固體探測(cè)器和氣體探測(cè)器介紹與應(yīng)用

1、固體探測(cè)器和氣體探測(cè)器介紹與應(yīng)用主 要 內(nèi) 容9.1 概述9.2 固體探測(cè)器9.3 氣體探測(cè)器123重要：反應(yīng)堆的功率正比于單位時(shí)間的核裂變率，測(cè)量中子注量率可知反應(yīng)堆功率。概念：中子注量率是指空間一定點(diǎn)上，單位時(shí)間內(nèi)接受到的不論以任何方向進(jìn)入以該點(diǎn)為中心的小球體的中子數(shù)目除以該球體的最大截面積所得的商，單位是 換句話說是，在單位時(shí)間內(nèi)進(jìn)入單位表面積的球內(nèi)或穿過單位截面積的中子數(shù)。中子注量率也稱為中子通量。 9.1 概述 中子注量率測(cè)量的分類：堆內(nèi)中子注量率測(cè)量：中子注量率大于定期監(jiān)測(cè)，提供堆芯功率分布信息，校準(zhǔn)堆外核儀表。堆外中子注量率測(cè)量：中子注量率小于連續(xù)監(jiān)測(cè)，測(cè)得的信號(hào)用于核電廠的控制

2、和保護(hù)。核探測(cè)器：把正比于核功率的中子注量率信號(hào)轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的敏感元件。分為固體探測(cè)器和氣體探測(cè)器兩類。固體探測(cè)器：利用輻射與固體的相互作用來進(jìn)行輻 射測(cè)量的探測(cè)器。閃爍計(jì)數(shù)管：用于劑量監(jiān)測(cè)自給能探測(cè)器：測(cè)反應(yīng)堆中子注量率。 秦山三期的堆內(nèi)測(cè)量9.1 固體探測(cè)器在輻射場(chǎng)中，由于物質(zhì)和輻射場(chǎng)的相互作用，任何物體都可能發(fā)射和吸收荷電粒子而帶電。物體帶電的情況與材料及其幾何結(jié)構(gòu)有關(guān)，置于輻射場(chǎng)中的兩種相互絕緣的導(dǎo)體或半導(dǎo)體，由于帶電情況和程度不同，它們之間就產(chǎn)生了電勢(shì)差，用導(dǎo)線連接它們，則導(dǎo)線中就有電流流過，它的大小和變化反映出輻射場(chǎng)的特性和變化。自給能探測(cè)器的基本工作原理探測(cè)器處于輻射場(chǎng)中，發(fā)射體

3、和收集體在入射中子的作用下會(huì)發(fā)射和吸收荷電粒子而帶電，這樣在它們之間就產(chǎn)生了電勢(shì)差，用導(dǎo)線連接它們，導(dǎo)線中有電流流過，電流的大小和變化反映了輻射場(chǎng)的特性和變化。因?yàn)榘l(fā)射體的電流直接被測(cè)量，不需要對(duì)探測(cè)器外加偏壓，所以稱為“自給能”探測(cè)器。測(cè)量方式：1、測(cè)充電電極之間的電勢(shì)差劑量?jī)x表2、測(cè)流過的電流通量測(cè)量9.2.2 結(jié)構(gòu)發(fā)射體：中心電極，由中子靈敏材料制成，是探測(cè)器的核心部分，決定 探測(cè)器的物理特性。收集體：探測(cè)器的外殼。由對(duì)中子不靈敏的材料制成，厚毫米。絕緣體：收集體和發(fā)射體之間，用無機(jī)絕緣材料制成。厚毫米。電纜： 傳遞信號(hào)，一端與探測(cè)器連接，處于相同的強(qiáng)輻射場(chǎng)中。采用 金屬屏蔽無機(jī)絕緣金屬

