第10次課半導(dǎo)體、光纖傳感器及傳感器選用原則

1、濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 傳統(tǒng)傳感器：以機(jī)機(jī)- -電轉(zhuǎn)換電轉(zhuǎn)換為基礎(chǔ)，以電信號電信號為變換和傳輸載體，利用導(dǎo)線導(dǎo)線傳輸電信號。 光纖傳感器：以光學(xué)量光學(xué)量為轉(zhuǎn)換基礎(chǔ)，以光信號光信號為變換和傳輸載體，利用光導(dǎo)纖維光導(dǎo)纖維傳輸光信號。第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 功能型光纖傳感器是利用功能型光纖傳感器是利用光纖光纖對環(huán)境變化的敏感性，對環(huán)境變化的敏感性，將將輸入物理量輸入物理量變換為調(diào)制的變換為調(diào)制的光信號光信號。 1 1）功能型光纖傳感器）功能型光纖傳感器一、分類一、分類光纖傳光又傳感光纖傳光又傳感第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 圖圖a所示為光纖

2、在所示為光纖在均衡壓力均衡壓力作作用下，由于用下，由于光彈性效應(yīng)光彈性效應(yīng)而引起而引起光纖折射率、形狀和尺寸的變光纖折射率、形狀和尺寸的變化，從而導(dǎo)致光纖傳播化，從而導(dǎo)致光纖傳播光的相光的相位變化和偏振面旋轉(zhuǎn)位變化和偏振面旋轉(zhuǎn)；圖圖b所示為光纖在所示為光纖在點(diǎn)壓力點(diǎn)壓力作用作用下，引起光纖局部變形，使光下，引起光纖局部變形，使光纖由于折射率不連續(xù)變化導(dǎo)致纖由于折射率不連續(xù)變化導(dǎo)致傳播光散亂而增加損耗，從而傳播光散亂而增加損耗，從而引起引起光振幅光振幅變化變化。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 主要由多模光纖、光源、銅管、光電二極管及測量電路所組成。多模光纖插

3、主要由多模光纖、光源、銅管、光電二極管及測量電路所組成。多模光纖插入順流而置的銅管中，由于流體流動(dòng)而使入順流而置的銅管中，由于流體流動(dòng)而使光纖光纖發(fā)生發(fā)生機(jī)械變形機(jī)械變形，從而使光纖中，從而使光纖中傳播的各模式傳播的各模式光的相位光的相位發(fā)生變化，光纖的發(fā)射發(fā)生變化，光纖的發(fā)射光強(qiáng)光強(qiáng)出現(xiàn)強(qiáng)弱出現(xiàn)強(qiáng)弱變化變化，其，其振幅的振幅的變化與流速成正比變化與流速成正比，這就是光纖傳感器測流速的工作原理。，這就是光纖傳感器測流速的工作原理。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院傳光型光纖傳感器是由傳光型光纖傳感器是由光檢測元件光檢測元件與與光纖傳輸回路光纖傳輸回路及及測量電路測量電路所組成的測量系統(tǒng)。其中光

4、纖僅作為光所組成的測量系統(tǒng)。其中光纖僅作為光的傳播媒介，所以又稱為非功能型光纖傳感器。的傳播媒介，所以又稱為非功能型光纖傳感器。2 2）傳光型光纖傳感器）傳光型光纖傳感器第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 光纖只傳光光纖只傳光濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 其工作原理為：由激光光源其工作原理為：由激光光源(氫氫-氦激光氦激光)發(fā)出的光發(fā)出的光(頻率為頻率為fi)導(dǎo)入光導(dǎo)纖維，經(jīng)過分光鏡后，光線通過光纖射向振動(dòng)物導(dǎo)入光導(dǎo)纖維，經(jīng)過分光鏡后，光線通過光纖射向振動(dòng)物體，由于振動(dòng)物體體，由于振動(dòng)物體 (被測體被測體)振動(dòng)，產(chǎn)生散射振動(dòng)，產(chǎn)生散射(頻率為頻率為fs)，被測物體的運(yùn)動(dòng)速度與多普勒頻率之間

5、的關(guān)系為被測物體的運(yùn)動(dòng)速度與多普勒頻率之間的關(guān)系為 式中fi入射光頻率，即激光源頻率； fs散射光頻率； n 發(fā)生散射介質(zhì)的折射率； 入射光在空氣中的波長； 被測物體的運(yùn)動(dòng)速度。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院二、光纖導(dǎo)光原理二、光纖導(dǎo)光原理第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院三、應(yīng)用光纖傳感器應(yīng)用相當(dāng)廣泛，尤其在下列情況下特別適應(yīng): 在高壓、電磁感應(yīng)噪音條件下的測試； 在危險(xiǎn)和環(huán)境惡劣條件下的測試； 在機(jī)器設(shè)備內(nèi)部的狹小間隙中的測試； 在遠(yuǎn)距離的傳輸中的測試。以光纖傳感器為核心的遠(yuǎn)距離測試系統(tǒng)

6、遠(yuǎn)距離測試系統(tǒng)在過程檢測和控制系統(tǒng)中的應(yīng)用已成為當(dāng)前的重點(diǎn)研究課題。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院四、應(yīng)用舉例：四、應(yīng)用舉例：第六節(jié)第六節(jié) 光纖傳感器光纖傳感器 測角度、角速度、位置濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院圖圖 熱雙金屬式光纖溫度開關(guān)熱雙金屬式光纖溫度開關(guān)1 1 遮光板；遮光板； 2 2 雙金屬片雙金屬片當(dāng)溫度升高時(shí)，雙金屬片的變形量增大，帶動(dòng)遮光板當(dāng)溫度升高時(shí)，雙金屬片的變形量增大，帶動(dòng)遮光板在垂直方向產(chǎn)生位移從而使輸出光強(qiáng)發(fā)生變化。在垂直方向產(chǎn)生位移從而使輸出光強(qiáng)發(fā)生變化。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院Y形光纖束的膜片反射型光纖壓力傳感器如圖。在形光纖束的膜片反射型光纖壓力傳

