Chapter6 7-18傳感器原理與測量電路課件

1、第6章、傳感器測量原理6.7 磁敏元件傳感器 金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場中，當(dāng)有電流流過時(shí)，在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)，這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。 1 霍爾元件 霍耳傳感器 霍耳傳感器是基于霍耳效應(yīng)的一種非接觸式傳感器。在磁場中被測量通過霍耳元件轉(zhuǎn)換成電動(dòng)勢(shì)輸出?；舳鷤鞲衅骺蓱?yīng)用于多種非電量測量，特別是在檢測微位移、大電流、微弱磁場等方面得到了廣泛應(yīng)用。BIvFLFE圖4-32 霍爾效應(yīng)原理圖ldUHb 如圖4-32所示，一塊長為l、寬為b、厚為d的N型半導(dǎo)體薄片，位于磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場中，B垂直于ld平面。沿l通電流I，N型半導(dǎo)體中的載流子電子將受到B作用而產(chǎn)生的洛淪茲力FL的作

2、用。霍爾元件由霍爾片、四根引線和殼體組成，如圖示。 6.7 磁敏元件傳感器測轉(zhuǎn)角：6.7 磁敏元件傳感器電流傳感器 當(dāng)電流流過導(dǎo)線時(shí)，將在導(dǎo)線周圍產(chǎn)生磁場，磁場大小與流過導(dǎo)線的電流大小成正比，這一磁場可以通過軟磁材料來聚集，然后用霍爾器件進(jìn)行檢測。 6.7 磁敏元件傳感器鐵磁材料裂紋檢測 NS6.7 磁敏元件傳感器葉片和齒輪位置傳感器應(yīng)用 6.7 磁敏元件傳感器2 磁電阻元件磁阻效應(yīng)- -+ +lwx6.7 磁敏元件傳感器3 磁感應(yīng)半導(dǎo)體元件分類霍爾元件磁電阻元件磁敏二極管磁晶體管磁半導(dǎo)體開關(guān)6.7 磁敏元件傳感器案例：轉(zhuǎn)速測量6.7 磁敏元件傳感器6.8光柵傳感器光柵傳感器利用光柵的莫爾條紋

3、現(xiàn) 象實(shí)現(xiàn)幾何量測量的裝置稱為光柵 傳感器。光柵傳感器的優(yōu)點(diǎn)： 高精度、高分辨率和大動(dòng)態(tài)范圍，因而 廣泛應(yīng)用于靜態(tài)測量、動(dòng)態(tài)測量和自動(dòng) 化等領(lǐng)域。 第6章、傳感器測量原理光柵分類及結(jié)構(gòu)1)光柵分類 按其原理和用途可分為物理光柵和計(jì)量光柵。 按其透射形式可分為透射式光柵和反射式光柵。 按光柵表面結(jié)構(gòu)不同，可分為幅值光柵（又叫黑 白光柵）和相位光柵（又叫閃耀光柵）。 按光柵應(yīng)用分類，可分為長光柵和圓光柵。目前發(fā)展了激光全息光柵和偏振光柵等新型光柵 2)光柵的結(jié)構(gòu)所謂光柵，簡單地說，由大量等寬等間距的平行狹縫所組成的光學(xué)器件稱為光柵。圓光柵有三種形式：一種是徑向光，其柵線的延長線通過圓心；第二種是切

4、線光柵，其柵線的延長線與光柵盤中的一個(gè)小同心圓相切；第三種是環(huán)形光柵，其柵線為一簇等間距同心圓。 光柵傳感器由光源、透鏡、光柵副（主光柵和指示光柵）和光電接收元件組成。 橫向莫爾條紋的斜率莫爾條紋間距莫爾條紋的寬度BH由光柵常數(shù)與光柵夾角決定 （1）調(diào)整夾角即可得到很大的莫爾條紋的寬度，起到了放大作用，又提高了測量精度。（2）莫爾條紋的光強(qiáng)度變化近似正弦變化，便于將電信 號(hào)作進(jìn)一步細(xì)分，即采用“倍頻技術(shù)”。這樣可以提 高測量精度或可以采用較粗的光柵。（3）光電元件對(duì)于光柵刻線的誤差起到了平均作用?？?線的局部誤差和周期誤差對(duì)于精度沒有直接的影響。 因此可得到比光柵本身的刻線精度高的測量精度。

