(施敏)半導(dǎo)體器件物理(詳盡版)ppt

1、半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 半導(dǎo)體材料的晶格結(jié)構(gòu) 電子和空穴的概念 半導(dǎo)體的電性能和導(dǎo)電機(jī)理 載流子的漂移運(yùn)動(dòng)和擴(kuò)散運(yùn)動(dòng) 非平衡載流子的產(chǎn)生和復(fù)合 半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體

2、器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半

3、導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理2/3a2/3a2/3a2/3a半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理晶體的各向異性晶體的各向異性半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師

4、范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理晶面指數(shù)（密勒指數(shù)）晶面指數(shù)（密勒指數(shù)）半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理100111 半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理練習(xí)練習(xí)試求試求ADDA的密勒指數(shù)。的密勒指數(shù)。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體

5、器件物理晶列指數(shù)晶列指數(shù)晶向指數(shù)晶向指數(shù) 任何兩個(gè)原子之間的任何兩個(gè)原子之間的連線在空間有許多與連線在空間有許多與它相同的平行線。它相同的平行線。 一族平行線所指的方一族平行線所指的方向用晶列指數(shù)表示向用晶列指數(shù)表示 晶列指數(shù)是按晶列矢晶列指數(shù)是按晶列矢量在坐標(biāo)軸上的投影量在坐標(biāo)軸上的投影的比例取互質(zhì)數(shù)的比例取互質(zhì)數(shù) 111、100、110半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理晶面指數(shù)（密勒指數(shù)）晶面指數(shù)（密勒指數(shù)） 任何三個(gè)原子組成的晶面在空間有許多和它相同任何三個(gè)原子組成的晶面在空間有許多和它相同的平行晶面的平

6、行晶面 一族平行晶面用晶面指數(shù)來表示一族平行晶面用晶面指數(shù)來表示 它是按晶面在坐標(biāo)軸上的截距的倒數(shù)的比例取互它是按晶面在坐標(biāo)軸上的截距的倒數(shù)的比例取互質(zhì)數(shù)質(zhì)數(shù) (111)、(100)、(110) 相同指數(shù)的晶面和晶列互相垂直。相同指數(shù)的晶面和晶列互相垂直。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)

7、體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理E1E2E3半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半

8、導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體中的電子是在周期性排列半導(dǎo)體中的電子是在周期性排列且固定不動(dòng)的大量原子核的勢場且固定不動(dòng)的大量原子核的勢場和其他大量電子的和其他大量電子的平均勢場平均勢場中運(yùn)動(dòng)。中運(yùn)動(dòng)。這個(gè)平均勢場也是這個(gè)平均勢場也是周期性變化周期性變化的，的，且周期與晶格周期相同。且周期與晶格周期相同。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理當(dāng)原子之間距離逐步接近時(shí)，原子周圍電子的能當(dāng)原子之間距離逐步接近時(shí)，原子周圍電子的能級(jí)逐步轉(zhuǎn)變?yōu)槟軒В聢D是金剛石結(jié)構(gòu)能級(jí)向能級(jí)逐步轉(zhuǎn)變?yōu)槟軒?，下圖是金剛石結(jié)構(gòu)能級(jí)向能帶演變的示意圖。帶演變

9、的示意圖。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理價(jià)帶中由于少了一些電子，在價(jià)帶頂部附近出現(xiàn)了一些價(jià)帶中由于少了一些電子，在價(jià)帶頂部附近出現(xiàn)了一些，價(jià)帶即成了部分占滿的

10、能帶（相當(dāng)于半滿，價(jià)帶即成了部分占滿的能帶（相當(dāng)于半滿帶），在外電場作用下，仍留在價(jià)帶中的電子也能起導(dǎo)電帶），在外電場作用下，仍留在價(jià)帶中的電子也能起導(dǎo)電作用。作用。價(jià)帶電子的這種導(dǎo)電作用相當(dāng)于把這些空的量子狀態(tài)看作價(jià)帶電子的這種導(dǎo)電作用相當(dāng)于把這些空的量子狀態(tài)看作帶正電荷的帶正電荷的“準(zhǔn)粒子準(zhǔn)粒子”的導(dǎo)電作用，常把這些滿帶中因失的導(dǎo)電作用，常把這些滿帶中因失去了電子而留下的空位稱為空穴。去了電子而留下的空位稱為空穴。所以，所以，在半導(dǎo)體中，導(dǎo)帶的電子和價(jià)帶的空穴均參與導(dǎo)電在半導(dǎo)體中，導(dǎo)帶的電子和價(jià)帶的空穴均參與導(dǎo)電，這與金屬導(dǎo)體導(dǎo)電有很大的區(qū)別。這與金屬導(dǎo)體導(dǎo)電有很大的區(qū)別。半導(dǎo)體器件物理半

11、導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理思考思考 既然半導(dǎo)體電子和空穴都能導(dǎo)電，而導(dǎo)既然半導(dǎo)體電子和空穴都能導(dǎo)電，而導(dǎo)體只有電子導(dǎo)電，為什么半導(dǎo)體的導(dǎo)電體只有電子導(dǎo)電，為什么半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力比導(dǎo)體差？能力比導(dǎo)體差？半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理圖圖1-7 一定溫度下半導(dǎo)體的能帶示意圖一定溫度下半導(dǎo)體的能帶示意圖導(dǎo)帶電子的最低能量導(dǎo)帶電子的最低能量價(jià)帶電子的最高能量價(jià)帶電子的最高能量Eg=Ec-Ev由于溫度，價(jià)鍵上的電子由于溫度，價(jià)鍵上的電子激發(fā)成

12、為準(zhǔn)自由電子，亦激發(fā)成為準(zhǔn)自由電子，亦即價(jià)帶電子激發(fā)成為導(dǎo)帶即價(jià)帶電子激發(fā)成為導(dǎo)帶電子的過程電子的過程半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理注意三個(gè)注意三個(gè)“準(zhǔn)準(zhǔn)” 準(zhǔn)連續(xù)準(zhǔn)連續(xù) 準(zhǔn)粒子準(zhǔn)粒子 準(zhǔn)自由準(zhǔn)自由半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理練習(xí)練習(xí) 整理空帶、滿帶、半滿帶、價(jià)帶、導(dǎo)帶、整理空帶、滿帶、半滿帶、價(jià)帶、導(dǎo)帶、禁帶、導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂、禁帶寬度的概禁帶、導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂、禁帶寬度的概念。念。 簡述空穴的概念。簡述空穴的概念。半導(dǎo)

