XD激光干涉儀中文操作手冊

1、XD激光測量系統(tǒng)用戶手冊 美國自動精密工程公司美國自動精密工程公司XD激光測量系統(tǒng)用戶手冊5.0版本5.0版本版權(quán)所有2005年美國自動精密工程公司馬里蘭州洛克韋勒約翰霍普金斯區(qū)15000(20850)電話：1.800.537.2720 傳真：301.990.8648警告：本儀器使用了級氦-氖激光，最大輸出功率為1毫瓦。請不要對著激光凝視，否則可能對眼睛產(chǎn)生永久性損傷。版權(quán)所有美國自動精密工程公司保留本手冊中所有內(nèi)容的版權(quán)，未獲得美國自動精密工程公司的書面許可之前，不允許以占有或制造為目的而進行泄漏、使用或復制。美國自動精密工程公司馬里蘭州洛克韋勒約翰霍普金斯區(qū)15000(20850)電話：（

2、301）330-8100傳真：(301) 990-8648產(chǎn)品保證美國自動精密工程公司對其產(chǎn)品在原材料及制造工藝上的缺陷提供自購買之日起為期一年的擔保。擔保期內(nèi)，美國自動精密工程公司對已證實存在缺陷的產(chǎn)品將會視情況進行維修或更換。（存在問題的）產(chǎn)品必須在得到美國自動精密工程公司授權(quán)后才能收回，需預先付訖運費并妥善包裝。若產(chǎn)品問題屬實，并確屬保證范圍之內(nèi)的，美國自動精密工程公司會承擔將產(chǎn)品再次返還給用戶的運輸費用，對于美國本土以外的用戶，公司會承擔將產(chǎn)品再次返還給用戶的空運費用。下列情況不在保證范圍之內(nèi)：因誤操作、意外事故、疏忽、擅自變更、使用不當以及由非美國自動精密工程公司人員維修而導致的產(chǎn)品

3、缺陷或損壞。另外，該保證只對產(chǎn)品的最初購買者有效。美國自動精密工程公司不再提供除上述以外的任何其他擔保，明確排除一切默認保證，不保證產(chǎn)品的可銷售性及對于特殊目的的適用性。對產(chǎn)品造成的任何直接、間接、特殊或偶然的損失及由此引發(fā)的一切損失，美國自動精密工程公司將不承擔任何合同、民事或其他任何意義上的責任。要求XD激光測量系統(tǒng)有最佳測量精度的用戶請注意：1、實驗證明，在系統(tǒng)開機并準備就緒后（ 顯示“ready” ），增加一段預熱時間可改善系統(tǒng)測量精度，尤其在系統(tǒng)長期未使用的情況下。2、對于標準的XD激光測量系統(tǒng)，為了達到最佳測量精度，推薦的預熱時間為系統(tǒng)顯示“ready”后30分鐘。3、對于高精度的

4、XD激光測量系統(tǒng)，為了達到最佳測量精度，推薦的預熱時間為系統(tǒng)顯示“ready”后60分鐘。目 錄章節(jié) 標題 頁數(shù)第一章 概述1.1 內(nèi)容簡介 1-1 1.2 內(nèi)容綱要 1-1 1.3 系統(tǒng)概述 1-1 1.4 硬件綜述 1-2 1.5 操作規(guī)范概要 1-4 1.6 公制/英制，英制/公制線性轉(zhuǎn)換 1-6 第二章 安裝2.1 內(nèi)容簡介 2-12.2 系統(tǒng)組件 2-22.3 軟件安裝 2-42.4 硬件安裝 2-42.4.1 激光頭安裝步驟 2-42.4.2 6- D傳感單元安裝步驟 2-52.4.3 轉(zhuǎn)向鏡安裝步驟 2-62.4.4 五棱鏡安裝步驟 2-72.4.5 球形角反射鏡安裝步驟 2-7

5、2.4.6 環(huán)境參數(shù)傳感器安裝步驟 2-132.4.7 滾擺角參考傳感器安裝步驟 2-132.5 電路安裝 2-132.6 調(diào)整步驟詳述 2-142.6.1 沿 X軸測量的調(diào)整步驟 2-142.6.2 沿 Y軸測量的調(diào)整步驟 2-172.6.3 沿 Z軸測量的調(diào)整步驟 2-182.6.4 沿對角線測量的調(diào)整步驟 2-182.6.5 五棱鏡的調(diào)整步驟 2- 五棱鏡的對準步驟 2-192.7 旋轉(zhuǎn)測量 2-252.7.1 所需設備 2-252.7.2 硬件安裝（旋轉(zhuǎn)測量） 2-252.7.3 硬件調(diào)整（旋轉(zhuǎn)測量） 2-262.8 速度測量 2-292.8.1 所需設備 2-292

