單晶爐常見應(yīng)急事故處理方法及注意事項(xiàng)

1、單晶爐常見應(yīng)急事故處理方法及注意事項(xiàng)常見事故：（一）停水1）發(fā)生停水或水壓報(bào)警時(shí)，先確認(rèn)水壓表是否偏低，水管和爐筒溫度是否明顯升高?？焖偬嵘w或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。關(guān)閉加熱功率。復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。降低堝位到熔料堝位。5.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。2）停水后水壓恢復(fù)。冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時(shí)，監(jiān)控水壓，有異常立即報(bào)告管理人員。水壓恢復(fù)時(shí)，爐內(nèi)無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶小于10分鐘且石英坩堝未破裂，按加熱功率開，調(diào)節(jié)功率到熔料功率。啟動堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分。熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無嚴(yán)重氧化現(xiàn)象，注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生嚴(yán)重氧化現(xiàn)象、硅液

2、面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。待結(jié)晶全熔后，手動調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。3）停水后水壓無法恢復(fù)，或恢復(fù)時(shí)熔體已結(jié)晶大于10分鐘。在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。停爐，充分冷卻后拆爐（二）停電1）若爐子工作時(shí)，加熱部分停電。復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。降低堝位到熔料堝位。3.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。加熱部分恢復(fù)時(shí)，若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10分鐘且石英坩堝未破），按加熱功率開，將功率升至熔料功率。啟動堝轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分。熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。待結(jié)晶全

3、熔后，手動調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。加熱部分恢復(fù)時(shí)，若停電時(shí)間較長（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。停爐，充分冷卻后拆爐。2）若爐子工作時(shí)，加熱電源、控制電源同時(shí)斷電。立即關(guān)閉抽空閥門。手動搖手柄降低堝位使晶棒與硅液脫離。同時(shí)將氬氣流量調(diào)為最大，充氬氣至-0.05MPa左右，關(guān)閉氬氣。電源恢復(fù)時(shí)，立即開真空泵，待半分鐘后開抽空閥門，將氬氣流量恢復(fù)正常。若時(shí)間較短（液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10分鐘且石英坩堝未破）按加熱功率開，將功率升至熔料功率。啟動堝

4、轉(zhuǎn)，設(shè)定為2轉(zhuǎn)/分。若晶體或籽晶與液面結(jié)晶在一起，則要等晶體或籽晶與液面結(jié)晶面熔化并脫離后方可啟動。熔化結(jié)晶面，在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報(bào)管理人員。待結(jié)晶全熔后，手動調(diào)節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶。若停電時(shí)間較長（液面結(jié)晶已經(jīng)大于10分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。停爐，充分冷卻后拆爐。（三）石英坩堝裂開或漏硅觀察爐內(nèi)硅液面有明顯下降，爐壓有明顯回升現(xiàn)象，即可能漏硅。立即關(guān)閉加熱功率。關(guān)閉抽空球閥，充氬氣至-0.05pa左右，關(guān)閉氬氣。

5、復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。關(guān)閉堝轉(zhuǎn)?？焖偬嵘w或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。停爐，充分冷卻后拆爐。（四）石墨坩堝裂開堝轉(zhuǎn)打開后，液面晃動異常嚴(yán)重，觀察電流表指針有擺動現(xiàn)象，即可能石墨堝破裂。立即關(guān)閉加熱功率。復(fù)位控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。關(guān)閉堝轉(zhuǎn)?？焖偬嵘w或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。在熔體結(jié)晶15分鐘時(shí)，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。停爐，充分冷卻后拆爐。注意事項(xiàng)：1、在裝完料抽空檢漏時(shí)，真空泵開啟，應(yīng)先開真空泵電源，再開球閥；

6、關(guān)閉時(shí)，應(yīng)先關(guān)球閥，再關(guān)真空泵電源。切記不要將順序記反，避免回氣污染原料。2、不進(jìn)行快速操作時(shí)（晶快升，快降，堝快升，快降），將手操器按件推到“禁止”狀態(tài)。需要打快速時(shí)，打到“允許”狀態(tài)。進(jìn)行快速操作時(shí)應(yīng)當(dāng)時(shí)刻注意爐內(nèi)情況，避免出現(xiàn)濺硅、漏硅、硅跳、籽晶卡頭斷裂、重錘熔化等事故。3、加熱時(shí)必須打開水溫報(bào)警，加熱電流過低報(bào)警，加熱器異常報(bào)警等。避免因人為疏忽發(fā)生異常情況，電腦無法報(bào)警造成事故的發(fā)生。部分爐臺出現(xiàn)水溫報(bào)警，可能是因?yàn)榫€路松脫等原因造成，及時(shí)檢查原因，若出現(xiàn)假報(bào)警時(shí)，可將水溫報(bào)警開關(guān)退出，切記不要將控制柜上方的紅色總報(bào)警器關(guān)閉。4升降液壓時(shí)將計(jì)算機(jī)畫面按到（繼電控制）上。不使用時(shí)如出

7、爐后及時(shí)關(guān)掉液壓泵，防止時(shí)間過長，泵過熱。5加熱前將畫面按到（溫度系統(tǒng)），加熱水壓觸點(diǎn)燈亮，水壓觸點(diǎn)燈不亮，加熱故障燈不亮方可加熱。6、加熱時(shí)若出現(xiàn)打火現(xiàn)象（電流突然變大，電壓減?。┯?jì)算機(jī)會加熱器異常報(bào)警，此時(shí)請將歐陸加熱降到最小，后關(guān)閉加熱。然后重新加熱并注意觀察。若出現(xiàn)兩次以上打火，請停止加熱。拆爐檢查。7、大清爐臺時(shí)應(yīng)當(dāng)檢查石墨件是否有破損或裂紋現(xiàn)象，若有應(yīng)當(dāng)及時(shí)更換。8、下降或上升堝位時(shí)應(yīng)當(dāng)注意該爐臺的報(bào)警限位，不要超出報(bào)警限位，以防出現(xiàn)石墨件的斷裂或波紋管的損傷。9、裝好石墨坩堝后，開起堝轉(zhuǎn)，看有無轉(zhuǎn)動偏心、碰其它石墨器件等情況，若有應(yīng)及時(shí)調(diào)整以防對拉晶造成影響。10、在取晶棒時(shí)，細(xì)籽晶處應(yīng)當(dāng)用鉗子剪斷，嚴(yán)禁敲打籽晶，避免因籽晶受力產(chǎn)生微裂痕導(dǎo)致斷裂的事故發(fā)生。11、取棒時(shí)晶棒升到副室后，將翻板閥關(guān)閉、副室下邊的防護(hù)鋼板移到晶棒正下方，輕輕移動副室以防晶棒在副室內(nèi)碰撞籽晶斷裂。待晶棒穩(wěn)定后再取出，晶棒下方嚴(yán)禁站人，避免人員傷亡等。12