13、體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 十分純凈十分純凈不含任何雜質(zhì)不含任何雜質(zhì)晶格中的原子嚴(yán)格晶格中的原子嚴(yán)格按周期排列的按周期排列的原子并不是靜止在具有嚴(yán)格周期性原子并不是靜止在具有嚴(yán)格周期性的晶格的格點(diǎn)位置上，而是在其平的晶格的格點(diǎn)位置上，而是在其平衡位置附近衡位置附近振動(dòng)振動(dòng)并不是純凈的，而是含有若干并不是純凈的，而是含有若干雜質(zhì)雜質(zhì)，即在半導(dǎo)體晶格中存在著與組成半即在半導(dǎo)體晶格中存在著與組成半導(dǎo)體的元素不同的其他化學(xué)元素的導(dǎo)體的元素不同的其他化學(xué)元素的原子原子晶格結(jié)構(gòu)并不是完整無缺的，而存晶格結(jié)構(gòu)并不是完整無

14、缺的，而存在著各種形式的在著各種形式的缺陷缺陷半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 在硅晶體中，若以在硅晶體中，若以105個(gè)硅原子中摻入一個(gè)個(gè)硅原子中摻入一個(gè)雜質(zhì)雜質(zhì)原原子的比例摻入硼（子的比例摻入硼（B）原子，則硅晶體的導(dǎo)電率在室溫）原子，則硅晶體的導(dǎo)電率在室溫下將增加下將增加103倍。倍。 用于生產(chǎn)一般硅平面器件的硅單晶，用于生產(chǎn)一般硅平面器件的硅單晶，位錯(cuò)位錯(cuò)密度要求密度要求控制在控制在103cm-2以下，若位錯(cuò)密度過高，則不可能生產(chǎn)出以下，若位錯(cuò)密度過高，則不可能生產(chǎn)出性能良好的器件。性能良好的器件。半導(dǎo)

15、體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理由于雜質(zhì)和缺陷的存在，會(huì)使嚴(yán)格按周期排列的原子所產(chǎn)由于雜質(zhì)和缺陷的存在，會(huì)使嚴(yán)格按周期排列的原子所產(chǎn)生的生的周期性勢場受到破壞周期性勢場受到破壞，有可能在，有可能在禁帶中引入禁帶中引入允許電子允許電子存在的能量狀態(tài)（即存在的能量狀態(tài)（即能級(jí)能級(jí)），從而對(duì)半導(dǎo)體的性質(zhì)產(chǎn)生決），從而對(duì)半導(dǎo)體的性質(zhì)產(chǎn)生決定性的影響。定性的影響。一）制備半導(dǎo)體的原材料一）制備半導(dǎo)體的原材料純度不夠高純度不夠高；二）半導(dǎo)體單晶制備過程中及器件制造過程中的二）半導(dǎo)體單晶制備過程中及器件制造過程中的沾污沾污；三

16、）為了半導(dǎo)體的性質(zhì)而三）為了半導(dǎo)體的性質(zhì)而人為地?fù)饺肴藶榈負(fù)饺肽撤N化學(xué)元素的原子。某種化學(xué)元素的原子。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理原子只占晶胞體積的原子只占晶胞體積的34%，還有，還有66%是空隙，是空隙，這些空隙通常稱為這些空隙通常稱為間隙位置間隙位置。一）雜質(zhì)原子位于晶格一）雜質(zhì)原子位于晶格原子間的間隙位置，原子間的間隙位置，間隙式雜質(zhì)間隙式雜質(zhì)/填充填充；二）雜質(zhì)原子取代晶格二）雜質(zhì)原子取代晶格原子而位于晶格格點(diǎn)處，原子而位于晶格格點(diǎn)處，替位式雜質(zhì)替位式雜質(zhì)/填充填充。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半

17、導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理間隙式雜質(zhì)間隙式雜質(zhì)原子半徑一般比較小原子半徑一般比較小，如鋰離子（，如鋰離子（Li+）的半徑為）的半徑為0.68 ，所，所以鋰離子進(jìn)入硅、鍺、砷化鎵后以間隙式雜質(zhì)的形式存在。以鋰離子進(jìn)入硅、鍺、砷化鎵后以間隙式雜質(zhì)的形式存在。替位式雜質(zhì)替位式雜質(zhì)原子的半徑與被取代的晶格原子的半徑大小比較相近原子的半徑與被取代的晶格原子的半徑大小比較相近，且它，且它們的們的價(jià)電子殼層結(jié)構(gòu)也比較相近價(jià)電子殼層結(jié)構(gòu)也比較相近。如硅、鍺是。如硅、鍺是族元素，與族元素，與、族元素的情況比較相近，所以族元素的情況比較相近，所以、族元

18、素在硅、鍺族元素在硅、鍺晶體中都是替位式雜質(zhì)。晶體中都是替位式雜質(zhì)。單位體積中的雜質(zhì)原子數(shù)，單位單位體積中的雜質(zhì)原子數(shù)，單位cm-3半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理硅中摻入磷（硅中摻入磷（P）為例，研究）為例，研究族元素雜質(zhì)的作用。當(dāng)一個(gè)族元素雜質(zhì)的作用。當(dāng)一個(gè)磷原子磷原子占據(jù)占據(jù)了硅原子的位置，了硅原子的位置，如圖所示，磷原子有五個(gè)價(jià)電如圖所示，磷原子有五個(gè)價(jià)電子，其中四個(gè)價(jià)電子與周圍的子，其中四個(gè)價(jià)電子與周圍的四個(gè)硅原子形成共價(jià)鍵，還剩四個(gè)硅原子形成共價(jià)鍵，還剩余一個(gè)價(jià)電子。磷原子成為一余一個(gè)價(jià)電子。磷原

19、子成為一個(gè)帶有一個(gè)正電荷的磷離子個(gè)帶有一個(gè)正電荷的磷離子（P+），稱為），稱為正電中心磷離子正電中心磷離子。其效果相當(dāng)于形成了其效果相當(dāng)于形成了一個(gè)正電一個(gè)正電中心和一個(gè)多余的電子中心和一個(gè)多余的電子。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理多余的電子束縛在正電中心周圍，但這種束縛作用比共價(jià)鍵多余的電子束縛在正電中心周圍，但這種束縛作用比共價(jià)鍵的束縛作用弱得多，只要很小的能量就可以使多余電子掙脫的束縛作用弱得多，只要很小的能量就可以使多余電子掙脫束縛，成為自由電子在晶格中運(yùn)動(dòng)，起到導(dǎo)電的作用。這時(shí)束縛，成為自由電子在