4、芯線同軸電纜。外徑一般是1-3毫米，長(zhǎng)度根據(jù)需要從幾厘米到幾米。9.2.3 種類9.2.3.1 內(nèi)轉(zhuǎn)換自給能探測(cè)器（快響應(yīng)自給能中子探測(cè)器、鉑自給能 中子探測(cè)器）結(jié)構(gòu)：發(fā)射體：鉑、鈷、鈧、鎘等材料 絕緣體：氧化鎂 收集體：不銹鋼 外徑毫米 電纜：同軸電纜 外徑毫米原理：發(fā)射體原子核俘獲中子形成激發(fā)態(tài)的復(fù)合核，復(fù)合核在退激過程中輻射 射線， 射線與探測(cè)器通過康普頓散射、光電效應(yīng)及產(chǎn)生電子對(duì)等相互作用，轉(zhuǎn)換為荷能電子，這些電子的發(fā)射，形成了正比于中子注量率的電流，測(cè)電流可知中子注量率。9.2.3.2 流自給能探測(cè)器 結(jié)構(gòu)：發(fā)射體：釩、銠、銀 絕緣體：氧化鎂 收集體：不銹鋼 電纜： 同軸電纜 外徑毫

5、米原理：發(fā)射體材料俘獲中子后形成短壽命的 放射性同位素，活化了發(fā)射體在 衰變過程中發(fā)射高能電子流，平衡時(shí)，電極間的電子流形成正比于中子注量率的電流，測(cè)電流知中子注量率。、結(jié)構(gòu)加速電壓電極（高壓電極）、收集電極、電極間充以氣體、探測(cè)器內(nèi)壁涂層物質(zhì)、絕緣體及支撐結(jié)構(gòu)。9.3 氣體探測(cè)器、測(cè)量原理： 入射中子作用于探測(cè)器，與內(nèi)涂層物質(zhì)相互作用，產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在運(yùn)動(dòng)中使所充氣體電離，產(chǎn)生正負(fù)離子，在外加電場(chǎng)作用下，該離子對(duì)向兩級(jí)運(yùn)動(dòng)，形成正比于入射中子的電信號(hào)輸出。常用的中子探測(cè)器是基于 反應(yīng)。 輸出有脈沖信號(hào)，也有電流信號(hào)，通過電纜輸送到二次儀表顯示。正負(fù)離子對(duì)在外加電場(chǎng)的作用下做定向運(yùn)動(dòng)，

6、正極收集到的電子數(shù)目隨外加電壓的數(shù)值而變化。：復(fù)合區(qū)， 中有部分 因復(fù)合而消失。：飽和區(qū)，電離室工作區(qū)。 =: 正比區(qū)，正比計(jì)數(shù)管選擇的工作 區(qū)。 / =M常數(shù)。M不隨 變。：有限正比區(qū),M與 的大小有關(guān) 系， 比較大時(shí)M比較小， 與 的正比關(guān)系受限。：G-M區(qū)，是G-M計(jì)數(shù)管工作區(qū)， 定值，與 無關(guān)。 :電極收集到的離子對(duì)數(shù)目 :帶電粒子產(chǎn)生的總的離子對(duì)數(shù)目9.3.3 氣體探測(cè)器的輸出與外加電壓的關(guān)系9.3.4 坪特性探測(cè)器工作在飽和區(qū)時(shí)，探測(cè)器有一段坪區(qū).坪曲線：所測(cè)中子通量不變，探測(cè)器輸出隨外加電壓變化的曲線。坪：坪曲線上輸出不隨電壓變化的一段，長(zhǎng)度稱坪長(zhǎng)。斜率稱坪斜。 起始電壓，當(dāng)電極

7、電壓V超過 時(shí)，探測(cè)器開始輸出。 后，隨V的增加，探測(cè)器輸出也迅速增加。當(dāng) 時(shí)，隨著V的增加，輸出變化不大，此區(qū)間稱為坪區(qū)。坪長(zhǎng)和坪斜的公式：好的探測(cè)器要有較寬的坪。100-300V，坪斜每100V不大于5%。探測(cè)器應(yīng)工作在坪區(qū)，工作電壓應(yīng)選在坪區(qū)內(nèi)靠近 的范圍內(nèi)。9.3.5 大亞灣核電站中子通量測(cè)量9.3.5.1 堆內(nèi)中子通量測(cè)量一、功用 中子通量測(cè)量數(shù)據(jù)分兩組并行輸送給紙帶圖形記錄儀和集中數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)KIT存盤，存盤數(shù)據(jù)再由大容量計(jì)算機(jī)進(jìn)行離線處理，輸往電站監(jiān)督計(jì)算機(jī)KAP，并由它處理和給出功率分布圖，以上信息用于啟堆期間和正常運(yùn)行期間。1、啟堆期間的用途檢查壽期開始時(shí)堆芯功率分布是否與設(shè)

