CH2傳感器原理5-6節(jié)

1、2.5 壓電式傳感器壓電式傳感器 2.5.1 壓電效應(yīng)基于壓電材料的基于壓電材料的壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)，把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換為，把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換為電荷量電荷量的變化。的變化。某些物質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ浼恿κ蛊渥冃螘r(shí)，內(nèi)部會(huì)被極某些物質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ浼恿κ蛊渥冃螘r(shí)，內(nèi)部會(huì)被極化，在一定表面上將產(chǎn)生電荷；外力去掉后，又重新回到不帶化，在一定表面上將產(chǎn)生電荷；外力去掉后，又重新回到不帶電狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為電狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)。如果在這些物質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些物質(zhì)就在一定方如果在這些物質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些物質(zhì)就在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械應(yīng)力；撤去外電場(chǎng)時(shí)，變形或

2、應(yīng)力也向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械應(yīng)力；撤去外電場(chǎng)時(shí)，變形或應(yīng)力也隨之消失，這種現(xiàn)象為隨之消失，這種現(xiàn)象為逆壓電效應(yīng)逆壓電效應(yīng)/電致伸縮效應(yīng)電致伸縮效應(yīng)。壓電單晶體壓電單晶體：如石英、酒石酸鉀鈉（羅謝爾鹽：如石英、酒石酸鉀鈉（羅謝爾鹽Rochelle salt）等；等；壓電多晶體壓電多晶體（壓電陶瓷）：（壓電陶瓷）： 鈦酸鋇鈦酸鋇 BaTiO3BaCO3+TiO2 鋯鈦酸鉛鋯鈦酸鉛 PZT，Pb(ZrTi)O3 PbTiO3+PbZrO3 鈮鎂酸鉛鈮鎂酸鉛 PMN，Pb(ZrTi)O3+Pb(Mg1/3、Nb2/3)O3 高分子聚合物高分子聚合物：聚偏二氟乙烯（：聚偏二氟乙烯（PVDF, polyv

3、inylidenefluoride）壓電材料: 明顯呈現(xiàn)壓電效應(yīng)的敏感功能材料。明顯呈現(xiàn)壓電效應(yīng)的敏感功能材料。光軸光軸電軸電軸力軸力軸結(jié)構(gòu)：中間為結(jié)構(gòu)：中間為六棱柱六棱柱，兩端為，兩端為對(duì)稱對(duì)稱六棱錐六棱錐。縱軸縱軸z-z稱為稱為光軸（中性軸）光軸（中性軸），光線沿光軸傳播時(shí)不產(chǎn)生光線沿光軸傳播時(shí)不產(chǎn)生雙折雙折射射現(xiàn)象，沿光軸施加力時(shí)不產(chǎn)現(xiàn)象，沿光軸施加力時(shí)不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。生壓電效應(yīng)。通過(guò)棱線垂直于光軸的軸線通過(guò)棱線垂直于光軸的軸線x-x稱為稱為電軸電軸，壓電效應(yīng)最顯著，壓電效應(yīng)最顯著，有三根。有三根。垂直于棱面的軸線垂直于棱面的軸線y-y稱為稱為力軸力軸（機(jī)械軸）（機(jī)械軸），沿力軸加力時(shí)機(jī)

4、，沿力軸加力時(shí)機(jī)械變形最顯著，有三根。械變形最顯著，有三根。天然石英晶體天然石英晶體o光：ordinary ray尋常光e光：extraordinary ray非常光 雙折射 birefringence方解石方解石的雙折射現(xiàn)象的雙折射現(xiàn)象無(wú)色透明的方解石(Calcite)也叫冰洲石(Iceland Spar)(CaCO3 )從石英晶體上切下一個(gè)長(zhǎng)方體晶片，其晶面分別平行于從石英晶體上切下一個(gè)長(zhǎng)方體晶片，其晶面分別平行于z-z、y-y、x-x軸。軸。晶片在自然狀態(tài)下不呈現(xiàn)電性。晶片在自然狀態(tài)下不呈現(xiàn)電性。沿沿電軸電軸(x軸軸)方向的作用力產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為方向的作用力產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為縱向壓電效