7、感器如圖。在Y形形光纖束前端放置一感壓膜片，當(dāng)膜片受壓變形時(shí)，使光纖束前端放置一感壓膜片，當(dāng)膜片受壓變形時(shí)，使光纖束與膜片間的距離發(fā)生變化，從而使輸出光強(qiáng)受光纖束與膜片間的距離發(fā)生變化，從而使輸出光強(qiáng)受到調(diào)制。到調(diào)制。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院光纖被夾在一對鋸光纖被夾在一對鋸齒板中間，當(dāng)光纖齒板中間，當(dāng)光纖不受力時(shí)，光線從不受力時(shí)，光線從光纖中穿過，沒有光纖中穿過，沒有能量損失。當(dāng)鋸齒能量損失。當(dāng)鋸齒板受外力作用而產(chǎn)板受外力作用而產(chǎn)生位移時(shí)，光纖則發(fā)生許多微彎，這時(shí)在纖芯中傳輸?shù)纳灰茣r(shí)，光纖則發(fā)生許多微彎，這時(shí)在纖芯中傳輸?shù)墓庠谖澨幱胁糠稚⑸涞桨鼘又泄庠谖澨幱胁糠稚⑸涞桨鼘又? 濰

8、坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院圖圖 斜面反射式光纖液位傳感器斜面反射式光纖液位傳感器當(dāng)傳感器接觸液面時(shí)，將引起反射回另一根光纖當(dāng)傳感器接觸液面時(shí)，將引起反射回另一根光纖的光強(qiáng)減小。的光強(qiáng)減小。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院第七節(jié)第七節(jié) 半導(dǎo)體傳感器半導(dǎo)體傳感器 二、光敏傳感器二、光敏傳感器:一、磁敏傳感器一、磁敏傳感器:六、智能傳感器六、智能傳感器:四、熱敏傳感器：、熱敏傳感器：五、氣敏傳感器：五、氣敏傳感器：三、三、CCD固態(tài)圖象傳感器：固態(tài)圖象傳感器：霍爾元件霍爾元件 磁阻元件磁阻元件磁敏管磁敏管光敏電阻光敏電阻光敏二極管光敏二極管光敏三極管光敏三極管熱敏電阻熱敏電阻氣敏電阻氣敏電阻電

9、荷耦合器件電荷耦合器件(CCD)傳感器傳感器+微型計(jì)算機(jī)微型計(jì)算機(jī)濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 在磁場測量磁場測量以及利用磁場磁場作為媒介對位移、速度、加速度、壓力、角度、角速度、流量、電流、電功率等許多非電量測量中，半導(dǎo)體磁敏元件半導(dǎo)體磁敏元件是一種重要的器件。 分類：分類：磁敏元件分霍耳元件、磁阻元件、磁敏二極管、磁霍耳元件、磁阻元件、磁敏二極管、磁敏三極管敏三極管等。 主要材料材料有等。 這類器件的優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，易于集成化，耐沖擊，頻響寬（從直流到微波），動(dòng)態(tài)范圍大，而且可以實(shí)現(xiàn)無接觸檢測，不存在磨損，抗污染，不產(chǎn)生火花，使用安全，壽命長，因此它在測量技術(shù)、自動(dòng)控制和信

10、息處理等方面有廣泛的應(yīng)用。一、磁敏傳感器（磁敏特性）一、磁敏傳感器（磁敏特性）濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場中，當(dāng)有電流金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場中，當(dāng)有電流(設(shè)載流子速度相設(shè)載流子速度相等等)流過時(shí)，在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢，流過時(shí)，在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢，這種物理現(xiàn)象稱為這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)。siniBkVBH1 1、霍爾元件、霍爾元件霍爾電勢霍爾電勢kB霍爾常數(shù)，取決于材質(zhì)、霍爾常數(shù)，取決于材質(zhì)、 溫度和元件尺寸；溫度和元件尺寸；B磁感應(yīng)強(qiáng)度；磁感應(yīng)強(qiáng)度；電流與磁場方向的夾角。電流與磁場方向的夾角。i原理：原理：霍爾效應(yīng)霍

11、爾效應(yīng)濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 霍爾元件多采用N型半導(dǎo)體材料型半導(dǎo)體材料。目前最常用的霍爾元件材最常用的霍爾元件材料料有鍺鍺(Ge)、硅、硅(Si)、銻化銦、銻化銦(InSb)、砷化銦、砷化銦(InAs)等半導(dǎo)體材料。 霍爾元件越薄(d越小)，kB就越大，薄膜霍爾元件厚度只有1m左右?；魻栐牧匣魻栐牧蟙濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院霍爾元件組成：霍爾元件組成：霍爾元件的封裝也基本相同。大部分霍爾集成片采用單列單列直插式塑料封裝直插式塑料封裝，有3或4個(gè)腳。 霍爾元件的輸出電平很小，是微伏級微伏級。低噪音、高輸入阻抗放大器將信號放大到和系統(tǒng)電子線路相兼容的電平。電壓調(diào)整器或參考