8、計(jì)時(shí)期望的功率分布相符。檢查用于事故工況設(shè)計(jì)的熱點(diǎn)因子是否是保守的。校準(zhǔn)堆外測(cè)量?jī)x表的電離室。探測(cè)反應(yīng)堆在裝料中可能出現(xiàn)的差錯(cuò)。2、正常運(yùn)行時(shí)的用途檢查燃耗對(duì)應(yīng)的功率分布是否與設(shè)計(jì)期望的功率分布相符。檢查各燃料組件的燃耗。校準(zhǔn)堆外核儀表。探測(cè)堆芯有否偏離正常運(yùn)行。 堆芯中子通量測(cè)量，由50個(gè)通道組成，被分為5組，每組10個(gè)通道，每十個(gè)通道配備一只微型裂變室，共5只微型裂變室，各由一臺(tái)機(jī)械-電氣驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)。二、堆內(nèi)中子通量測(cè)量系統(tǒng)的組成測(cè)量通道內(nèi)插入指套管，探測(cè)器在指套管中移動(dòng)，達(dá)到在堆芯整個(gè)高度上逐點(diǎn)測(cè)量的目的。指套管：空心圓管。沿導(dǎo)向管插入測(cè)量通道，另一端在密封段處，換料時(shí)由測(cè)量通道抽出

9、。為探頭提高一個(gè)通路，并與一回路介質(zhì)隔離。導(dǎo)向管：一端焊在壓力容器下封頭的套管上，另一端焊在手動(dòng)隔離閥上。指套管和導(dǎo)向管的內(nèi)壁為一回路壓力邊界。手動(dòng)隔離閥：指套管抽出時(shí)它手動(dòng)關(guān)閉，達(dá)到主冷卻劑密封的目的。 三、堆內(nèi)中子通量測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)行驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將微型裂變室從起點(diǎn)沿置于導(dǎo)管內(nèi)的指形套管，以速度 插向堆芯底部，然后以低速 使微型裂變室上升至堆芯頂部，再以 的低速均勻下降，與此同時(shí)，通道測(cè)量電路測(cè)出微型裂變室的輸出電流。當(dāng)裂變室到達(dá)堆芯底部時(shí)，測(cè)量停止。這時(shí)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)再以 的高速，將裂變室抽回起點(diǎn)。接著再將裂變室插入第二個(gè)通道測(cè)量，直至測(cè)量完該組的十個(gè)通道為止。裂變室輸出的信號(hào)送電站計(jì)算機(jī)分析處理，從

10、而獲得堆芯徑向和軸向的通量分布和功率分布。反應(yīng)堆正常運(yùn)行期間，間斷工作，至少每30個(gè)等效滿功率天啟用一次，設(shè)計(jì)上最多每周使用一次。在啟堆物理試驗(yàn)期間，使用較頻繁。全部通道測(cè)量完畢，5個(gè)探測(cè)器均抽出，插入帶有生物屏蔽的保護(hù)孔道內(nèi)。四、微型裂變室1、結(jié)構(gòu) 由焊接端塞、同芯包殼、靈敏體組成。微型裂變室與導(dǎo)電-驅(qū)動(dòng)兩用的同軸電纜連接。 外徑毫米。長(zhǎng)66毫米，靈敏體長(zhǎng)27毫米。它的外殼、外電極以及與之相連的電纜的材料為不銹鋼，絕緣材料為氧化鋁。 靈敏體內(nèi)充有純度為99.9995%的氬氣，電極表面涂有一層厚度為 的二氧化鈾， 的豐度為93%2、測(cè)量原理熱中子射入微型裂變室靈敏體內(nèi)，打在涂有二氧化鈾的電極上

