無(wú)塵室驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)及程序

1、1帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司 無(wú)塵室驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)及程序2帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司 大綱大綱壹壹. 測(cè)試驗(yàn)證說(shuō)明測(cè)試驗(yàn)證說(shuō)明貳貳. 測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備一覽表測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備一覽表參參. 測(cè)試驗(yàn)證步驟說(shuō)明測(cè)試驗(yàn)證步驟說(shuō)明肆肆. 測(cè)試驗(yàn)證方法與程序測(cè)試驗(yàn)證方法與程序3帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司 壹、測(cè)試驗(yàn)證說(shuō)明壹、測(cè)試驗(yàn)證說(shuō)明無(wú)塵室驗(yàn)收測(cè)試規(guī)範(fàn)依據(jù)如下：ISO-14644: 世界標(biāo)準(zhǔn)組織制定無(wú)塵室測(cè)試之標(biāo)

2、準(zhǔn)規(guī)範(fàn)NEBB: 美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡協(xié)會(huì)所制定無(wú)塵室測(cè)試之標(biāo)準(zhǔn)規(guī)範(fàn) 無(wú)塵室測(cè)試分三階段: 第一階段第一階段 As Built 第二階段 At Rest (由吉威配合業(yè)主部份需求點(diǎn)進(jìn)行抽測(cè)) 第三階段 Operation (由吉威配合業(yè)主部份需求點(diǎn)進(jìn)行抽測(cè))4帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司nAs BuiltAs Built潔淨(jìng)室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備未搬入之狀態(tài)nAt RestAt Rest潔淨(jìng)室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備已搬入但未運(yùn)轉(zhuǎn)之狀態(tài)nOn OperationOn Operation潔淨(jìng)室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備已搬入且運(yùn)轉(zhuǎn)之狀態(tài) 測(cè)試前空調(diào)

3、系統(tǒng)應(yīng)已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡，並已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)測(cè)試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡，並已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)4848小時(shí)以上小時(shí)以上. .5帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司無(wú)塵室測(cè)試驗(yàn)證項(xiàng)目無(wú)塵室測(cè)試驗(yàn)證項(xiàng)目1. 1. 濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)試濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)試 (Air flow velocity testing)(Air flow velocity testing)2. 2. 濾網(wǎng)洩漏測(cè)試濾網(wǎng)洩漏測(cè)試 (Filter leakage testing)(Filter leakage testing)3. 3. 無(wú)塵室內(nèi)溫溼度測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)溫溼度測(cè)試 (Tempe

4、rature & Humidity testing)(Temperature & Humidity testing)4. 4. 無(wú)塵室內(nèi)壓差測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)壓差測(cè)試 (Room pressurization testing)(Room pressurization testing)5. 5. 無(wú)塵室內(nèi)噪音測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)噪音測(cè)試 (Noise level testing)(Noise level testing)6. 6. 無(wú)塵室內(nèi)照度測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)照度測(cè)試 (Lighting level testing)(Lighting level testing)7. 7. 無(wú)塵室內(nèi)環(huán)境微粒子測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)環(huán)境微粒

5、子測(cè)試 (Air Particle counts)(Air Particle counts)8 8. . 無(wú)塵室內(nèi)地板靜電測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)地板靜電測(cè)試 (Floor Conductivity testing)(Floor Conductivity testing)6帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司貳貳. . 測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備一覽表測(cè)試驗(yàn)證設(shè)備一覽表NoTest DescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark1Airflow Velocity TestShortridg

6、e Electronic MicromanometerADM-870M98801+/-3% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870CM97311+/-3% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870M89721+/-3% of reading2Filter Installation Leak TestPMS Aerosol Particle CounterLasair-11035235-0696-4125% coincidence losePMS Aerosol

7、Particle CounterLasair-110150575% coincidence losePMS Aerosol Particle CounterLasair-11036634-0697-5845% coincidence lose3Airborne Particle Count Test PMS Aerosol Particle CounterLasairII-310A447345% coincidence losePMS Aerosol Particle CounterLasairII-310A363335% coincidence lose4Room Pressurizatio

8、n Test Shortridge Electronic MicromanometerADM-870CM04850+/-2% of readingShortridge Electronic MicromanometerADM-870CM89721+/-2% of reading7帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司NoTest DescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracy Remark5Temperature & Relative Humidity TestTesto Da

9、ta LogerTesto 175-H220063921/507Temperature: +/- 0.10C R/H: +/- 3%Testo Data LogerTesto 175-H220063695/507Temperature: +/- 0.10C R/H: +/- 4%6Sound Pressure Level TestSound Level MeterRION NL-2100443361IEC/ CDV 61572-1 Class 27Light Intensity Level TestHioki Light Intensity Level Meter34230834380 +/-