12、電壓源也是共有的， 為了使霍爾電壓僅與磁場變化有關(guān)， 大部分傳感器以恒流源供電?；魻柶ɑ蚧魻柤善⑺母€霍爾片（或霍爾集成片）、四根引線、殼體殼體所有的霍爾集成片霍爾集成片都具有基本相同的線路。在集成片的基底上除了霍爾元件霍爾元件外， 還有信號整定線路信號整定線路。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院霍爾元件在各種應(yīng)用條件下所選用的原則霍爾元件在各種應(yīng)用條件下所選用的原則: 1、磁場測量。若要求被測磁場精度較高,如高于0.5 ,那么通常選用砷化鎵砷化鎵霍爾元件,其靈敏度高,約為5-10mv/100mT。溫度誤差可忽略不計(jì)，且材料性能好，可以做的體積較小。在被測磁場精度較低，體積要求不高，

13、如精度低于0.5 時(shí)， 最好選用硅和鍺硅和鍺霍爾元件。 2、電流測量。大部分霍爾元件可以用于電流測量.要求精度較高時(shí),選用砷化鎵砷化鎵霍爾元件;精度不高時(shí),可選用砷化鎵、硅、鍺砷化鎵、硅、鍺等霍爾元件. 3、轉(zhuǎn)速和脈沖測量。測量轉(zhuǎn)速和脈沖時(shí)，通常是選用集成集成霍爾開關(guān)和銻化銦銻化銦霍爾元件。如在錄像機(jī)和攝像機(jī)中采用了銻化銦銻化銦霍爾元件替代電機(jī)的電刷，提高了使用壽命。 4、信號的運(yùn)算和測量。、信號的運(yùn)算和測量。通常利用霍爾電勢與控制電流、被測磁場成正比，并與被測磁場同霍爾元件表面的夾角成正弦關(guān)系的特性，制造函數(shù)發(fā)生器。利用霍爾元件輸出與控制電流和被測磁場乘積成正比的特性，制造功率表、電度表等。

14、 5、拉力和壓力測量。選用霍爾件制成的傳感器較其它材料制成的傳感器靈敏度和線性度更佳。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院將霍爾元件置于磁場中，從從 a端通入端通入電流電流i，根據(jù)霍爾效應(yīng)，左半部左半部產(chǎn)生霍爾霍爾電勢電勢VH1,右半部右半部產(chǎn)生霍爾霍爾電勢電勢VH2，方向相反。，方向相反。c、d兩端電勢為兩端電勢為VH2-VH1。當(dāng)改變磁極系統(tǒng)與霍爾元當(dāng)改變磁極系統(tǒng)與霍爾元件的相對位置時(shí)，即可得件的相對位置時(shí)，即可得到輸出電壓，其大小正比到輸出電壓，其大小正比于位移量。于位移量。 應(yīng)用應(yīng)用該磁場采用了特殊形狀的極靴,使磁感應(yīng)強(qiáng)度的分布呈線性規(guī)律。 1 1）霍爾位移傳感器）霍爾位移傳感器濰坊學(xué)院機(jī)

15、電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院檢測磁場檢測磁場是霍爾式傳感器最典型的應(yīng)用之一。是霍爾式傳感器最典型的應(yīng)用之一。 將霍爾器件做成各種形式的將霍爾器件做成各種形式的探頭，探頭，放在被測磁場放在被測磁場中，使磁力線和器件表面垂直，通電后即可輸出與被中，使磁力線和器件表面垂直，通電后即可輸出與被測磁場的測磁場的磁感應(yīng)強(qiáng)度磁感應(yīng)強(qiáng)度成成線性正比線性正比的電壓。的電壓。案例：案例：管道裂紋檢測管道裂紋檢測原理磁場強(qiáng)度變化導(dǎo)致傳感器輸出電壓發(fā)生變化。鐵磁材料裂紋檢測鐵磁材料裂紋檢測 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院3)3)霍爾式壓力傳感器霍爾式壓力傳感器霍爾壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖霍爾壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖霍爾元件霍爾元

16、件磁鋼磁鋼壓力壓力P霍爾壓力傳感器是霍爾壓力傳感器是利用彈性元件的變利用彈性元件的變形位移形位移,然后再利用然后再利用固接在彈性元件位固接在彈性元件位移部分的霍爾片在移部分的霍爾片在磁場中移動(dòng)磁場中移動(dòng),使通過使通過霍爾片的磁感應(yīng)強(qiáng)霍爾片的磁感應(yīng)強(qiáng)度發(fā)生變化度發(fā)生變化,從而引從而引起霍爾電勢的變化起霍爾電勢的變化而工作的。而工作的。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院4)4)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器霍爾轉(zhuǎn)速傳感器霍爾轉(zhuǎn)速傳感器結(jié)構(gòu)霍爾轉(zhuǎn)速傳感器結(jié)構(gòu)當(dāng)當(dāng)金屬齒金屬齒經(jīng)過霍爾傳感器前端時(shí)，引起經(jīng)過霍爾傳感器前端時(shí)，引起磁場變化磁場變化，霍爾元件檢測到磁場變化，霍爾元件檢測到磁場變化，并轉(zhuǎn)換成一個(gè)并轉(zhuǎn)換成一個(gè)交

