工廠無塵室培訓(xùn)教材課件

1、無塵室培訓(xùn)教材無塵室的起源與發(fā)展 十九世紀(jì)初期，各種細(xì)菌被相繼發(fā)現(xiàn)，為防止病房、手術(shù)室中細(xì)菌傳播，無菌室成為最有效的對策，這便是現(xiàn)代無塵室的前身。 飛機所使用的小軸承及齒輪若至于粉末，灰塵多的環(huán)境中制造，不但故障頻發(fā)而且容易引發(fā)嚴(yán)重事故，這個事實在二戰(zhàn)前就已經(jīng)被了解。 二戰(zhàn)時，美國將零件置于空氣浮塵較少處進行加工組合，裝備的可靠性得到極大的提升。 與此同時，美國的曼哈頓計劃中，為除去放射性微粒，制造了超高性能過濾器(HEPA FILTER)，對日后潔凈技術(shù)的開發(fā)影響極大。 1967年，美國進行阿波羅計劃時，為防止細(xì)菌在大氣層和外太空傳播，制定了無塵室的相關(guān)規(guī)格。無塵室的控制要素 3無塵室的定義

2、無塵室(Clean Room)：指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除；并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。 亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈等級分類 5污染物大小與對比0.5um粒徑肉眼可視粒徑-5um人類頭發(fā)直徑-100um無塵室控制-微塵粒子的排除7減少粒塵進入無塵室去除外器引入之塵粒控制正壓設(shè)置Air Shower設(shè)置Pass Box去除無塵室內(nèi)之塵粒沖淡法:以潔凈空氣沖淡無塵室內(nèi)塵粒置換法:以潔凈空氣置

3、換無塵室內(nèi)之塵粒無塵室控制-微塵粒子的排除天花板上最終空氣過濾網(wǎng)種類HEPAHigh Efficiency Particulate Air Filter濾除大氣中0.3m以下之微粒子過濾效率99.97% 以上DOP(即穿透率小于萬分之三)ULPAUltra Law Penetration Air Filter濾除大氣中0.1m以下之微粒子過濾效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十萬分之一)Note :傳統(tǒng)濾材為玻璃纖維材,隨晶圓線徑越細(xì), 濾材逐漸為PTFE 無塵室控制-微塵粒子的排除Air FlowFan Filter Unit外氣空調(diào)箱DCToolsDCHumidifierTools

4、無塵室控制-微塵粒子的排除11每立方呎屋外空氣 塵粒(0.3m)數(shù)量大約7,143,000個經(jīng)初級濾網(wǎng)去除數(shù)量1%(重量去除85%)通過7,072,000個/ft3經(jīng) 中級濾網(wǎng)去除數(shù)量55%通過3,182,400個/ft3經(jīng)最終濾網(wǎng)去除數(shù)量99.97%通過955個/ft3進無塵室假設(shè)送風(fēng)量350ft3/sec潔凈度控制舉例無塵室初級濾網(wǎng)預(yù)冷盤管預(yù)熱盤管加濕器截水器冷卻盤管加熱盤管初級濾網(wǎng)送風(fēng)機組中級濾網(wǎng)逆止風(fēng)門外氣空調(diào)箱無塵室控制-微塵粒子的排除無塵室控制人員的進出管控經(jīng)預(yù)冷盤管后冷卻為16.6oC RH 100%假設(shè)送風(fēng)量10m3/sec無塵室初級濾網(wǎng)預(yù)冷盤管預(yù)熱盤管加濕器截水器冷卻盤管加熱

5、盤管初級濾網(wǎng)送風(fēng)機組中級濾網(wǎng)逆止風(fēng)門夏天外氣條件DB 35oC，RH 80%(氣象統(tǒng)計1%)無塵室運轉(zhuǎn)條件222oC，RH 455%(依產(chǎn)品制造要求)經(jīng)冷卻盤管后除濕為9.5oC RH 100%經(jīng)加熱盤管后 改變濕度11.2oC RH 90%外氣空調(diào)箱控制 溫度、濕度無塵室控制溫濕度的控制無塵室控制氣流型態(tài)的控制17無塵室控制氣流型態(tài)的控制亂流式潔凈室適用在Class100或較不嚴(yán)謹(jǐn)之潔凈室側(cè)回風(fēng)10,000-100,000級；地板回風(fēng) 1,00010000級垂直層流式潔凈室層流方式一般用于100級及以下的潔凈室水平層流式潔凈室適用在醫(yī)院手術(shù)室等場所混流式潔凈室Class100或Class1kClass10或Class1Class100或Class1kFFU系統(tǒng)循環(huán)空調(diào)箱風(fēng)管系統(tǒng)ItemsFFU/DC SystemPCC System風(fēng)管(天花板上)少(OA only)多(PCC,OA,HEPA)配管單純(Aligned)復(fù)雜(Scattered)控制閥少(DC Group)多(PCC Individual)風(fēng)車數(shù)量多(FFU Nos)少(PCC Nos)控制組件少(DC Group)多(PCC Individual)濕度控制普通優(yōu)溫度控制優(yōu)優(yōu)噪音低高系統(tǒng)可變彈性優(yōu)劣系統(tǒng)升級性易難操作維護易普通排水管不需要需要(PCC除濕)初設(shè)成本較高較低運轉(zhuǎn)成本較低較高二次