5、應(yīng)縱向壓電效應(yīng)；沿沿力軸力軸(y軸軸)方向的作用力產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為方向的作用力產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為橫向壓電效應(yīng)橫向壓電效應(yīng)；沿沿相對(duì)兩棱相對(duì)兩棱加力時(shí)產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為加力時(shí)產(chǎn)生的壓電效應(yīng)稱為切向壓電效應(yīng)切向壓電效應(yīng)。力軸力軸光軸光軸電軸電軸ijqd壓電方程和壓電常數(shù)壓電方程和壓電常數(shù)壓電常數(shù)的第一個(gè)下標(biāo)壓電常數(shù)的第一個(gè)下標(biāo) i 表示晶體的極化方向，即產(chǎn)生電荷的表示晶體的極化方向，即產(chǎn)生電荷的表面垂直于表面垂直于x 軸軸( y 軸或軸或 z 軸軸)，記作，記作 i =1 (或或 2、3)；第二個(gè)下標(biāo)第二個(gè)下標(biāo) j =1 (或或 2、3 、4 、5、6 )，分別表示在沿，分別表示在沿x 軸、軸、

6、 y軸、軸、 z 軸方向作用的單位應(yīng)力和在垂直于軸方向作用的單位應(yīng)力和在垂直于x 軸、軸、 y 軸、軸、 z 軸軸的的平面內(nèi)（即平面內(nèi)（即 yz 平面、平面、xz 平面、平面、 xy 平面平面)作用的剪切力。作用的剪切力。2.5.2 壓電傳感器及其等效電路壓電傳感器及其等效電路并聯(lián)并聯(lián)Raii壓電式傳感器適宜作壓電式傳感器適宜作動(dòng)態(tài)測(cè)量動(dòng)態(tài)測(cè)量壓電元件常用的結(jié)構(gòu)形式單片壓電元件的輸出電荷很少，常將多片并聯(lián)或串聯(lián)起來(lái)使用。單片壓電元件的輸出電荷很少，常將多片并聯(lián)或串聯(lián)起來(lái)使用。 并聯(lián)并聯(lián)：兩片壓電晶片的負(fù)電荷集中在中間電極上，正電荷集：兩片壓電晶片的負(fù)電荷集中在中間電極上，正電荷集中在兩側(cè)的電極

7、上。并聯(lián)時(shí)，傳感器的中在兩側(cè)的電極上。并聯(lián)時(shí)，傳感器的電容量大電容量大，輸出電荷量大，輸出電荷量大，時(shí)間常數(shù)大，適用于測(cè)量時(shí)間常數(shù)大，適用于測(cè)量緩變緩變信號(hào)，并以信號(hào)，并以電荷電荷為輸出量。為輸出量。 串聯(lián)串聯(lián)：正電荷集中于上極板，負(fù)電荷集中于下極板。串聯(lián)時(shí)，：正電荷集中于上極板，負(fù)電荷集中于下極板。串聯(lián)時(shí)，傳感器的傳感器的電容量小電容量小，輸出電壓大，響應(yīng)較快，適用于測(cè)量，輸出電壓大，響應(yīng)較快，適用于測(cè)量頻率高頻率高的信號(hào)，并以的信號(hào)，并以電壓電壓作為輸出量。作為輸出量。0ACQUC 壓電式傳感器的輸出電信號(hào)很微弱，通常把壓電傳壓電式傳感器的輸出電信號(hào)很微弱，通常把壓電傳感器的輸出信號(hào)首先輸

