擴散爐使用說明

1、高溫擴散爐使用說明書北京中聯(lián)科利技術股份有限公司 TOC o 1-5 h z HYPERLINK l bookmark3 o Current Document 1 .概述 （2） HYPERLINK l bookmark5 o Current Document 1 . 1廣品特點 （2） HYPERLINK l bookmark7 o Current Document 1. 2主要用途及適用范圍 （2）3品種、規(guī)格 （2）. 4型號的組成及其代表意義 （2） HYPERLINK l bookmark13 o Current Document .結構特征與工作原理 HYPERLINK l boo

2、kmark15 o Current Document 1總體結構 （3） HYPERLINK l bookmark17 o Current Document 2分部件結構 （3） HYPERLINK l bookmark21 o Current Document 3系統(tǒng)控制原理 （7） HYPERLINK l bookmark23 o Current Document 4系統(tǒng)各主要單元功能結構及工作原理 （7） HYPERLINK l bookmark25 o Current Document 主要性能指標 （10） HYPERLINK l bookmark27 o Current Docum

3、ent 安裝、調(diào)試 （11） HYPERLINK l bookmark29 o Current Document 1安裝條件 （11） HYPERLINK l bookmark31 o Current Document 2安裝程序及注意事項 （11） HYPERLINK l bookmark33 o Current Document 3調(diào)試程序及注意事項 （12） HYPERLINK l bookmark35 o Current Document 4 SiC槳及石英爐門的裝調(diào) （13） HYPERLINK l bookmark37 o Current Document 5調(diào)試恒溫區(qū)的方法及驗收

4、判據(jù) （14）6工藝試運行 （15） HYPERLINK l bookmark41 o Current Document 5.使用、操作 （15） HYPERLINK l bookmark43 o Current Document 1溫控儀的使用 （15） HYPERLINK l bookmark45 o Current Document 2恒溫梢的操作使用 （16） HYPERLINK l bookmark47 o Current Document 3計算機的操作使用 （16） HYPERLINK l bookmark49 o Current Document 4操作過程中應注意事項 （16

5、） HYPERLINK l bookmark51 o Current Document 見故障分析與排除 （17） HYPERLINK l bookmark53 o Current Document 全 （19）.概述產(chǎn)品特點本設備加熱部分選用進口爐絲以及耐高溫保溫材料，爐體使用壽命長，保溫性 能好。送片系統(tǒng)采用絲杠、導軌及SiC槳懸臂式推拉舟機構，可確保進出舟運行平穩(wěn)， 同時能有效地防止因磨擦而產(chǎn)生的粉塵污染。溫控部分采用了內(nèi)外聯(lián)合的控溫方式，爐體內(nèi)置5段控溫熱電偶，實時實地檢測和控制爐內(nèi)溫度，從根本上保證了恒溫區(qū)的精度和穩(wěn)定性，徹底改變了常規(guī)擴散 爐（爐外單控模式）必須靠不斷拉恒溫區(qū)，校準

6、爐外溫控儀與爐內(nèi)實際溫度的偏差 來保證恒溫區(qū)的控溫方式。氣路部分的關鍵件均采用進口件，并具有完善的安全保護措施，可靠性好。整機由計算機控制，各部分軟、硬件聯(lián)鎖；操作部分采用先進的觸摸屏技術， 工藝參數(shù)的設置及運行均可在觸摸屏上直接進行；自動化程度高、操作簡便、可靠 性好。主要用途及適用范圍本設備主要用于6英寸、8英寸太陽能晶體硅電池片的擴散、 氧化工藝；也可用 于半導體器件制造中的擴散、氧化、退火及合金工藝，同時還適用于對其他材料的 特殊溫度處理。使用環(huán)境要求環(huán)境溫度540C。相對濕度 75%。海拔不超過2500m電網(wǎng)電壓波動不超過額定值土 10%環(huán)境潔凈度不劣于：1000級。有良好的抽風排毒

