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文檔簡介
1、Good is good, but better carries it.精益求精,善益求善。ISO14644-1中文翻譯-ISO14644-1(中文翻譯)前言ISO為全球各國標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體(ISO會(huì)員團(tuán)體)的聯(lián)合會(huì)。其國際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會(huì)執(zhí)行。每個(gè)會(huì)員團(tuán)體若對技術(shù)委員會(huì)的某一課題感興趣,均有權(quán)作為此技術(shù)委員會(huì)的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國際組織,無論是政府的還是非政府的組織,同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國際電氣技術(shù)委員會(huì)(IEC)在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會(huì)認(rèn)可后送各會(huì)員團(tuán)體進(jìn)行傳閱,以待表決。草案作為國際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要75%的會(huì)員團(tuán)體投贊成票
2、。國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1由ISO/TC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會(huì)提出。ISO14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標(biāo)題下,由下述各部分組成:第1部分:空氣潔凈度等級劃分第2部分:為認(rèn)證與ISO14644-1連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求第3部分:計(jì)量和測試方法第4部分:設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)第5部分:運(yùn)行第6部分:術(shù)語和定義第7部分:增強(qiáng)的潔凈裝置用戶應(yīng)注意,第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。如果從工作計(jì)劃中刪除了一部分或幾部分,剩余部分可以重新編寫。附錄B和C為ISO14644的組成部分,附錄A、D、E和F僅作資料用。引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在
3、合適的級別,以確保完成對污染敏感的有關(guān)活動(dòng)。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品。ISO14644的本部分指定ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法。為劃分等級,ISO14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標(biāo)識。ISO14644的本部分為潔凈室和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技
4、術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在ISO/TC209技術(shù)委員會(huì)制定的其它國際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)論述。在某些情況下,有關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會(huì)規(guī)定動(dòng)作一些補(bǔ)充的政策或限制。這就可能要求對標(biāo)準(zhǔn)的測試程序作適當(dāng)?shù)男薷?。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分:空氣潔凈度的分級1范圍ISO14644的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級。只有在0.1m-0.5m的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供分級用。ISO14644的本部分不包含0.1m-0.5m規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微粒子(0.1m)和大粒子(0.5m)可分別以U描述符和M描述符來量化粒子群體。
5、ISO14644的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。注粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測的,并且是隨著時(shí)間而變化的。2定義下述定義適用于ISO14644的本部分2.1通則2.1.1潔凈室空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子,室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。2.1.2潔凈區(qū)懸浮粒子濃度受控的限定空間??臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子,空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。注:該區(qū)可以是開放式或是密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。2.1.3設(shè)施潔凈
6、室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū),連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動(dòng)力和公用設(shè)施。2.1.4分級適用于一個(gè)的懸浮粒子潔凈度等級(或規(guī)定或確定該等級的過程),以ISO等級N來表示,它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度(以pc/m3空氣計(jì))。注1此濃度用3.2中的公式(1)確定。注2按照本國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級,限定在ISO1級至ISO9級。注3適用于按本國際標(biāo)準(zhǔn)分級的粒徑(低閾值)范圍限于0.1m-0.5m。分級范圍之外的閾值粒徑之空氣潔凈度可以用U或M描述符(見2.3.1或2.3.2)來說明和規(guī)定(但不是分級)。注4ISO分級可以規(guī)定中間等級號,用最小允許遞增值0.1,規(guī)定為自ISO1.1至8.9級。注5等級可