6、.8.2 硬件安裝（速度測量） 2-292.8.3 硬件調(diào)整（速度測量） 2-2 5 -D傳感器 2-2 3 -D目標靶或球形角反射鏡 2-292.9 平面度測量 2-292.9.1 所需設備 2-292.9.2 硬件安裝 2-302.9.3 硬件調(diào)整-利用俯仰角 2-302.9.4 硬件調(diào)整-利用滾擺角 2-332.10 平行度測量 2-342.10.1 所需設備 2-342.10.2 硬件安裝（平行度測量） 2-342.10.3 硬件調(diào)整（平行度測量） 2-352.11 XD傳感器無線收發(fā)器的安裝 2-38第三章 操作步驟3.1 內(nèi)容簡介 3-13.2 操作

7、步驟綜述 3-13.3 操作步驟詳解 3-23.3.1 啟動軟件 3- XD 系統(tǒng)設置 3-53.3.2 XD 測量 3- 測量參數(shù)設置 3- NC程序（用于5/6D檢測） 3- 數(shù)據(jù)獲取 3- 數(shù)據(jù)分析 3-193.3.3 線性測量 3- 線性測量設置 3- 雙向/單向重復性測量 3- 周期性誤差測量 3- 對角線測量 3- 線性測量數(shù)據(jù)采集 3- 線性測量數(shù)據(jù)分析 3-273.3.4 垂直度測量

8、3-2 第一軸參數(shù)設置 3-2 第一軸數(shù)據(jù)采集 3-2 第二軸參數(shù)設置 3-2 第二軸數(shù)據(jù)采集 3-2 垂直度數(shù)據(jù)分析 3-293.3.5 同軸度測量 3-313.3.6 旋轉(zhuǎn)測量 3-3 參數(shù)設置 3-3 數(shù)據(jù)采集 3-3 數(shù)據(jù)分析 3-363.3.7 速度測量 3-373.3.8 平面度測量 3-413.3.9 平行度測量 3-45第四章 工作原理4.1 引言 4-14.2 激光測量 4-14.3 XD激光系統(tǒng)中使用的測量技術(shù) 4-14.3.1 線性測量 4-14

9、.3.2 直線度測量 4-24.3.3 俯仰角和偏擺角的測量 4-34.3.4 旋轉(zhuǎn)測量 4-34.3.5 沿Y軸、Z軸的測量 4-34.3.6 對角線測量 4-34.3.7 五棱鏡對準原理 4-6第五章 維護方法5.1 引言 5-15.2 總則 5-15.3 光學元件清潔方法 5-15.3.1 推薦的清洗材料 5-25.3.2 從光學件表面清除散落微粒 5-25.3.1 從光學件表面清除半固體狀態(tài)粒子 5-2第六章 數(shù)據(jù)分析6.1 引言 6-16.1 概述 6-16.3 操作步驟綜述 6-26.4 分批打印 6-86.5 圖像輸出 6-96.6 結(jié)果對比 6-106.7 自動誤差補償 6-1

10、2附錄A：術(shù)語表A.1 概述 A-1附錄B：索引B.1 概述 B-1附錄C：線性誤差定義C.1 概述 C-1圖表目錄圖號 標題 頁數(shù)1-1 激光測量系統(tǒng)示意圖 1-32-1 設備組件 2-32-2 沿X軸測量組件布置 2-52-3 沿Y軸測量組件布置 2-82-4 沿Z軸測量組件布置 2-92-5 X軸與Y軸垂直度測量組件布置 2-102-6 X軸與Z軸垂直度測量組件布置 2-112-7 對角線測量組件布置 2-122-8 初始界面 2-152-9 五棱鏡的對準 2-222-10 五棱鏡的調(diào)整螺釘設計 2-242-11 旋轉(zhuǎn)測量組件布置 2-272-12 旋轉(zhuǎn)測量組件布置（利用角擺檢查儀） 2