7、系統(tǒng)，每管抽風量 30004500L/min。無高頻及較強的磁場干擾。工作條件要求電力規(guī)格：擴散爐電器系統(tǒng)遵守下列安全規(guī)定：NFPA-79工業(yè)設備電器標準NFPA-70國際電工標準采用3相+中線+地線5線制供電，電網(wǎng)電壓波動不超過額定值的 由0% 380VACZ50HZ,每管最大功率約48KVA總功率詞50KVA設備外殼要求接地良好。用水/氣：供應水壓要求0.20.4Mpa,設備預留4分水管內(nèi)絲接口，進水口水溫 磴0C ；供應氣壓要求 0.30.6Mpa,設備預留 3/8進氣不銹鋼管接口，氣體純度 苗9.999% （推薦）。排廢：氣源柜、爐體柜、廢氣室及凈化操作臺頂部均要求有密封負壓，抽氣管與

8、設備 相連。環(huán)境溫度要求：540C。重量：約 3300 kg。.結構特征與工作原理總體結構總體結構分為四大部分，見系統(tǒng)配置圖1,從左到右為：電氣控制部分、推舟凈化部 分、電阻加熱爐部分、氣源柜部分。圖1分部件結構控制部分控制柜是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心，由工業(yè)級一體化的 15觸摸顯示器、狀態(tài)指示燈以及控制開關、急停開關等。在控制柜的后面板放置有工控計算機（IPC610P） 一臺,工控機的下方安裝有 SDC-45A雙通道控溫溫控儀五個以及保護溫控儀三個， 分別對應控制和保護爐體的左、中、右五段溫度。用鑰匙可以打開工控機控制面板， 在工控機控制面板上，分布有電源開關、軟驅插口、電源指示燈（POWE

9、R）硬盤指示燈（H.D.D）、KB-LK指示燈、復位（RESET）K鍵、鍵盤鎖（KB-LOCK按鍵。每層機箱 輸出端口與對應的控制線路都已經(jīng)連接就緒，并有相應的標號提示。在電控柜的頂 部設置有組合式信號燈，用以對每管設備的運行情況進行監(jiān)視，當系統(tǒng)出現(xiàn)異常時 信號燈發(fā)出聲光報警。不可帶電拔插工控機的接口插頭，更不可有隨意改換連接。如非專業(yè)人員及 檢查、維修需要，不可打開工控機的蓋板。工控機控制框圖見圖2。圖2在控制柜的底層，安裝有三管控制系統(tǒng)的推舟控制裝置、 保護電路、電路轉接控 制板及各層的開關、保險等，前蓋板上裝有三相電源指示燈及照明、凈化、抽風開 關等。該柜內(nèi)有220V的交流電，也有15V

10、、5V直流電和控制信號線，檢修時請注意 區(qū)分及安全，謹防接錯和短路。推舟凈化部分推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及三層推舟的絲杠、導軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳座，絲杠的一端安裝有驅動步進電機，導軌的兩 端是限位開關和極限保護開關（裝在上面的是限位開關，裝在下面的極限開關）?？拷鼱t口的凈化柜頂部設有漏斗狀的抽氣罩，與外接抽風系統(tǒng)連接后，用來排掉出舟 時散發(fā)的大量高溫有毒氣體。在柜子的下部裝有控制電路轉接板及凈化用風機。4 1、推舟凈化柜內(nèi)有380V交流電，請注意安全！2、裝配和使用過程中請注意始終保持限位開關先于極限開關接通。電阻加熱爐部分電阻加熱爐柜共有五層。頂層配置有水

11、冷散熱器及排熱風扇，廢氣室頂部設有抽 風口，與外接負壓抽風管道連接后，可將工藝過程殘余的廢氣帶走。中間分三層放置三個爐管，每層由四個坡面支架托起并固定住爐管， 其位置在安 裝時已經(jīng)與推舟送片機構一一絲杠、導軌副調(diào)好對中，因此切不可輕易挪動。爐管 上從左至右分別有六個接線端子，請務必根據(jù)接線端子及線頭上的標號對應連接， 連接時，請使線與爐管外壁保持一定的距離，以防電纜因過熱而短路。在爐管外壁 的中部，可以看到有五個熱電偶接線座，中間三個的座內(nèi)各接有兩支熱電偶，熱偶 I用來控溫，熱偶R為超溫保護熱電偶?？販責犭娕紡淖笾劣曳謩e用補償導線對應 連接控制柜上對應層的左附控、控I、控R、控田、右附控溫控儀