20、晶格中運(yùn)動(dòng)，起到導(dǎo)電的作用。這時(shí)磷原子就成了一個(gè)少了一個(gè)價(jià)電子的磷離子，它是一個(gè)不能磷原子就成了一個(gè)少了一個(gè)價(jià)電子的磷離子，它是一個(gè)不能移動(dòng)的正電中心。移動(dòng)的正電中心。多余電子脫離雜質(zhì)原子成為導(dǎo)電電子的過程稱為多余電子脫離雜質(zhì)原子成為導(dǎo)電電子的過程稱為雜質(zhì)電離雜質(zhì)電離。使這個(gè)多余電子掙脫束縛成為導(dǎo)電電子所需要的能量稱為使這個(gè)多余電子掙脫束縛成為導(dǎo)電電子所需要的能量稱為雜雜質(zhì)電離能質(zhì)電離能，用，用ED表示。表示。實(shí)驗(yàn)測得，實(shí)驗(yàn)測得，族元素原子在硅、鍺中的電離能很?。炊嘤嘧逶卦釉诠琛㈡N中的電離能很?。炊嘤嚯娮雍苋菀讙昝撛拥氖`成為導(dǎo)電電子），在硅中電離能電子很容易掙脫原子的束縛成為導(dǎo)電電

21、子），在硅中電離能約為約為0.040.05eV，在鍺中電離能約為，在鍺中電離能約為0.01 eV，比硅、鍺的禁，比硅、鍺的禁帶寬度小得多。帶寬度小得多。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理族元素雜質(zhì)在硅、鍺中電離時(shí)，能夠施放電子而族元素雜質(zhì)在硅、鍺中電離時(shí)，能夠施放電子而產(chǎn)生產(chǎn)生導(dǎo)電電子導(dǎo)電電子并形成并形成正電中心正電中心。施放電子的過程稱為施放電子的過程稱為施主電離施主電離。施主雜質(zhì)在未電離時(shí)是中性的，稱為施主雜質(zhì)在未電離時(shí)是中性的，稱為束縛態(tài)束縛態(tài)或或中性態(tài)中性態(tài)，電離后成為正電中心，稱為電離后成為正電中心，

22、稱為離化態(tài)離化態(tài)。施主雜質(zhì)施主雜質(zhì)/N型雜質(zhì)型雜質(zhì)電子型半導(dǎo)體電子型半導(dǎo)體/N型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體純凈半導(dǎo)體中摻入施主雜質(zhì)后，施主雜質(zhì)電離，使導(dǎo)帶中純凈半導(dǎo)體中摻入施主雜質(zhì)后，施主雜質(zhì)電離，使導(dǎo)帶中的導(dǎo)電電子增多（電子密度大于空穴密度），增強(qiáng)了半導(dǎo)的導(dǎo)電電子增多（電子密度大于空穴密度），增強(qiáng)了半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力，成為主要依靠電子導(dǎo)電的半導(dǎo)體材料。體的導(dǎo)電能力，成為主要依靠電子導(dǎo)電的半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理施主能級(jí)施主能級(jí)用離導(dǎo)帶底用離導(dǎo)帶底Ec為為ED處的處的短短線段線段表示，表示，施主能級(jí)上的

23、小黑點(diǎn)表示施主能級(jí)上的小黑點(diǎn)表示被施主雜質(zhì)束縛的電子被施主雜質(zhì)束縛的電子。箭頭箭頭表示被表示被束縛的電子得到電離能后從施主能級(jí)束縛的電子得到電離能后從施主能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶成為導(dǎo)電電子的躍遷到導(dǎo)帶成為導(dǎo)電電子的電離過程電離過程。導(dǎo)帶中的小黑點(diǎn)表示進(jìn)入導(dǎo)帶中的電導(dǎo)帶中的小黑點(diǎn)表示進(jìn)入導(dǎo)帶中的電子子， 表示施主雜質(zhì)電離后帶表示施主雜質(zhì)電離后帶正電，成為不可移動(dòng)的正電，成為不可移動(dòng)的正點(diǎn)中心正點(diǎn)中心。電子得到能量電子得到能量ED后，后，就從施主的束縛態(tài)躍遷就從施主的束縛態(tài)躍遷到導(dǎo)帶成為導(dǎo)電電子，到導(dǎo)帶成為導(dǎo)電電子，被施主雜質(zhì)束縛時(shí)的電被施主雜質(zhì)束縛時(shí)的電子的能量比導(dǎo)帶底子的能量比導(dǎo)帶底Ec低低ED，稱為

24、，稱為施主能級(jí)施主能級(jí)，用用ED表示。由于表示。由于ED遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于禁帶寬度小于禁帶寬度Eg，所以，所以施主能級(jí)位于離導(dǎo)帶底施主能級(jí)位于離導(dǎo)帶底很近的禁帶中很近的禁帶中。由于施。由于施主雜質(zhì)相對(duì)較少，雜質(zhì)主雜質(zhì)相對(duì)較少，雜質(zhì)原子間的相互作用可以原子間的相互作用可以忽略，所以忽略，所以施主能級(jí)施主能級(jí)可可以看作是以看作是一些具有相同一些具有相同能量的孤立能級(jí)能量的孤立能級(jí)，半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理硅中摻入硼（硅中摻入硼（B）為例，研究）為例，研究族元素雜質(zhì)的作用。當(dāng)一個(gè)硼原族元素雜質(zhì)的作用。當(dāng)一個(gè)硼原子子占

25、據(jù)占據(jù)了硅原子的位置，如圖所了硅原子的位置，如圖所示，硼原子有三個(gè)價(jià)電子，當(dāng)它示，硼原子有三個(gè)價(jià)電子，當(dāng)它和周圍的四個(gè)硅原子形成共價(jià)鍵和周圍的四個(gè)硅原子形成共價(jià)鍵時(shí)，還缺少一個(gè)電子，必須從別時(shí)，還缺少一個(gè)電子，必須從別處的硅原子中奪取一個(gè)價(jià)電子，處的硅原子中奪取一個(gè)價(jià)電子，于是在硅晶體的共價(jià)鍵中產(chǎn)生了于是在硅晶體的共價(jià)鍵中產(chǎn)生了一個(gè)空穴。硼原子成為一個(gè)帶有一個(gè)空穴。硼原子成為一個(gè)帶有一個(gè)負(fù)電荷的硼離子（一個(gè)負(fù)電荷的硼離子（B-），稱），稱為為負(fù)電中心硼離子負(fù)電中心硼離子。其效果相當(dāng)。其效果相當(dāng)于形成了于形成了一個(gè)負(fù)電中心和一個(gè)多一個(gè)負(fù)電中心和一個(gè)多余的空穴余的空穴。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理