8、入到感器的輸出信號(hào)首先輸入到高輸入阻抗的前置放大高輸入阻抗的前置放大器器，阻抗變換以后，再用一般的放大檢波電路將信，阻抗變換以后，再用一般的放大檢波電路將信號(hào)輸入到指示儀表或記錄器中。號(hào)輸入到指示儀表或記錄器中。 測(cè)量電路的關(guān)鍵在于高輸入阻抗的前置放大器。前測(cè)量電路的關(guān)鍵在于高輸入阻抗的前置放大器。前置放大器的作用有兩點(diǎn)：其一是置放大器的作用有兩點(diǎn)：其一是放大壓電傳感器輸放大壓電傳感器輸出的微弱電信號(hào)出的微弱電信號(hào)；其二是；其二是將壓電傳感器的高阻抗輸將壓電傳感器的高阻抗輸出變換為低阻抗輸出出變換為低阻抗輸出。2.5.3 測(cè)量電路的前置放大器測(cè)量電路的前置放大器根據(jù)壓電元件的工作原理及兩種等效

9、電路，與壓電根據(jù)壓電元件的工作原理及兩種等效電路，與壓電元件配套的元件配套的前置放大器前置放大器也有兩種形式：也有兩種形式：電壓放大器：其輸出電壓與電壓放大器：其輸出電壓與輸入電壓輸入電壓成正比。成正比。電荷放大器：其輸出電壓與電荷放大器：其輸出電壓與輸入電荷輸入電荷成正比。成正比。指壓電元件的輸出指壓電元件的輸出電壓、輸出電荷電壓、輸出電荷1. 電壓放大器電壓放大器 電壓放大器的簡(jiǎn)化電路電壓放大器的簡(jiǎn)化電路Q等效電阻等效電阻 R=Ra/Ri，Ra為壓電元件的漏電阻，為壓電元件的漏電阻， Ri為放大器的輸入電阻；為放大器的輸入電阻；等效電容等效電容 C=Ca+Cc+Ci ，Ca為壓電元件的等效

10、電容，為壓電元件的等效電容， Cc為電纜分布電容為電纜分布電容, Ci為放大器的輸入電容。為放大器的輸入電容。電壓放大器的電壓放大器的突出缺點(diǎn)突出缺點(diǎn)：壓電傳感器的：壓電傳感器的電壓靈敏度電壓靈敏度隨電纜分布隨電纜分布電容電容Cc及傳感器自身電容及傳感器自身電容Ca的變化而變化。的變化而變化。UdSC作用：將壓電傳感器的作用：將壓電傳感器的高阻抗輸出高阻抗輸出變換為變換為低阻抗輸出低阻抗輸出，并將微弱，并將微弱的電壓信號(hào)進(jìn)行適當(dāng)放大。（阻抗變換器）的電壓信號(hào)進(jìn)行適當(dāng)放大。（阻抗變換器）2. 電荷放大器電荷放大器電荷放大器的電荷放大器的突出優(yōu)點(diǎn)突出優(yōu)點(diǎn)：電荷放大器的輸出電壓與傳感器的電：電荷放大

11、器的輸出電壓與傳感器的電荷量成正此，荷量成正此，與電纜分布電容無(wú)關(guān)與電纜分布電容無(wú)關(guān)，即使聯(lián)接電纜長(zhǎng)度在百米，即使聯(lián)接電纜長(zhǎng)度在百米以上，其靈敏度也無(wú)明顯變化。以上，其靈敏度也無(wú)明顯變化。漏電阻漏電阻Ra、放大器輸入電阻、放大器輸入電阻Ri看作無(wú)限大而忽略。看作無(wú)限大而忽略。具有深度具有深度電容負(fù)反饋電容負(fù)反饋的高增益運(yùn)放，便于遠(yuǎn)距離測(cè)量。的高增益運(yùn)放，便于遠(yuǎn)距離測(cè)量。若放大器的開環(huán)增益足夠大，則若放大器的開環(huán)增益足夠大，則則則0F()FKQuCCKCFFKCCC0FQuC 壓力變送器壓力變送器加速度傳感器加速度傳感器力傳感器力傳感器 2.5.4 壓電傳感器及其應(yīng)用壓電傳感器及其應(yīng)用壓電元件是