11、-282-13 5 -D傳感器平面度測量示意圖 2-312-14 平面度測量模式 2-322-15 平行度測量傳感單元多軸調(diào)整夾具 2-342-16 平行度測量的組件安裝 2-362-17 傳感單元緊固螺釘 2-373-1 啟動AP I激光測量系統(tǒng) 3-33-2 配置文件搜索警告對話框 3-43-3 主界面 3-43-4a 5/6D系統(tǒng)設置界面 3-53-4b 5/6D系統(tǒng)設置界面 3-63-4c 5/6D系統(tǒng)設置界面 3-73-5 死程誤差 3-93-6 主界面數(shù)據(jù)采集菜單 3-103-7 測量設置界面 3-133-8 CNC程序匯總 3-153-9 CNC程序參數(shù)設置界面 3-153-10

12、a CNC程序采樣-子程序 3-163-10b CNC程序采樣-主程序 3-163-11 XD數(shù)據(jù)采集界面 3-183-12 數(shù)據(jù)文件打開對話框 3-193-13 線性測量結(jié)果分析及數(shù)據(jù)表 3-213-14 直線度測量結(jié)果分析及數(shù)據(jù)表 3-223-15 角度測量結(jié)果分析及數(shù)據(jù)表 3-233-16 重復性測量參數(shù)設置 3-243-17 重復性測量數(shù)據(jù)采集界面 3-263-18 線性測量數(shù)據(jù)采集界面 3-273-19 垂直度測量方法選擇界面 3-293-20 垂直度測量結(jié)果分析及數(shù)據(jù)表 3-303-21 Z軸和W軸同軸的龍門式加工機床 3-313-22 在Y軸方向上測量Z軸和W軸的同軸度 3-32

13、3-23 a 旋轉(zhuǎn)測量設置界面 3-343-23 b 旋轉(zhuǎn)測量設置界面 3-353 -24 旋轉(zhuǎn)測量數(shù)據(jù)采集界面 3-363 -25 旋轉(zhuǎn)測量結(jié)果分析 3-373 -26 速度測量設置界面 3-383 -27 速度測量數(shù)據(jù)采集界面 3-393 -28 速度測量結(jié)果分析 3-403 -29 平面度測量設置界面 3-413 -30 平面度測量數(shù)據(jù)采集界面 3-433 -31 平面度測量結(jié)果分析 3-443 -32 平行度測量方法選擇 3-463 -33 平行度測量結(jié)果分析 3-474 -1 線性測量示意圖 4-24 -2 5-D測量示意圖 4-44 -3 沿Y軸、Z軸測量示意圖 4-54 -4 調(diào)

14、整時6-D傳感器曲線形狀 4-8IX 第一章 概述1.1 內(nèi)容簡介本手冊包括關(guān)于XD激光測量系統(tǒng)安裝、操作和維護的概述及細節(jié)。XD系列激光測量系統(tǒng)包括1-D，3-D，5-D和6-D模式。其中，1-D系統(tǒng)僅限于線性位移的測量，3-D系統(tǒng)可同時進行線位移、水平直線度（XX）和垂直直線度（YY）的測量，5-D系統(tǒng)可同時進行線位移、水平直線度（XX）、垂直直線度（YY）、（水平面內(nèi)）偏擺角（A）和（垂直面內(nèi)）俯仰角（B）的測量，而6-D系統(tǒng)可同時對六個自由度上的參數(shù)進行測量，即：線位移、水平直線度（XX）、垂直直線度（YY）、（水平面內(nèi)）偏擺角（A）、（垂直面內(nèi)）俯仰角（B）以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角（

15、C）。本手冊中所附插圖均以6-D系統(tǒng)為例。本系統(tǒng)的設計目的是對被控線性運動裝置的精度進行測量。這些裝置包括CNC加工中心、坐標測量機（CMM）、X-Y工作臺以及其他各種具有單個或多個移動軸的機器。利用5/6-D激光測量系統(tǒng)可以為評價機器性能和判斷其是否符合有關(guān)的標準提供依據(jù)，還可以對設備進行校準、評價其工作質(zhì)量以及分析環(huán)境條件對設備性能的影響。1.2 內(nèi)容綱要本手冊內(nèi)容共分五章第1章： 系統(tǒng)概述和操作規(guī)范；第2章： 測量前所需的組件安裝和定位對準步驟的概述及其細節(jié)過程；第3章： 詳細介紹如何使用本系統(tǒng)進行所需測量，在操作說明中列舉了鍵入計算機指令的步驟，示范了交互程序的使用；第4章： 概括介紹