12、的第2通道，第1通道用于連接爐內(nèi)的五段熱電偶。保護熱電偶則連接到控制柜對應層的保I、保R、 保田溫度保護儀。叢 內(nèi)置熱電偶的5個監(jiān)測點必須與爐外5個熱電偶的位置一一對應，這種對應 關系對恒溫區(qū)溫度控制精度及穩(wěn)定性至關重要。每管爐體的右側設置有廢氣室，以排放工藝過程中產(chǎn)生的有毒有害氣體。爐柜的底層安裝有三管加熱爐的功率部件（可控硅、散熱器、接觸器、變壓器、 可控硅過零觸發(fā)器等）。底部背面的門板上裝有散熱風機，用以對可控硅進行散熱。 2.2.4氣源部分氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的有害氣體。 柜頂設置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口，接口以下安裝有減壓閥、截 止

13、閥，用以對進氣壓力進行控制及調(diào)節(jié)。對應于氣路，各層分別裝有相應的電磁閥、 氣動閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、及源瓶恒溫槽等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量控制器電源、控制開關、保險等電路轉接板以及設備總電源進線轉接板爾停爐后再運行工藝前，必須認真檢查各減壓閥的壓力是否在要求的范圍之內(nèi)、 各手動閥是否都處在打開的位置，特別是源瓶上的聚四氟手動閥更應仔細檢 查，確保其已打開，否則有炸瓶的危險；對外的排氣軟管及廢液瓶也應經(jīng)常檢 查和清洗，防止由于廢液和偏磷酸殘渣堵塞管道而引起源瓶爆炸。氣路配置見圖3。hIR 0? HL H二.i 二. 11之洌圖3旦國 晟/昂，由L X H3系統(tǒng)控制原理系統(tǒng)控制方框圖

14、見圖4,總控制原理圖見所附電路圖圖42.4系統(tǒng)各主要單元功能結構及工作原理溫控儀每管配置有五個高檔進口雙通道級聯(lián)溫控儀， 該溫控儀帶有抑制超調(diào)功能、智能自整定PID調(diào)節(jié)系統(tǒng)和內(nèi)外級聯(lián)控制功能，有多種信號輸入方式，可方便地與爐體 的控溫熱電偶組成溫度控制系統(tǒng)，對爐體的恒溫區(qū)實現(xiàn)精確控制。通過啟動自整定 功能，溫控儀能自動調(diào)整演算出一組最合理的PID控制參數(shù)。儀器各參數(shù)可手動輸入，也可通過溫控儀提供的 RS485通訊端口，與同樣具有 RS485通訊協(xié)議的計算機 主機進行聯(lián)接，計算機可通過指令自動設置并運行溫度控制儀的相關參數(shù)，所需的 工藝參數(shù)均可在觸摸顯示器上直接操作與顯示。爾 溫控儀經(jīng)初始化后的

15、各功能值不可隨意調(diào)整和更改，否則，極有可能造成溫度控制精度下降甚至導致爐溫失控。推舟凈化單元凈化由凈化風機、初效過濾器、高效過濾器組成。啟動風機，1000級的環(huán)境空氣經(jīng)過二級過濾器后，可獲得潔凈的 100級水平層流凈化區(qū)。一般在進出舟時，要 求啟動凈化風機，一是為硅片進出反應管提供高潔凈區(qū)，二是將高溫熱氣流驅散， 以免灼熱的氣流將過濾器及凈化臺頂部烤焦。凈化風機可手動開啟，工藝運行中也 可設置在相應步自動開啟。推舟部分由導軌、絲杠、SiC槳固定座、石英爐門、不銹鋼爐門及步進電機驅動 系統(tǒng)等組成；用于在該局部高潔凈區(qū)平穩(wěn)地向反應管中推進、拉出工藝片。由于進、 出舟的純直線行程達2000mm所以在