5、這是用光柵測量和普通標(biāo)尺測量的主要差別。 例如，對(duì)線mm的長光柵而言，0.04mm，若=0.016rad，則=2.5mm.，光敏元件可以分辨2.5mm的間隔，但無法分辨0.04mm的間隔。 4）莫爾條紋移過的條紋數(shù)與光柵移過的刻線數(shù)相等。例如，采用100線/mm光柵時(shí)，若光柵移動(dòng)了xmm（也就是移過了100 x條光柵刻線），則從光電元件面前掠過的莫爾條紋也是100條。由于莫爾條紋比柵距寬得多，所以能夠被光敏元件所識(shí)別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)，就可知道移動(dòng)的實(shí)際距離了。 光柵傳感器的工作原理（一）光電轉(zhuǎn)換原理 光柵傳感器的光電轉(zhuǎn)換系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：1、光源，2、聚光鏡，3、主光柵（又稱標(biāo)尺光柵

6、），4、指示光柵，5光敏元件，如圖104（a）所示。 （三） 辨向原理如圖105所示。當(dāng)莫爾條紋移動(dòng)時(shí)，兩個(gè)條紋的亮度變化規(guī)律完全一樣，相位相差/2。滯后還是超前完全取決于光柵的移動(dòng)方向，這種區(qū)別運(yùn)動(dòng)方向的方法稱為位置細(xì)分辨向原理。莫爾條紋細(xì)分技術(shù) （一）細(xì)分方法：1、增加光柵刻度密度。2、對(duì)電信號(hào)進(jìn)行電子細(xì)分。把一個(gè)周期變化的莫爾條紋信號(hào)再細(xì)分，即增大一周期的脈沖數(shù)，稱為倍頻法。在電子細(xì)分中又可分為直接細(xì)分、電橋細(xì)分、示波管細(xì)分和鎖相細(xì)分等。 3、機(jī)械和光學(xué)細(xì)分。（二）直接細(xì)分 直接細(xì)分法的優(yōu)點(diǎn)是對(duì)莫爾條紋信號(hào)波形無嚴(yán)格要求，電路簡單，可用于靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測量系統(tǒng)。缺點(diǎn)是光電元件安放困難，因而細(xì)

7、分不能過高。光柵傳感器的誤差 單件光柵的誤差是由刻劃工藝和刻劃設(shè)備決定的。計(jì)量光柵大多數(shù)是在構(gòu)成莫爾要紋的情況下使用。由于莫爾條紋的平均誤差作用，使局部刻劃誤差的影響大大減小。長光柵柵距誤差一般為微米（m）數(shù)量級(jí)，圓光柵為秒（”）角數(shù)量級(jí)。 6.9 光纖傳感器 物性型光纖傳感器是利用光纖對(duì)環(huán)境變化的敏感性，將輸入物理量變換為調(diào)制的光信號(hào)。 1）物性型光纖傳感器第6章、傳感器測量原理光纖流速傳感器6.9 光纖傳感器 結(jié)構(gòu)型光纖傳感器是由光檢測元件與光纖傳輸回路及測量電路所組成的測量系統(tǒng)。其中光纖僅作為光的傳播媒質(zhì)，所以又稱為傳光型或非功能型光纖傳感器。2）結(jié)構(gòu)型光纖傳感器6.9 光纖傳感器光纖檢

