜。型膜。第17頁(yè)/共23頁(yè)第18頁(yè)/共23頁(yè)第19頁(yè)/共23頁(yè)第20頁(yè)/共23頁(yè)好。好。第21頁(yè)/共23頁(yè)第22頁(yè)/共23頁(yè)
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