16、運行中要求平、直、無抖動，因而該部分采用 了直線導軌副配合絲杠副進行傳動。 直線導軌副與絲杠副均為臺灣生產(chǎn)，SiC槳由美 國進口，制作精度都非常高。直線導軌副與絲杠副在實際應用中，處于平行線上， 直線導軌副作導引，絲杠作傳動，因而從結構上保證了固定其上的SiC槳固定座及石英舟運行的平穩(wěn)性。上述推舟系統(tǒng)的運動過程通過計算機進行控制， 可在觸摸顯示器上手動或程序自 動運行。詳細操作請參看計算機軟件操作使用說明書。已調(diào)好的SiC槳座上的螺釘請不要再隨意旋動，否則有可能造成在進出舟的 過程中碰壞石英均流板、硅片甚至石英管。加熱爐爐膛用8mmfe熱線材繞制，其有效工作內(nèi)徑為320mm恒溫區(qū)長1080mm

17、在 爐口加有絕緣及隔熱剛玉法蘭，并伸出爐體約15mm以阻止爐內(nèi)熱焰直接作用于爐體端蓋的不銹鋼環(huán)，防止其氧化和變形。爐體采用主、從五段加熱，分別控制。每 段都設置有熱電偶及相應的溫控儀和功率控制組件，對每段加熱區(qū)實行自動控制。爐子用低壓大電流供電，為了延長爐體的使用壽命，暫不用時，可設置爐溫50060OC 自動保溫，并注意一定要設置好超溫報警保護，以防不可預見的故障燒壞爐體和石 英器件。小 爐絲及爐體兩端的保溫棉圈均很脆弱，搬動爐體時，應摳住兩邊的提手，不 可抓抬爐絲的引出接線排或爐體的內(nèi)壁。功率部件由特種變壓器、空氣開關、交流接觸器、熔斷器、可控硅、觸發(fā)器等組合而成。 這些元器件均采用了可靠性

18、較高的產(chǎn)品，譬如交流接觸器就選用的是德國西門子公 司的產(chǎn)品。具體布置可參閱相關電路圖。溫控儀的輸出信號輸入到過零觸發(fā)板上， 產(chǎn)生脈沖去觸發(fā)功率部件中的可控硅， 使爐子的每段加熱溫度受到控制。爐子的主控工作電壓111V和78V,付控工作電壓為 85V。由于采用的是低電壓供電，因此爐子的工作電流將會比較大，但一般不會超過 110A,如果工作電流達到115A以上，可能與電網(wǎng)電壓偏高有關系，需要引起注意； 此時也可邊用鉗形電流表監(jiān)測爐體加熱電流邊調(diào)整溫控器的輸出限值，加熱電流控 制在90A左右（爐口端應適當加大些，調(diào)在 100A左右為好）。企 1、該部件上的交流接觸器、熔斷器、變壓器等均有裸露的380

19、V交流電，檢修時應特別注意安全。!2、為防止爐絲老化后溫度升不上去，變壓器的各控制段均留有抽頭，新爐體請不要接至變壓器的高電壓端，以防止由于電流過大而加速爐體的老化。3、更換可控硅時，請注意極性，在緊固可控硅散器上的螺母時請交替進行。送氣單元逆時針旋轉截止閥，可打開進氣通道；順時針旋轉減壓閥，并根據(jù)表頭指示，可 調(diào)節(jié)進氣壓力到需要值，一般進氣壓力調(diào)在 0.350.4Mpa較合適。氣源柜的供電由柜子底層電氣轉接板上的開關控制，當發(fā)現(xiàn)控制柜某層沒有電源時，應檢查相應層的開關是否合上以及保險是否完好。自動控制時，控制單元經(jīng)PCL-726板送出控制信號驅動PCLD-785載板上的固態(tài) 繼電器，再由固態(tài)

20、繼電器去驅動對應的電磁閥及氣動閥；經(jīng) PCL-812PG輸入、輸出 A/D、D/A信號控制和顯示工藝氣體流量。企工藝過程中請注意經(jīng)常查看氣源柜內(nèi)的抽風排毒系統(tǒng)是否工作正常、HCL及POCL凝帶氣體是否發(fā)生泄漏。超溫保護系統(tǒng)CH402s SDC-45A溫控儀本身均具有超溫、斷偶報警功能；同時，為安全起見， 在主控段各控溫熱電偶的旁邊，又增設了一支溫度監(jiān)測熱電偶，接至 CH402溫度保 護儀，專作超溫保護用。當溫度超過保護設定值時，超溫段相應溫控儀（或溫度保 護儀）的報警指示燈亮，計算機上也有指示，保護系統(tǒng)會在發(fā)出聲光報警的同時切 斷爐體加熱功率部件的電流。小 為保護工藝片起見，超溫保護的溫度設定