8、測型光電傳感器作業(yè)件檢測顏色檢測6.9 光纖傳感器6.10 熱敏傳感器 1.雙金屬溫度計(jì) 把兩種膨脹系數(shù)不同的金屬薄片焊接在一起制成的。它是一種固體膨脹溫度計(jì)，可將溫度變化轉(zhuǎn)換成機(jī)械量變化。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單牢固可靠防爆 第6章、傳感器測量原理 6.10 熱敏傳感器6.10 熱敏傳感器熒光燈啟輝器零線火線 當(dāng)電路接通，啟輝器兩端極片得電，擊穿惰性氣體而導(dǎo)電（輝光放電），雙金屬片發(fā)熱彎曲而與靜觸板接通形成閉合電路。電路中電流突然中斷，使鎮(zhèn)流器兩端產(chǎn)生一個(gè)比電源電壓高得多的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，在強(qiáng)電場的作用下，引起管內(nèi)汞蒸氣電離而形成弧光放電.6.10 熱敏傳感器熒光燈啟輝器 啟輝器由玻璃管制成的輝光放電管與

9、小電容器并聯(lián)而成輝光放電管內(nèi)有一個(gè)U形雙金屬片，一個(gè)固定靜止觸極電板，稱為靜觸板或靜觸極，玻璃管內(nèi)充有氖氣或氬氣，或氖氬混合的惰性氣體。當(dāng)電路接通，啟輝器兩端極片得電，擊穿惰性氣體而導(dǎo)電（輝光放電過程），雙金屬片發(fā)熱彎曲而與靜觸板接通形成閉合電路。此時(shí)電流直接經(jīng)過雙金屬片與靜觸板流通，惰性氣體失去作用而不放電，雙金屬片開始冷卻，經(jīng)過18秒的時(shí)間，雙金屬片收縮回原來狀態(tài)，啟輝器停止工作。2. 熱電溫度計(jì)(熱電偶) 熱電效應(yīng) 將兩種不同材料的導(dǎo)體A和B串接成一個(gè)閉合回路，當(dāng)兩個(gè)接點(diǎn)溫度不同時(shí)，在回路中就會(huì)產(chǎn)生熱電勢(shì)，形成電流，此現(xiàn)象稱為熱電效應(yīng)。6.10 熱敏傳感器ABTT0k玻耳茲曼常數(shù)，e電子

10、電荷量，T接觸處的溫度NA，NB分別為導(dǎo)體A和B的自由電子密度。6.10 熱敏傳感器熱電偶測溫基本定律1)均質(zhì)導(dǎo)體定律 由一種均質(zhì)導(dǎo)體組成的閉合回路，不論導(dǎo)體的橫截面積、長度以及溫度分布如何均不產(chǎn)生熱電動(dòng)勢(shì)。TT02)中間導(dǎo)體定律 在熱電偶回路中接入第三種材料的導(dǎo)體，只要其兩端的溫度相等，該導(dǎo)體的接入就不會(huì)影響熱電偶回路的總熱電動(dòng)勢(shì)。TT0V6.10 熱敏傳感器3)參考電極定律 兩種導(dǎo)體A,B分別與參考電極C組成熱電偶，如果他們所產(chǎn)生的熱電動(dòng)勢(shì)為已知，A和B兩極配對(duì)后的熱電動(dòng)勢(shì)可用下式求得：ABTT0=ACTT0CBTT0由于鉑的物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、人們多采用鉑作為參考電極。6.10 熱敏傳感器

11、6.10 熱敏傳感器6.10 熱敏傳感器3 熱敏電阻傳感器 半導(dǎo)體熱敏電阻的材料是一種由錳、鎳、銅、鉆、鐵等金屬氧化物按一定比例混合燒結(jié)而成的半導(dǎo)體，它具有負(fù)的電阻溫度系數(shù)，隨溫度上升而阻值下降。 6.10 熱敏傳感器RT6.10 熱敏傳感器6.10 熱敏傳感器6.10 熱敏傳感器產(chǎn)品溫控器6.10 熱敏傳感器應(yīng)用汽車發(fā)動(dòng)機(jī)傳感器水溫感應(yīng)塞還廣泛應(yīng)用于空調(diào)、暖氣、電子體溫計(jì)等第6章 傳感器測量原理 6.11 氣敏電阻傳感器 氣體與人類日常生活密切相關(guān)，對(duì)氣體的檢測已經(jīng)是保護(hù)和改善生態(tài)居住環(huán)境不可缺少手段，氣敏傳感器發(fā)揮著極其重要的作用。 如生活環(huán)境中一氧化碳濃度達(dá)0.81.15 ml/L時(shí)，就