16、6-D激光測量系統(tǒng)的主要操作；第5章： 概括介紹光學元件的維護和測量中的硬件連接固定；第6章： 數(shù)據(jù)分析的相關(guān)內(nèi)容；附錄A： 本手冊中用到的專業(yè)術(shù)語列表附錄B： 手冊內(nèi)容索引，以便于快速查找。1.3 系統(tǒng)概述XD激光測量系統(tǒng)是一臺由外部計算機及其應用程序控制的激光測量儀器。XD激光測量系統(tǒng)可以同時對六個自由度上的參數(shù)進行測量，包括：線位移、水平直線度（XX）、垂直直線度（YY）、（水平面內(nèi)）偏擺角（A）、（垂直面內(nèi)）俯仰角（B）以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角（C），如圖1-1所示。本系統(tǒng)主要的部件有激光頭（包括干涉儀、激光控制器和通信接口）、電源/控制盒、環(huán)境參數(shù)傳感器（也稱氣象傳感器）和一個配合5

17、/6-D傳感單元的帶有收發(fā)器的參考水平儀（1/3-D系統(tǒng)中為球形角反射鏡）。圖2-1中列出了所有組件。激光頭產(chǎn)生激光用來測量六個參數(shù)中的其中五個，剩下的滾擺角（roll）的測量則是通過一對電子水平儀來實現(xiàn)的，一個為參考水平儀，另一個為測量水平儀（包括在6-D傳感單元內(nèi)）。干涉儀直接安裝在激光頭內(nèi)。電源/控制盒為激光頭提供電源。6-D傳感單元包括以下部件:一個角反射鏡（配合干涉儀用來測量線位移的精度）；一個高精度的電子水平儀（測量水平儀）用來測量滾擺角；一個光學傳感器用來檢測測量過程中角度（俯仰角和偏擺角）變化和直線度變化。轉(zhuǎn)向鏡（turning mirror）用來改變激光的方向，當需要在多個軸

18、向上進行測量時非常必要，被改變后的光束方向可以是另一個軸的方向也可以與原來的軸成斜角(對角線)。五棱鏡（Pentaprism）的作用類似于轉(zhuǎn)向鏡，其不同之處主要在于它的入射光與反射光之間的夾角總是精確的90º角，而轉(zhuǎn)向鏡反射時反射角總是等于入射角。五棱鏡主要用來測量各軸的垂直度。要對線位移進行測量，從干涉儀出來的光束必須經(jīng)過一段行程（沿被測軸）再從另一窗口返回干涉儀。如果僅需要進行線位移測量，用球型角反射鏡即可完成。如果要同時測量直線度和角度，則必須利用5/6-D傳感單元反射光束。在測量百標準機床時，球型角反射鏡或5/6-D傳感單元通常裝在機床主軸上。氣象傳感器和溫度傳感器提供材料溫

19、度、空氣溫度、大氣壓力和空氣濕度，計算補償程序利用它們提高測量精度。1.4 硬件綜述警 告XD激光測量系統(tǒng)使用了級可見激光。嚴禁對著激光光束凝視，否則可能會對眼睛產(chǎn)生永久性損傷。XD激光測量系統(tǒng)是一臺精密儀器，應像對待其他實驗室儀器一樣小心保管與操作。所有光學部件應該保持清潔，避免污染。較好的辦法是在不用時將它放置在制造商提供的箱中。注意：進行測量前，便攜箱中的XD激光測量系統(tǒng)應在與工作環(huán)境相同的條件下放置幾個小時。其目的是保證系統(tǒng)在工作中的熱穩(wěn)定性。XD激光測量系統(tǒng)的光學零件表面要求特別仔細的清潔處理。在使用或清潔光學部件前請參閱本手冊第五章的維護保養(yǎng)方法。圖1-1 6-D激光測量系統(tǒng)示意圖

