江蘇大學論文封面好用

1、J I A N G S U U N I V E R S I T Y光電功能材料論文論文題目透明導電薄膜溢劉2學 號 3110707033透明導電薄膜摘要：本篇論文不是按照傳統(tǒng)的論文格式書寫，而是按照思維的 一個邏輯性做出對透明導電薄膜的介紹、制備、參數(shù)、及發(fā)展趨勢作 出論述。選題是薄膜功能材料，選擇透明導電薄膜是因為它在太陽能 電池的組成部分之一，對太陽能電池的性能起到很重要的作用。首先讓我們認識一下透明導電薄膜，透明導電薄膜，顧名思 義，是一種兼具透光性和導電性的一類功能薄膜材料，而在專業(yè) 層面是指：對可見光（波長入在380 780 nm范圍內(nèi)）的透射率 高且電導率高的薄膜。確切地說,可見光

2、的平均透光率Tavg80% 、電阻率在10- 3Q cm以下的薄膜才能稱為透明導電膜【1】（ 韓雪，夏慧,吳麗君.透明導電膜及靶材J.電子元件與材料， 1998,17（1）:30- 35.）。不過魚和熊掌不可兼得，透明就意味 著材料的能帶隙寬度大 （Eg3 eV）而自由電子少；另一方 面，電導率高的材料往往自由電子多而像金屬，從而不透明【2 】（李玲，向航.功能材料與納米技術M.北京：化學工業(yè) 出版社,2002.）。也就是說對固體材料來說，透光度和導電性是 一對矛盾的屬性。所以只有能同時滿足這兩種條 件的材料才能 在透明導電膜上應用。自1907年,Bakdeker第1個報道了CdO透明導電膜以

3、來，經(jīng)過 近一個世紀的研究，目前的透明導電薄膜主要有：金屬膜、 金屬氧化物膜、其他化合物膜、高分子膜、復合膜等。其中應 用范圍最為廣泛的是前兩種。而用在太陽能電池上面的主要是FTO （氧化錫薄膜）、AZO （氧化鋅鋁薄膜）、ITO （氧化錮錫薄 膜）三種。透明半導體薄膜因其透明、導電的優(yōu)異性能而應用廣 泛，除了應用在太陽能電池之外，在很多其他領域也有廣泛應用 。透明導電薄膜在能 源、信 息、國防等領域 具有廣泛的應 用 價值和重要的研究意義。作為光電子器件的關鍵電極材料， 在平面顯 示、觸摸屏等領域具有巨大的市場需求。此外，透明 導電薄膜還可應用于低輻射玻璃（建筑、汽車、冰箱中的環(huán)保 隔熱玻璃

4、）、節(jié)能電致變色窗、除霜除霧玻璃、抗靜 電涂層 、防電磁干擾透明窗、紅外至雷達波段的寬頻譜隱身材 料及 氣體傳感器等方向。透明導電薄膜的制備工藝：（1）襯底材料襯底材料的選擇，除要求其透明外，還需考慮它與透明導電 薄膜熱膨脹系數(shù)的匹配。襯底一般采用非晶SiO2涂層的 鈉鈣玻璃（SiO2涂層的作用是抑制玻璃中的Na+向 AZO薄膜擴散）、單晶硅、ZnS等硬襯底材料，也可采用柔軟 的聚合物材料。（2）物理氣相沉積（PVD）法目前已能用各種PVD技術，包括離子鍍9、離子輔助沉 積16、噴霧熱分解22、直流磁控濺射23和射 頻 磁控濺射24-25等沉積出較高質(zhì)量的透明導電薄膜。大多數(shù)研究者采用濺射法制

5、備AZO薄膜21,其 主要是利用直流或射頻電源在Ar或Ar- 02混合氣體中產(chǎn) 生等離子體，對合金靶（Al, Zn）或氧化物 陶瓷靶（A1203, ZnO）進行轟擊，通過控制工 藝參數(shù)可在各種襯底上獲得大面積均勻AZO薄膜。與其他 方法相比，濺射技術具有沉積溫度低、結 合力好、沉積速率高、膜厚均勻、高密度、 過程容易控制、可反應沉積、能夠方便地控制各個組元 的成分比例、相對便宜和易于大面積沉積等優(yōu)點。但所 得到的薄膜的透射率相差并不大，其主要區(qū)別在 于電阻率。5.3化學氣相沉積（CVD）法（3）化學氣相沉積（CVD）法18- 21是氣態(tài)反應物在襯底表面發(fā)生化學反應而沉積 成膜的工藝。襯底表面上

6、發(fā)生的這種化學反 應通常為某種原料（鋅、鋁）的熱分解和原位氧化 。如果在CVD法中采用透明導電薄膜的有機金屬化合 物 作 為原材料，則稱為金屬有機化學氣相沉積法。這種 方法屬于異質(zhì)外延化學氣相沉積的一種，利用鋅 源和氧源在襯底表面進行化學反應從而得到高質(zhì) 量的薄膜。使用的鋅源主要有Zn （ C2H5） 2（即 DEZ）和 Zn （ CH3） 2（即 DMZ）,氧源有氧氣、水、二氧化碳等，襯底有單晶硅、硅、藍寶石、二氧化硅等，工作壓強范圍從幾千 帕到常壓?；瘜W氣相沉積法的反應溫度高，在基體 與膜層之間易形成擴散層，因此薄膜的結合力好 ,適于大批量處理。（4）溶膠-凝膠（S ol- Ge l） 法溶膠-凝膠（Sol-Gel）法20是一種高效的邊緣制膜 技 術，一般以醋酸鋅為原料，在較低的溫度下 ，使鋅的化合物經(jīng)液相沉積出來，直接制成涂層 ， 并退火得到多晶結構， 還可利用AlCl3 2H2O 或 Al（NO3） 3 9H2O 實施 Al 摻雜