ESD靜電防護知識培訓-2課件

1、 ESD靜電防護基礎知識培訓課程浩洋電子第1頁，共41頁。 課程大綱一.ESD定義，原理簡介二.如何做好ESD三.公司ESD作業(yè)要求 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第2頁，共41頁。ESD 是什么意思?ESD是代表英文：Electro Static Discharge。 中文：即“靜電放電”的意思。 浩洋電子第3頁，共41頁。一.靜電放電現(xiàn)象 嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲 手無意間接觸電腦熒幕時被電擊一下,是由于電腦電場誘發(fā)帶了強烈的靜電,接觸時電腦對人體放電所致 干燥的氣候里人梳頭發(fā)時頭發(fā)順著梳子移動的方向而飄動 云層相互摩擦而帶大量的電荷,相互放

2、電形成能量巨大的閃電,對地放電則可能形成雷擊 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第4頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU主要是摩擦分離、電場感應、直接充電等均會產(chǎn)生靜電。 由於電子不均勻分怖造成的結(jié)果。摩擦起電和人體靜電是電子工業(yè)中的兩大危害。二.靜電的產(chǎn)生浩洋電子第5頁，共41頁。靜電通常由人產(chǎn)生!身體容易獲取靜電(電子) 皮膚,頭發(fā)及身體能儲存大量的靜電 你能對零組件放電而產(chǎn)生靜電損害下列情況可增加靜電 空氣干燥 走動,跳躍,坐輪椅或轉(zhuǎn)椅等特別是在有蠟紙或毛毯的地方 活動的速度(如快走或跑) 與接觸的材料有關(特別是人工合成材料,塑料及絕緣體)浩洋

3、電子第6頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU物體帶電分動電和靜電靜電是在物體表面固定的(不移動)電荷,其對觀察者 而言,電荷靜止不動或運動非常緩慢.動電則有電荷的快速運動和變化.靜電放電的條件是:首先物體表面有靜電存在 其次要有一定的釋放途徑靜電的特點：高電壓，低電量，小電流，作用時間 短?？梢援a(chǎn)生幾千伏或上萬伏的靜電。三.電的分類浩洋電子第7頁，共41頁。 靜電放電大概可分為:火花放電電暈放電刷狀放電大量粉堆放電射狀放電等形式放電的強弱與放電的電極、形狀、材質(zhì)、阻抗、數(shù)量、溼度、距離、速度均有密切的關係.四.放 電 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子

4、第8頁，共41頁。 靜電與濕度之關系 *綜上所述:溼度越低越容易產(chǎn)生靜電. P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第9頁，共41頁。放電與材質(zhì)阻抗之關系 P&C SBGPeripherals SBU根據(jù)ANSI/ESD S20.20規(guī)定，所有材質(zhì)的阻抗係數(shù)定義如下： 導電級 Conductive R 105SQ 防靜電級Dissipative(衰減材) 106 R 109SQ 抗靜電級Anti-Static 109 R 1011SQ 絕緣insulation 1012 R浩洋電子第10頁，共41頁。名詞解釋 P&C SBGPeripherals SBUANSI： 簡稱美國國家標準

5、學會。 由公司，政府和其他成員組成的自愿組織，他們協(xié)商與標準有關的活動，審議美國國家標準，并努力提高美國在國際標準化組織中的地位。 ANSI是國際標準化委員會（ISO)和國際電工委員會（IEC）的成員之一，有參加79%的ISO/TC活動和參加89%的IEC/TC的活動。浩洋電子第11頁，共41頁。五.靜電釋放控制Human Body Model 人體模式 帶有靜電的操作者在工作過程中與器件的管腳接觸,將存貯于人體的靜電荷通過器件對地放電致使器件失效 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第12頁，共41頁。Machine Model 機器模式 帶電工具或設備接觸元件時,在器件內(nèi)部

6、將感應出電位差,所感應的電位差可引起器件的擊穿 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第13頁，共41頁。Charged Device Model 帶電元件模式 帶電的器件(如:DQIC)通過引腳與地接觸時,發(fā)生對地放電引起器件失效 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第14頁，共41頁。對于工廠,靜電會造成: 成本增加 產(chǎn)品品質(zhì)降低 客戶不滿意我們的產(chǎn)品 尤其產(chǎn) 品在關鍵的時刻不能正常的使用.No!浩洋電子第15頁，共41頁。靜電是如何破壞零組件的?比起從前，現(xiàn)在的零件或產(chǎn)品更小,效率更高但也更脆弱和更敏感!低于100V的電壓就能破壞零組件,而這個電壓是我們無法

