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1、2021年中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模及競(jìng)爭(zhēng)格局分析 國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程任重而道遠(yuǎn) HYPERLINK /hs/zhengquan_300398.SZ.html 中國(guó)光刻膠行業(yè)主要上市公司:飛凱材料(300398)、容大感光(300576)、廣信材料(300537)、上海新陽(300236)、永太科技(002326)、雅克科技(002409)、江化微(603078)等。本文核心數(shù)據(jù):中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)格局,中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模,本土半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)產(chǎn)能情況等。1、半導(dǎo)體光刻膠隨集成電路線寬的縮小而演變光刻膠按下游應(yīng)用分類,可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠和PCB光刻膠。在集成電路制造過程中,光刻和
2、刻蝕技術(shù)是精細(xì)線路圖形加工中最重要的工藝,決定著芯片的最小特征尺寸,占芯片制造時(shí)間的40%-50%,占制造成本的30%。半導(dǎo)體光刻膠隨著市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品小型化、功能多樣化的要求,而不斷通過縮短曝光波長(zhǎng)提高極限分辨率,從而達(dá)到集成電路更高密度的集積。為適應(yīng)集成電路線寬不斷縮小的要求,光刻膠的波長(zhǎng)由紫外寬譜向g線(436nm)i線(365nm)KrF(248nm)ArF(193nm)F2(157nm)的方向轉(zhuǎn)移,演進(jìn)路線如下:2、國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模穩(wěn)步增長(zhǎng)、ArF膠和KrF膠是主流當(dāng)前,中國(guó)已是全球最大半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)家,2020年市場(chǎng)規(guī)模占全球比重為34.5%,光刻膠作為半導(dǎo)體制造的核心材料之
3、一,對(duì)半導(dǎo)體光刻膠的需求也不斷增長(zhǎng)。據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù)顯示,在此之中中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)從2015年的1.3億美元增長(zhǎng)至2020年的3.5億美元,同比增長(zhǎng)約為40%。從我國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的市場(chǎng)結(jié)構(gòu)來看,2020年,ArF光刻膠占比40%;KrF光刻膠占比39%;G/I線光刻膠占比20%。3、中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠需求主要由外企滿足半導(dǎo)體光刻膠屬于光刻膠高端產(chǎn)品,受技術(shù)限制,當(dāng)前,我國(guó)半導(dǎo)體光刻膠需求主要由外資企業(yè)來滿足,2020年,外資企業(yè)的市場(chǎng)份額達(dá)71%。從不同光刻膠產(chǎn)品的自給率來看,目前適用于6英寸硅片的g線、i線光刻膠的自給率約為20%,適用于8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%,而適
4、用于12寸硅片的ArF光刻膠基本依靠進(jìn)口,光刻膠國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。4、本土半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)可量產(chǎn)i/g膠、KrF膠由于半導(dǎo)體光刻膠的技術(shù)壁壘較高,我國(guó)布局相關(guān)技術(shù)的本土企業(yè)較少。其中,北京科華、上海新陽和徐州博康均布局了i/g line膠、KrF膠和ArF膠技術(shù),但暫未有1家企業(yè)布局EUV膠技術(shù):從本土企業(yè)的產(chǎn)能情況來看,截至2021年上半年末,可量產(chǎn)i/g line膠的企業(yè)包括北京科華、晶瑞電材;可量產(chǎn)KrF的企業(yè)有北京科華;而其余產(chǎn)品目前基本無可量產(chǎn)的企業(yè):從領(lǐng)先企業(yè)的產(chǎn)能情況來看,目前,我國(guó)有北京科華、晶瑞電材等企業(yè)可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻膠的量產(chǎn),其中,此外,在本土企業(yè)中,北京科華是唯一被Sem
5、icon列入全球光刻膠八強(qiáng)的中國(guó)光刻膠公司,2020年北京科華光刻膠銷售8928萬元,是中國(guó)銷售額最高的光刻膠公司。其中,公司的i線光刻膠產(chǎn)品銷售額5495萬元,占中國(guó)i線光刻膠銷售額的16.7%;KrF(248nm)光刻膠銷售286萬元,是唯一可以批量供應(yīng)KrF光刻膠給8寸和12寸客戶的本土光刻膠公司。5、國(guó)內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能不斷擴(kuò)張、光刻膠國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程任重而道遠(yuǎn) HYPERLINK /neeq/zhengquan_838275.OC.html 晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)張是半導(dǎo)體光刻膠需求增長(zhǎng)核心驅(qū)動(dòng)力。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),中國(guó)大陸晶圓廠產(chǎn)能市場(chǎng)份額從1995年1.7%提升至2020年22.8%,成為第一大晶圓生產(chǎn)國(guó)。而據(jù)預(yù)測(cè),2021-2022年,中國(guó)將有另8座晶圓廠開工建設(shè),占全球比例近1/3。在現(xiàn)有8寸和12寸晶圓產(chǎn)線中,90-14nm產(chǎn)能占比最大增速最高,而在晶圓廠新建生產(chǎn)線中以90-28nm制程節(jié)點(diǎn)為主,能夠應(yīng)用于該制程的光刻膠為ArF膠,但目前,我國(guó)僅有少數(shù)企業(yè)成功研發(fā)了ArF膠,暫無可量產(chǎn)ArF膠的企業(yè)??梢?,未來幾年,隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)張和集中建設(shè),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠需求仍將快速增長(zhǎng),但目前,本土企業(yè)的
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