11、，使 核發(fā)生裂變。中的帶正電的裂變碎片使氬氣電離，產(chǎn)生電子-離子對(duì)，電子和正離子在外加電磁場(chǎng)作用下向兩級(jí)漂移而形成脈沖，脈沖疊加起來則形成電流。微型裂變室的輸出平均電流為 微型裂變室對(duì)熱中子的靈敏度 測(cè)量區(qū)的熱中子通量 3、特點(diǎn)靈敏度高于電離室。當(dāng)中子能量低時(shí)，輸出脈沖信號(hào)；當(dāng)中子能量高時(shí)輸出脈動(dòng)電流。適用于更高的 輻射場(chǎng)的中子探測(cè)。裂變碎片的射程很短，所以裂變材料涂層最厚不超過 ，為提高探測(cè)效率做成多層裂變室。裂變室測(cè)量中子通量一般用于由源量程向功率量程過渡范圍時(shí)的中子通量測(cè)量。9.3.5.2 堆外中子通量測(cè)量一、功用運(yùn)行功能和安全功能運(yùn)行功能：向操作員提供反應(yīng)堆裝料、停堆、啟動(dòng)直至功率運(yùn)行

12、各工況下的反應(yīng)堆狀態(tài)信息。為此，它設(shè)有多種量程的堆外核儀表，監(jiān)測(cè)反應(yīng)堆功率、功率變化及功率分布。它還給長(zhǎng)棒控制系統(tǒng)提供堆功率信號(hào)和閉鎖信號(hào)，向松動(dòng)部件和振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)提供中子噪聲信號(hào)。安全功能：向反應(yīng)堆保護(hù)系統(tǒng)提供多個(gè)緊急停堆信號(hào)和允許信號(hào)。二、測(cè)量系統(tǒng)的組成由探測(cè)器、測(cè)量?jī)x表和顯示設(shè)備三部分組成。1、探測(cè)器：共8個(gè)探測(cè)器。2個(gè)源量程探測(cè)器，2個(gè)中間量程探測(cè)器，4個(gè)功率量程探測(cè)器安放：探測(cè)器裝于兩種容器內(nèi)，容器置于反應(yīng)堆壓力容器外的儀表井內(nèi)。一個(gè)源量程和一個(gè)中間量程探測(cè)器同裝一個(gè)容器內(nèi)，外徑160毫米，高1953毫米。功率量程探測(cè)器裝于外徑180毫米，高3200毫米的容器內(nèi)。源量程探測(cè)器位于堆芯

13、下部四分之一線的高度，大約是源棒所在的高度，中間量程探測(cè)器位于堆芯中線的高度上。功率量程探測(cè)器共有6個(gè)敏感段，3個(gè)位于堆芯上部，3個(gè)位于堆芯下部。徑向看，源量程和中間量程探測(cè)器分為2對(duì)，分別位于90度和270度的方位上。4個(gè)功率量程探測(cè)器布置在4個(gè)象限上，保證可以探測(cè)到軸向和徑向功率不平衡情況。2、儀表柜：接受探測(cè)器的信號(hào)，放大處理后輸往顯示設(shè)備和其他相關(guān)系統(tǒng)。3、顯示設(shè)備：位于主控制室內(nèi)和應(yīng)急停堆盤上，操作員賴以進(jìn)行反應(yīng)堆的各項(xiàng)操作。三、堆外中子測(cè)量系統(tǒng)的原理1、儀表量程 核儀表系統(tǒng)測(cè)量中子通量最小 ，最大為 。為了覆蓋這11個(gè)數(shù)量級(jí)的測(cè)量范圍，采用了3種量程的探測(cè)器。源量程探測(cè)器：測(cè) 范圍

14、的中子通量。中間量程探測(cè)器：測(cè) 范圍的中子通量。功率量程探測(cè)器：測(cè) 范圍的中子通量。3種探測(cè)器的量程有一定的范圍重復(fù)，這是為了保證反應(yīng)堆從源水平到功率水平的整個(gè)范圍內(nèi)的控制和保護(hù)的連續(xù)性，讀數(shù)相互校核，信號(hào)相互連鎖。顯示儀表的量程源量程顯示儀表： （中子計(jì)數(shù)/秒）中間量程顯示儀表： （安培）功率量程顯示儀表： （滿功率的百分?jǐn)?shù)）2、源量程探測(cè)器涂硼正比計(jì)數(shù)管結(jié)構(gòu)：中心陽(yáng)極是直徑25微米的不銹鋼絲，圓筒形陰極是由高純鋁制成。陰極內(nèi)表面涂豐度為92%的硼，兩電極之間相互絕緣。計(jì)數(shù)管內(nèi)充以氬氣和少量的二氧化碳。核反應(yīng)產(chǎn)生的鋰離子和 離子使氬氣電離，產(chǎn)生電子和正離子對(duì)。在外電場(chǎng)的作用下，電子和正離子分

