(管理制度)ESD管理辦法

1、治理制度ESD 治理辦法靜電產(chǎn)生過程:在工業(yè)生產(chǎn)中常見的靜電產(chǎn)生物理過程包括:固體靜電產(chǎn)生包含: 接觸帶電.金性屬與高分固體的接觸帶及斷裂. 壓電效應(yīng).熱電效應(yīng). 剝離. 電解等)。粉體起電。液體起電。靜電現(xiàn)象: 是電荷的產(chǎn)生和消逝的過程中產(chǎn)生的靜電現(xiàn)象的總稱。靜電之優(yōu)缺點(diǎn):靜電具有雙重性,即能為人類造福. 即為利用靜電應(yīng)用技術(shù)制造出靜電復(fù)印. 靜電涂敷.靜電除塵等, 但是.在電子工業(yè)制造中也存在靜電危害, 現(xiàn)正在日益表露出來并漸漸受人們所重視. 其在電子工業(yè)領(lǐng)域的靜電危害形式如下:靜電吸附靜電放電引起的器件擊穿(硬擊穿. 軟擊穿) 靜電感應(yīng).靜電放電時產(chǎn)生的電磁脈沖敏感組件:電子組件在電子產(chǎn)

2、品制造業(yè)上最為普遍, 最嚴(yán)峻的是靜電危害.即電子組件在預(yù)處理. 焊接. 清洗.單板測試. 組裝, 調(diào)試.直到包裝,貯存,發(fā)送等工序時,由于接觸- 分別- 摩擦- 感應(yīng)等作用, 都會使操作人員.工具.工作臺面, 電子組件,電子組件包裝容器等產(chǎn)生靜電, 同時會隨時對電子組件造成靜電損害. 因此. 此類電子組件為靜電敏感組件( 如 IC. 晶體等), 總稱“ 敏感組件“。靜電釋放:ESD(ELECTROSTATICDISCHARGE) 一種突然產(chǎn)生的靜電重安排, 這對敏感組件或裝置會造成損壞。靜電(ESD) 防護(hù)安全距離: 為能使簡潔受靜電破壞之產(chǎn)品. 敏感組件得到有效安全的保護(hù). 設(shè)立 1 米(3

3、 尺) 保護(hù)范圍的安全距離。3.5ESD 稽核員: 對靜電防護(hù)的產(chǎn)品. 工作區(qū)域. 敏感組件等進(jìn)展技術(shù)性之量測和處理之專業(yè)稽核檢查人員。特定工作人員: 指正規(guī)受訓(xùn)過并考試合格之 ESD 稽核員和主管級以上干部。自我檢查:表示工作區(qū)域內(nèi)之全部人員每日上班前對自己工作區(qū)域內(nèi)靜電防護(hù)檢查。保護(hù)接地:將電氣設(shè)備. 裝置不帶電的金屬局部與接地體( 地壤直接接觸的導(dǎo)電金屬體)之間作良好的金屬連接。外表阻抗:表示物體之外表局部與接地線之間的絕緣電阻阻抗數(shù)值,通常用奧姆( )表示。靜電電壓:表示物體外表過?；蛉狈Φ撵o止電荷量. 用電壓伏(Voltage)表示。防靜電屏蔽袋: 用防靜電材料之包裝袋進(jìn)展成品或半成

4、品包裝( 適用于客戶要求)。導(dǎo)體容器:用于存放防靜電成品, 半成品之導(dǎo)電體容器。有線靜電手環(huán): 為防止人體接觸敏感組件而造成靜電破壞,佩帶于手(腳)上的防靜電物品, 并用一根導(dǎo)線連接接到大。. 要求: 手環(huán)上之電阻在8.0 1010 范圍內(nèi). 佩帶手環(huán)之緊度要接觸皮膚為準(zhǔn). 靜電手環(huán)又俗稱“ 靜電手腕” 。靜電手套:為防止人手觸摸敏感組件, 使其上汗. 油污并造成靜電破壞和腐蝕,特佩帶防靜電的材料制作成的手套, 并要求靜電阻抗為1010 , 范圍內(nèi), 靜電電壓為 100 伏特以下。防靜電周轉(zhuǎn)箱: 為使簡潔受靜電敏感之成品. 半成品,存放于用防靜電材料制作的容器內(nèi), 進(jìn)展儲存或運(yùn)輸. 并要求用防