12、一種典型的壓電元件是一種典型的力力敏感元件敏感元件, 可用來(lái)測(cè)量最終可用來(lái)測(cè)量最終能轉(zhuǎn)換為力的多種物理量。能轉(zhuǎn)換為力的多種物理量。 壓電式單向測(cè)壓電式單向測(cè)力力傳感器傳感器( (傳力元件傳力元件) )( (并聯(lián)并聯(lián)) ) 壓電式壓電式壓力壓力傳感器傳感器均布?jí)毫級(jí)毫? (感受壓力感受壓力) )( (提供預(yù)載力提供預(yù)載力) )( (串聯(lián)串聯(lián)) )飛機(jī)模態(tài)分析飛機(jī)模態(tài)分析高分子聚合物壓電電纜的應(yīng)用高分子聚合物壓電電纜的應(yīng)用將兩根高分子聚合物壓電電纜相距若干米，平行埋設(shè)于路面將兩根高分子聚合物壓電電纜相距若干米，平行埋設(shè)于路面下約下約5cm，可以用來(lái)測(cè)量，可以用來(lái)測(cè)量車速車速及及載重量載重量，判

13、定汽車的，判定汽車的車型車型（包（包括軸數(shù)、軸距、輪距、單雙輪胎）。括軸數(shù)、軸距、輪距、單雙輪胎）。闖紅燈拍照、停車區(qū)域監(jiān)控、交通數(shù)據(jù)信息采集等。闖紅燈拍照、停車區(qū)域監(jiān)控、交通數(shù)據(jù)信息采集等。壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器測(cè)量車床動(dòng)態(tài)切削力測(cè)量車床動(dòng)態(tài)切削力 2.6 磁電式傳感器磁電式傳感器 工作原理：通過(guò)磁電作用把被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)變?yōu)楣ぷ髟恚和ㄟ^(guò)磁電作用把被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)變?yōu)楦袘?yīng)感應(yīng) 電動(dòng)勢(shì)電動(dòng)勢(shì)。分類：磁電感應(yīng)傳感器、霍爾傳感器分類：磁電感應(yīng)傳感器、霍爾傳感器2.6.1 磁電感應(yīng)傳感器（感應(yīng)傳感器、電動(dòng)傳感器）優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：機(jī)：機(jī)-電電能量轉(zhuǎn)換型能量轉(zhuǎn)換型傳感器，不需要外部供電電源

14、，電路傳感器，不需要外部供電電源，電路簡(jiǎn)單，性能穩(wěn)定，輸出阻抗小，具有一定的頻率響應(yīng)范圍簡(jiǎn)單，性能穩(wěn)定，輸出阻抗小，具有一定的頻率響應(yīng)范圍（一般為（一般為101000Hz），適用于振動(dòng)、轉(zhuǎn)速、扭矩等測(cè)量。），適用于振動(dòng)、轉(zhuǎn)速、扭矩等測(cè)量。缺點(diǎn)缺點(diǎn)：尺寸、質(zhì)量都比較大。：尺寸、質(zhì)量都比較大。根據(jù)根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律法拉第電磁感應(yīng)定律，N 匝匝線圈在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)線圈在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)切割磁力線切割磁力線或線圈所在磁場(chǎng)的或線圈所在磁場(chǎng)的磁通變化磁通變化時(shí)，線圈中所產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的時(shí)，線圈中所產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的大小取決于穿過(guò)線圈的大小取決于穿過(guò)線圈的磁通量的變化率磁通量的變化率，即，即dtdNe磁通變化率

15、與磁通變化率與磁場(chǎng)強(qiáng)度、磁路磁阻、線圈運(yùn)動(dòng)速度磁場(chǎng)強(qiáng)度、磁路磁阻、線圈運(yùn)動(dòng)速度有關(guān)，若改變有關(guān)，若改變其中某一個(gè)因素，都會(huì)改變線圈的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。其中某一個(gè)因素，都會(huì)改變線圈的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。按按工作原理工作原理不同，磁電感應(yīng)傳感器可分為不同，磁電感應(yīng)傳感器可分為恒定磁通恒定磁通式和式和變磁通變磁通式。式。動(dòng)圈式動(dòng)鐵式變磁阻式/變氣隙式直線運(yùn)動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)2.6.2 恒定磁通式恒定磁通式磁電感應(yīng)傳感器磁電感應(yīng)傳感器當(dāng)線圈在垂直于磁場(chǎng)方向作當(dāng)線圈在垂直于磁場(chǎng)方向作直線運(yùn)動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)或或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，若以線圈相時(shí)，若以線圈相對(duì)磁場(chǎng)運(yùn)動(dòng)的速度對(duì)磁場(chǎng)運(yùn)動(dòng)的速度v 或角速度或角速度表示，則所產(chǎn)