7、知道和感覺到的!浩洋電子第16頁，共41頁。靜電破壞的種類嚴重損壞：完全失去功能。 例如：金屬熔化，短路等。局部損壞：部分功能退化。潛在損壞：部分功能退化，使用中繼續(xù)退化， 直到完全失效。暫時失效：數(shù)據(jù)電路中的功能受到干擾或數(shù) 據(jù)遺失。 浩洋電子第17頁，共41頁。-:-浩洋電子第18頁，共41頁。怎樣預防靜電的破壞?假定所有的零件和產(chǎn)品都對靜電敏感, 如有任何問題,詢問主管或拉長處理對靜電敏感的物體的工作區(qū)都要接地,身體是靜電的主要來源除非接地儲存和搬運所有對靜電敏感的物體都需儲存在靜電箱中以免受到靜電破壞浩洋電子第19頁，共41頁。防靜電器材包裝材料儲存和運輸材料人體接地材料臺墊/地板工衣

8、/手套/手指套工作臺/運貨推車離子風機浩洋電子第20頁，共41頁。如何保護敏感度高的零件 ?3.1.2.4.浩洋電子第21頁，共41頁。每天檢查你的靜電設備每天測試你的手腕帶檢查工作臺,傳送帶,靜電板必須接地.以防靜電積累下面是員工手冊,工具損壞或連接不好會造成靜電傷害.浩洋電子第22頁，共41頁。每天檢查你的靜電設備工具損壞或連接不好會造成靜電傷害.工具損壞或連接不好會造成靜電傷害.只能使用經(jīng)過批準的靜電工具,噴射器,清潔用具和溶劑.如有問題請找拉長或主管.迅速地向班長或主管回報任何發(fā)生的問題浩洋電子第23頁，共41頁。儲存和運輸 確保全部對靜電敏感的物件都放在防靜電的包裝箱(袋)里.只能使

9、用經(jīng)批準的包裝材料.確保所有的集裝箱里面沒有其它的物件,如塑料制品.重新使用集裝箱前必須進行檢查.浩洋電子第24頁，共41頁。表示容易受到ESD損害的電子電氣設備或組件.EPA(ESD Protection Area)=沒有任何材料或活動造成ESDS件有靜電損壞風險的工作區(qū).防靜電的標簽浩洋電子第25頁，共41頁。你能幫助預防靜電破壞!手腕帶 依照 報告正確的步驟來處理,儲存和運輸對靜電敏感的產(chǎn)品迅速回報任何問題 穿戴浩洋電子第26頁，共41頁。靜電放電 (ESD)誰應該負責任?我們每個人!浩洋電子第27頁，共41頁。六.標準靜電壓定義人體可感受的ESD電壓都在 3,000volts以上電子界

10、定義當EPA區(qū)內(nèi)靜電電壓超出100volts時必須做有效的防護措施浩洋電子第28頁，共41頁。名詞解釋EPA區(qū)： 靜電放電保護區(qū)，在EPA內(nèi)生產(chǎn)的的產(chǎn)品都是有靜電防護要求的，其中工人都是需要配備防靜電裝備的。列如，服裝，鞋子，手腕帶等。浩洋電子第29頁，共41頁。七.如何控制好ESD P&C SBGPeripherals SBU 設計上加強元件的免疫力 在器件的輸入/輸出口上多加了一些防靜電保護電路,使器件的防靜電能力大大提高 消除或減少靜電的產(chǎn)生 盡可能使用防靜電材料作為加工的輔助材料 安全的釋放與中和靜電控制各制程段不同材料在使用中保持零電位 加強人員ESD防護意識浩洋電子第30頁，共41