5、靜電材料制作之隔板進(jìn)行隔離。檢定: 即用標(biāo)準(zhǔn)器對被量測之儀器進(jìn)展比對. 檢定值是否超出誤差范圍。內(nèi)校: 利用現(xiàn)有的可追溯到國家或國際之標(biāo)準(zhǔn)器, 校正檢定公司內(nèi)之儀器。校正失效:用標(biāo)準(zhǔn)器對廠內(nèi)儀器進(jìn)展量測比對,被量測之儀器示值超出最大允許誤差范圍, 則判定為校正不合格. 即為校正失效。校驗周期:儀器設(shè)備視其使用頻繁程度,規(guī)定其每年進(jìn)展校驗檢定次數(shù)。即為校驗周期。權(quán)責(zé):儀校中心負(fù)責(zé)靜電(ESD) 把握技術(shù)指標(biāo). 制訂靜電防護(hù)方法, 以及工作之提倡。品保單位. 制造單位.SMT 單位. 實施靜電防護(hù)工作. 并每日進(jìn)展自我檢查, 提報不良狀況。資材部實施靜電保護(hù)工作. 并對敏感之組件和成品. 半成品妥

6、當(dāng)之保存和防護(hù)。生技課 ESD 工程師負(fù)責(zé)對全廠內(nèi)靜電防護(hù)單位和個人進(jìn)展ESD 技術(shù)性之把握. 量測.稽核和處理改善。程序內(nèi)容:靜電(ESD)防護(hù)流程圖作業(yè)說明:訓(xùn)練:對進(jìn)員工, 必需進(jìn)展靜電防護(hù) (ESD) 之教育訓(xùn)練. 受訓(xùn)時間不低于 4 小時。無受過靜電防護(hù)(ESD) 訓(xùn)練培訓(xùn)者, 不行上線靜電防護(hù)區(qū)域或接觸敏感組件。特定人員. 靜電防護(hù)組織成員, 稽核小組必需定期受訓(xùn)。據(jù)打算稽核小組組長擬訂 教育訓(xùn)練打算表( 附件一) 并根表對全廠員工受訓(xùn), 受訓(xùn)時必需作出教育訓(xùn)練記錄。 5.2.1.5受訓(xùn)過靜電防護(hù)的人員, 必需有靜電防護(hù)識別標(biāo)示( 如以下圖一所示), 分期對人員進(jìn)展受訓(xùn)。受訓(xùn)后人員

7、必需進(jìn)展考試, 及格為 80 分。考試題目如(附件二)( 附件三) 所示。受訓(xùn)課程必需包含以下內(nèi)容:靜電之概念產(chǎn)生物理過程1H30靜電之來源.對半導(dǎo)體組件的不良影響.0.5H30靜電防護(hù)區(qū)域之化分及防護(hù)措施0.5H30保護(hù)靜電之包裝. 運(yùn)輸. 儲存0.5H30靜電防護(hù)的識別標(biāo)示.0.5H30ESD 治理小組及工作職掌0.5H30自我檢查的流程內(nèi)容及實施0.5H30受訓(xùn)內(nèi)容受訓(xùn)時間受訓(xùn)人數(shù)(不得超過)靜電把握區(qū)域:凡對敏感組件會造成損害之區(qū)域必需用班瑪帶標(biāo)貼“靜電(ESD 防護(hù)安全距離“ 如以下圖( 二) 所示。只能在其范圍內(nèi)組裝和裝置。有效距離為 1 米(3 尺) 內(nèi)。靜電防護(hù)在其把握作業(yè)中,