17、變電信號交變電信號，傳感器內(nèi)置電路對該信號進(jìn)行放大、整形，輸出，傳感器內(nèi)置電路對該信號進(jìn)行放大、整形，輸出良好的矩形脈沖信號，測量頻率范圍寬，輸出信號精確穩(wěn)定良好的矩形脈沖信號，測量頻率范圍寬，輸出信號精確穩(wěn)定,安裝簡單安裝簡單,防油防油防水防水,已在電力、汽車、航空、紡織、石化等測速領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用已在電力、汽車、航空、紡織、石化等測速領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用 。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院5 5）電流傳感器）電流傳感器原理霍爾元件輸入電流變化導(dǎo)致傳感器輸出電壓發(fā)生變化。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院2 2、磁阻元件、磁阻元件通常以電阻率的相對改變量來表示通常以電阻率的相對改變量來表示磁阻的大

18、小磁阻的大小，即用，即用/(0)表示表示【=(B)-(0)】?！俊?磁阻效應(yīng)磁阻效應(yīng)（Magnetoresistance Effects）是指某些某些金屬金屬或或半半導(dǎo)體導(dǎo)體的的電阻值電阻值隨外加隨外加磁場磁場變化而變化的現(xiàn)象變化而變化的現(xiàn)象。電阻的變化電阻的變化稱稱為磁阻（磁阻（MR）。 其中(0)零磁場時(shí)的電阻率； (B)在磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場中的電阻率。由于)0()0(kRR因此也可以用磁阻傳感器電阻的相對改變量也可以用磁阻傳感器電阻的相對改變量R/R(0)來表示來表示磁阻效應(yīng)的大小。磁阻效應(yīng)的大小。【R=R(B)-R(0)】利用半導(dǎo)體材料的利用半導(dǎo)體材料的磁阻效應(yīng)磁阻效應(yīng)(或高斯效應(yīng)或

19、高斯效應(yīng))。原理：濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院當(dāng)霍爾元件處于外磁場中時(shí)，載流子受洛侖茲力的作用發(fā)生偏轉(zhuǎn)，在d 、 c兩端分別積聚 、 電荷，形成霍霍耳電場。耳電場。 如果霍耳電場作用和某一速度載流子的洛侖茲力作用剛好抵消，那么小于或大于該速度的載流子將發(fā)生偏轉(zhuǎn)，因而沿外加電場方向外加電場方向(a b方向)運(yùn)動(dòng)的載流子數(shù)量將減少，電阻增大，表現(xiàn)出橫向磁阻效應(yīng)橫向磁阻效應(yīng)。若將圖中a端和b端短路，則磁阻效應(yīng)更明顯。Fl=qvB左手定則FE=qE- -+ +xFEFlvabcd產(chǎn)生產(chǎn)生磁阻效應(yīng)磁阻效應(yīng)的的原理原理濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院b) R/R(0)與磁場的正負(fù)無關(guān)； c) 受溫度系

20、數(shù)影響大；d) 磁感應(yīng)的范圍比霍爾元件大。 R-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5a) 當(dāng)金屬或半導(dǎo)體處于較弱磁場較弱磁場中時(shí)，一般磁阻傳感器電阻相對變化率R/R(0)正比于正比于磁感應(yīng)強(qiáng)度B2；磁阻效應(yīng)的特點(diǎn)磁阻效應(yīng)的特點(diǎn)在強(qiáng)磁場強(qiáng)磁場(B 1)中R/R(0)與磁感應(yīng)強(qiáng)度B呈線性線性關(guān)系。為獲得較好的線性特性，應(yīng)選擇遷移率比較高遷移率比較高的半導(dǎo)體材料（如 n型銻化銦型銻化銦）。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院特點(diǎn)： 磁阻元件中的載流子在電場中漂移很短，頻率響應(yīng)頻率響應(yīng)極佳極佳。 磁阻元件是二端元件，特殊的有三端和四端元件，還有磁阻集成電路。主要用于位移位移和角度角度的檢測和

21、無觸點(diǎn)電位器無觸點(diǎn)電位器等。用途： 目前，磁阻效應(yīng)還廣泛用于磁傳感、磁力計(jì)、電子羅目前，磁阻效應(yīng)還廣泛用于磁傳感、磁力計(jì)、電子羅盤、車輛探測、盤、車輛探測、GPS導(dǎo)航、儀器儀表、磁存儲導(dǎo)航、儀器儀表、磁存儲(磁卡、磁卡、硬盤硬盤)等領(lǐng)域。等領(lǐng)域。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院應(yīng)用實(shí)例應(yīng)用實(shí)例 銻化銦銻化銦 （InSb-In）薄膜磁阻元件電流傳感器）薄膜磁阻元件電流傳感器 檢測微弱電流檢測微弱電流 案例案例1同時(shí)改變兩個(gè)同時(shí)改變兩個(gè)InSb-In磁阻元件阻值磁阻元件阻值 ，濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院案例案例2 2磁阻效應(yīng)位移傳感器磁阻效應(yīng)位移傳感器 將磁阻元件置于磁場中，當(dāng)它相對于磁場發(fā)

22、生位移時(shí)，元件內(nèi)阻R1、R2發(fā)生變化，如果將它們接于電橋，則其輸出電壓比例于電阻的變化。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院案例案例3 3InSb磁阻式齒輪傳感器 基于磁阻效應(yīng)磁阻效應(yīng)原理的半導(dǎo)體InSb磁阻效應(yīng)包括磁電阻率效磁電阻率效應(yīng)應(yīng)()和幾何幾何形狀效應(yīng)形狀效應(yīng)(表現(xiàn)為在相同磁場作用下，幾何形狀不同，半導(dǎo)體片電阻值出現(xiàn)不同的變化)兩種。 用于旋轉(zhuǎn)速度、角度、位置和方向的檢測和自動(dòng)控制。 由半導(dǎo)體半導(dǎo)體InSb磁敏電阻元件磁敏電阻元件和偏置磁偏置磁鋼鋼組成，如圖所示，與相應(yīng)模數(shù)磁性磁性齒輪齒輪(包括由鐵、鋼、矽鋼片等軟磁材料制成齒輪和由硬磁材料制成磁性齒輪)配合使用。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊

23、學(xué)院機(jī)電學(xué)院 磁敏二極管和磁敏三極管是磁敏二極管和磁敏三極管是70年代發(fā)展出年代發(fā)展出來的新型磁敏傳感器。來的新型磁敏傳感器。3 3、磁敏管、磁敏管濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院晶體二極管的工作原理：晶體二極管的工作原理： 晶體二極管為一個(gè)由晶體二極管為一個(gè)由p型半導(dǎo)體和型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體形成的型半導(dǎo)體形成的p-n結(jié)，在結(jié)，在其界面處兩側(cè)形成空間電荷層，并建有自建電場。其界面處兩側(cè)形成空間電荷層，并建有自建電場。 當(dāng)不存在外加電壓時(shí)當(dāng)不存在外加電壓時(shí)，由于，由于p-n結(jié)兩邊載流子濃度差引起的結(jié)兩邊載流子濃度差引起的擴(kuò)散電流和自建電場引起的漂移電流相等而處于電平衡狀態(tài)。擴(kuò)散電流和自建電場引起

24、的漂移電流相等而處于電平衡狀態(tài)。 當(dāng)外界有正向電壓偏置時(shí)當(dāng)外界有正向電壓偏置時(shí)，外界電場和自建電場的互相抑消，外界電場和自建電場的互相抑消作用使載流子的擴(kuò)散電流增加引起了正向電流。作用使載流子的擴(kuò)散電流增加引起了正向電流。 當(dāng)外界有反向電壓偏置時(shí)當(dāng)外界有反向電壓偏置時(shí)，外界電場和自建電場進(jìn)一步加強(qiáng)，外界電場和自建電場進(jìn)一步加強(qiáng)，形成在一定反向電壓范圍內(nèi)與反向偏置電壓值無關(guān)的反向飽形成在一定反向電壓范圍內(nèi)與反向偏置電壓值無關(guān)的反向飽和電流和電流I0。 當(dāng)外加的反向電壓高到一定程度當(dāng)外加的反向電壓高到一定程度時(shí)，時(shí)，p-n結(jié)空間電荷層中的結(jié)空間電荷層中的電場強(qiáng)度達(dá)到臨界值產(chǎn)生載流子的倍增過程，產(chǎn)生

25、大量電子電場強(qiáng)度達(dá)到臨界值產(chǎn)生載流子的倍增過程，產(chǎn)生大量電子空穴對，產(chǎn)生了數(shù)值很大的反向擊穿電流，稱為二極管的擊空穴對，產(chǎn)生了數(shù)值很大的反向擊穿電流，稱為二極管的擊穿現(xiàn)象。穿現(xiàn)象。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院磁敏二極管工作原理：磁敏二極管工作原理：給磁敏二極管加給磁敏二極管加正電壓正電壓時(shí)（時(shí)（P區(qū)接正，區(qū)接正，N區(qū)接負(fù)區(qū)接負(fù)） ，P區(qū)向區(qū)向i區(qū)注入空區(qū)注入空穴，穴，N區(qū)向區(qū)向i區(qū)注入電子。區(qū)注入電子。1）在）在沒有外加磁場沒有外加磁場時(shí)，大部分的空穴和電子分別流入時(shí)，大部分的空穴和電子分別流入N區(qū)和區(qū)和P區(qū)而產(chǎn)生區(qū)而產(chǎn)生電流，只有很少一部分載流子在電流，只有很少一部分載流子在i區(qū)或區(qū)或r

26、區(qū)復(fù)合，如圖區(qū)復(fù)合，如圖(a)所示。此時(shí)所示。此時(shí)i區(qū)有區(qū)有固定的阻值，器件呈穩(wěn)定狀態(tài)。固定的阻值，器件呈穩(wěn)定狀態(tài)。2）若給磁敏二極管）若給磁敏二極管外加一個(gè)磁場外加一個(gè)磁場B時(shí)，在正向磁場的作用下，空穴和電子時(shí)，在正向磁場的作用下，空穴和電子在洛侖茲力的作用下偏向在洛侖茲力的作用下偏向r區(qū)，如圖區(qū)，如圖(b)所示。由于空穴和電子在所示。由于空穴和電子在r區(qū)的復(fù)區(qū)的復(fù)合速率大，因此載流子復(fù)合掉的比沒有磁場時(shí)大得多，從而使合速率大，因此載流子復(fù)合掉的比沒有磁場時(shí)大得多，從而使i區(qū)中的載區(qū)中的載流子數(shù)目減少，流子數(shù)目減少，i區(qū)電阻增大區(qū)電阻增大,該區(qū)的電壓降也增加，又使該區(qū)的電壓降也增加，又使P