12、會(huì)出現(xiàn)呼吸急促，脈搏加快，甚至?xí)炟?。還有易燃、易爆氣體、酒精等的探測。煙霧報(bào)警器酒精傳感器二氧化碳傳感器6.11 氣敏電阻傳感器 氣敏傳感器是利用氣敏半導(dǎo)體材料，如氧化錫、氧化錳。當(dāng)它們吸收了氣體煙霧，如一氧化碳、醇等時(shí)，電阻發(fā)生變化。從而使氣敏元件電阻值隨被測氣體的濃度改變而變化。 6.11 氣敏電阻傳感器6.11 氣敏電阻傳感器 6.11 氣敏電阻傳感器6.11 氣敏電阻傳感器燃?xì)鈭?bào)警器煙霧報(bào)警器 酒精傳感器4.9 氣敏電阻傳感器6.12 超聲波檢測傳感器 1)聲波及其分類(1)次聲波，振動(dòng)頻率低于l6Hz的機(jī)械波。(2)聲波:振動(dòng)頻率在16Hz20KHz之間的機(jī)械波。(3)超聲波:高于2

13、0KHz的機(jī)械波。2）超聲波的物理性質(zhì) 超聲波與聲波比，振動(dòng)頻率高，波長短，具有束射特性，方向性強(qiáng)，可以定向傳播，其能量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于振幅相同的聲波，并具有很高的穿透能力。 第6章 傳感器測量原理 6.12 超聲波檢測傳感器聲壓 所謂聲壓，是指某點(diǎn)上各瞬間的壓力與大氣壓力之差值，單位為Pa，1Pa =1N/m2。聲強(qiáng) 聲強(qiáng)是聲波在傳播方向上單位時(shí)間內(nèi)通過單位面積的能量，單位為W/m2。聲功率 聲功率(W)是聲源在單位時(shí)間內(nèi)發(fā)射出的總能量，單位是W。超聲波傳感器原理 超聲波發(fā)射原理是把鐵磁材料置于交變磁場中，產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)，發(fā)射出超聲波。 接收原理是當(dāng)超聲波作用在磁致材料上時(shí)，使磁滯材料磁場變化，使線圈

14、產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì)輸出。 6.12 超聲波檢測傳感器超聲波傳感器對(duì)6.12 超聲波檢測傳感器超聲波傳感器應(yīng)用 超聲波探傷/測距/測物tA6.12 超聲波檢測傳感器案例：輸油管檢測檢測機(jī)器人6.12 超聲波檢測傳感器倒車?yán)走_(dá)6.12 超聲波檢測傳感器 魚群探測器 6.12 超聲波檢測傳感器6.13 光電傳感器 光電傳感器通常是指能敏感到由紫外線到紅外線光的光能量，并能將光能轉(zhuǎn)化成電信號(hào)的器件。其工作原理是基于一些物質(zhì)的光電效應(yīng)。 內(nèi)光電效應(yīng) 半導(dǎo)體材料受到光照時(shí)會(huì)產(chǎn)生電子-空穴對(duì),使其導(dǎo)電性能增強(qiáng),光線愈強(qiáng)，阻值愈低，這種光照后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象,稱為內(nèi)光電效應(yīng) 。光敏電阻、光敏二極管和光敏三極管第

15、6章 傳感器測量原理 照相機(jī)自動(dòng)測光光控?zé)艄I(yè)控制6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 光電池 光生伏特效應(yīng)指半導(dǎo)體材料P-N結(jié)受到光照后產(chǎn)生一定方向的電動(dòng)勢(shì)的效應(yīng)。以可見光作光源的光電池是常用的光生伏特型器件。+-PN6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 應(yīng)用 光電傳感器在工業(yè)上的應(yīng)用可歸納為輻射式(直射式)、吸收式、遮光式、反射式、四種基本形式。 6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 案例：光電鼠標(biāo)就是利用LED與光敏晶體管組合來 測量位移。6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 亮度傳感器：通過檢測周圍環(huán)境的亮度，再與