21、值以高于工藝過程中的最高使用溫 度10c左右為宜。系統(tǒng)溫度控制原理輸入的三相380V+中線交流電壓經(jīng)電源轉接板后，分為四路：一路給控制柜供電，一路給氣源柜供電，一路給凈化操作臺供電，還有一路則經(jīng)變壓器降壓、可控 硅整流后作為爐體的加熱電源；其中控制柜和氣源柜為單相供電，而凈化操作臺和 爐體柜則為三相供電。置于爐體側壁內(nèi)的三支控溫熱電偶將檢測到的溫度毫伏值分別送給相對應的 溫控儀，溫控儀將熱電偶測得的爐膛溫度值與設定的目標溫度值比較并經(jīng)PID運算后，輸出相關的420mA電流值給可控硅觸發(fā)器，除法器根據(jù)各溫控儀控制電流的 大小，分別給出相應變化的脈寬過零觸發(fā)信號，控制五個雙向可控硅的通斷時間， 形

22、成對五段爐絲加熱功率的獨立控制，從而達到自動控溫的目的。3.主要性能指標爐膛有效內(nèi)徑：320mm溫度控制范圍：4001100c恒溫區(qū)長度及精度：0.5 C/1080mm（801 1100c ） 1C/1080mm （400800 C）單點溫度穩(wěn)定性：01C/4h（880C時）升降溫速率可控范圍爬升率：15 C/min （ 最大）下降率：5 C/ min （ 最大）具有超溫、斷偶、短路報警和保護功能。具有自動斜率升降溫及恒溫功能。凈化工作臺凈化級別：100級（環(huán)境1000級）送片方式：采用SiC槳懸臂自動送片機構，舟速 20500mm/min連續(xù)可調(diào);定位精度： 2mm SiC槳最大載片承重：1

23、6Kg工藝過程由工控計算機全自動控制，直接在觸摸屏上操作。.安裝、調(diào)試安裝條件潔凈度不劣于1000級的凈化廠房。冷卻用供、排水管道。負壓排廢、毒氣及排熱氣通道。工藝氣體供氣管道。3 相+中線+地線，50HZ供電，每管功率約48KVA總功率0 150KVA設備外 殼要求接地良好。石英器件清洗設備。設備的裝調(diào)過程中需用到以下工具及儀器：719呆扳手一套；4、12活 動扳手各一把；內(nèi)六角扳手一套；大號一字、十字起子各一把；電訊一字、十字起 子各一把；萬用表一塊；拉恒溫區(qū)的標準熱電偶（長1800mm 一根；5位半以上數(shù)字表一塊；2m卷尺一個；冰瓶、補償線一套以及吸塵器、毛刷等。安裝程序及注意事項設備進

24、入廠房前，請仔細搞好衛(wèi)生，里里外外用毛刷、吸塵器、抹布徹底清掃 干凈。對照圖1的布局，一般先裝電阻加熱爐體柜，其次擺好推舟凈化柜，最后擺置 氣源柜及電控柜。注意在裝各部分之前，要先裝好地腳螺釘，等各柜位置均定位好 后再調(diào)節(jié)地腳螺釘，將各部分高度協(xié)調(diào)好。安裝好加熱爐體及熱電偶。接好排廢、毒氣及排熱氣管道。接好冷卻水管路，通水檢查確認散熱器各接頭無滴漏。接好工藝氣體進氣管道，試壓，確保無漏氣點。打開凈化操作臺后蓋板，去掉高效過濾器上的包裝塑料后重新安裝好安裝好工控機及顯示器。按接線圖及電纜上的標記，接好各部分之間的連接電纜及熱電偶補償導線，并接好機殼地線。仔細檢查爐體、可控硅、變壓器及各轉接端頭的