26、半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理多余的空穴束縛在負(fù)電中心周圍，但這種束縛作用比共價(jià)鍵多余的空穴束縛在負(fù)電中心周圍，但這種束縛作用比共價(jià)鍵的束縛作用弱得多，只要很小的能量就可以使多余空穴掙脫的束縛作用弱得多，只要很小的能量就可以使多余空穴掙脫束縛，成為自由空穴在晶格中運(yùn)動(dòng)，起到導(dǎo)電的作用。這時(shí)束縛，成為自由空穴在晶格中運(yùn)動(dòng)，起到導(dǎo)電的作用。這時(shí)硼原子就成了一個(gè)多了一個(gè)價(jià)電子的硼離子，它是一個(gè)不能硼原子就成了一個(gè)多了一個(gè)價(jià)電子的硼離子，它是一個(gè)不能移動(dòng)的負(fù)電中心。移動(dòng)的負(fù)電中心。多余空穴脫離雜質(zhì)原子成為導(dǎo)電空穴的過程稱為多余空穴脫離雜質(zhì)原子

27、成為導(dǎo)電空穴的過程稱為雜質(zhì)電離雜質(zhì)電離。使這個(gè)多余空穴掙脫束縛成為導(dǎo)電空穴所需要的能量稱為使這個(gè)多余空穴掙脫束縛成為導(dǎo)電空穴所需要的能量稱為雜雜質(zhì)電離能質(zhì)電離能，用，用EA表示。表示。實(shí)驗(yàn)測得，實(shí)驗(yàn)測得，族元素原子在硅、鍺中的電離能很小（即多余空族元素原子在硅、鍺中的電離能很?。炊嘤嗫昭ê苋菀讙昝撛拥氖`成為導(dǎo)電空穴），穴很容易掙脫原子的束縛成為導(dǎo)電空穴），半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理族元素雜質(zhì)在硅、鍺中能接受電子而產(chǎn)生族元素雜質(zhì)在硅、鍺中能接受電子而產(chǎn)生導(dǎo)電空穴導(dǎo)電空穴，并形成并形成負(fù)電中心負(fù)電中心

28、。受主雜質(zhì)受主雜質(zhì)/P型雜質(zhì)型雜質(zhì)空穴掙脫受主雜質(zhì)束縛的過程稱為空穴掙脫受主雜質(zhì)束縛的過程稱為受主電離受主電離。受主雜質(zhì)未電離時(shí)是中性的，稱為受主雜質(zhì)未電離時(shí)是中性的，稱為束縛態(tài)束縛態(tài)或或中性態(tài)中性態(tài)?？昭ㄐ桶雽?dǎo)體空穴型半導(dǎo)體/P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體純凈半導(dǎo)體中摻入受主雜質(zhì)后，受主雜質(zhì)電離，使價(jià)帶中的純凈半導(dǎo)體中摻入受主雜質(zhì)后，受主雜質(zhì)電離，使價(jià)帶中的導(dǎo)電空穴增多（空穴密度大于電子密度），增強(qiáng)了半導(dǎo)體的導(dǎo)電空穴增多（空穴密度大于電子密度），增強(qiáng)了半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力，成為主要依靠空穴導(dǎo)電的半導(dǎo)體材料。導(dǎo)電能力，成為主要依靠空穴導(dǎo)電的半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理

29、江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理受主能級(jí)受主能級(jí)用離價(jià)帶頂用離價(jià)帶頂EV為為EA處的處的短線段短線段表表示，示，受主能級(jí)上的小圓圈表示被施主雜質(zhì)束受主能級(jí)上的小圓圈表示被施主雜質(zhì)束縛的空穴縛的空穴。箭頭箭頭表示被束縛的空穴得到電離表示被束縛的空穴得到電離能后從受主能級(jí)躍遷到價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴能后從受主能級(jí)躍遷到價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴（即價(jià)帶頂?shù)碾娮榆S遷到受主能級(jí)上填充空（即價(jià)帶頂?shù)碾娮榆S遷到受主能級(jí)上填充空位）的位）的電離過程電離過程。價(jià)帶中的小圓圈表示進(jìn)入價(jià)帶中的小圓圈表示進(jìn)入價(jià)帶中的空穴價(jià)帶中的空穴，表示受主雜質(zhì)電離后帶負(fù)表示受主雜質(zhì)電離后帶負(fù)電，成為不可移動(dòng)的電，成為

30、不可移動(dòng)的負(fù)點(diǎn)中心負(fù)點(diǎn)中心?？昭ǖ玫侥芰靠昭ǖ玫侥芰縀A后，后，就從受主的束縛態(tài)躍遷就從受主的束縛態(tài)躍遷到價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴，到價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴，被受主雜質(zhì)束縛時(shí)的空被受主雜質(zhì)束縛時(shí)的空穴的能量比價(jià)帶頂穴的能量比價(jià)帶頂EV低低EA，稱為，稱為受主能級(jí)受主能級(jí)，用用EA表示。由于表示。由于EA遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于禁帶寬度小于禁帶寬度Eg，所以，所以受受主能級(jí)位于價(jià)帶頂很主能級(jí)位于價(jià)帶頂很近的禁帶中近的禁帶中。由于受主。由于受主雜質(zhì)相對(duì)較少，雜質(zhì)原雜質(zhì)相對(duì)較少，雜質(zhì)原子間的相互作用可以忽子間的相互作用可以忽略，所以略，所以受主能級(jí)受主能級(jí)可以可以看作是看作是一些具有相同能一些具有相同能量的孤立能級(jí)量的孤立能級(jí)，

31、半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理綜上所述綜上所述半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理施主和受主雜質(zhì)之間有相互抵消的作用施主和受主雜質(zhì)之間有相互抵消的作用半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半

32、導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理ND 施主雜質(zhì)濃度施主雜質(zhì)濃度 NA 受主雜質(zhì)濃度受主雜質(zhì)濃度n 導(dǎo)帶中的電子濃度導(dǎo)帶中的電子濃度 p 價(jià)帶中的空穴濃度價(jià)帶中的空穴濃度假設(shè)施主和受主雜質(zhì)全部電離時(shí)，分情況討論雜質(zhì)的補(bǔ)償作用。假設(shè)施主和受主雜質(zhì)全部電離時(shí)，分情況討論雜質(zhì)的補(bǔ)償作用。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理當(dāng)當(dāng)NDNA時(shí)，因?yàn)槭苤髂芗?jí)時(shí)，因?yàn)槭苤髂芗?jí)低于施主能級(jí)，所以施主雜低于施主能級(jí)，所以施主雜質(zhì)的電子首先躍遷到受主能質(zhì)的電子首先躍遷到受主能級(jí)上，填滿級(jí)上，填滿