10、 4% of reading, +/- 1 digit8Floor Conductivity Test3M megaohmmeter702346016+/-2% of reading8帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司參、測(cè)試驗(yàn)證步驟說(shuō)明參、測(cè)試驗(yàn)證步驟說(shuō)明 測(cè)試前準(zhǔn)備工作測(cè)試前準(zhǔn)備工作: :v竣工圖面與點(diǎn)數(shù)確認(rèn)v備妥測(cè)試程序計(jì)劃及依據(jù)規(guī)範(fàn)之標(biāo)準(zhǔn).v測(cè)試前無(wú)塵室空調(diào)系統(tǒng)已完成,並已持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)48小時(shí)以上.v測(cè)試進(jìn)行當(dāng)中,業(yè)主需派人或代表在現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)工以表測(cè)試結(jié)果認(rèn)同.9帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公

11、司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司肆肆. . 測(cè)試驗(yàn)證方法與程序測(cè)試驗(yàn)證方法與程序一一. .濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)試濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)試 (Air flow velocity testing): As Built(Air flow velocity testing): As Built目的目的判定潔凈室過(guò)濾器(ULPA/HEPA filter)的風(fēng)速規(guī)格規(guī)格對(duì)于每個(gè)2X4過(guò)濾器, 距離其表面150MM處均勻取2個(gè)讀數(shù)對(duì)于每個(gè)4X4過(guò)濾器, 距離其表面150MM處均勻取4個(gè)讀數(shù)平均風(fēng)速：0.45 m/s 20%測(cè)試狀態(tài)：空態(tài)10帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司

12、方法方法參照：IES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing CleanroomsIES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing Cleanrooms NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 5.)(Chapter 5.)n每個(gè)過(guò)濾器分成兩個(gè)或四個(gè)測(cè)試格.n裝置好儀表和十字支架并調(diào)整好

13、儀表的內(nèi)部設(shè)定.n十字支架尺寸為14X14，測(cè)試時(shí)把支架放在過(guò)濾器中間的位 置，接觸在過(guò)濾器的表面并且和過(guò)濾器邊緣保持平行.4. 讀取和記錄每個(gè)格子的數(shù)據(jù).11帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司二二. .濾網(wǎng)洩漏測(cè)試濾網(wǎng)洩漏測(cè)試 (Filter leakage testing): As Built(Filter leakage testing): As Built 目的目的查證過(guò)濾器的安裝瑕疵 (FILTER外緣和Ceiling Grid之間) 而且確定過(guò)濾器是否在安裝中因過(guò)失產(chǎn)生小的漏洞.規(guī)格規(guī)格測(cè)試狀態(tài)： 空態(tài)1.沒(méi)有額外的塵粒

14、在被測(cè)試的過(guò)濾器的上游。2.在ULPA/HEPA 過(guò)濾器下游0.1微米粒子檢測(cè)后不能多于1 個(gè).3.對(duì)于每個(gè)過(guò)濾器，任何再修理過(guò)的表面不能超過(guò) 0.5 sq. 英寸.12帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法參照：IES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing CleanroomIES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified of C

15、leanroom (Chapter 6.) NEBB Procedural Standard for Certified of Cleanroom (Chapter 6.) 1.過(guò)濾器表面風(fēng)速確保是在設(shè)計(jì)范圍以內(nèi). 2.取上游氣流，塵粒的尺寸在0.1 微米以上. 3.激光粒子計(jì)數(shù)器以 0.1 微米及以上 通道測(cè)試過(guò)濾器檢漏，采樣量為1 ft3/min. 4.用粒子計(jì)數(shù)器的探頭掃描過(guò)濾器，探頭選擇可獲取均勻采樣量的尺寸, 掃描速度5cm/s. 濾網(wǎng)(filter)掃瞄路徑13帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司n采樣頭離過(guò)濾器之間的距離

16、為1英寸，看是否有探測(cè)到多于1 個(gè)粒子在來(lái)源于同一個(gè)地方.6. 所有已確定或是懷疑的過(guò)濾器做一下記錄，在補(bǔ)救及整改之后重新再測(cè)一次。當(dāng)過(guò)濾器無(wú)法修補(bǔ)或更換,記錄下來(lái)并反映重新替換.14帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司三三. .無(wú)塵室內(nèi)溫溼度測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)溫溼度測(cè)試 (Temperature & Humidity testing): As Built(Temperature & Humidity testing): As Built目的目的 判定潔凈室HVAC系統(tǒng)容量是否能將潔凈室內(nèi)的 溫度和相對(duì)濕度維持在指定的范圍內(nèi).規(guī)格規(guī)格22

17、oC +/- 2 55% +/- 5% 測(cè)試狀態(tài)：空態(tài)15帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法參照參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom :NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 10.)(Chapter 10.)1.測(cè)試之前所有氣流平衡已經(jīng)成功完成.2.測(cè)試開始前空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行至少24小時(shí)以上.3.每個(gè)溫控區(qū)測(cè)試一個(gè)測(cè)試點(diǎn),每個(gè)房間至少一個(gè)測(cè)

