工廠無塵室培訓(xùn)教材ppt課件

1、無塵室培訓(xùn)教材.無塵室的起源與發(fā)展 十九世紀(jì)初期，各種細菌被相繼發(fā)現(xiàn)，為防止病房、手術(shù)室中細菌傳播，無菌室成為最有效的對策，這便是現(xiàn)代無塵室的前身。 飛機所使用的小軸承及齒輪若至于粉末，灰塵多的環(huán)境中制造，不但故障頻發(fā)而且容易引發(fā)嚴(yán)重事故，這個事實在二戰(zhàn)前就已經(jīng)被了解。 二戰(zhàn)時，美國將零件置于空氣浮塵較少處進行加工組合，裝備的可靠性得到極大的提升。 與此同時，美國的曼哈頓計劃中，為除去放射性微粒，制造了超高性能過濾器(HEPA FILTER)，對日后潔凈技術(shù)的開發(fā)影響極大。 1967年，美國進行阿波羅計劃時，為防止細菌在大氣層和外太空傳播，制定了無塵室的相關(guān)規(guī)格。.靜電照度振動值氣體分子電磁波

2、噪音微塵 粒子濕度氣流型態(tài) 壓力溫度3無塵室的控制要素 .無塵室的定義無塵室(Clean Room)：指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除；并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。 亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。.潔凈等級分類 5.1.不帶入適當(dāng)壓差MAU過濾器AIR SHOWER2.不發(fā)塵用人少,動作輕人員穿著無塵衣使用CR專用器具3.不堆積LAYOUT無死角設(shè)備四周留空間定期保養(yǎng)與清掃4.速排除污染源直接排除換氣

3、次數(shù)要足夠適當(dāng)?shù)幕仫L(fēng)術(shù)氣流速維持潔凈度的基本準(zhǔn)則.污染物大小與對比70.5um粒徑肉眼可視粒徑-5um人類頭發(fā)直徑-100um無塵室控制-微塵粒子的排除.1. 減少粒塵進入無塵室2. 去除外器引入之塵粒3. 控制正壓4. 設(shè)置Air Shower5. 設(shè)置Pass Box6. 去除無塵室內(nèi)之塵粒7. 沖淡法:以潔凈空氣沖淡無塵室內(nèi)塵粒8. 置換法:以潔凈空氣置換無塵室內(nèi)之塵粒無塵室控制-微塵粒子的排除.空調(diào)箱內(nèi)空氣過濾網(wǎng)種類1. 預(yù)濾網(wǎng)(Pre-filter)2. 濾除大氣中1m以上之粗粒子3. 過濾效率7090% ASHRAE ARRESTANCE4. 用來延長中級過濾網(wǎng)之效率5. 中級過濾

4、網(wǎng)(Middle filter)6. 濾除大氣中1m以下之粗粒子7. 過濾效率3595 % Dust Spot8. 用來延長最終過濾網(wǎng)之效率9. 最終過濾網(wǎng)(Final filter)10.濾除大氣中0.5m以下之微粒子11.過濾效率99.97% 以上DOP12.可分-HEPA及ULPA13. 無塵室控制-微塵粒子的排除.天花板上最終空氣過濾網(wǎng)種類1. HEPAHigh Efficiency Particulate Air Filter2. 濾除大氣中0.3m以下之微粒子3. 過濾效率99.97% 以上DOP(即穿透率小于萬分之三)4. ULPAUltra Law Penetration Ai

5、r Filter5. 濾除大氣中0.1m以下之微粒子6. 過濾效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十萬分之一)7. Note :傳統(tǒng)濾材為玻璃纖維材,隨晶圓線徑越細,8. 濾材逐漸為PTFE9. 無塵室控制-微塵粒子的排除.Air FlowFan Filter Unit外氣空調(diào)箱DCToolsDCHumidifier11Tools無塵室控制-微塵粒子的排除.每立方呎屋外空氣 塵粒(0.3m)數(shù)量大約7,143,000個經(jīng)初級濾網(wǎng)去除數(shù)量1%(重量去除85%)通過7,072,000個/ft3經(jīng) 中級濾網(wǎng)去除數(shù)量55%通過3,182,400個/ft3經(jīng)最終濾網(wǎng)去除數(shù)量99.97%通過955個

6、/ft3進無塵室假設(shè)送風(fēng)量350ft3/sec潔凈度控制舉例無塵室初級濾網(wǎng)預(yù)冷盤管預(yù)熱盤管加濕器截水器冷卻盤管加熱盤管初級濾網(wǎng)送風(fēng)機組中級濾網(wǎng)逆止風(fēng)門外氣空調(diào)箱無塵室控制-微塵粒子的排除.Air FlowFan Filter Unit外氣空調(diào)箱DC來自空調(diào)箱供應(yīng)955個/ft3x350ft3/s=334,250個/s機臺 人員 建筑發(fā)塵30,000個/s滯留系數(shù)0.13,000個/s未帶走27,000個/s被氣流帶走334,250+27,000= 361,250個/sHEPA去除效率99.99%每秒約通過36.1個(3,000+37) /3,500= 0.87個 / ft3符合潔凈度控制舉例(