8、每周指派專人進(jìn)展技術(shù)量測和稽核,并記錄于【 ESD 稽核檢查記錄周報表】(PHG-Q4-PE39)內(nèi)。每年必需對外包廠進(jìn)展之評鑒一次以上, 記錄于【外包廠ESD 評監(jiān)報告】(PHG-Q4-PE42)內(nèi), 對不良狀況提出改善意見和對策, 并定期進(jìn)展追蹤處理結(jié)果, 記錄于【ESD 特別處理對策單】 (PHG-Q4-PE43)內(nèi)。矯正措施:當(dāng)靜電電壓超過 100V 時, 并對其進(jìn)展隔離, 分析不良緣由,加以改善, 必需有 ESD 稽核員。ESD 工程師和 ESD 主任 3 人以上人員進(jìn)展確認(rèn)并記錄于【 ESD 特別處理對策單】內(nèi)。緊急事故處理:當(dāng)在靜電防護(hù)區(qū)域作業(yè)時, 發(fā)生意外事故時,應(yīng)先考慮是否對

9、人身安全有危害, 并馬上實行措施解決. 此后,再考慮解決是否對靜電防護(hù)有破壞, 并加以改善。對外包廠商靜電防護(hù)要求:外包廠商與公司有直接的業(yè)務(wù)來往, 為了質(zhì)量的提升, 為降低不良的發(fā)生, 對其也要作靜電防護(hù)的要求:生產(chǎn)工藝: 在生產(chǎn)制程過程中, 須作靜電防護(hù)。包裝: 對靜電有敏感之組件(如:IC. 晶體等) 必需防靜電膠帶包裝。運(yùn)輸: 必需把完成品存放于防靜電屏蔽袋內(nèi)而運(yùn)輸, 并標(biāo)明靜電防護(hù)標(biāo)示。如下(圖三) 所示。ESD治理組職:( 附件三).稽核組織成員:必需受過 ESD 正規(guī)的教育訓(xùn)練,是廠內(nèi) ESD 的技術(shù)參謀, 對靜電防護(hù)進(jìn)展技術(shù)的量測。檢驗和治理, 并制訂受訓(xùn)打算和進(jìn)展提倡, 稽核

10、組織成員工作職掌如(附件四)所示。靜電防護(hù)成員:必需受過靜電防護(hù) (ESD) 正規(guī)訓(xùn)練,獲得 ESD 資格, 對全廠內(nèi)靜電防護(hù)進(jìn)展治理和推動實施。靜電防護(hù)之成員必需是生產(chǎn)線班組長以上干部。工作職掌如( 附件四) 所示。靜電(ESD) 檢查:靜電 ESD 每日自我檢查:各靜電防護(hù)(ESD) 單位之員工每日上班前進(jìn)展靜電防護(hù)自我檢查。使用之有線靜電環(huán)是否測試過。如有測試,是否記錄于【靜電環(huán)檢查記錄表】(PHG-Q4-PE45)內(nèi)。在其工作區(qū)域內(nèi)之靜電臺墊是否接地, 臺面是否清潔,干凈。(袋等)。馬上通知在其工作之工作臺面上是否有產(chǎn)生靜電物( 如: 塑料帶儀器. 治具是否完全接地。員工本人使用之烙鐵

11、是否 3Pin 之插頭. 假設(shè)為 2Pin 應(yīng)所在單位的負(fù)責(zé)人聯(lián)絡(luò) ESD 工程師加以改善。檢查自己是否有靜電防護(hù)訓(xùn)練合格后, 所佩帶的 ESD認(rèn)別標(biāo)示牌. 如上圖( 一) 所示。每個員工進(jìn)展自我檢查后, 并記錄于【ESD 每日自我檢查記錄表】(PHG-Q4-PE46)內(nèi). 經(jīng)所在單位負(fù)責(zé)人確認(rèn)前方能上線工作。稽核檢查:為使靜電防護(hù)得到徹底的推動執(zhí)行和質(zhì)量提升。能準(zhǔn)時覺察不良現(xiàn)象,并得到有效之改善。特 ESD 稽核小組每月內(nèi)派專人負(fù)責(zé)稽核檢查, 每周依據(jù)稽核檢查程序進(jìn)展稽核檢查一次。檢查全部員工是否依據(jù)自我檢查程序進(jìn)展自我檢查, 并有完整記錄。量測工作臺墊靜電電壓和阻抗的實際示值,靜電電壓和阻