15、別向陽(yáng)極和陰極運(yùn)動(dòng)，形成電脈沖。 射線也產(chǎn)生電脈沖，但其幅值較小，可用甄別放大器將它和反應(yīng)堆內(nèi)其他的 射線產(chǎn)生的小幅度脈沖濾除，只放大 脈沖，從而得到只與中子通量成比例的計(jì)數(shù)。原理：入射中子與硼發(fā)生核反應(yīng)3、中間量程探測(cè)器 補(bǔ)償電離室 電離室所處的工作場(chǎng)所，都有較強(qiáng)的 場(chǎng)。所以在電離室的輸出信號(hào)中含有 產(chǎn)生的電流。這會(huì)影響測(cè)量中子注量率的精度和范圍。但在功率量程范圍內(nèi)中子通量水平比 通量水平相比高許多倍，在電離室電流中，中子的貢獻(xiàn)比 射線大得多，所以沒必要補(bǔ)償。但當(dāng) 的影響不能忽略時(shí)，就要考慮把 的影響補(bǔ)償?shù)簦瑸榇顺Ｓ?補(bǔ)償電離室。結(jié)構(gòu)：兩個(gè)電離室組成。外環(huán)電離室內(nèi)壁涂硼，接正電壓，稱涂硼電離

16、室。內(nèi)環(huán)電離室不涂硼，稱補(bǔ)償室，接負(fù)電壓。兩室充以相同的氣體：氮?dú)夂?0%的氦氣。三個(gè)電極：與高壓正極相連的是正高壓電極；與補(bǔ)償電壓的負(fù)極相連的是負(fù)高壓電極。兩個(gè)電離室之間的極板同各國(guó)負(fù)載電阻接地，稱為收集極。各電極之間是絕緣的。原理： 涂硼電離室對(duì)中子和 均敏感，在高壓的作用下產(chǎn)生中子電流 和 電流 ，其原理與源量程探測(cè)器相同，當(dāng)中子通量較高時(shí)，脈沖較多無法計(jì)數(shù)，只能監(jiān)測(cè)電流。 補(bǔ)償室不涂硼，因此僅對(duì) 敏感，在補(bǔ)償電壓作用下只產(chǎn)生 電流 。流經(jīng)負(fù)載電阻上的電流 為涂硼電離室電流 + 與補(bǔ)償電離室電流 之差： 如果兩電離室對(duì) 的靈敏度相同，則 = ，輸出電流 = 這樣，測(cè)得的電流 僅與中子注量

17、率成正比，消除了 射線的影響。補(bǔ)償效果：1、理論上可完全補(bǔ)償，實(shí)際達(dá)到97%98%。2、要考慮 的感應(yīng)度，以便在 影響不能忽略的范圍內(nèi)，了解它的補(bǔ)償能力。4、功率量程探測(cè)器長(zhǎng)電離室結(jié)構(gòu)：內(nèi)部電極涂硼（高壓電極內(nèi)表面和收集電極外表面涂硼）內(nèi)部充以混合氣體：1%氦氣+6%氮+93%氬氣圓筒式和平板式長(zhǎng)中子電離室：與反應(yīng)堆同樣長(zhǎng)。二節(jié)、四節(jié)、六節(jié)原理中子與硼反應(yīng)產(chǎn)生的粒子使電離室內(nèi)部氣體電離，在外部電場(chǎng)的作用下有一個(gè)正比于中子注量率的電流流過電離室，該電流在負(fù)載電阻上就產(chǎn)生一個(gè)正比于功率水平的電壓降。 射線的電流可忽略不計(jì)，認(rèn)為測(cè)量電阻上只流過中子電流。 內(nèi)光電效應(yīng)與相應(yīng)的器件 半導(dǎo)體材料受到光照射