33、NA個(gè)受主能級(jí)，個(gè)受主能級(jí)，還剩（還剩（ND-NA）個(gè)電子在施主）個(gè)電子在施主能級(jí)上，在雜質(zhì)全部電離的能級(jí)上，在雜質(zhì)全部電離的條件下，它們躍遷到導(dǎo)帶中條件下，它們躍遷到導(dǎo)帶中成為導(dǎo)電電子，這時(shí)，成為導(dǎo)電電子，這時(shí)，n=ND-NAND，半導(dǎo)體是，半導(dǎo)體是N型的型的半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理當(dāng)當(dāng)NAND時(shí)，施主能級(jí)時(shí)，施主能級(jí)上的全部電子躍遷到上的全部電子躍遷到受主能級(jí)上后，受主受主能級(jí)上后，受主能級(jí)還有能級(jí)還有(NA-ND)個(gè)空個(gè)空穴，它們可以躍遷到穴，它們可以躍遷到價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴，價(jià)帶成為導(dǎo)電空穴，所

34、以，所以，p=NA-NDNA，半導(dǎo)體是半導(dǎo)體是P型的型的半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理經(jīng)過補(bǔ)償之后，半導(dǎo)體中的經(jīng)過補(bǔ)償之后，半導(dǎo)體中的凈雜質(zhì)濃度凈雜質(zhì)濃度當(dāng)當(dāng)ND NA時(shí)，則（時(shí)，則（ND-NA）為）為有效施主濃度有效施主濃度；當(dāng)當(dāng)NA ND時(shí)，則（時(shí)，則（NA-ND）為）為有效受主濃度有效受主濃度。利用雜質(zhì)補(bǔ)償?shù)淖饔茫涂衫秒s質(zhì)補(bǔ)償?shù)淖饔?，就可以根?jù)需要用以根據(jù)需要用擴(kuò)散擴(kuò)散或或離子注離子注入入等方法來改變半導(dǎo)體中某等方法來改變半導(dǎo)體中某一區(qū)域的導(dǎo)電類型，以制備一區(qū)域的導(dǎo)電類型，以制備各種器件。各種器件

35、。若控制不當(dāng)，會(huì)出現(xiàn)若控制不當(dāng)，會(huì)出現(xiàn)NDNA的現(xiàn)象，的現(xiàn)象，這時(shí)，施主電子剛好填充受主能級(jí)，這時(shí)，施主電子剛好填充受主能級(jí)，雖然晶體中雜質(zhì)可以很多，但不能雖然晶體中雜質(zhì)可以很多，但不能向?qū)Ш蛢r(jià)帶提供電子和空穴，向?qū)Ш蛢r(jià)帶提供電子和空穴，（雜質(zhì)的高度補(bǔ)償雜質(zhì)的高度補(bǔ)償）。這種材料容）。這種材料容易被誤認(rèn)為是高純度的半導(dǎo)體，實(shí)易被誤認(rèn)為是高純度的半導(dǎo)體，實(shí)際上卻含有很多雜質(zhì)，性能很差。際上卻含有很多雜質(zhì)，性能很差。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理非非、族元素?fù)饺牍?、鍺中也會(huì)在禁帶中引入能級(jí)。族元素?fù)饺牍?、鍺

36、中也會(huì)在禁帶中引入能級(jí)。非非、族元素產(chǎn)生的能級(jí)有以下兩個(gè)族元素產(chǎn)生的能級(jí)有以下兩個(gè)特點(diǎn)特點(diǎn)：（1）施主能級(jí)距離導(dǎo)帶底較遠(yuǎn)，產(chǎn)生的受主能級(jí)距離價(jià)帶）施主能級(jí)距離導(dǎo)帶底較遠(yuǎn)，產(chǎn)生的受主能級(jí)距離價(jià)帶頂也較遠(yuǎn)。稱為頂也較遠(yuǎn)。稱為深能級(jí)深能級(jí)，相應(yīng)的雜質(zhì)稱為，相應(yīng)的雜質(zhì)稱為深能級(jí)雜質(zhì)深能級(jí)雜質(zhì)；（2）這些深能級(jí)雜質(zhì)能產(chǎn)生）這些深能級(jí)雜質(zhì)能產(chǎn)生多次電離多次電離，每一次電離相應(yīng)地，每一次電離相應(yīng)地有一個(gè)能級(jí)。因此，這些雜質(zhì)在硅、鍺的禁帶中往往有一個(gè)能級(jí)。因此，這些雜質(zhì)在硅、鍺的禁帶中往往引入若干引入若干個(gè)能級(jí)個(gè)能級(jí)。而且，。而且，有的雜質(zhì)既能引入施主能級(jí)，又能引入受主能有的雜質(zhì)既能引入施主能級(jí)，又能引入受主

37、能級(jí)級(jí)。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體中的缺陷和缺陷能級(jí)半導(dǎo)體中的缺陷和缺陷能級(jí) 當(dāng)半導(dǎo)體中的某些區(qū)域，晶格中的原子當(dāng)半導(dǎo)體中的某些區(qū)域，晶格中的原子周期性周期性排列被破壞排列被破壞時(shí)就形成了各種缺陷。時(shí)就形成了各種缺陷。 缺陷分為缺陷分為三類三類： 點(diǎn)缺陷點(diǎn)缺陷：如空位，間隙原子，替位原子；：如空位，間隙原子，替位原子； 線缺陷：如線缺陷：如位錯(cuò)位錯(cuò)； 面缺陷：如層錯(cuò)等。面缺陷：如層錯(cuò)等。 半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體

38、器件物理在在一定溫度一定溫度下，晶格原子不僅在平衡位置附近作振動(dòng)運(yùn)下，晶格原子不僅在平衡位置附近作振動(dòng)運(yùn)動(dòng)（通常稱之為動(dòng)（通常稱之為熱振動(dòng)熱振動(dòng)），而且有一部分原子會(huì)獲得足），而且有一部分原子會(huì)獲得足夠的能量，克服周圍原子對(duì)它的束縛，擠入晶格原子間夠的能量，克服周圍原子對(duì)它的束縛，擠入晶格原子間的間隙，形成的間隙，形成間隙原子間隙原子，原來的位置就成為，原來的位置就成為空位空位。間隙原子和空位成對(duì)出現(xiàn)的缺陷間隙原子和空位成對(duì)出現(xiàn)的缺陷只在晶格內(nèi)形成空位而無間隙原子只在晶格內(nèi)形成空位而無間隙原子的缺陷的缺陷均由溫度引起，又稱之為均由溫度引起，又稱之為熱缺陷熱缺陷，它們總是，它們總是同時(shí)存在同時(shí)存