11、頁。八.靜電消除的方法 P&C SBGPeripherals SBU傳導 Conduction(導電桌墊 靜電鞋) 遮蔽 shelter(靜電袋)接地 Grounding (設備工具)中和 Air ionizer(離子風扇)增加環(huán)境濕度浩洋電子第31頁，共41頁。 靜電環(huán) 結(jié)構伸縮導線(內(nèi)含1Mega 10%電阻可確保操作者在意外情況下觸及線電壓時不致發(fā)生人身傷害事故 )腕帶及接頭所構成。 配帶靜電環(huán)注意事項： (a)靜電環(huán)腕帶之金屬片必須與手腕皮膚緊密接觸,不可鬆脫或套於衣袖上 (b)為確保1M電阻之有效性,嚴禁用力拉扯靜電環(huán)的伸縮導線 (c)接頭必須固定與ESD接地線裸銅部分且與靜電環(huán)插座

12、阻抗需低於2 ,否則不得碰觸材料 (d)靜電環(huán)在作業(yè)當中嚴禁擅自借給他人浩洋電子第32頁，共41頁。 導電鞋 規(guī)格: 900K 35M 原理：配合靜電地板將人體通過鞋底與大地構成回路, 以使人體產(chǎn)生的靜電能向大地泄漏掉;同時還使 鞋墊成為靜電泄漏的電氣回路 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第33頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU 導電地板 規(guī)格: 2.5*104 1.0*106 功用: 依導電鞋將人體所帶之靜電有效疏導 給地浩洋電子第34頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU 靜電衣/帽 規(guī)格: 104 109 清洗標準:中性

13、水(水溫不可超過30)配合中 性洗潔劑,輕揉后晾乾.嚴禁熨燙,用 刷子刷或擰衣服 功能: 防止服裝的靜電積累,宣洩人 體與衣服摩擦時所產(chǎn)生的靜電浩洋電子第35頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU 導電桌墊 規(guī)格:上表面綠色摩擦層(106 109 ) 下表面黑色導電層(104 106 ) 功用:可有效疏導工作臺上殘留的靜電電壓可預防 電流電壓的回流效應 注意: 使用時嚴禁將其反面鋪設靜電桌墊下嚴 禁鋪設一切導體材料浩洋電子第36頁，共41頁。 靜電消除器 主要參數(shù):距風扇口25mm處離子平衡度低於35V離子 風含蓋區(qū)的靜電電壓低於200V 功用：依借風扇吹出的正負離子來中

14、和自然界的電 離子;解決非導體所產(chǎn)生的靜電破壞問題. P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第37頁，共41頁。 P&C SBGPeripherals SBU 抗靜電材料(袋、托盤、盒等) 此種材料不會產(chǎn)生靜電荷,或僅產(chǎn)生微量的靜電荷(通常在100V以下).其物質(zhì)阻抗均在106 R1011之間,靜電消散時間2sec.使用時需注意：(a)避免使用尖銳物品刮壞表面金屬層(b)封閉的導電袋或容器才有完全之保護 (c)表面塗層必須考慮其有效期浩洋電子第38頁，共41頁。九.防靜電標示 ESD元件敏感標識:適用于ESD敏感元件之包裝袋上 ESD防護標識:適用于ESD安全工作站或ESD防護區(qū)

15、域 (如:靜電工作臺靜電料盒等) ESD公共測試點標識:適用于ESD尾端測試點標記(通常 ESD主線尾端接地電阻需小于10 ) *防靜電標示可見度為1米 P&C SBGPeripherals SBU浩洋電子第39頁，共41頁。所有工作人員在生產(chǎn)區(qū)域必須配戴有線靜電環(huán)并確實接地后方可接觸半導體材料.2. 所有生產(chǎn)過程中使用的儀器,設備,加工治具,工作桌等均必須接地以防止漏電傷人,或損壞晶體材料.3. 半導體材料在儲存,運輸?shù)冗^程中必須使用防靜電材料進行包裝,所有與ESD相關材料必須貼有任何人均可明了之標籤.4.所有靜電區(qū)域必須用綠色線標示,并要求在30CM 的范圍其靜電電壓低于100V.5.所有ESD相關的項目必須點檢并保留記錄,如靜電環(huán)的點檢為每天二次.6.所有從事ESD相關工作之人員,皆必須接受ESD訓練,並經(jīng)檢定考試認證合格者方可從事該項工作,認證有效期為一年,違反ESD兩次為認證失效.7. EPA內(nèi)凡涉及到操作SSD的所有桌面都必須是防靜電的桌面,儀表設備/焊接工具/人體等都必須實現(xiàn)接地