7、符合CLASS 1 0.3M范例)假設(shè)換氣量每秒3,500ft3制造區(qū)無塵室控制-微塵粒子的排除.無塵室控制人員的進出管控.經(jīng)預(yù)冷盤管后冷卻為16.6oC RH 100%假設(shè)送風(fēng)量10m3/sec無塵室初級濾網(wǎng)預(yù)冷盤管預(yù)熱盤管加濕器截水器冷卻盤管加熱盤管初級濾網(wǎng)送風(fēng)機組中級濾網(wǎng)逆止風(fēng)門夏天外氣條件DB 35oC，RH 80%(氣象統(tǒng)計1%)無塵室運轉(zhuǎn)條件222oC，RH 455%(依產(chǎn)品制造要求)經(jīng)冷卻盤管后除濕為9.5oC RH 100%經(jīng)加熱盤管后 改變濕度11.2oC RH 90%外氣空調(diào)箱控制 溫度、濕度無塵室控制溫濕度的控制.Air FlowFan Filter Unit外氣空調(diào)箱D

8、C空調(diào)箱供應(yīng)11.2oC 90% 10 m3/s機臺 人員 建筑4F發(fā)熱量：180 KJ/秒3F發(fā)熱量：100 KJ/秒100 =1.17x(100-10)x(T3f-22)T3f 22.95oC(符合222OC相對濕度455%范例)假設(shè)每秒換氣量100m3(比容1.17)制造區(qū)180 =1.17x100 x(T4f-20.5)T4f 22oC冷盤管容量=1.17x90 x(22.95-20.5)1.17x10 x(20.5-11.2)= 257.99 - 108.81 =149.18選160 KJ/s制程排氣10 m3/s設(shè)定溫度20.5oCTools無塵室控制溫濕度的控制.17無塵室控制氣

9、流型態(tài)的控制.氣流組織 形式非層流方式層流方式水平式垂直式混合方式無塵室控制氣流型態(tài)的控制.亂流式潔凈室渦流RA Shaft渦流RA Shaft適用在Class100或較不嚴(yán)謹之潔凈室側(cè)回風(fēng)10,000-100,000級；地板回風(fēng) 1,00010000級.垂直層流式潔凈室RA Shaft層流方式一般用于100級及以下的潔凈室.水平層流式潔凈室RA ShaftSA Chamber適用在醫(yī)院手術(shù)室等場所.混流式潔凈室RA ShaftClass100或Class1kClass10或Class1Class100或Class1k.23無塵室控制氣壓的控制.MAKEUP AIRUNITOAFFUFABRA

10、PRAISED FLOORWAFFLE SLABSUPPORTBUILDINGDRY COOLINGCOILRAOASATRUSSLEVELCLEAN ROOM PLAN - FAN FILTER UNIT SYSTEMFFUFFURETURNAIRCHASESUPPLY AIR PLENUMDIRTY FABDIRTY FABFFU系統(tǒng)系統(tǒng).MAKEUP AIRUNITOAFABRAPRAISED FLOORWAFFLE SLABSUPPORTBUILDINGRAOASATRUSSLEVELCLEAN ROOM PLAN - RECIRCULATION AHU SYSTEMRECIRCULA

11、TIONAHURECIRCULATIONAHUHEPAHEPAHEPADIRTY FAB循環(huán)空調(diào)箱風(fēng)管系統(tǒng)循環(huán)空調(diào)箱風(fēng)管系統(tǒng).MAKEUP AIRMAKEUP AIRUNITUNITOAOAAXIALAXIALFANFANHEPAHEPAHEPAHEPAHEPAHEPAFABFABRAPRAPRAISED FLOORRAISED FLOORWAFFLE SLABWAFFLE SLABSUPPORTSUPPORTBUILDINGBUILDINGDRY COOLINGDRY COOLINGCOILCOILRARAOAOASASATRUSSTRUSSLEVELLEVELCLEAN ROOM PLAN - CENTRAL RECIRCULATION SYSTEMCLEAN ROOM PLAN - CENTRAL RECIRCULATION SYSTEMDIRTY FAB軸流風(fēng)機系統(tǒng)軸流風(fēng)機系統(tǒng).ItemsFFU/DC SystemPCC System風(fēng)管(天花板上)少(OA only)多(PCC,OA,HEPA)配管單純(Aligned)復(fù)雜(Scattered)控制閥少(DC Group)多(PCC Individual)風(fēng)車數(shù)量多(FFU Nos)少(PCC Nos)控制組件少(DC Group)