39、在的。的。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理間隙原子和空位一方面不斷地產(chǎn)生，另一方面兩間隙原子和空位一方面不斷地產(chǎn)生，另一方面兩者又不斷地復(fù)合，達(dá)到一個(gè)平衡濃度值。者又不斷地復(fù)合，達(dá)到一個(gè)平衡濃度值。由于原子須具有較大的能量才能擠入間隙位置，而且遷移由于原子須具有較大的能量才能擠入間隙位置，而且遷移時(shí)激活能很小，所以晶體中時(shí)激活能很小，所以晶體中空位比間隙原子多得多空位比間隙原子多得多，空位，空位成了常見的點(diǎn)缺陷。成了常見的點(diǎn)缺陷。在在元素半導(dǎo)體硅、鍺元素半導(dǎo)體硅、鍺中存在的中存在的空位空位最鄰近有四個(gè)原子，每

40、個(gè)最鄰近有四個(gè)原子，每個(gè)原子各有一個(gè)不成對(duì)的價(jià)電子，成為不飽和的共價(jià)鍵，這些原子各有一個(gè)不成對(duì)的價(jià)電子，成為不飽和的共價(jià)鍵，這些鍵傾向于接受電子，因此空位表現(xiàn)出鍵傾向于接受電子，因此空位表現(xiàn)出受主作用受主作用。而每一個(gè)而每一個(gè)間隙原子間隙原子有四個(gè)可以失去的未形成共價(jià)鍵的價(jià)電子，有四個(gè)可以失去的未形成共價(jià)鍵的價(jià)電子，表現(xiàn)出表現(xiàn)出施主作用施主作用。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 位錯(cuò)也是半導(dǎo)體中的一種缺陷，它對(duì)半導(dǎo)體材料和器件位錯(cuò)也是半導(dǎo)體中的一種缺陷，它對(duì)半導(dǎo)體材料和器件的性能也會(huì)產(chǎn)生很大的影響。的性能也會(huì)

41、產(chǎn)生很大的影響。 在硅、鍺晶體中位錯(cuò)的情況相當(dāng)復(fù)雜在硅、鍺晶體中位錯(cuò)的情況相當(dāng)復(fù)雜。由位錯(cuò)引入禁帶由位錯(cuò)引入禁帶的能級(jí)也十分復(fù)雜的能級(jí)也十分復(fù)雜。 根據(jù)實(shí)驗(yàn)測得，位錯(cuò)能級(jí)都是根據(jù)實(shí)驗(yàn)測得，位錯(cuò)能級(jí)都是深受主能級(jí)深受主能級(jí)。當(dāng)位錯(cuò)密度。當(dāng)位錯(cuò)密度較高時(shí)，由于它和雜質(zhì)的補(bǔ)償作用，能使含有淺施主雜質(zhì)較高時(shí)，由于它和雜質(zhì)的補(bǔ)償作用，能使含有淺施主雜質(zhì)的的N型硅、鍺中的載流子濃度降低，而對(duì)型硅、鍺中的載流子濃度降低，而對(duì)P型硅、鍺卻沒有型硅、鍺卻沒有這種影響。這種影響。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理練習(xí)練習(xí) 寫出常見

42、缺陷的種類并舉例。寫出常見缺陷的種類并舉例。 試述弗侖克耳缺陷和肖特基缺陷的特點(diǎn)、試述弗侖克耳缺陷和肖特基缺陷的特點(diǎn)、共同點(diǎn)和關(guān)系。共同點(diǎn)和關(guān)系。 位錯(cuò)對(duì)半導(dǎo)體材料和器件有什么影響？位錯(cuò)對(duì)半導(dǎo)體材料和器件有什么影響？半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理參與導(dǎo)電的電子和空穴統(tǒng)稱為半導(dǎo)體的載流子參與導(dǎo)電的電子和空穴統(tǒng)稱為半導(dǎo)體的載流子。本征激發(fā)本征激發(fā) 電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶，形成導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶，形成導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴雜質(zhì)電離雜質(zhì)電離 半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江

43、西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理在導(dǎo)電電子和空穴產(chǎn)生的同時(shí)，還存在與之相反的過程，即在導(dǎo)電電子和空穴產(chǎn)生的同時(shí)，還存在與之相反的過程，即電子也可以從高能量的量子態(tài)躍遷到低能量的量子態(tài)，并向電子也可以從高能量的量子態(tài)躍遷到低能量的量子態(tài)，并向晶格放出一定的能量。晶格放出一定的能量。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 在在一定溫度一定溫度下，載流子產(chǎn)生和復(fù)合的過程建立起下，載流子產(chǎn)生和復(fù)合的過程建立起動(dòng)態(tài)動(dòng)態(tài)平衡平衡，即，即，稱為熱平衡狀態(tài)。，稱為熱平衡狀態(tài)。 這時(shí)，半導(dǎo)體中的這時(shí)，半導(dǎo)體

44、中的 導(dǎo)電電子濃度和空穴濃度都保持一導(dǎo)電電子濃度和空穴濃度都保持一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)值個(gè)穩(wěn)定的數(shù)值。處于熱平衡狀態(tài)下的導(dǎo)電電子和空穴稱為。處于熱平衡狀態(tài)下的導(dǎo)電電子和空穴稱為熱平衡載流子熱平衡載流子。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 實(shí)踐表明，半導(dǎo)體的導(dǎo)電性與溫度密切相實(shí)踐表明，半導(dǎo)體的導(dǎo)電性與溫度密切相關(guān)。實(shí)際上，這主要是由于關(guān)。實(shí)際上，這主要是由于半導(dǎo)體中的載流子半導(dǎo)體中的載流子濃度隨溫度劇烈變化濃度隨溫度劇烈變化所造成的。所造成的。 所以，要深入了解半導(dǎo)體的導(dǎo)電性，必須所以，要深入了解半導(dǎo)體的導(dǎo)電性，必須研究半

45、導(dǎo)體中研究半導(dǎo)體中載流子濃度隨溫度變化的規(guī)律載流子濃度隨溫度變化的規(guī)律。 因此，解決如何計(jì)算一定溫度下，半導(dǎo)體因此，解決如何計(jì)算一定溫度下，半導(dǎo)體中熱平衡載流子濃度的問題成了本節(jié)的中心問中熱平衡載流子濃度的問題成了本節(jié)的中心問題。題。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理能量在能量在EE+dE范圍內(nèi)的電子數(shù)（統(tǒng)計(jì)方法）范圍內(nèi)的電子數(shù)（統(tǒng)計(jì)方法）電子填充能級(jí)電子填充能級(jí)E的幾率的幾率N(E) 單位體積晶體中在能量單位體積晶體中在能量E處的電子能級(jí)密度處的電子能級(jí)密度能量為能量為E的狀態(tài)密度的狀態(tài)密度能量無限小量能量無