27、-i結(jié)與結(jié)與i-N結(jié)的結(jié)壓降下降結(jié)的結(jié)壓降下降 ，導(dǎo)致注入到，導(dǎo)致注入到i區(qū)的載流子數(shù)目減少。其結(jié)果是使區(qū)的載流子數(shù)目減少。其結(jié)果是使i區(qū)的區(qū)的電阻繼續(xù)增大，其壓降也繼續(xù)增大，形成正反饋過程，直到進(jìn)入某一動(dòng)電阻繼續(xù)增大，其壓降也繼續(xù)增大，形成正反饋過程，直到進(jìn)入某一動(dòng)平衡狀態(tài)為止。平衡狀態(tài)為止。3）當(dāng)給磁敏二極管）當(dāng)給磁敏二極管加一個(gè)反向磁場加一個(gè)反向磁場B-時(shí)，載流子在洛侖茲力的作用下均偏時(shí)，載流子在洛侖茲力的作用下均偏離復(fù)合區(qū)離復(fù)合區(qū)r，如圖，如圖(c)所示。其偏離所示。其偏離r區(qū)的結(jié)果與加正向磁場時(shí)的情況恰恰區(qū)的結(jié)果與加正向磁場時(shí)的情況恰恰相反，此時(shí)磁敏二極管的正向電流增大，電阻減小。相

28、反，此時(shí)磁敏二極管的正向電流增大，電阻減小。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)： 從以上的工作過程可以看出，磁敏從以上的工作過程可以看出，磁敏二極管是采用電子與空穴雙重注入效應(yīng)二極管是采用電子與空穴雙重注入效應(yīng)及復(fù)合效應(yīng)原理工作的，具有及復(fù)合效應(yīng)原理工作的，具有很高的靈很高的靈敏度敏度，約為霍爾元件磁靈敏度的數(shù)百至，約為霍爾元件磁靈敏度的數(shù)百至數(shù)千倍；數(shù)千倍； 由于磁敏二極管在正、負(fù)磁場由于磁敏二極管在正、負(fù)磁場作用下，其輸出信號增量的方向不同，作用下，其輸出信號增量的方向不同，因此利用這一點(diǎn)可以因此利用這一點(diǎn)可以判別磁場方向判別磁場方向。體體積小，功耗低積小，功耗低。u缺點(diǎn)缺點(diǎn)：有

29、較大的噪聲、漂移和溫度系數(shù)。有較大的噪聲、漂移和溫度系數(shù)。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院應(yīng)用應(yīng)用： 適于適于檢測微弱磁場檢測微弱磁場的變化，可用于的變化，可用于地磁測量儀地磁測量儀、磁力探傷儀磁力探傷儀和借助磁場觸發(fā)的和借助磁場觸發(fā)的無觸點(diǎn)開關(guān)無觸點(diǎn)開關(guān)。例如利用導(dǎo)線周圍的磁場制成無接觸電流表無接觸電流表，利用磁場變化制成調(diào)制器、自動(dòng)增益控制電路調(diào)制器、自動(dòng)增益控制電路和無無觸點(diǎn)電位器觸點(diǎn)電位器，也用于也用于非接觸轉(zhuǎn)速、位移測量非接觸轉(zhuǎn)速、位移測量。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院磁敏管的應(yīng)用磁敏管的應(yīng)用漏磁探傷儀漏磁探傷儀漏磁探傷儀原理圖1 裂縫；2 磁敏管探頭；3 鐵芯；4 激勵(lì)線圈；

30、5 被測棒材(a)(b)濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院二、二、 光敏傳感器光敏傳感器 光敏傳感器通常是指能將光敏傳感器通常是指能將光能光能轉(zhuǎn)化成轉(zhuǎn)化成電信號電信號的器件。的器件。工作原理是基于半導(dǎo)體材料的工作原理是基于半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng)光電效應(yīng)。 （一）光敏電阻（一）光敏電阻（光電導(dǎo)效應(yīng)）光電導(dǎo)效應(yīng)） 光電導(dǎo)效應(yīng)是指半導(dǎo)體材光電導(dǎo)效應(yīng)是指半導(dǎo)體材料受到光照時(shí)會產(chǎn)生電子料受到光照時(shí)會產(chǎn)生電子-空空穴對，使其導(dǎo)電性能增強(qiáng)。光穴對，使其導(dǎo)電性能增強(qiáng)。光線愈強(qiáng)，阻值愈低，這種光照線愈強(qiáng)，阻值愈低，這種光照后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象，稱后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象，稱為為光電導(dǎo)效應(yīng)光電導(dǎo)效應(yīng)?；谶@種效應(yīng)?；?/p>

31、于這種效應(yīng)的光電器件有的光電器件有光敏電阻、光敏光敏電阻、光敏二極管、光敏三極管二極管、光敏三極管。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院（二）光敏二極管和光敏三極管（二）光敏二極管和光敏三極管（光電導(dǎo)效應(yīng)）光電導(dǎo)效應(yīng)） 光敏二極管是一種既有一個(gè)光敏二極管是一種既有一個(gè)PN結(jié)又有光電轉(zhuǎn)換功能的晶體結(jié)又有光電轉(zhuǎn)換功能的晶體二極管。該二極管。該P(yáng)N結(jié)位于管的頂部，以便接受光照。光敏二結(jié)位于管的頂部，以便接受光照。光敏二極管在電路中通常處于反向偏置狀態(tài)。在無光照射時(shí)處于極管在電路中通常處于反向偏置狀態(tài)。在無光照射時(shí)處于截止?fàn)顟B(tài)，反向電阻很大，反向電流（也稱暗電流）很小。截止?fàn)顟B(tài)，反向電阻很大，反向電流（