16、生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)為表示，則所產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)為sineNBlvekNBS l 每匝線圈的平均長(zhǎng)度； B 線圈所在磁場(chǎng)的磁感應(yīng)強(qiáng)度； S 每匝線圈的平均截面積； 線圈運(yùn)動(dòng)方向與磁場(chǎng)方向的夾角； k 傳感器結(jié)構(gòu)系數(shù)。 磁電感應(yīng)傳感器結(jié)構(gòu)確定后，磁電感應(yīng)傳感器結(jié)構(gòu)確定后，B、l、N、S為定值，為定值，感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e與線圈相對(duì)磁場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)速度與線圈相對(duì)磁場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)速度v或或成正比。成正比。 磁電感應(yīng)傳感器的基本形式是磁電感應(yīng)傳感器的基本形式是速度傳感器速度傳感器，可直接，可直接測(cè)量測(cè)量線速度線速度或或角速度角速度。 測(cè)量電路中接入測(cè)量電路中接入積分電路積分電路或或微分電路微分電路，可以測(cè)量，可以測(cè)量

17、位移位移或或加速度加速度。 只適用于只適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量動(dòng)態(tài)測(cè)量。 sineNBlvekNBS 線速度型線速度型測(cè)速電機(jī)測(cè)速電機(jī)角速度型角速度型2.6.3 變磁通變磁通式磁電感應(yīng)傳感器式磁電感應(yīng)傳感器(a) 開路變磁通式開路變磁通式 (b) 閉合磁路變磁通式閉合磁路變磁通式 1.被測(cè)轉(zhuǎn)軸；2.測(cè)量齒輪；3.線圈；4.軟鐵心；5.永久磁鐵變磁通式又稱變磁通式又稱變磁阻式變磁阻式或或變氣隙式變氣隙式，常用來(lái)測(cè)量旋轉(zhuǎn)體的，常用來(lái)測(cè)量旋轉(zhuǎn)體的角速度角速度。(a) 開路變磁通式，線圈開路變磁通式，線圈3和磁鐵和磁鐵5靜止不動(dòng)，測(cè)量齒輪靜止不動(dòng)，測(cè)量齒輪2 (導(dǎo)磁材料制成導(dǎo)磁材料制成)安裝在安裝在被測(cè)旋轉(zhuǎn)體被

18、測(cè)旋轉(zhuǎn)體1上，隨之一起轉(zhuǎn)動(dòng)，每轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)齒，磁路磁阻變化一次，線圈上，隨之一起轉(zhuǎn)動(dòng)，每轉(zhuǎn)過(guò)一個(gè)齒，磁路磁阻變化一次，線圈3產(chǎn)產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的變化頻率生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的變化頻率f、測(cè)量齒輪齒數(shù)、測(cè)量齒輪齒數(shù)z 和轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速n滿足滿足n=60f/z (r/min) 。(b) 閉合磁路變磁通式，被測(cè)轉(zhuǎn)軸閉合磁路變磁通式，被測(cè)轉(zhuǎn)軸1帶動(dòng)橢圓形測(cè)量齒輪帶動(dòng)橢圓形測(cè)量齒輪2在磁場(chǎng)氣隙中等速轉(zhuǎn)在磁場(chǎng)氣隙中等速轉(zhuǎn)動(dòng)，使氣隙平均長(zhǎng)度周期性變化，因而磁路磁阻也周期性變化，磁通同樣周期動(dòng)，使氣隙平均長(zhǎng)度周期性變化，因而磁路磁阻也周期性變化，磁通同樣周期性變化，則在線圈性變化，則在線圈3中產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，其頻率中產(chǎn)生感

