lcd共享odl-seal dispensing培訓(xùn)工藝目的及主要部材.2

1、作成：圣日期：2008-11-24工藝目的及主要部材2裝置機(jī)構(gòu)及主要性能4工藝參數(shù)控制9Seal涂布安定性探討10Seal 涂布相關(guān)工程/設(shè)計(jì)不良11參考)12附件1：涂布斷線機(jī)理分析(參考)13附件2：周邊黑框產(chǎn)生及改善機(jī)理分析(1ctory Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pdSeal Dispensing 共通培訓(xùn)資料S Seal34 ;#XYZSealSpacerAu BallBSealPanel_#a Spacer12PanelKLGap SealbcdCefgPAu BallhiXY123456425umSeal320um0.5%Au Ball89 207:25;30180

2、;220/MM2Spacer 207S Seal(#TUV;BUVTUWTUS jk(BSpacer(Au Balllmn2,+-./0 PDF ()*+ pdctory ProUV !# !#$%&UV()*+,-*3ctory Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pd工程部材生產(chǎn)廠家及型號(hào)保證期間對(duì)應(yīng)部品的Seal 材協(xié)立化學(xué)產(chǎn)業(yè)World Rock No. 717制造日起5個(gè)月內(nèi)Seal 內(nèi) Spacer宇部日東化成N3N-*出貨日起1年內(nèi)根據(jù)產(chǎn)品LOT號(hào)判斷Seal 內(nèi) Au Ball積水化學(xué)工業(yè)公司Au-20*制造日算起1年6個(gè)月內(nèi)45HITACHI G5-Seal_actory

3、 Pro ,+-./0 PDF ()*+ pdTbDcdLaser(e1/4/5)6Seal Dispenser 操作側(cè)ctory Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pdSeal/Ag 涂布的裝置之主設(shè)備性能：對(duì)象基板尺寸：11001300mm（公差：1100方向0.7mm1300方向0.8mm）板厚：0.50.7mm種類：CF基板/TFT基板素玻璃附膜玻璃凈化間對(duì)應(yīng)：CLASS100（內(nèi)0.3m以上的粒子少于100個(gè)）涂布圖案對(duì)應(yīng)性能參數(shù)：取面數(shù)：點(diǎn)面取面圖案： （1300方向1100方向）涂布性能：涂布位置精度：80涂布寬度：0.20.4涂布高度：0.0250.05（可変）斷面積精度

4、：10%（設(shè)定値7000以上）最小描畫：0.5涂布Speed：MAX150/（本Seal/輔助Seal可分開設(shè)置）Dispenser本體：Head：H1（fixed）、H12（145410mm）、H13（156370mm）、H14（260520mm）、H5（310520mm）Syringe：超鋼/鋁合金、30/60CCNozzle Gap控制：Laser變位計(jì)檢出、重復(fù)性精度0.12um、測(cè)定范圍80um7ctory Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pd定位用處理部位：測(cè)定方式：多值化圖案符配處理相機(jī)間距離 ：8521100定位精：6um照明方式：同軸落射方式視野角：3角基臺(tái)Stage

5、：材質(zhì)：鋁（黒耐蝕鋁処理）平面精度：um以內(nèi)驅(qū)動(dòng)方式：伺服馬達(dá)可動(dòng)范圍：軸330軸630、550檢査用處理部：自動(dòng)測(cè)定項(xiàng)目：Seal線寬斷面積（對(duì)于線寬、由 data 向 host 輸出）涂布線寬：檢查方式（二值化處理Petty Camera）檢查點(diǎn) （點(diǎn)面節(jié)拍實(shí)際效果）檢查規(guī)格（200400um取決于涂布量涂布H）AHx*dX高度、斷面積：檢査方式（使用Laser進(jìn)行段差測(cè)定）8ctory Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pdSeal 涂布主要控制參數(shù)：涂布量控制：設(shè)計(jì)線幅/Spacer徑涂布Gap、N2 Pre涂布精度：涂布Pattern坐標(biāo)、Stage移動(dòng)精度（80um）re、S