7、以按3種占用狀態(tài)(見2.4)規(guī)定或?qū)崿F(xiàn)。2.2懸浮粒子2.2.1粒子用于空氣潔凈度分級的固體或液體物,其粒徑閾值(低限)范圍在0.1m-0.5m,并呈累積分布。2.2.2粒徑由給定的粒徑測定儀響應(yīng)出(與被測粒子作出的響應(yīng)當(dāng)量)的球體的直徑。注離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器使用當(dāng)量光學(xué)直徑。2.2.3粒子濃度單位體積空氣中的單個(gè)粒子數(shù)。2.2.4粒徑分布作為粒徑函數(shù)的粒子濃度之累積分布。2.2.5超微粒子當(dāng)量直徑小于0.1m的粒子。2.2.6大粒子當(dāng)量直徑大于0.5m的粒子2.2.7纖維長寬比等于或大于10的粒子。2.3描述符2.3.1U描述符測得或規(guī)定的粒子濃度,即含超微粒子的濃度以pc/m3空氣計(jì)
8、,注U描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限(或置信上限,取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目)不能用U描述符來定義且懸浮粒子潔凈度等級,但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級一起引用。2.3.2M描述符測得或規(guī)定的每m3空氣中大粒子的濃度,以作為所用測試方法特性的當(dāng)量直徑來表示。注M描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限(或置信上限,取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目)不能用M描述符來定義懸浮粒子潔凈度等級,但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級一起引用。2.4占用狀態(tài)2.4.1空態(tài)設(shè)施已經(jīng)建成,所有動(dòng)力接通并運(yùn)行,但無生產(chǎn)設(shè)備、材料或人員在場。2.4.2靜態(tài)設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝
9、好,并以用戶和供應(yīng)商同意的方式運(yùn)行,但沒有人員在場。2.4.3動(dòng)態(tài)設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行,有規(guī)定數(shù)目的人員在場,并以雙方同意的方式進(jìn)行工作。2.5角色2.5.1用戶負(fù)責(zé)規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)的要求的組織或其代理。2.5.2供應(yīng)商被聘用來滿足規(guī)定的潔凈室或潔凈區(qū)的要求的組織。3等級3.1占用狀態(tài)潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)空氣的粒子潔凈度應(yīng)按“空態(tài)”、“靜態(tài)”和“動(dòng)態(tài)”三種占用狀態(tài)中的一種或三種(見2.4)進(jìn)行定義。注應(yīng)認(rèn)識到“空態(tài)”適用于新建成的或新發(fā)行的潔凈室或潔凈區(qū)。對“空態(tài)”的測試完成后,即應(yīng)進(jìn)一步測試“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”或兩種狀態(tài)。3.2等級級別空氣中懸浮粒子潔凈度以等級序數(shù)N命名。各種被考慮粒徑D的粒子
10、Cn的最大允許濃度用下述公式確定:(1)式中,Cn大于或行于被考慮粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3空氣)。Cn以有效數(shù)為3位四舍五入到最靠近的整數(shù)。NISO等級級別,最大不超過9。ISO等級級別N之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增值進(jìn)行規(guī)定。D以微米(m)計(jì)的被選粒徑。0.1為一常數(shù),表示以微米(m)計(jì)的量綱。表1表示的是被選擇的懸浮粒子潔凈度等級和大于或等于表中所考慮粒徑的粒子之相應(yīng)濃度限值。圖A.1(見附錄A)以圖解形式表示出所選的等級。在有爭議的情況下,從公式(1)中得到的濃度Cn應(yīng)作為標(biāo)準(zhǔn)值。3.3命名潔凈室或潔凈區(qū)的懸浮粒子潔凈度的命名應(yīng)包括:a)等級級別,以“ISOClass
11、N”表示:b)分組時(shí)的占用狀態(tài):c)按分級公式(1)測定的被考慮粒徑,各被考慮粒徑的閾值均在0.1m-0.5m的范圍內(nèi)。命名實(shí)例:ISOClass4:動(dòng)態(tài):被考慮粒徑:0.2m(2370pc/m3),1m(83pc/m3)測量濃度的被考慮粒徑應(yīng)得到用戶和供應(yīng)商雙方的同意。如果測量一個(gè)以上的被考慮粒徑,各較大的粒徑(如D2)應(yīng)至少為下一個(gè)較小粒徑(如D1)的1.5倍。即:D21.5D14相符性認(rèn)證4.1原則通過執(zhí)行用戶和供應(yīng)商雙方同意的指定的測試程序,并提供關(guān)于測試條件和測試結(jié)果的規(guī)定文件,認(rèn)證是否符合用戶規(guī)定的空氣潔凈度(ISOclass)要求。4.2測試附錄B中給出了認(rèn)證相符性的基準(zhǔn)測試方法
12、。也可以規(guī)定其它有類似準(zhǔn)確性的方法,如果沒有就其它方法作出規(guī)定或達(dá)成一致意見,則應(yīng)該用基準(zhǔn)方法。應(yīng)采用經(jīng)過校舍準(zhǔn)的食品進(jìn)行相符性認(rèn)證測試。4.3懸浮粒子濃度限值按4.2完成測試后,按附錄C中的公式計(jì)算平均粒子濃度和95%置信上限(適用情況下)。按公式(C.1)計(jì)算出的平均粒子濃度不應(yīng)超過用3.2中公式(1)確定的濃度限值,其被考慮粒很應(yīng)符合3.3c的規(guī)定。此外,如果采樣點(diǎn)數(shù)目至少為2個(gè),但不超過9個(gè),則按C.3計(jì)算的95%置信上限不應(yīng)超過上面確定的濃度限值。注附錄D中給出等級計(jì)算的工作實(shí)例。對于各種被考慮粒徑應(yīng)用相同方法來測定,用于認(rèn)證等級粒子濃度限值具有一致性。4.4測試報(bào)告各潔凈室或潔凈區(qū)的測試結(jié)果均應(yīng)記錄,應(yīng)以綜合報(bào)告形式提交,并說明是否符合規(guī)定的是浮粒子潔凈度命名等級。測試報(bào)告應(yīng)包括下述各項(xiàng)內(nèi)容:a)測試組織的名稱、地址和進(jìn)行測試的日期;b)ISO14644本部分的出版編號和年代,即ISO14644-1:當(dāng)前版日期;c)明確標(biāo)明被
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