18、時(shí)，吸收入射光子能量，若光子能量大于或等于半導(dǎo)體材料的禁帶寬度，就激發(fā)出電子-空穴對(duì)，使載流子濃度增加，導(dǎo)電性增加，阻值降低的現(xiàn)象稱為內(nèi)光電效應(yīng)。 包括：光電導(dǎo)效應(yīng)和光生伏特效應(yīng)兩種 應(yīng)用內(nèi)光電效應(yīng)制成的器件包括光敏電阻、光電池、光敏二極管和光敏三極管等。 光生伏特效應(yīng)光導(dǎo)電材料絕緣襯低引線電極引線光敏電阻外觀RG符號(hào)光敏電阻 光敏電阻就是利用電阻阻值在光照下變化的原理做成的傳感器。 把光敏電阻連接到下圖電路中，在外加電壓的作用下，用光照射就能改變電路中電流的大小。RGRLEI光敏電阻特點(diǎn)： 光敏的靈敏度易受濕度的影響，因此要將導(dǎo)光電導(dǎo)體嚴(yán)密封裝在玻璃殼體中。暗電阻 無光照條件下的電阻亮電阻

19、一定光照條件下的電阻暗電流 暗電阻條件下的電流亮電流 亮電阻條件下的電流光電流=亮電流暗電流光電池和光敏晶體管工作情況類似：半導(dǎo)體材料在光照條件下會(huì)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。 光敏二極管結(jié)構(gòu)和一般二極管相似，光敏二極管在電路中一般是處于反向工作狀態(tài)，RL 光PNUO反向電阻大，幾乎截止光敏二極管的光電流 I 與照度之間呈線性關(guān)系光電轉(zhuǎn)速傳感器及應(yīng)用 基本原理： 當(dāng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，光線經(jīng)調(diào)制后投射至光電器件，轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號(hào)，經(jīng)過整形、放大后變成標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)， 計(jì)算出脈沖信號(hào)頻率后，就可以推算出轉(zhuǎn)速。 光電轉(zhuǎn)速傳感器是利用光電轉(zhuǎn)換原理測(cè)量轉(zhuǎn)速的非接觸式傳感器，有投射式和反射式兩種測(cè)量方式。光電數(shù)字式轉(zhuǎn)速表工

20、作原理圖3212 31特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便缺點(diǎn)：受環(huán)境光照情況影響外殼密封，采用紅外光線或者激光作為光源。光源和光敏器件 光電傳感器不僅可以測(cè)量轉(zhuǎn)速，還可以完成很多參數(shù)的測(cè)量，如：煙塵濁度監(jiān)測(cè) 當(dāng)煙道濁度增加，光源發(fā)出的光被煙塵顆粒的吸收和折射增加，到達(dá)光檢測(cè)器的光減少，因而光檢測(cè)器輸出信號(hào)的強(qiáng)弱便可反映煙道濁度的變化平行光源光電探測(cè)放大顯示刻度校正報(bào)警器煙道4.3.2 磁敏轉(zhuǎn)速傳感器 在轉(zhuǎn)速測(cè)量中，也有利用磁敏傳感器作為檢測(cè)手段的轉(zhuǎn)速測(cè)量?jī)x表，如汽車?yán)锍瘫淼霓D(zhuǎn)速測(cè)量等。磁敏傳感器是將電磁量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的傳感器，它主要用于檢測(cè)磁場(chǎng)。如利用電流磁效應(yīng)的磁阻元件、霍爾元件等。 4.3.3 碼盤轉(zhuǎn)速測(cè)量 碼盤轉(zhuǎn)速測(cè)量就是利用碼盤窗口明暗信號(hào)的變化，將轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換成序列計(jì)數(shù)脈沖的一種轉(zhuǎn)速測(cè)量方法。碼盤式轉(zhuǎn)速測(cè)量直接將轉(zhuǎn)速信號(hào)轉(zhuǎn)換成脈沖信號(hào)，按結(jié)構(gòu)分為接觸式、光電式、和電磁式。按工作原理可分成碼盤式（絕對(duì)碼盤）和脈沖盤式（增量碼盤）。 絕對(duì)碼盤結(jié)構(gòu)圖光電編碼器示意圖 絕對(duì)碼盤是把旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度采用二進(jìn)制編碼輸出，它可以檢測(cè)絕對(duì)角度。 增量碼盤時(shí)隨旋轉(zhuǎn)角度