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文檔簡介
1、太陽能電池太陽能電池(dinch)制絨制絨第一頁,共42頁。第1頁/共42頁第二頁,共42頁。第2頁/共42頁第三頁,共42頁。單晶硅多晶硅非晶硅第3頁/共42頁第四頁,共42頁。晶硅太陽能電池(dinch)晶薄膜太陽能電池第4頁/共42頁第五頁,共42頁。第5頁/共42頁第六頁,共42頁。第6頁/共42頁第七頁,共42頁。第7頁/共42頁第八頁,共42頁。遠低于單晶硅電池,而效率高于非晶硅薄膜電池。第8頁/共42頁第九頁,共42頁。第9頁/共42頁第十頁,共42頁。第10頁/共42頁第十一頁,共42頁。第11頁/共42頁第十二頁,共42頁。第12頁/共42頁第十三頁,共42頁。機械(jxi)
2、損傷層10m硅片第13頁/共42頁第十四頁,共42頁。制絨前制絨后材料(cilio)表面多次反射吸收原理圖受光面積(min j)增大第14頁/共42頁第十五頁,共42頁。第15頁/共42頁第十六頁,共42頁。多的光子在靠近PN結附近產(chǎn)生光生載流子,從而增加了光生載流子的收集幾率。 (3)在同樣尺寸的基片上,絨面電池的PN結面積比光面大得多,因而可以提高短路電流,轉換效率也有相應提高。 (4)絨面也帶來了一些缺點:一是工藝要求提高了;二是由于它減反射的無選擇性,不能產(chǎn)生電子空穴對的有害紅外輻射也被有效地耦合入電池,使電池發(fā)熱;三是易造成金屬接觸電極與硅片表面的點接觸,使接觸電阻損耗增加。第16頁
3、/共42頁第十七頁,共42頁。反應(fnyng)劑HNO3HF絡合物H2SiF6SiO2氧化劑NO溶解(rngji)SiO2第17頁/共42頁第十八頁,共42頁。第18頁/共42頁第十九頁,共42頁。在清洗工藝過程中按照(nzho)工作區(qū)域可分為9個模組(M1M9)硅片裝載硅片裝載(zhungzi)制絨制絨清洗清洗中和拋光中和拋光清洗清洗化學疏水化學疏水清洗清洗烘干烘干硅片卸載硅片卸載第19頁/共42頁第二十頁,共42頁。M2模組第20頁/共42頁第二十一頁,共42頁。M2模組第21頁/共42頁第二十二頁,共42頁。M2模組第22頁/共42頁第二十三頁,共42頁。M2模組第23頁/共42頁第二
4、十四頁,共42頁。M2模組第24頁/共42頁第二十五頁,共42頁。40,60s,31.2%30 ,60s,24.6%26 ,60s,22.1%10 ,60s,20.1%8 ,90s,19.8%第25頁/共42頁第二十六頁,共42頁。M2模組 當68%HF和32%HNO3時出現(xiàn)(chxin)最大值,為28m/s 第26頁/共42頁第二十七頁,共42頁。M3模組第27頁/共42頁第二十八頁,共42頁。M3模組第28頁/共42頁第二十九頁,共42頁。M4模組第29頁/共42頁第三十頁,共42頁。M4模組第30頁/共42頁第三十一頁,共42頁。M4模組第31頁/共42頁第三十二頁,共42頁。M4模組第32頁/共42頁第三十三頁,共42頁。M6模組第33頁/共42頁第三十四頁,共42頁。M6模組第34頁/共42頁第三十五頁,共42頁。M6模組第35頁/共42頁第三十六頁,共42頁。M6模組第36頁/共42頁第三十七頁,共42頁。M6模組第37頁/共42頁第三十八頁,共42頁。M6模組第38頁/共42頁第三十九頁,共42頁。M8模組第39頁/共42頁第四十頁,共42頁。M8模組 它是通過兩臺空氣壓縮泵,通過兩次過濾(粗過濾、細過濾),最終送到兩組風刀中對硅片進行烘干,空氣最終溫度可達到40度,它的工作原理是一個物理變化過
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