20、1.5 規(guī)格參數(shù)下表列出標準型、精密型和高精密型5/6-D激光測量系統(tǒng)的規(guī)格參數(shù)。標準型參數(shù)規(guī)格線位移測量范圍40m（131.2ft ）線位移分辨率0.02µm (0.000 000 8inches)線性精度0.5ppm直線度測量范圍±0.5mm (0.02 inches )直線度分辨率0.1µm (0.000 003 9 inches )直線度測量精度±（1.0µm (0.000 003 9 inches ) +0.2µm/行程(m)）或測量范圍的1%角度測量范圍±800角度分辨率0.1角度測量精度±(1.0+0

21、.1/ 行程（1m）×L) 或測量范圍的1%注：L總行程，m滾擺角（6D）±1（在校準的±100范圍內(nèi)）移動速度>3m/s精密型參數(shù)規(guī)格線位移測量范圍40m(131.2ft)線位移分辨率0.02µm(0.000 000 8inches )線性精度0.2ppm直線度測量范圍±0.3mm(0.012inches )直線度分辨率0.1µm(0.000 003 9inches )直線度測量精度±（0.5µm(0.000 020inch)+0.1µm/行程(1m) ×L）或測量范圍的1%注：L總行程

22、，m角度測量范圍±400角度分辨率0.1角度測量精度±(0.5+0.05/行程（1m）×L)或測量范圍的1%注：L總行程，m滾擺角（6D）±0.5（在校準的±50范圍內(nèi)）移動速度3m/s高精密型參數(shù)規(guī)格線位移測量范圍25m(80ft)線位移分辨率0.02µm(0.000 000 8inches)線性精度0.2ppm直線度測量范圍±0.1mm(0.004inches)直線度分辨率0.1µm(0.000 003 9inches)直線度測量精度±0.2µm(0.000 008inches)+0.05&

23、#181;m/行程(m)角度測量范圍±50角度分辨率0.1角度測量精度俯仰和偏擺±(0.2+0.02/行程(1m) 滾擺角（6D）±0.5（在校準的±50范圍內(nèi)）移動速度3m/s激光型式He-Ne，穩(wěn)頻激光波長632.99054nm輸出功率<1.0mW光束直徑5mm(0.197inchs)測量系統(tǒng)工作條件大氣溫度10-40(50-104)材料溫度10-40(50-104)大氣壓力500-800mmHg(9.7Psi -15.4Psi)相對濕度0-90%(無冷凝器)計算機Windows環(huán)境要求Pentium處理器，64MB RAM顯示器600

24、5;800像素分辨率接口以太網(wǎng)軟件Windows 2000/XP1.6 公制/英制，英制/公制線性轉(zhuǎn)換以下列出了公制/英制以及英制/公制之間的單位線性轉(zhuǎn)換。轉(zhuǎn)換時，只需在黑體字中找出已知參數(shù)的單位，等號右邊為對應其他單位的轉(zhuǎn)換系數(shù)，然后將該轉(zhuǎn)換系數(shù)與已知參數(shù)的數(shù)值相乘，即可得到轉(zhuǎn)換后的值。例如，激光的測量范圍為25m,1m所在的行中列出了1m=3.2808ft，3.2808與25相乘即得到49.2feet 。1m=100cm=1,000mm=1,000,000µm=1.0936yd=3.2808ft=39.37in=39,370,000µin1cm=10mm=10,000&

25、#181;m=0.0109yd=0.0328ft=0.3937in=393,700µin 1mm=1,000µm=0.00109yd=0.00328ft=0.039 37in=39,370µin 1µm=0.000 001 093yd=0.000 003 28ft=0.000 039 37in=39.370µin1yd=3ft=36in=0.9144m=91.44cm=914.4mm=914,400µm1ft=12in=0.3048m=30.48cm=304.8mm=304,800µm 1in=0.0254m=2.54cm=

26、25.4mm=25,400µm 1µin=0.000 000 0254m=0.000 002 54cm=0.000 0254mm=0.0254µm1-6 第二章 安裝2.1 內(nèi)容簡介本章為6-D激光測量系統(tǒng)的安裝提供總體和詳細的指導，安裝后進行測量請參閱第3章。為了確保正確安裝，減少錯誤測量的出現(xiàn)，在開始安裝前應當注意下述幾點：1、對一定類型的測量要考慮激光頭和傳感元件的恰當布置，下述做法可能會對正確測量有所幫助，即為每一次測量畫出組件布置的草圖并確認在整個測量過程中, 測量部件的移動不會限制各組件的安放位置。2、安裝測量中所有必要的組件，請參閱2.2節(jié)的組件列表