32、也稱暗電流）很小。當(dāng)受到光照射時(shí)，當(dāng)受到光照射時(shí)，PN結(jié)附近受光子轟擊，產(chǎn)生電子與空結(jié)附近受光子轟擊，產(chǎn)生電子與空穴，使少數(shù)載流子的濃度大大增加，形成光電流。穴，使少數(shù)載流子的濃度大大增加，形成光電流。 光敏二極管基本電路光敏二極管基本電路 光敏三極管基本電路光敏三極管基本電路 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院（三）光電池（三）光電池（光生伏特效應(yīng)光生伏特效應(yīng)） 光生伏特效應(yīng)光生伏特效應(yīng)指半導(dǎo)體材料指半導(dǎo)體材料P-N結(jié)受到光照后產(chǎn)生結(jié)受到光照后產(chǎn)生一定方向的電動(dòng)勢的效應(yīng)。以可見光作光源的光電池一定方向的電動(dòng)勢的效應(yīng)。以可見光作光源的光電池是常用的光生伏特型器件。是常用的光生伏特型器件。+-PN

33、第八節(jié)第八節(jié) 半導(dǎo)體傳感器半導(dǎo)體傳感器 光源光源光電池光電池濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院（四）（四） 應(yīng)用應(yīng)用 光電傳感器在工業(yè)上的應(yīng)用可歸納為吸收式、遮光光電傳感器在工業(yè)上的應(yīng)用可歸納為吸收式、遮光式、反射式、輻射式四種基本形式。式、反射式、輻射式四種基本形式。 被測物體位于恒定光源與光電元件之間,根據(jù)被測物對光的吸收程度或?qū)ζ渥V線的選擇來測定被測參數(shù)。如測量液體、氣體的透明度、混濁度,對氣體進(jìn)行成分分析,測定液體中某種物質(zhì)的含量等。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院恒定光源發(fā)出的光投射到被測物體上,被測物體把部分光通量反射到光電元件上,根據(jù)反射的光通量多少測定被測物表面狀態(tài)和性質(zhì)。例如測

34、量零件的表面粗糙度、表面缺陷、表面位移等。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院被測物體位于恒定光源與光電元件之間,光源發(fā)出的光通量經(jīng)被測物遮去其一部分,使作用在光電元件上的光通量減弱,減弱的程度與被測物在光學(xué)通路中的位置有關(guān)。利用這一原理可以測量長度、厚度、線位移、角位移、振動(dòng)等。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院被測物體本身就是輻射源，它可以直接照射在光電元件上，也可以經(jīng)過一定的光路后作用在光電元件上。光電高溫計(jì)、比色高溫計(jì)、紅外偵察和紅外遙感等均屬于這一類。這種方式也可以用于防火報(bào)警和構(gòu)成光照度計(jì)等。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院案例：案例：直射式光電轉(zhuǎn)速傳感器直射式光電轉(zhuǎn)速傳感器 開孔圓盤的

35、輸入軸與被測軸相連接，光源發(fā)出的光，通過開孔圓盤的輸入軸與被測軸相連接，光源發(fā)出的光，通過開孔圓盤和縫隙板照射到光敏元件上被光敏元件所接收，開孔圓盤和縫隙板照射到光敏元件上被光敏元件所接收，將光信號轉(zhuǎn)為電信號輸出。開孔圓盤上有許多小孔，開孔將光信號轉(zhuǎn)為電信號輸出。開孔圓盤上有許多小孔，開孔圓盤旋轉(zhuǎn)一周，光敏元件輸出的電脈沖個(gè)數(shù)等于圓盤的開圓盤旋轉(zhuǎn)一周，光敏元件輸出的電脈沖個(gè)數(shù)等于圓盤的開孔數(shù)。因此，孔數(shù)。因此，可通過測量光敏元件輸出的脈沖頻率，求得可通過測量光敏元件輸出的脈沖頻率，求得被測轉(zhuǎn)速被測轉(zhuǎn)速 n 。 n轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速f脈沖頻率脈沖頻率N圓盤開孔數(shù)圓盤開孔數(shù)Nfn 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)

36、電學(xué)院案例：案例：光電鼠標(biāo)就是利用光電鼠標(biāo)就是利用LED與光敏晶體管組合來測量位移。與光敏晶體管組合來測量位移。案例：案例：亮度傳感器亮度傳感器 通過檢測周圍環(huán)境的亮度，再與內(nèi)通過檢測周圍環(huán)境的亮度，再與內(nèi)部設(shè)定值相比較，調(diào)整光源的亮度和部設(shè)定值相比較，調(diào)整光源的亮度和分布，有效利用自然光線，達(dá)到節(jié)約分布，有效利用自然光線，達(dá)到節(jié)約電能的目的。電能的目的。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 隨著半導(dǎo)體與光電技術(shù)的迅速發(fā)展，固態(tài)圖象傳感器也應(yīng)運(yùn)而生，生產(chǎn)工藝技術(shù)也發(fā)展迅猛。 固態(tài)圖象傳感器與普通圖象傳感器相比，具有體積小、失真小、靈敏度高、抗振動(dòng)、耐潮濕、成本低等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于工業(yè)測量工業(yè)

37、測量和控制控制，尤其在圖象識別圖象識別領(lǐng)域應(yīng)用更為廣泛。同時(shí)，計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)的日新月異，也會給固態(tài)圖象傳感器的應(yīng)用帶來廣闊前景。三、三、CCD固態(tài)圖象傳感器固態(tài)圖象傳感器濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 MOS(Metal Oxide Semiconductor)光敏元的結(jié)構(gòu)光敏元的結(jié)構(gòu)是在半導(dǎo)體是在半導(dǎo)體(P型硅型硅)基片上形成一種氧化物基片上形成一種氧化物(如二氧化如二氧化硅硅)，在氧化物上再沉積一層金屬電極，以此形成一，在氧化物上再沉積一層金屬電極，以此形成一個(gè)金屬個(gè)金屬-氧化物氧化物-半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)元半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)元 (MOS電容器電容器)。 在半導(dǎo)體硅片上按在半導(dǎo)體硅片上按線陣線陣或或面陣