46、限小量半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理能量為能量為E的電子狀態(tài)密度（測不準(zhǔn)關(guān)系）的電子狀態(tài)密度（測不準(zhǔn)關(guān)系）EC 導(dǎo)帶底導(dǎo)帶底mn* 電子的有效質(zhì)量電子的有效質(zhì)量半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理能量為能量為E的空穴狀態(tài)密度的空穴狀態(tài)密度mp* 空穴的有效質(zhì)量空穴的有效質(zhì)量EV 價(jià)帶頂價(jià)帶頂半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 晶體中的電子除了受

47、到外力作用外，還受到晶格原子和晶體中的電子除了受到外力作用外，還受到晶格原子和其他電子的作用，為了把這些作用等效為晶體中的電子質(zhì)其他電子的作用，為了把這些作用等效為晶體中的電子質(zhì)量，所以引入有效質(zhì)量的概念。（當(dāng)電子在外力作用下運(yùn)量，所以引入有效質(zhì)量的概念。（當(dāng)電子在外力作用下運(yùn)動(dòng)時(shí)，它一方面受到外電場力的作用，同時(shí)還和半導(dǎo)體內(nèi)動(dòng)時(shí)，它一方面受到外電場力的作用，同時(shí)還和半導(dǎo)體內(nèi)部原子、電子相互作用著，電子的加速度應(yīng)該是半導(dǎo)體內(nèi)部原子、電子相互作用著，電子的加速度應(yīng)該是半導(dǎo)體內(nèi)部勢場和外電場作用的綜合效果。但是要找出內(nèi)部勢場的部勢場和外電場作用的綜合效果。但是要找出內(nèi)部勢場的具體形式并且求出加速度

48、遇到一定的困難，引進(jìn)具體形式并且求出加速度遇到一定的困難，引進(jìn)有效質(zhì)量有效質(zhì)量后可使問題變得簡單后可使問題變得簡單，直接把外力和電子的加速度聯(lián)系起直接把外力和電子的加速度聯(lián)系起來，而內(nèi)部勢場的作用則由有效質(zhì)量加以概括來，而內(nèi)部勢場的作用則由有效質(zhì)量加以概括。特別是。特別是有有效質(zhì)量可以直接由試驗(yàn)測定效質(zhì)量可以直接由試驗(yàn)測定，因而可以很方便地解決電子，因而可以很方便地解決電子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。）的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。）半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理費(fèi)米費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)狄拉克分布函數(shù)量為量為E的一個(gè)量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾

49、率的一個(gè)量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾率E 電子能量電子能量 k0 玻耳茲曼常數(shù)玻耳茲曼常數(shù) T 熱力學(xué)溫度熱力學(xué)溫度EF 費(fèi)米能級(jí)費(fèi)米能級(jí) 常數(shù)，大多數(shù)情況下，它的數(shù)值在半導(dǎo)體能常數(shù)，大多數(shù)情況下，它的數(shù)值在半導(dǎo)體能帶的禁帶范圍內(nèi)，和溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、雜質(zhì)的帶的禁帶范圍內(nèi)，和溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、雜質(zhì)的含量以及能量零點(diǎn)的選取有關(guān)。只要知道了含量以及能量零點(diǎn)的選取有關(guān)。只要知道了EF的數(shù)值，在一的數(shù)值，在一定溫度下，電子在各量子態(tài)上的統(tǒng)計(jì)分布就完全確定了。定溫度下，電子在各量子態(tài)上的統(tǒng)計(jì)分布就完全確定了。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科

50、技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理費(fèi)米費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)的特性狄拉克分布函數(shù)的特性當(dāng)當(dāng)T=0K時(shí)，時(shí)，若若EEF，則，則f（E）=0絕對(duì)零度時(shí)，費(fèi)米能級(jí)絕對(duì)零度時(shí)，費(fèi)米能級(jí)EF可看成量子態(tài)可看成量子態(tài)是否被電子占據(jù)的一個(gè)界限。是否被電子占據(jù)的一個(gè)界限。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理當(dāng)當(dāng)T0K時(shí)，時(shí)，若若E1/2若若E= EF，則，則f（E）=1/2若若E EF，則，則f（E）p0，費(fèi)米能級(jí)比較靠近導(dǎo)帶；，費(fèi)米能級(jí)比較靠近導(dǎo)帶； P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體 p0n0，費(fèi)米能級(jí)比較靠近價(jià)帶；，費(fèi)米能級(jí)比較靠近價(jià)帶

51、； 摻雜濃度越高，費(fèi)米能級(jí)離導(dǎo)帶或價(jià)帶越近。摻雜濃度越高，費(fèi)米能級(jí)離導(dǎo)帶或價(jià)帶越近。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理本征半導(dǎo)體的載流子濃度本征半導(dǎo)體的載流子濃度當(dāng)半導(dǎo)體的溫度大于絕對(duì)零度時(shí)，就有電子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶當(dāng)半導(dǎo)體的溫度大于絕對(duì)零度時(shí)，就有電子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶去，同時(shí)價(jià)帶中產(chǎn)生空穴，這就是去，同時(shí)價(jià)帶中產(chǎn)生空穴，這就是本征激發(fā)本征激發(fā)。由于。由于電子和空穴電子和空穴成對(duì)出現(xiàn)成對(duì)出現(xiàn)，導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度n0=p0將式（將式（1-6）、（）、（1-

52、7）代入（）代入（1-8），可以求得本征半導(dǎo)體），可以求得本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)的費(fèi)米能級(jí)EF，并用符號(hào)，并用符號(hào)Ei表示，稱為本征費(fèi)米能級(jí)表示，稱為本征費(fèi)米能級(jí)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理等式右邊第二項(xiàng)近似為零，可忽略，所以本征半導(dǎo)體的費(fèi)米等式右邊第二項(xiàng)近似為零，可忽略，所以本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)能級(jí)Ei基本上在禁帶中線處。基本上在禁帶中線處。將式（將式（1-9）分別代入式（）分別代入式（1-6）、（）、（1-7），），可得本征半導(dǎo)體載流子濃度可得本征半導(dǎo)體載流子濃度ni半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器

53、件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 一定的半導(dǎo)體材料，其本征載流子濃度一定的半導(dǎo)體材料，其本征載流子濃度ni隨溫度上隨溫度上而迅速增加；而迅速增加； 不同的半導(dǎo)體材料在同一溫度下，禁帶寬度越大，不同的半導(dǎo)體材料在同一溫度下，禁帶寬度越大，本征載流子濃度本征載流子濃度ni就越小。就越小。由（由（1-6）（）（1-7）得載流子濃度乘積，并與（）得載流子濃度乘積，并與（1-11）比較，可得）比較，可得n0p0=ni2半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 在一定溫度下，任何

