超純水系統(tǒng)工藝流程圖

1、C自來水進水P取樣保安過濾器PPcF不合格排放P原水箱R紫外線殺菌燈原水泵機械過濾器FP活性炭過濾器紫外線殺菌燈軟水器鹽箱RF高壓泵反滲透裝置化學(xué)計量泵用水點純水出口調(diào)壓閥FF風(fēng)機PPP過濾器um過濾器氮氣瓶不合格排放PFk濃水回流Fk或排放極水 濃水FI循環(huán)泵C純水拋光混床超純水泵氮封超純水箱極水排放二級EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱符號說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 3常用的一級RO+二級 EDI+MB 電子 I 級超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度高，有機物含量高，電導(dǎo)率高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻

2、率18 18.2M cm的超純水系統(tǒng)C自來水進水P取樣保安過濾器PPcF不合格排放P原水箱R紫外線殺菌燈原水泵機械過濾器FP活性炭過濾器紫外線殺菌燈軟水器鹽箱RF高壓泵反滲透裝置化學(xué)計量泵用水點純水出口調(diào)壓閥FFPPP風(fēng)機過濾器um過濾器氮氣瓶不合格排放PFk濃水回流Fk或排放極水 濃水純水FI循環(huán)泵C超純水泵氮封超純水箱極水排放二級EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱符號說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 4 常用的一級RO+二級 EDI 電子級超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度高，有機物含量高，電導(dǎo)率（小于1000 s/cm

3、），要求產(chǎn)水電阻率15 18M cm的超純水系統(tǒng)自來水進水CFCPPFF排放快速過濾器PPPcP不合格排放原水箱原水泵FP超濾裝置反洗排放水高壓泵反滲透裝置R用水點um過濾器紫外線殺菌燈氮氣瓶紫外線殺菌燈R不合格排放FkF純水出口調(diào)壓閥P化學(xué)計量泵風(fēng)機PFF過濾器PP循環(huán)泵C濃水回流Fk或排放極水 濃水純水拋光混床超純水泵符號說明:氮封超純水箱極水排放二級EDI膜堆um過濾器不合格排放純水泵純水箱PPcFRC電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 5常用的一級RO+二級 EDI 電子+MB 電子 I 級超純水系統(tǒng)工藝配置圖FK流變控制開關(guān)適合于源水硬度低，有機物含量低，電導(dǎo)率

4、高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻率18 18.2M cm的超純水系統(tǒng)自來水進水CFCPPFF排放快速過濾器PPPcP不合格排放原水箱紫外線R殺菌燈原水泵FP紫外線殺菌燈超濾裝置RF反洗排放水高壓泵化學(xué)計量泵反滲透裝置風(fēng)機用水點um過濾器氮氣瓶不合格排放Fk純水出口調(diào)壓閥PFFPPP循環(huán)泵過濾器C濃水回流Fk或排放極水 濃水純水超純水泵氮封超純水箱極水排放二級EDI膜堆um過濾器純水泵純水箱符號說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 6常用的一級RO+二級 EDI 電子級超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度低，有機物含量低，

5、電導(dǎo)率高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻率15 18M cm的超純水系統(tǒng)圖 7 是常用的一級EDI 全系統(tǒng)組成圖。C自來水進水P風(fēng)機取樣F保安過濾器PcPP不合格排放PcPH調(diào)節(jié)PP原水箱原水泵機械過濾器活性炭過濾器阻垢劑加藥一級高壓泵一級反滲透裝置脫氣水箱純水泵二級高壓泵R用水點P紫外線殺菌燈RFFC化學(xué)計量泵過濾器b風(fēng)機um過濾器氮氣瓶不合格排放FFIPPP極水Pc濃水C純水PP循環(huán)泵CF不合格排放拋光混床符號說明:TOC分解器超純水泵氮封超純水箱一級EDI膜堆um過濾器不合格排放純水泵脫氣水箱二級反滲透裝置PPcFRC電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 7

6、常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級RO+一級 EDI+MB電子級超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機物含量高，電導(dǎo)率1000 s/cm, 即 TDS 500ppm 時，要求產(chǎn)水電阻率18 18.2M cm的純水系統(tǒng)C自來水進水P取樣F保安過濾器PcPP風(fēng)機不合格排放PcPP二級高壓泵PH調(diào)節(jié)原水箱原水泵機械過濾器活性炭過濾器阻垢劑加藥一級高壓泵一級反滲透裝置脫氣水箱純水泵R用水點um過濾器P氮氣瓶紫外線殺菌燈不合格排放RFFFPPP極水Pc濃水C純水化學(xué)計量泵過濾器FI循環(huán)泵CCb風(fēng)機F不合格排放TOC分解器超純水泵氮封超純水箱PP一級EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱二級反滲透裝置符號說明:PPcFRC不合格排放電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計電阻率表電導(dǎo)率表圖 8常用的產(chǎn)水