38、面陣排列排列MOSMOS單元單元，如果，如果照射在這些光敏元上的是一幅明暗起伏的圖像，則照射在這些光敏元上的是一幅明暗起伏的圖像，則這些光敏元上就會感生出一幅與光照強(qiáng)度相對應(yīng)的這些光敏元上就會感生出一幅與光照強(qiáng)度相對應(yīng)的光生電荷圖像。光生電荷圖像。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院 特點(diǎn)特點(diǎn): (1) 非接觸檢測非接觸檢測; (2) 響應(yīng)快響應(yīng)快; (3) 可靠性高可靠性高,維修簡便維修簡便; (4) 測量精度高測量精度高; (5) 體積小體積小,重量輕重量輕; 容易與計(jì)算機(jī)連接容易與計(jì)算機(jī)連接 (6) 對被測物體需要強(qiáng)光照射對被測物體需要強(qiáng)光照射; (7) 受被測物體以外的光的影響受被測物體以

39、外的光的影響. 條形碼掃描器條形碼掃描器lml1l2(1) 寬度測量寬度測量(2) 外徑測量外徑測量(3) 主軸徑向跳動(dòng)測量主軸徑向跳動(dòng)測量.應(yīng)用：應(yīng)用：濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院（ ）前處理前處理案例：案例：光學(xué)文字 識別裝置濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院案例：傳真技術(shù)濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院數(shù)碼相機(jī)數(shù)碼相機(jī)GREY = RED*0.299 + GREEN*0.587 + BLUE*0.114 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院四、熱敏傳感器四、熱敏傳感器 半導(dǎo)體半導(dǎo)體熱敏電阻熱敏電阻的材料是一種由的材料是一種由錳、鎳、銅、鐵錳、鎳、銅、鐵等等金屬氧化物按一定比例混合燒結(jié)而成的

40、半導(dǎo)體，它具有金屬氧化物按一定比例混合燒結(jié)而成的半導(dǎo)體，它具有負(fù)的電阻溫度系數(shù)負(fù)的電阻溫度系數(shù)，隨，隨溫度上升而阻值下降溫度上升而阻值下降。 典型的熱敏電阻元件有圓形、桿形和珠形等，其結(jié)構(gòu)典型的熱敏電阻元件有圓形、桿形和珠形等，其結(jié)構(gòu)及溫度特性如圖所示。及溫度特性如圖所示。 濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院應(yīng)用應(yīng)用 溫控器溫控器熱敏電阻熱敏電阻濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院五、氣敏傳感器五、氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用是利用氣敏氣敏半導(dǎo)體材料，如半導(dǎo)體材料，如氧化錫、氧氧化錫、氧化錳化錳等金屬氧化物制成等金屬氧化物制成敏感元件敏感元件(氣敏電阻)。當(dāng)被測氣體。當(dāng)被測氣體在

41、該半導(dǎo)體表面吸附后在該半導(dǎo)體表面吸附后,引起其電學(xué)特性引起其電學(xué)特性(例如電導(dǎo)率例如電導(dǎo)率)發(fā)生發(fā)生變化。變化。氣敏傳感器應(yīng)用較廣泛的是用于防災(zāi)報(bào)警，如氣敏傳感器應(yīng)用較廣泛的是用于防災(zāi)報(bào)警，如煤氣、或煤氣、或有毒氣體報(bào)警，也可用于對大氣污染監(jiān)測、有毒氣體報(bào)警，也可用于對大氣污染監(jiān)測、CO氣體測氣體測量、酒精濃度探測等方面。量、酒精濃度探測等方面。煙霧報(bào)警器煙霧報(bào)警器酒精傳感器酒精傳感器一氧化碳傳感器一氧化碳傳感器接觸燃燒式氣敏元件接觸燃燒式氣敏元件半導(dǎo)體氣敏元件半導(dǎo)體氣敏元件氧化鋯氣敏元件氧化鋯氣敏元件濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院六六、智能傳感器、智能傳感器 傳感器一般指能夠感知某種物理量

42、（如電、傳感器一般指能夠感知某種物理量（如電、光、磁等）、化學(xué)量（如濃度、光、磁等）、化學(xué)量（如濃度、PHPH值等）、生物值等）、生物量（如細(xì)菌等）等的信息，并將該信息轉(zhuǎn)化為電量（如細(xì)菌等）等的信息，并將該信息轉(zhuǎn)化為電信息的裝置。信息的裝置。 智能傳感器是將智能傳感器是將傳感器傳感器與與微型計(jì)算機(jī)微型計(jì)算機(jī)集成在集成在一塊芯片上，其主要特征是將一塊芯片上，其主要特征是將敏感技術(shù)敏感技術(shù)和和信息處信息處理技術(shù)理技術(shù)相結(jié)合，使其除了具有感知的本能外，還相結(jié)合，使其除了具有感知的本能外，還具有認(rèn)知能力。具有認(rèn)知能力。濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院濰坊學(xué)院機(jī)電學(xué)院智能智能傾角傾角傳感器傳感器數(shù)字溫度傳感器和數(shù)字溫度傳感器和溫度監(jiān)控器溫度監(jiān)控器IC JX2817是一款利用熱敏電阻熱敏電阻溫度傳感器探測環(huán)境溫度的數(shù)字-溫度變換器，可以在-3