6、tage Speed、Nozzle徑9S Seal Dispenser#3456-56ZGap Sensor78 9:;Gap SensorbcBCDqNHSTijIbJK:ELMNozzle Z/Y=NOGapPQg-Gap7ef(ijIbg-Gap7ef(ijIbJKW7SensorZgFhiJKW7SensorZgFhiojklmnSeSnesnosrorPopELqrsNoNzozlzeleGaGpap=E9G,TGUE9V,TVttXXuuvSiNx 5SGapc_Seal/9c_7g-GaGpap7wxyzp/9SeSeeaal!mnSeSnesnosrorPopEZSensorR

7、9SensorLrsg/9_)YF_kovNozzleW7, !Gap SensorT)oX, !/9)WYF00./R./0./R./Seal 涂布相關(guān)工程/設(shè)計(jì)不良：1）液晶泄漏：局部斷線、大氣沖刷、異物墊起、Nozzle異常/堵塞、UV硬化異常、真空/UV反射板 2）涂布偏移：Camera/Nozzle校正異常、Mark對(duì)位/登錄異常、Head間距變化3）配向異常：UV硬化、涂布偏移 接口、拐角、Array遮光Pattern（設(shè)計(jì)margin規(guī)范化）4）周邊Mura：Spacer粒徑、輔助Pattern、開閉環(huán)、周邊PS柱、周邊黑帶改善 5）周邊異物：Seal作業(yè)混入、Gap制御、Arr

8、ay來(lái)料6）Ag角部不均：調(diào)和不均、打點(diǎn)量大、線幅/高度11A1B34CD+EFG(HI/J)F2NozzleA1A2A3SealStage100mm/sbA1NozzleLbnL k!bk#Fi.W$TftbA2Seal!L%&bn(pSeal )*Stage +TfptbA3b ,Stage7-n(pSealb,Stage.:gct6A2789:;sOPrStagenOPrNozzle6=?ABCD;K*CSealHA2bpBIRo/9TfKYJN5F1A2VA2wV(Stage)w100mm/sb/081A2bg-2Z34Stage5 k6n6;7mm/st7A2bg-Z34 Stage

9、Ib%$8*9uStage7-) n100mm/st5A2$gA2b:b;kl)0 +;=(?Y%A2b$Ro/9TfAhBA2附件2：周邊黑框產(chǎn)生及改善機(jī)理分析(參考)真空貼合液晶滴下LCSealSealSealSeal真空貼合下凹下凹下凹下凹UV硬化后,這種邊緣下凹的趨勢(shì)被固定下來(lái)(邊框硬化了)周邊黑框產(chǎn)生機(jī)理分析：由于真空貼合后，液晶Pattern并未擴(kuò)散至Panel最邊緣，造成邊緣盒內(nèi)真空區(qū)域在UV之前一直處于受壓狀態(tài)， 從而形成邊緣區(qū)域中心位置處的收縮應(yīng)力，而經(jīng)過UV/OVEN硬化以后，邊緣區(qū)域受到外力的約束后，致使原來(lái)形成的收縮應(yīng)力無(wú)法，最終導(dǎo)致顯示檢查處的周邊黑框現(xiàn)象！ctory

10、 Pro 試用版本創(chuàng)建 PDF 文件使用 pdP0BMLCP0大氣壓力LCUV照射時(shí)液晶Pattern的擴(kuò)散狀況真空區(qū)域基板形變后所產(chǎn)生的收縮應(yīng)力 13TFTSealA-A區(qū)邊緣處的PS及TFT側(cè)的襯墊Air真空LC真空AirAir真空LC真空AirAir真空LC真空Air=KLMNQR+EFGBf llx!SealCSpacerfqDH)S*f4.2umx!4yz%)3.0um;3.4um7 yx!rZSealCSpacerf|3.6umOB.4WX%MPanelrZgh;qL)07. Yi!)0 BP!rZghijC)k0qr.4#rZ$%pXuAh7 D &rZGapW(!-3.30um)*OModule$%+ySFI,Ev3.4um;3.5um14ctory Pro ,+-