18、試點(diǎn).4.潔凈室測(cè)試表格分成不大于9平方米.5.溫度連同濕度傳感器置于測(cè)試格中央，距地板的1米的位置.6.如果測(cè)試位置有障礙物, 可選擇位于阻礙物上的6英尺處, 并避免潔凈室入口位置進(jìn)行測(cè)試7.每次測(cè)量時(shí)間為10分鐘.8.采集所有讀數(shù)并記錄.16帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司四四. .無(wú)塵室內(nèi)壓差測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)壓差測(cè)試 (Room pressurization testing): As Built (Room pressurization testing): As Built 目的目的 判定潔凈室系統(tǒng)的性能，使?jié)崈羰冶３种付ǖ膲翰?/p>

19、。規(guī)格規(guī)格壓力差別： 依原設(shè)計(jì)各分區(qū)對(duì)外壓差測(cè)試狀態(tài)： 空態(tài)17帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法：參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 8.)(Chapter 8.)1.測(cè)試之前所有氣流平衡已經(jīng)成功完成.2.在此測(cè)試期間,潔凈室相鄰的門都是關(guān)閉的.3.測(cè)量和記下兩個(gè)潔凈室之間的壓力差別.18帆宣系統(tǒng)科

20、技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司五五. .無(wú)塵室內(nèi)噪音測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)噪音測(cè)試 (Noise level testing): As Built(Noise level testing): As Built目的目的 測(cè)量潔凈室里的機(jī)械和電力系統(tǒng)所產(chǎn)生的噪聲規(guī)格規(guī)格平均噪聲：= NC 65測(cè)試狀態(tài)：空態(tài)19帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter

21、 9.)1.測(cè)試之前所有氣流平衡已經(jīng)完成.2.在讀取讀數(shù)之前所有的風(fēng)機(jī)單元和空調(diào)設(shè)備均已開啟.3.潔凈室每個(gè)測(cè)試格不大于40平方米.4.噪聲儀距地板以上1米的位置, 同時(shí)探頭指向運(yùn)行的設(shè)備.5.噪音儀測(cè)試單位NC,在每個(gè)測(cè)試點(diǎn)讀取數(shù)據(jù).6.如果測(cè)試位置有障礙物, 可選擇位于阻礙物上的6英尺處, 并於避免潔凈室入口位置進(jìn)行測(cè)試.7.用算術(shù)的方法來(lái)計(jì)算房間的平均噪聲數(shù)據(jù).n20帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司六六. .無(wú)塵室內(nèi)照度測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)照度測(cè)試 (Lighting level testing): As Built(Lightin

22、g level testing): As Built目的目的在潔凈室內(nèi)工作高度位置的光照度 規(guī)格規(guī)格平均光照度: 依原設(shè)計(jì)規(guī)範(fàn)需求測(cè)試狀態(tài)：空態(tài)21帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 11.)(Chapter 11.)1.所有的熒光燈開過(guò)至少在100小時(shí).2.在測(cè)試前

23、確保照明燈開著至少在2小時(shí)以上.3.潔凈室每個(gè)測(cè)試格不大于25平方米.4.光照儀表在測(cè)試格中央，距地板上1米的位置.5.如果測(cè)試位置有障礙物, 可選擇位于阻礙物上的6英尺處, 并避免潔凈室入口位置進(jìn)行測(cè)試.6.采集所有讀數(shù)并記錄.22帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司七七. .無(wú)塵室內(nèi)環(huán)境微粒子測(cè)試無(wú)塵室內(nèi)環(huán)境微粒子測(cè)試 (Air Particle counts): As Built(Air Particle counts): As Built 目的目的用于檢查或驗(yàn)證潔凈室是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求的潔凈等級(jí)規(guī)格規(guī)格測(cè)試狀態(tài)：空態(tài)23帆宣系統(tǒng)

24、科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司方法方法參考： ISO 14644-1/2ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 1.在測(cè)試前潔凈室至少凈化12小時(shí)以上.2.潔凈室的測(cè)試格以不少于總面積開平方根的數(shù)量來(lái)均勻劃分。3.取樣量為每分鐘1個(gè)立方英尺,取樣時(shí)間為一分鐘。4.在每個(gè)點(diǎn)的中心最小取一分鐘，高度在1米左右.5.當(dāng)

25、有障礙物時(shí)采樣點(diǎn)放在障礙物12 英寸上面.24帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司ISO 14644-1 & Federal Standard 209E 潔淨(jìng)等級(jí)比較表潔淨(jìng)等級(jí)比較表Federal Standard 209EISO 14644-1FS Class ISO Class-1-2 13 104 1005 1,0006 10,0007 100,000825帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司吉威電子系統(tǒng)工程有限公司ISOClassification Maximum Concentration limits (particles/m for air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below.0.1m0.2m0.3m0.5m1