19、應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，其頻率f 與測(cè)量齒輪與測(cè)量齒輪2的轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速n滿足滿足n=30f (r/min) 。利用利用霍爾元件霍爾元件基于基于霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成霍爾電勢(shì)霍爾電勢(shì)的變化。的變化。2.6.4 霍爾傳感器霍爾元件在靜止?fàn)顟B(tài)下具有霍爾元件在靜止?fàn)顟B(tài)下具有感受磁場(chǎng)感受磁場(chǎng)的獨(dú)特能力，并且具有的獨(dú)特能力，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、噪聲小、頻率范圍寬（從直流到微波）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、噪聲小、頻率范圍寬（從直流到微波）動(dòng)態(tài)范圍大（霍爾電勢(shì)變化范圍可達(dá)動(dòng)態(tài)范圍大（霍爾電勢(shì)變化范圍可達(dá)1000 1）、壽命長(zhǎng)等）、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。特點(diǎn)?；魻栃?yīng)（霍爾效應(yīng)（Hall effect）

20、 一塊長(zhǎng)為一塊長(zhǎng)為l、寬為、寬為b、厚為、厚為d 的半導(dǎo)體薄片置于磁感應(yīng)強(qiáng)度為的半導(dǎo)體薄片置于磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場(chǎng)中（磁場(chǎng)方向垂直于薄片），當(dāng)半導(dǎo)體中有電流的磁場(chǎng)中（磁場(chǎng)方向垂直于薄片），當(dāng)半導(dǎo)體中有電流 I 流過(guò)流過(guò)時(shí)，在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)時(shí)，在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)UH。 霍爾效應(yīng)原理圖霍爾效應(yīng)原理圖左手定則左手定則 霍爾效應(yīng)原理圖霍爾效應(yīng)原理圖Lorentz forceHHHIBURk IBd為什么霍爾元件多用為什么霍爾元件多用N型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體制作，而不用金屬或制作，而不用金屬或P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體制作？為什么霍爾元件通常做得比較?。恐谱?？為什么霍爾元件通

21、常做得比較?。縃HHIBURk IBd 霍爾元件材料霍爾元件材料 1鍺鍺(Ge) 2硅硅(Si)3砷化銦砷化銦(InAs)和銻化銦和銻化銦(InSb) 兩者的特性很相似。兩者的特性很相似?；魻栐Y(jié)構(gòu)霍爾元件結(jié)構(gòu)霍爾電極霍爾電極控制電流極控制電流極霍爾元件的主要技術(shù)指標(biāo)霍爾元件的主要技術(shù)指標(biāo)2Hd TAIb2. 輸入電阻輸入電阻Ri 控制電流極控制電流極間的電阻值。室溫間的電阻值。室溫(205)下測(cè)定。下測(cè)定。 3. 輸出電阻輸出電阻Rs 霍爾電極霍爾電極間的電阻值。室溫間的電阻值。室溫(205)下測(cè)定。下測(cè)定。1. 額定激勵(lì)電流額定激勵(lì)電流IH 使霍爾元件溫升使霍爾元件溫升10所施加的控制電流。所施加的控制電流。 霍爾元件做好之后，限制霍爾元件做好之后，限制IH的主要因素是的主要因素是散熱條件散熱條件。A為散熱系數(shù)為散熱系數(shù)4. 零位電壓零位電壓/不等位電壓不等位電壓 當(dāng)霍爾元件通以當(dāng)霍爾元件通以額定激勵(lì)電流額定激勵(lì)電流IH而不加外磁場(chǎng)時(shí)，霍爾電極而不加外磁場(chǎng)時(shí)，霍爾電極 之間的空載電壓之間的空載電壓U0。 零位電阻：零位電阻： 00HUrI不等位電壓的補(bǔ)償不等位電壓的補(bǔ)償 將霍爾元件置于磁場(chǎng)中，左半部磁場(chǎng)方向?qū)⒒魻栐糜诖艌?chǎng)中，左半部磁場(chǎng)方向向上