25、壓接螺釘，應無松動現(xiàn)象。仔細檢查各轉接線，確認各部分連接無誤后，接好總電源進線。A 1、爐體柜就位后，為了方便操作，應在先安裝好爐體、保溫棉圈及其端蓋 板后，再將兩側的氣源柜和凈化操作臺靠緊。2、工藝氣體管道在接入設備之前，應通大流量的N2沖凈管道內(nèi)灰塵等雜質(zhì)。3、注意各電源線的火線、零線及地線的位置不可接錯。4、注意各功率組板上的三相電源進線不可接錯。5、爐體上引出線排與爐絲的焊接處很脆，安裝聯(lián)接加熱大線時，請用兩個 扳手小心緊固，切不可只用一只扳手硬擰或將線排左右搖晃，以防引出 線排斷裂而導致爐體報廢。6、熱電偶的安裝以其兩根絲的焊點高出爐體的爐絲1mm左右即可。7、請注意補償導線的極性：

26、紅色的線應接熱電偶的+極（相對較硬的那根）。調(diào)試程序及注意事項逐柜、逐層上電，檢查各部件上電情況，注意檢查機殼是否帶電。電控柜及氣源柜上電，檢查計算機、溫控儀、溫度保護儀、各控制開關、指示 燈、電磁閥、質(zhì)量流量控制器、流量計電源等是否正常。在計算機手動操作屏上逐 一試驗，看對各器件的控制是否正確無誤。推舟凈化柜中，逐一檢查照明、排風及凈化送風是否正常。配合計算機檢查自 動進出舟、行程限位及極限保護是否正確。檢查可控硅散熱風扇、水冷散熱器排熱風扇以及氣源柜、電控柜的冷卻風扇等 是否工作正常。將爐溫設定為300c （溫度保護值應設得高于該溫度）,按下面板上的爐體加 熱“開”按鈕，爐子開始升溫，注意

27、觀察溫控儀溫度顯示情況及功率部件、爐體等 有無異常。用鉗形電流表分別測量五段爐絲的工作電流，調(diào)節(jié)可控硅觸發(fā)板上的相 應電位器，將加熱電流控制在 95A左右（爐口端可在110A以內(nèi)）。待爐溫恒定后，將溫度保護值改為 299C,此時，爐體加熱應自動斷開，同時 超溫保護系統(tǒng)發(fā)出聲光報警；再為人為斷開和短接熱電偶，同樣爐體加熱應能自動斷開，保護系統(tǒng)發(fā)出聲光報警，指示燈分別顯示超溫和短路。在顯示器上編輯和模擬運行工藝，各部分應能工作正常。/t 1、請注意凈化風機的轉向是否正確（外殼上有標記），如果不對，將風機三 相電源線中的任意兩根互換即可。2、溫控儀除溫度設定值必要時由工藝人員修改外，各窗口內(nèi)的其它參

28、數(shù)都不得改動，否則會引起控溫精度下降甚至造成爐溫失控。3、系統(tǒng)正常后，將溫控儀及溫度保護儀的超溫保護值設為高于設備的最高工 藝溫度10c即可。SiC槳及石英爐門的裝調(diào)將洗凈好的石英管放入爐膛，兩人抬取石英管時，每人負責看管一端，負責尾 部者嚴禁直接用手抬尾氣管，以免該管發(fā)生斷裂，抬石英管時將石英管尾部的三根 小管朝向凈化臺外側，待石英管放進爐膛后轉動石英管直至石英管內(nèi)三個固定圈朝 下，用卷尺量好從不銹鋼蓋板至石英管口的距離。把密封圈嵌入石英門密封槽中，密封圈應壓緊壓平。將送片座上的波紋管前端的鎖緊圈擰松（最好是不要擰下來）。將裝好密封圈的石英門安裝在懸臂槳上，安裝時要用力均勻，防止將石英門上

29、的圓筒與槳碰撞。首先把槳夾座兩邊的四氟鎖緊螺釘擰松，將裝有石英門的懸臂槳一起放入送片 座上的槳夾座中，把石英門上的圓筒伸至四氟波紋管中，擰緊鎖緊螺母，注意擰緊 波紋管時石英門與槳的位置要垂直。將石英勻流板放在懸臂槳最前端， 進舟至勻流板位于管口位置，調(diào)節(jié)好槳的上 下位置（槳的前后位置一般不會變動，用戶可根據(jù)實際情況進行調(diào)節(jié)）使得勻流板 基本處于石英管中心，調(diào)節(jié)時只需調(diào)節(jié)槳夾座后面的調(diào)節(jié)螺母。邊進舟邊觀察勻流板的位置，打開廢氣室側壁的觀察窗口，待進舟到最前端時 檢查石英門與石英管之間的位置，石英門與石英管之間是否完全密封，可在石英爐 門與石英管口之間放一張薄紙，爐門關緊后紙張應抽不出來。同時，在