27、。為了獲得準確的測量結(jié)果，所有關(guān)鍵組件，例如磁性安裝快、安裝附件和反射鏡，都應該是API提供的零件。3、閱讀本章從而熟悉各種測量的不同要求。注意，激光頭需在系統(tǒng)指示“ready”后繼續(xù)預熱約30分鐘，才能獲得頻率穩(wěn)定的激光。因此，激光頭應當在開始安裝過程時首先連接好并啟動。詳細情況請參閱2.5節(jié)。警 告在完成本章所述的安裝過程中，激光頭啟動，嚴禁凝視激光光束，否則可能導致眼睛的永久性損傷。2.2 系統(tǒng)組件下表列出6-D激光測量系統(tǒng)所提供的設備。其編號對應圖2-1中所示的各個不同硬件。表2-1. 系統(tǒng)組件列表序號零件號名稱1激光頭(帶有干涉儀)2快速調(diào)整裝置3激光頭磁性基座4LM-SH傳感器支架

28、5LM-XD6-RR滾擺角參考傳感器(帶電纜)6LM-XD55-D傳感器7LM-XD6-RM滾擺角測量傳感器8LM-SQ五棱鏡（選購）9LM-OP光學部件支承桿10LM-TM帶支承桿的轉(zhuǎn)向鏡11LM-CS帶十字交叉孔的支承桿12LM-SR球型角反射鏡（選購）13LM-MAS傳感器旋轉(zhuǎn)安裝適配器14LM-MH球型角反射鏡磁性支承桿（選購）15LM-MB轉(zhuǎn)向鏡磁性基座16LM-EC以太網(wǎng)（交叉型）電纜（未圖示）17LM-CAB傳感單元電纜（12針）1.5m標準長度18LM-XD3三向目標靶（未圖示）19LM-WS-AP氣壓傳感器（未圖示，通用氣象傳感接口）20LM-WS-MT材料溫度傳感器（未圖示

29、，通用氣象傳感接口）21LM-WS-AT空氣溫度傳感器（未圖示，通用氣象傳感接口）22LM-WB傳感單元無線收發(fā)器的電源（未圖示）23LM-WBC帶有供電電纜的電源充電器24LM-PS電源/控制盒25LM-WM傳感單元無線收發(fā)器（未圖示）26LM-CC傳感單元信號傳輸電纜（未圖示）27LM-ET滾擺角測量傳感器28LM-MTx附加的材料溫度傳感器（未圖示，選購）除表2-1所列的零件外，安裝時一些標準的裝備可能會有用。通常包括標準臺架等支承物和手工工具，這些裝備對一般安裝而言是不需要的，但對某些特殊應用場合是有幫助的。圖2-1 設備組件2.3 軟件安裝XD激光測量系統(tǒng)帶有一個包含操作程序的CD，

30、軟件包含有針對特定系統(tǒng)的校準參數(shù)。因此在安裝前務必檢查軟件與光盤上標簽中的序列號是否相符，這一點很重要。注：可以通過觀察文件：Program FilesAutomated Precision，IncAPI XD Laser#.cnf中第44行的序列號來確認。要安裝程序，首先將CD插入光驅(qū)，電腦會自動提示進行安裝，然后按照屏幕上的提示逐步完成整個安裝過程。軟件程序?qū)⒆詣虞d入硬盤，圖標位于安裝過程中用戶指定的程序文件夾中，雙擊圖標可執(zhí)行程序。參閱第3章中介紹的用XD應用軟件進行測量的相關(guān)內(nèi)容。2.4 硬件安裝下面介紹用6-D傳感單元在測量線位移的同時進行直線度和角度參數(shù)測量，若只需測量線位移，6-

31、D傳感單元可以用球型角反射鏡代替。進行測量時，激光光束必須從干涉儀的下窗口射出并進入6-D傳感單元的下窗口。光束在傳感單元內(nèi)部被反射并從上窗口射出。此后光束必須進入干涉儀的上窗口。找準過程的目的就是保證在整個測量過程中都能維持這種位置關(guān)系。此外還要設法使光束位于光電轉(zhuǎn)換器測量范圍的中心位置。用戶可以根據(jù)每項測量值顯示數(shù)字的顏色來判斷其是否位于有效測量范圍內(nèi)，在有效測量范圍內(nèi)時數(shù)字顯示為黃色，超過有效范圍，數(shù)字顯示為紅色，完全超出測量范圍時，將顯示“Low Int”（光強過低）。2.4.1 激光頭安裝步驟1、激光頭和快速對準裝置被組裝到磁性基座上以便將其安裝到被測設備上。2、將激光頭和固定基座組