12、抗是否分別為 100 伏特以下或510108 之間。量測靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓是否超過 100 伏特。有線靜電手環(huán)是否有不良現(xiàn)象, 如不良現(xiàn)象,有無改善措施和對策。靜電安全區(qū)之儀器. 設(shè)備. 工具是否安全接地。每日上班前全部員工是否進(jìn)展靜電手環(huán)測試并記錄于靜電環(huán)檢查記錄表不允許沒有帶靜電腕環(huán)( 或接地線)的人靠近你的靜電安全區(qū) 1 米(3 尺)之內(nèi), 告知他們在你的區(qū)域要靠近和觸摸, 任何對象之前的人,要帶靜電腕環(huán)( 或接線)才可進(jìn)入, 而觸摸元?dú)饧匦枧鍘ъo電手套。靜電防護(hù)把握區(qū)域是否有狀態(tài)標(biāo)示( 如上圖二所示). 是否劃線列出管制。儀器. 治具是否超出 100 伏特。靜電安全區(qū)域全部物品均是

13、否低于 100 伏特。5.3.2.10IC 房.濕度是否把握在 55%10%。檢查靜電防護(hù)工作區(qū)的接地線是否漏接,損壞或開路, 斷線現(xiàn)象。檢查工作區(qū)是否會產(chǎn)生靜電物. 如未處理塑料袋. 箱子. 保力龍,膠帶或個人用品, 最少離 ESD 敏感組件 1 米(3 尺) 之距離。檢查全部的 ESD 敏感組件, 半成品.成品是否完全的放在導(dǎo)體容器(導(dǎo)靜電籃子)內(nèi)。確認(rèn)裝 ESD 敏感組件的導(dǎo)體容器( 導(dǎo)靜電籃子) 內(nèi)沒有會產(chǎn)生靜電物。確認(rèn)全部保護(hù)容器在外邊均有一成認(rèn)的靜電留意標(biāo)志。如上( 圖三) 所示。如任一檢測工程失敗的話, 則未受到保護(hù),ESD 敏感組件不許搬動, 直到改善為止, 如執(zhí)行者不能改善這

14、些錯誤, 則 ESD 主任須負(fù)責(zé)改善。各部門有責(zé)任將其自我檢查及執(zhí)行情形承受班組長之確認(rèn), 并將其結(jié)果完整記錄送交稽核小組內(nèi)存盤管制。ESD 工程師經(jīng)常執(zhí)行 ESD 稽核使 ESD 把握的標(biāo)準(zhǔn)化能落實。從他們對部門程序的了解,ESD 稽核員應(yīng)每月一次執(zhí)行稽核。執(zhí)行每月 ESD 自我稽核時,需確認(rèn)其程序書仍是可用的,及能使用正確的儀器、設(shè)備, 并須定期受校正檢定。當(dāng)覺察不符規(guī)定的事項能快速的實行改善措施。年度稽核在 11-12 月中進(jìn)展?；藱z查結(jié)果應(yīng)記錄于 ESD 稽核檢查記錄表內(nèi)。另: 稽核檢查表及未列入表內(nèi)以外的上述內(nèi)容,如有不良現(xiàn)象發(fā)生,應(yīng)出具【ESD 特別處理對策單】, 送出靜電防護(hù)治

15、理組織相關(guān)人員進(jìn)展對策和加以改善。量規(guī)儀器靜電區(qū)域之管制:靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)之儀器.設(shè)備必需安全接地,其靜電電壓值不得超過 100Voltage,假設(shè)超出儀器設(shè)備必需進(jìn)展隔離直至處理改善前方能再投入使用, 并記錄【 ESD 特別處理對策單】內(nèi)。每三個月儀校中心進(jìn)展靜電保護(hù)接地是否良好檢查, 并記錄于 ESD 季度接地檢查記錄表】(PHG-Q4-PE41)如內(nèi)。接地電阻不得超過 3 。防靜電用品. 裝備之質(zhì)量檢驗。防靜電工作服和帽:外觀質(zhì)量: 防靜電工作服.帽外觀要求無破損.斑點(diǎn).污物以及影響衣、帽上之性能缺陷. 構(gòu)造設(shè)計要滿足穿著輕松, 舒適便于解脫.服裝上一般不得使用金屬或橡膠佩件.如金屬或橡膠

