真空鍍膜操作規(guī)程

1、真空鍍膜操作規(guī)程準(zhǔn)備：1、開啟設(shè)備總電源，穩(wěn)壓器，確認(rèn)三相供電電壓正常：370440V；2、開啟電容補(bǔ)償器；3、確認(rèn)水池冷卻水水量充足（見浮標(biāo)尺）打開循環(huán)水泵；4、根據(jù)工藝要求， 確定是否需要啟動(dòng)冷水機(jī)以及啟動(dòng)幾臺冷水 機(jī)；啟動(dòng)前應(yīng)確認(rèn)冷水機(jī)入口水壓 -3kg ，內(nèi)部增壓泵旋轉(zhuǎn)正常， 可采用自動(dòng)或手動(dòng)方式啟動(dòng)；5、確認(rèn)各部分冷卻水循環(huán)系統(tǒng)完好， 確認(rèn)擴(kuò)散泵循環(huán)水工作正常，緊急冷卻系統(tǒng)準(zhǔn)備就緒；6、確認(rèn)工藝氣體氣壓不低于 20 個(gè)大氣壓7、裝基膜：A 、 領(lǐng)膜：鍍膜工按生產(chǎn)任務(wù)單要求，從凈化室中領(lǐng)到基膜 時(shí)，應(yīng)立即檢查該膜是否合格，有無花紋、斑點(diǎn)、劃傷、污 跡，收卷是否整齊等直接觀測到的問題，如

2、有應(yīng)立即向生產(chǎn) 主管報(bào)告，以決定是否采用；B、裝軸：操作時(shí)必須帶手套，將合格的基膜放在專用膜托 架上，取一對尺寸相同的軸安裝好，安裝時(shí)請注意膜的正反 面，確認(rèn)一切準(zhǔn)備就緒了， 即可吊裝。 吊裝時(shí)必須輕拿輕放， 嚴(yán)禁碰撞，必須保持基膜水平，以免膜打滑引起螺紋狀；C、裝膜：確認(rèn)冷輥無冷凝水后，即可裝膜，裝膜時(shí)不要對 著膜講話，以保持膜面干凈。注意不要碰透過率分析儀的探 頭，裝膜時(shí)應(yīng)保證膜在冷輥的中心；D、按任務(wù)書車速要求設(shè)置鍍膜速度、張力；E、試卷：引膜完成后，手動(dòng)預(yù)卷幾圈 ，打開張力控制器， 啟動(dòng)冷輥、收卷、卷膜（其中ITO膜卷1 2m,前檔膜和建 筑膜卷20m ）。仔細(xì)觀察膜是否走正，啟動(dòng)是否

3、容易，冷輥 是否與膜同步，走速是否平穩(wěn)，膜是否變形、起皺、劃傷等 等，并及時(shí)處置，最后用記號筆在放料端畫起始標(biāo)志線；8、按生產(chǎn)任務(wù)書要求確認(rèn)各靶位、布?xì)庀到y(tǒng)、電源配置正確，靶材量充足，確認(rèn)無其他物品遺忘在真空室內(nèi)或小車上，關(guān)閉 真空室； 抽真空1、擴(kuò)散泵預(yù)加熱（約需 40 分鐘）：啟動(dòng)維持泵，確認(rèn)運(yùn)轉(zhuǎn)正 常后，打開維持閥（燈亮），逐一打開擴(kuò)散泵；2、低抽：確認(rèn)真空室門已關(guān)閉啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，進(jìn)入鍍膜系統(tǒng)監(jiān) 控程序，充氣閥關(guān)閉，啟動(dòng)機(jī)械泵（ 1 、 2），確認(rèn)機(jī)械泵正常運(yùn) 行后，開預(yù)抽閥， 五分鐘后打開復(fù)合真空計(jì)， 打開羅茨泵開關(guān)，（當(dāng)真空達(dá)到 1500Pa 時(shí)，羅茨泵允許信號燈（紅燈）亮，再延遲 2

4、5 秒后，羅茨泵自動(dòng)啟動(dòng)）；3、高抽：當(dāng)羅茨泵啟動(dòng)五分鐘后，打開熱偶真空計(jì)，當(dāng)真空度達(dá) 到 5Pa 時(shí)，開高閥允許信號燈（紅燈）亮，此時(shí)確認(rèn)擴(kuò)散泵預(yù) 熱已完成（加熱 40 分鐘或油窗油面達(dá)到規(guī)定位置 情況下）， 關(guān)閉預(yù)抽閥，依次打開各前級閥，關(guān)維持閥、關(guān)維持泵。依次 打開各路高閥，確認(rèn)到位開關(guān)燈亮， 開始高抽。真空度進(jìn)入 10-2Pa 后，打開電離真空計(jì)測量高真空，直到工藝規(guī)定的背景真空， 真空進(jìn)入6x10-3Pa后，打開靶電源總開關(guān)及透過率分析儀預(yù)熱， 與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)完成通訊連接；三、鍍膜：1、確認(rèn)已達(dá)背景真空，關(guān)閉電離真空計(jì)，打開冷輥、隔離槽、 靶電源、冷卻水，確認(rèn)工作正常；2、打開所需各路

5、供氣電磁閥，抽取殘留雜質(zhì)氣體，確認(rèn) 到達(dá)背景真空，按工藝要求設(shè)置各路氣體流量，打開總氣閥、 減壓閥、 氣體控制器開關(guān)， 用中真空計(jì)觀察工藝氣體總壓， 穩(wěn) 定后進(jìn)行透過率分析儀初始化整定（此時(shí)需關(guān)閉真空室照明 燈）；3、鍍膜：啟動(dòng)傳動(dòng)系統(tǒng)， 確認(rèn)收放卷工作正常， 按靶 1靶 5 依次設(shè)置各 靶鍍膜功率，關(guān)照明燈，觀察記錄透過率變化情況，開照明燈， 觀察鍍膜后剩余反射光、外觀、顏色、質(zhì)量是否符合工藝要求， 在穩(wěn)定工作的情況下，做好工藝記錄，不斷巡查設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，合理處置各種隨機(jī)問題，鍍膜結(jié)束時(shí)，依次關(guān)閉傳動(dòng)、靶電源， 工藝氣體、冷卻水、（擴(kuò)散泵水除外），依次關(guān)閉各路高閥， 啟動(dòng)維持泵，開維持閥，依次關(guān)各路前級閥、羅茨泵、機(jī)械泵、 各真空測量儀，對冷輥升溫，如不繼續(xù)鍍膜，關(guān)閉擴(kuò)散泵，保 持冷卻水，降溫 3 小時(shí)后，關(guān)維持閥和維持泵；四、恢復(fù)大氣壓力：確認(rèn)冷輥高于露點(diǎn)溫度后，打開充氣閥，充氣完成后，打開真 空室門；五、質(zhì)量檢驗(yàn)：在收卷一側(cè)壓緊輥處用記號筆標(biāo)記鍍膜終止位置橫 線，對鍍膜質(zhì)量進(jìn)行必要的觀測檢驗(yàn)記錄；六、卸膜：將鍍膜剩余引膜收卷完畢，用吊車小心將成品膜吊裝到專用托 架上，送交凈化室；七、分卷、分切、入庫保存；八、包裝、出庫、運(yùn)輸；九、特別提示：當(dāng)