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1半導(dǎo)體傳感器，催化燃燒式傳感器，紅外吸收傳感器，電化學(xué)式傳感器2摘要利用六西格瑪(six sigma)統(tǒng)計(jì)工具對(duì)電化學(xué)硫化氫(H2S)氣體傳感器的氣體敏感特性進(jìn)行了研究, 并運(yùn)用 Minitab 軟件對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行了系統(tǒng)分析. 結(jié)果顯示, 所測(cè)電化學(xué)氣體傳感器對(duì)H2S氣體響應(yīng)良好3意義4傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理5電極反應(yīng)過(guò)程如下:6實(shí)驗(yàn)部分基本性能測(cè)試線(xiàn)性測(cè)試溫度測(cè)試電流轉(zhuǎn)換成電壓輸出輸出電壓與氣體體積分?jǐn)?shù)是線(xiàn)性相關(guān)7幾種特定統(tǒng)計(jì)工具對(duì)傳感器性能進(jìn)行研究(1) 過(guò)程能力需要確定所分析的變量之間是否具有線(xiàn)性相關(guān)性, 按照“統(tǒng)計(jì) 基本統(tǒng)計(jì)量 相關(guān)”來(lái)操作, 從輸出結(jié)果中可以觀察到一個(gè) P 值, 如果 P 0.05, 則數(shù)據(jù)服從正態(tài)分布. 再判斷服從正態(tài)分布的數(shù)據(jù)的過(guò)程能力是否符合要求. (3) 箱線(xiàn)圖. 運(yùn)用 Minitab 軟件繪制箱線(xiàn)圖, 從中可以粗略地看出所分析數(shù)據(jù)的分布情況,以及數(shù)據(jù)的中心位置及其是否具有對(duì)稱(chēng)性. 8結(jié)果及分析9影響因素傳感器的響應(yīng)輸出值隨溫度的變化氣相擴(kuò)散中氣體的擴(kuò)散系數(shù)隨溫度的升高而增大, 隨壓強(qiáng)的減小而增大傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及電極氣體不僅僅以一種模式進(jìn)行擴(kuò)散. 在毛細(xì)管擴(kuò)散孔的上面貼有一層防塵膜, 內(nèi)部還有電極膜，氣體在這些膜中的擴(kuò)散屬于固相擴(kuò)散，因此

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