16、內(nèi)部設(shè)定值相比較，調(diào)整光源的亮度和分布，有效利用自然光線，達(dá)到節(jié)約電能的目的。6.13 半導(dǎo)體敏感元件傳感器 相機(jī)測距反射式光電傳感器6.14 CCD固態(tài)圖象傳感器 MOS(Metal Oxide Semiconductor)光敏元的結(jié)構(gòu)是在半導(dǎo)體(P型硅)基片上形成一種氧化物(如二氧化硅)，在氧化物上再沉積一層金屬電極，以此形成一個(gè)金屬-氧化物-半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)元 (MOS)。 第6章 傳感器測量原理 在半導(dǎo)體硅片上按線陣或面陣排列MOS單元，如果照射在這些光敏元上的是一幅明暗起伏的圖像，則這些光敏元上就會(huì)感生出一幅與光照強(qiáng)度相對(duì)應(yīng)的光生電荷圖像。6.14 CCD固態(tài)圖象傳感器01111100光敏

17、管陣列并聯(lián)串聯(lián)轉(zhuǎn)換器運(yùn)算電路顯示電路結(jié)束信號(hào)驅(qū)動(dòng)脈沖CCD6.14 CCD固態(tài)圖象傳感器特點(diǎn):(1) 非接觸檢測;(2) 響應(yīng)快;(3) 可靠性高,為修簡便;(4) 測量精度高;(5) 體積小,重量輕; 容易與計(jì)算機(jī)連接(6) 對(duì)被測物體需要強(qiáng)光照射;(7) 受被測物體以外的光的影響.應(yīng)用:(1) 寬度測量; (2) 外徑測量; (3) 主軸徑向跳動(dòng)測量.6.14 CCD固態(tài)圖象傳感器 條形碼掃描器GREY = RED*0.299 + GREEG*0.587 + BLUE*0.114 數(shù)碼相機(jī)6.14 CCD固態(tài)圖象傳感器第8章 傳感器測量原理6.15 其它類型的傳感器 1、熱輻射檢測傳感器

18、絕對(duì)零度以上的物體都有輻射，其強(qiáng)度依賴于物體溫度(K)，根據(jù)普朗克輻射定律有以下表達(dá)式：應(yīng)用： 冶金、軋制、磨削加工以及各種熱加工過程中都涉及到動(dòng)態(tài)溫度場的檢測問題。6.15 其它類型的傳感器2、聲發(fā)射檢測傳感器 材料或結(jié)構(gòu)受外力或內(nèi)力作用產(chǎn)生變形或斷裂，以彈性波形式釋放出應(yīng)變能的現(xiàn)象稱聲發(fā)射。各種材料聲發(fā)射頻率范圍很寬，從次聲、聲頻到超聲。多數(shù)金屬的聲發(fā)射頻帶在超聲范圍內(nèi)。6.15 其它類型的傳感器案例：材料斷裂等結(jié)構(gòu)監(jiān)測6.15 其它類型的傳感器 6.16 智能傳感器第6章 傳感器測量原理 傳感器一般指能夠感知某種物理量（如電、光、磁等）、化學(xué)量（如濃度、PH值等）、生物量（如細(xì)菌等）等的

19、信息，并將該信息轉(zhuǎn)化為電信息的裝置。 智能傳感器是將傳感器與微型計(jì)算機(jī)集成在一塊芯片上，其主要特征是將敏感技術(shù)和信息處理技術(shù)相結(jié)合，使其除了具有感知的本能外，還具有認(rèn)知能力。嵌入式計(jì)算機(jī)智能傾角RS232傳感器IC總線數(shù)字溫度傳感器6.16 智能傳感器振動(dòng)網(wǎng)絡(luò)傳感器智能壓力網(wǎng)絡(luò)傳感器6.16 智能傳感器GSM/SMS6.16 智能傳感器第6章 傳感器測量原理6.17 傳感器選用原則 選擇傳感器主要考慮靈敏度、響應(yīng)特性、線性范圍、穩(wěn)定性、精確度、測量方式等六個(gè)方面的問題。 1、靈敏度 一般說來，傳感器靈敏度越高越好，但，在確定靈敏度時(shí)，要考慮以下幾個(gè)問題。 a)靈敏度過高引起的干擾問題； b)量