32、件放在選定位置。參閱圖2-2。確保這個位置能夠使得各個軸的方向上都能有足夠的行程進行測量。旋轉(zhuǎn)磁性基座開關(guān)到“ON”位置，使激光頭組件固定在機床床身或與床身相連的平面上。3、放置參考水平儀，使其標有特定圖形符號的一面朝向6-D傳感單元上水平儀同樣標有圖形符號的那一面。注 意：在連接或拆卸任何電纜前，后面板上的電源開關(guān)都應放在OFF位置并且將交流電源線從插座上斷開，否則可能損壞系統(tǒng)。4、將激光頭電源線連接到交流插座上，連接細節(jié)請參閱2.5節(jié)。警 告完成這以步驟后，將可能出現(xiàn)激光。請不要凝視激光否則可能對眼睛造成永久性損傷將后面板上的電源開關(guān)置于“ON”位置。需要激光輸出時，把光束衰減器滑到開的位

33、置，將一張白紙放置在激光頭前幾英寸遠的地方，這時應能看到一直徑約為1/4英寸的紅點。如果看不到紅點，請檢查電源和電纜連接情況，請不要直接觀察激光頭內(nèi)部的光源。了解更多信息請參閱2.5節(jié)。注意：系統(tǒng)有25秒的啟動時間，在這期間，請不要執(zhí)行軟件應用程序2.4.2 6-D傳感單元安裝步驟1、6-D傳感單元通常是通過一個3/4英寸的卡頭連接到車床主軸，以保證主軸安裝適配器連接牢固。2、6-D傳感單元帶有一個可旋轉(zhuǎn)的保護蓋，旋轉(zhuǎn)蓋凹孔內(nèi)嵌有一個小反射鏡可作為對準時目標點。用它可作初步對準。圖2-2 沿X軸測量組件布置3、6-D主軸安裝適配器有兩個分開的鎖緊螺釘。第一個螺釘是一個定位螺釘，卡在安裝軸上的環(huán)

34、槽中，這個螺釘可防止傳感單元從軸上滑脫同時又允許傳感單元在軸上旋轉(zhuǎn)，第二個螺釘用來緊固傳感單元。在對準傳感單元時，這個螺釘應稍微放松使得傳感單元能夠轉(zhuǎn)動，調(diào)整好后再緊固這個螺釘。4、把6-D傳感單元安裝適配器固定到主軸上，并在適當位置鎖定主軸。某些機床主軸可能無法牢固鎖定，如果用手抓住主軸旋轉(zhuǎn)能轉(zhuǎn)動主軸，則必須將磁性基座安裝在與主軸相連但不發(fā)生旋轉(zhuǎn)的部件上。將6-D傳感單元安裝到適配器上，并使其上的兩個窗口面向激光并平行于激光頭上的窗口。通過目測調(diào)整傳感單元窗口和激光頭窗口的高度齊平，從而使這兩個部件的下窗口中心連線與X軸平行。這些操作應在機床位于最小行程位置時目測調(diào)節(jié)實現(xiàn)。最好先實際驗證一下機床處于最小行程時，激光頭和6-D傳感單元的相對位置關(guān)系。這樣可以避免二者可能發(fā)生的碰撞。轉(zhuǎn)動傳感單元的圓形旋轉(zhuǎn)蓋，使小反射鏡恰好位于旋轉(zhuǎn)中心的正下方。打開激光衰減器，移動主軸使激光束的紅點恰好打在旋轉(zhuǎn)蓋的小反射鏡上。5、當沿垂直軸測量時，6-D傳感單元的安裝適配器必須旋轉(zhuǎn)到90°位置并固定到機床主軸上，在適當位置鎖定機床主軸。參閱2.4.3節(jié)中的內(nèi)容安裝轉(zhuǎn)向鏡并進對準。2.4.3 轉(zhuǎn)向鏡安裝步驟1、轉(zhuǎn)向鏡是用來使光束偏轉(zhuǎn)一定角度，用于下述的一種或多種情況：(1) 在測量X軸后繼續(xù)測量Y軸或Z