54、在一定溫度下，任何非簡并半導(dǎo)體非簡并半導(dǎo)體（電子（電子或空穴的濃度分別遠(yuǎn)低于導(dǎo)帶或價(jià)帶的有效能級(jí)或空穴的濃度分別遠(yuǎn)低于導(dǎo)帶或價(jià)帶的有效能級(jí)密度）的熱平衡載流子濃度的乘積密度）的熱平衡載流子濃度的乘積n0p0等于該溫等于該溫度下的本征半導(dǎo)體載流子濃度度下的本征半導(dǎo)體載流子濃度ni的平方，與所含的平方，與所含雜質(zhì)無關(guān)。雜質(zhì)無關(guān)。 式（式（1-12）不僅適用于本征半導(dǎo)體，而且也）不僅適用于本征半導(dǎo)體，而且也適用于非簡并的雜質(zhì)半導(dǎo)體材料。適用于非簡并的雜質(zhì)半導(dǎo)體材料。n0p0=ni2半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理表

55、表1-1 300K下鍺、硅、砷化鎵的本征載流子濃度下鍺、硅、砷化鎵的本征載流子濃度半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理雜質(zhì)半導(dǎo)體的載流子濃度雜質(zhì)半導(dǎo)體的載流子濃度一般來說，在室溫下所有的雜質(zhì)都已電離，一個(gè)雜質(zhì)原子可以一般來說，在室溫下所有的雜質(zhì)都已電離，一個(gè)雜質(zhì)原子可以提供一個(gè)載流子；提供一個(gè)載流子；假設(shè)摻入半導(dǎo)體中的雜質(zhì)濃度遠(yuǎn)大于本征激發(fā)的載流子濃度假設(shè)摻入半導(dǎo)體中的雜質(zhì)濃度遠(yuǎn)大于本征激發(fā)的載流子濃度N型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體(ND為施主雜質(zhì)濃度為施主雜質(zhì)濃度)(NA為受主雜質(zhì)濃度為受主雜質(zhì)濃度)N型

56、半導(dǎo)體中，電子為型半導(dǎo)體中，電子為多數(shù)載流子多數(shù)載流子（簡稱（簡稱多子多子），空穴為），空穴為少少數(shù)載流子數(shù)載流子（簡稱（簡稱少子少子）；）；P型半導(dǎo)體中，空穴為多數(shù)載流子，型半導(dǎo)體中，空穴為多數(shù)載流子，電子為少數(shù)載流子。電子為少數(shù)載流子。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理n0p0=ni2由式（由式（1-12），可以確定少數(shù)載流子的濃度），可以確定少數(shù)載流子的濃度N型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體 由于由于ND（或（或NA）遠(yuǎn)大于）遠(yuǎn)大于ni，因此，因此在雜質(zhì)半導(dǎo)體中少數(shù)載流在雜質(zhì)半導(dǎo)體中少數(shù)載流子比本征半導(dǎo)

57、體的載流子濃度子比本征半導(dǎo)體的載流子濃度ni小得多小得多。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理本征激發(fā)時(shí)本征激發(fā)時(shí)式（式（1-6）可改寫如下）可改寫如下半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理當(dāng)一塊半導(dǎo)體中同時(shí)摻入當(dāng)一塊半導(dǎo)體中同時(shí)摻入P型雜質(zhì)和型雜質(zhì)和N型雜質(zhì)時(shí)，考慮室溫下，型雜質(zhì)時(shí)，考慮室溫下，雜質(zhì)全部電離，以及雜質(zhì)

58、的補(bǔ)償作用，載流子濃度為雜質(zhì)全部電離，以及雜質(zhì)的補(bǔ)償作用，載流子濃度為|ND-NA|N型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體P型半導(dǎo)體型半導(dǎo)體半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 對(duì)于雜質(zhì)濃度一定的半導(dǎo)體，隨著對(duì)于雜質(zhì)濃度一定的半導(dǎo)體，隨著溫度的升高溫度的升高，載流子則是載流子則是從以雜質(zhì)電離為主要來源過渡到以本征從以雜質(zhì)電離為主要來源過渡到以本征激發(fā)為主要來源的過程激發(fā)為主要來源的過程。相應(yīng)地，。相應(yīng)地，費(fèi)米能級(jí)則從位費(fèi)米能級(jí)則從位于雜質(zhì)能級(jí)附近逐漸移近到禁帶中線處于雜質(zhì)能級(jí)附近逐漸移近到禁帶中線處。 當(dāng)當(dāng)溫度一定溫度一定時(shí)，時(shí)，費(fèi)

59、米能級(jí)的位置由雜質(zhì)濃度所費(fèi)米能級(jí)的位置由雜質(zhì)濃度所決定決定，例如，例如N型型半導(dǎo)體，隨著施主濃度的增加，費(fèi)米半導(dǎo)體，隨著施主濃度的增加，費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向?qū)У追较?。能?jí)從禁帶中線逐漸移向?qū)У追较颉?對(duì)于對(duì)于P型型半導(dǎo)體，隨著受主雜質(zhì)濃度的增加，費(fèi)半導(dǎo)體，隨著受主雜質(zhì)濃度的增加，費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向價(jià)帶頂附近。米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向價(jià)帶頂附近。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 在雜質(zhì)半導(dǎo)體中，在雜質(zhì)半導(dǎo)體中，費(fèi)米能級(jí)的位置不但反映了半導(dǎo)費(fèi)米能級(jí)的位置不但反映了半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型，而且還反映了半

60、導(dǎo)體的摻雜水平體的導(dǎo)電類型，而且還反映了半導(dǎo)體的摻雜水平。 對(duì)于對(duì)于N型型半導(dǎo)體，費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以上，半導(dǎo)體，費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以上，ND越越大，費(fèi)米能級(jí)位置越高。大，費(fèi)米能級(jí)位置越高。 對(duì)于對(duì)于P型型半導(dǎo)體，費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以下，半導(dǎo)體，費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以下，NA越越大，費(fèi)米能級(jí)位置越低。如圖大，費(fèi)米能級(jí)位置越低。如圖1-15所示。所示。半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理 江西科技師范大學(xué)江西科技師范大學(xué)半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體器件物理半導(dǎo)體中的載流子在半導(dǎo)體中的載流子在電場作用電場作用下作漂移運(yùn)動(dòng)。下作漂移運(yùn)動(dòng)。在運(yùn)動(dòng)過程中，載流子會(huì)與晶格原子、雜質(zhì)原在運(yùn)