ESD基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)教材-OFILM201304

1、ESD Basic Knowledge TrainingESD防護(hù)根底知識(shí)培訓(xùn)1 隨著IT業(yè)的突飛猛進(jìn),特別是電子信息化和微電子迅速開(kāi)展.元件線路越來(lái)越精細(xì),功耗越來(lái)越低.精細(xì)和低功耗的微結(jié)構(gòu)對(duì)ESD承受力越來(lái)越差,對(duì)工藝控制提出新的要求.前言120608050603040202012第一章 靜電的定義和產(chǎn)生途徑?第三章 EPA區(qū)域根本要求。第四章 個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法。第五章 異常處理和報(bào)告流程。第二章 ESD定義和ESD的危害。課程大綱：3靜電的定義能長(zhǎng)時(shí)間停留在某一對(duì)象上相對(duì)靜止的電荷特點(diǎn)： 單極性-正電荷或負(fù)電荷 分布不均勻。通常邊角靜電更大 45靜電產(chǎn)生的第一種途徑:摩擦帶電+4-

2、4Net=0+3-3Net=0+4-3Net=+1+3-4Net=-1摩擦帶電產(chǎn)生原理:接觸摩擦接觸別離5靜電產(chǎn)生的第二種途徑:接觸帶電接觸帶電過(guò)程接觸帶電特點(diǎn): - 帶電絕緣體僅能小面積釋放電荷 - 帶電導(dǎo)體能釋放大量的電荷給另一 個(gè)導(dǎo)體帶電絕緣體未接地導(dǎo)體6靜電產(chǎn)生的第三種途徑:感應(yīng)帶電-發(fā)生于帶電體接近導(dǎo)體時(shí): -帶電的物體(如絕緣物體或CRT顯示器)吸引導(dǎo)體中的電子 -導(dǎo)體內(nèi)的局部電荷分布不均勻7ESD定義 ESD (Electrostatic Discharge-靜電放電) , 它指的是靜電電荷在兩個(gè)不同電勢(shì)物體上快速轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象.靜電電荷快速轉(zhuǎn)移到另一對(duì)象上.8靜電放電三種模型:人體

3、放電模型-HBM機(jī)器模型-MM帶電器件模型-CDM說(shuō)明：類似于人體指尖對(duì)器件放電,放電路徑從人體到敏感器件說(shuō)明：模擬設(shè)備金屬局部帶電后對(duì)敏感器件放電,由于放電電阻要比人體模型小許多,因此破壞性更大說(shuō)明：由于器件本身帶電,在接觸低電勢(shì)時(shí),器件內(nèi)電荷快速轉(zhuǎn)移到接觸面0.067:1.75:0.9960 75%EOS / ESD其他30 50%EOS / ESD8 33%ESD alone損失是巨大的！歐洲調(diào)查數(shù)據(jù)其他其他美國(guó)ESD協(xié)會(huì)調(diào)查數(shù)據(jù)日本調(diào)查數(shù)據(jù)ESD對(duì)電子業(yè)造成的損失10ESD損傷類型:1.完全損壞:元器件功能完全失效,介質(zhì)層被擊穿.引腳電阻呈現(xiàn)短路或開(kāi)路,電磁質(zhì)性能反轉(zhuǎn).2.局部損壞(也

4、稱潛在損傷):電性能參數(shù)弱化,介質(zhì)層局部被破壞.元件多數(shù)在老化工序或用戶使用一段時(shí)間后失效.11局部損壞的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)逐級(jí)放大價(jià)值$5元器件在IC廠發(fā)生ESD局部損壞,由于元器件只是局部ESD損傷,在后續(xù)工序檢測(cè)中不易發(fā)現(xiàn),被組裝到一臺(tái)設(shè)備中導(dǎo)致故障損失可能是$500012導(dǎo)入ESD防護(hù)的效益:3.滿足客戶要求,提高市場(chǎng)分額。1.提高產(chǎn)品的質(zhì)量,降低不良率.2.保證產(chǎn)品的可靠性.13EPA區(qū)域根本要求IQCInspectManufacture ProcessESDSWarehouseOQCInspect在靜電敏感元器件的檢查,存儲(chǔ)和制造過(guò)程設(shè)置靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）并進(jìn)行標(biāo)示識(shí)別.14EPA區(qū)域應(yīng)在

5、入口地方或EPA區(qū)域明顯地方張貼懸掛ESD警示標(biāo)示和ESD防護(hù)區(qū)域標(biāo)示151.人員進(jìn)入EPA區(qū)域前,應(yīng)在入口處檢測(cè)手腕帶或鞋人體綜合電阻,檢測(cè)合格后再進(jìn)入。162.上班前點(diǎn)檢工作區(qū)域的接地連接,坐著作業(yè)前需使用手腕帶與接地系統(tǒng)連接。173.配備離子風(fēng)機(jī)工位應(yīng)檢查離子風(fēng)機(jī)正常開(kāi)啟,并對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品或作業(yè)區(qū)域。184.所有不必要的絕緣物品如飲料杯,食品包裝袋及個(gè)人物品應(yīng)該從EPA工作臺(tái)去除。195.必要的輔料,物品劃定一個(gè)區(qū)域定位存放,與靜電敏感器件保持30cm以上距離。記錄表放置區(qū)輔料放置區(qū)作業(yè)區(qū)206.EPA工具,治具等絕緣塑料外殼應(yīng)定期使用靜電噴涂液噴涂,做消靜電處理。217.靜電敏感器件應(yīng)防止雜亂堆放或直接放在金屬臺(tái)面或紙板上,應(yīng)使用防靜電托盤(pán)定量定位存放。228.靜電敏感器件沒(méi)有防靜電材料覆蓋或屏蔽包裝的,需在EPA區(qū)域內(nèi)作業(yè)或存放,在非EPA作業(yè)區(qū)域禁止隨意取拿。239.工序負(fù)責(zé)人按要求定時(shí)點(diǎn)檢環(huán)境溫濕度并記錄,繪制溫濕度走勢(shì)圖,異常及時(shí)通知相關(guān)人員調(diào)整。2410.工作人員進(jìn)入EPA區(qū)域前需接受ESD防護(hù)知識(shí)培訓(xùn),沒(méi)有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)需進(jìn)入EPA的人員,要求由受培訓(xùn)過(guò)的人員陪同。25個(gè)人防靜電裝備檢測(cè)方法Step1: 穿防靜電鞋,佩戴手腕帶Step2:人站在腳印踏板上,手腕帶插入測(cè)試儀器插孔Step3: 手按測(cè)試按鈕金屬板,觀察左側(cè)三個(gè)指示燈亮綠燈即測(cè)試 “Pass26人員靜電防護(hù)