20、程范圍。 c)交叉靈敏度問題。2 響應(yīng)特性 傳感器的響應(yīng)特性是指在所測頻率范圍內(nèi)，保持不失真的測量條件。 實(shí)際上傳感器的響應(yīng)總不可避免地有一定延遲，但總希望延遲的時(shí)間越短越好。 3 線性范圍 任何傳感器都有一定線性工作范圍。在線性范圍內(nèi)輸出與輸入成比例關(guān)系，線性范圍愈寬，則表明傳感器的工作量程愈大。傳感器工作在線性區(qū)域內(nèi)，是保證測量精度的基本條件。 6.17 傳感器選用原則 4 穩(wěn)定性 穩(wěn)定性是表示傳感器經(jīng)過長期使用以后，其輸出特性不發(fā)生變化的性能。影響傳感器穩(wěn)定性的因素是時(shí)間與環(huán)境。5 精確度 傳感器的精確度是表示傳感器的輸出與被測量的對(duì)應(yīng)程度。 6.17 傳感器選用原則 6 測量方式 傳感

21、器工作方式，也是選擇傳感器時(shí)應(yīng)考慮的重要因素。例如，接觸與非接觸測量、破壞與非破壞性測量、在線與非在線測量等。6.17 傳感器選用原則 6.18 傳感器的發(fā)展歷史溫度傳感器是最早開發(fā)，應(yīng)用最廣的一類傳感器。根據(jù)美國儀器學(xué)會(huì)的調(diào)查，1990年，溫度傳感器的市場份額大大超過了其他的傳感器。從17世紀(jì)初伽利略發(fā)明溫度計(jì)開始，人們開始利用溫度進(jìn)行測量。真正把溫度變成電信號(hào)的傳感器是1821年由德國物理學(xué)家賽貝發(fā)明的，這就是后來的熱電偶傳感器。五十年以后，另一位德國人西門子發(fā)明了鉑電阻溫度計(jì)。在半導(dǎo)體技術(shù)的支持下，本世紀(jì)相繼開發(fā)了半導(dǎo)體熱電偶傳感器、PN結(jié)溫度傳感器和集成溫度傳感器。與之相應(yīng)，根據(jù)波與物

22、質(zhì)的相互作用規(guī)律，相繼開發(fā)了聲學(xué)溫度傳感器、紅外傳感器和微波傳感器。溫度傳感器6.18 傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀近年來，傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點(diǎn)是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化，它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導(dǎo)致建立新型工業(yè)，是21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的，目前已成功應(yīng)用在硅器件上形成硅壓力傳感器(如上述EJX變送器)。微電子機(jī)械加工技術(shù)，包括體微機(jī)械加工技術(shù)、表面微機(jī)械加工技術(shù)、LIGA技術(shù)(X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制技術(shù))、激光微加工技術(shù)和微型封裝技術(shù)等。石墨傳感器壓電陶瓷6.18 傳感器的發(fā)展趨勢(shì)1、開發(fā)新型傳感器新型傳感器，大致應(yīng)包括：采用新原理；填補(bǔ)傳感器空白；仿生傳感器等諸方面。世界各國都在物性型傳感器方面投入大量人力、物力加強(qiáng)研究，從而使它成為一個(gè)值得注意的發(fā)展動(dòng)向。其中利用量子力學(xué)諸效應(yīng)研制的低靈敏閾傳感器，用來檢測微弱的信號(hào)，是發(fā)展新動(dòng)向之一。2、集成化、多功能化、智能化隨著集成化技術(shù)的發(fā)展，各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現(xiàn)，有的已經(jīng)成為商品。集成化壓力傳感器有壓阻