16、帶靜電之銘牌或商標(biāo)等。靜電量檢驗: 對防靜電工作服和帽進(jìn)展靜電量測時. 先進(jìn)展洗滌( 不包含購入未使用服裝和帽), 其洗滌條件應(yīng)符合( 表一), 并洗滌脫水自然晾干前方可量測. 靜電電壓不得超過 50 伏特。洗滌條件工程洗滌方式水溫水溶量條件普洗40+3 30 升以上工程洗滌液濃度溶比條件2g/ 升1:30(表一)(注: 洗滌劑呈中性或微堿性 PH=7-8) 。防靜電鞋:外觀質(zhì)量: 鞋底應(yīng)無絕緣物, 無裂紋. 無開膠.無孔洞. 鞋面不得帶有金屬或其它帶靜電橡膠銘牌等。質(zhì)量檢驗:鞋底電阻阻抗值應(yīng)為 0.5 1010 范圍內(nèi), 鞋面電壓值不得超過 100 伏特。防靜電工作臺墊: 外表阻抗應(yīng)為 10

17、10 范圍內(nèi),鞋面靜電值不得超過 100 伏特。防靜電零件盒,周轉(zhuǎn)箱. 膠帶。外觀質(zhì)量: 應(yīng)無裂紋, 破損. 不得有明顯變形. 并要求盒箱外表光滑,且膠帶必需松軟、光滑。質(zhì)量檢驗: 靜電量不得超過 100 伏特。防靜電手環(huán):外觀質(zhì)量: 手環(huán)帶應(yīng)無毛刺. 裂跡和孔洞。質(zhì)量檢驗: 用靜電手環(huán)測試器測試是否為“GOOD“ 。或用 FLUKE5500A檢定電阻值在 8.0 10-10 范圍內(nèi),并且手環(huán)帶引出線必需串接一只 10 電阻。注明:以上防靜電用品測試不合格為 A 類不合格. 不行使用. 另外觀不合格為 B 類不合格. 視其情形酌情考慮是否可使用之。5.6 防靜電測試器之檢驗:防靜電測試用之儀器

18、: 靜電手環(huán)測試器. 外表阻抗測試器. 靜電電壓測試儀. 接地阻抗測試器, 依據(jù)【儀器設(shè)備管制打算表】(PHG-Q4-CC02)之“校驗周期“.“ 打算校驗日期“ 進(jìn)展送出中國電子工業(yè)部第五爭辯所 601 計量站國家級計量單位檢定, 或依據(jù)廠內(nèi)自身校正力量進(jìn)展內(nèi)校.檢定失效或不合格則進(jìn)展改善對策, 并記錄于【標(biāo)準(zhǔn)器. 量規(guī). 儀器校正失效記錄表】(PHG-Q4-CC07)內(nèi)。附件:進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題( 附件一)進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題( 附件二) 6.3ESD治理組職圖(附件三)ESD治理組職工作職掌(附件四)ESD稽核檢查記錄周報表(PHG-Q4-PE39)外包廠. 協(xié)力廠 ESD 評鑒報告(PHG-Q4-PE42) 6.7ESD特別處理對策單 (PHG-Q4-PE43)6.8 靜電環(huán)檢查記錄表(PHG-Q4-PE45) 6.9ESD每日自我檢查記錄表(PHG-Q4-PE46)ESD季度接地檢查記錄表 (PHG-Q4-PE41)儀器設(shè)備管制打算表 (PHG-Q4-CC02)標(biāo)準(zhǔn)器. 量規(guī). 儀器校正失效記錄表(PHG-Q4-CC07)相關(guān)文件:靜電防護(hù)手冊.靜電根底理論附件三靜電治理組職圖附件四靜電主任靜電治理