30、石英門蓋住 石英管口后，調(diào)節(jié)壓緊石英門的四氟波紋管及支撐石英門的彈簧使之有一定的壓縮 量。退舟，安裝爐尾的保溫棉圈及不銹鋼蓋板。將尾氣管、熱電偶管從石英管尾部插入石英管中，安裝時注意將熱電偶管及尾氣管從固定圈中通過。然后將熱偶管蓋蓋住另一個管口，用不銹鋼夾子夾好。放入石英隔熱包和前擋板等，由于密封圈使用溫度為 220250度之間，因此 在升溫前一定要安裝隔熱包。同時在拆卸隔熱包時應在溫度 250左右，不要等隔熱 包完全冷卻再拆卸。（因在冷卻狀態(tài)下偏磷酸容易粘在隔熱包上而取不下來）。從石英管后部下面裝入內(nèi)熱偶，接好補償導線及溫度監(jiān)測儀。裝好源瓶、清洗瓶、冷凝瓶等，按氣路原理圖接好氣路中PFA管道

31、及單向閥、聚四氟閥以及排廢尾氣管、廢液收集瓶等。爪 1、整個裝調(diào)過程均應小心操作，在 SiC槳未調(diào)整好以前，切忌快速進出舟， 以防損壞器件。2、考慮到裝滿工藝片后，SiC槳會向下有少量小垂，為防止槳觸碰石英管底， 空載調(diào)試時，應調(diào)到槳的前端適當上揚 810mm。3、石英爐門在自動進舟到位后，聯(lián)接其上的聚四氟波紋管的壓縮量應控制在35mm之間，太小關不緊爐門，太大則又容易壓壞石英爐門。4、SiC槳裝調(diào)好以后，各定位螺釘均不得再隨意旋動。清洗石英管或SiC槳時，只需松開槳座上蓋的四個壓緊螺線，將槳抽出即可。4、槳的位置調(diào)好以后，應將調(diào)節(jié)槳俯仰的螺母做好標記，防止在清洗槳的過 望程中不小心動了該螺母

32、，引起槳與石英管的位置變化而導致器件損壞。調(diào)試恒溫區(qū)的方法及驗收判據(jù)擴散爐恒溫區(qū)精度的測量按中華人民共和國第四機械工業(yè)部部頒標SJ2065/82半導體器件生產(chǎn)用擴散爐測試方法的相關條款進行檢測。我司擴散爐采用的是內(nèi)外聯(lián)合的控溫方式，爐體內(nèi)置5段控溫熱電偶，實時實地檢測和控制爐內(nèi)溫度，徹底改變了常規(guī)擴散爐（爐外單控模式）必須靠不斷拉包 溫區(qū)，校準爐外溫控儀與爐內(nèi)實際溫度的偏差來保證恒溫區(qū)的控溫方式。檢驗恒溫區(qū)的具體步驟如下：根據(jù)工藝要求在計算機上設置好所需的溫度值。將爐體的爐口用保溫棉圈堵好（靜態(tài)、閉管）。保證內(nèi)置熱電偶的5個監(jiān)測點與爐外5個熱電偶的位置一一對應。按下面板上的加熱“開”按鈕。當爐

33、溫達到設定溫度并穩(wěn)定1小時以上，將中間3個溫控儀（分別監(jiān)測恒溫區(qū) 的頭部、中部、尾部3個位置的溫度）測得的溫度最大值減去最小值，然后再除以2, 得到的結果即為所測恒溫區(qū)的精度，該值如果在技術指標規(guī)定的范圍之內(nèi)，即判定為恒溫區(qū)長度、精度指標檢測合格。調(diào)整級聯(lián)溫控表的PID參數(shù)，直至指標達到為止。依上法，測量爐溫穩(wěn)定后4個小時以內(nèi)爐溫的波動，如果在技術指標規(guī)定的范 圍之內(nèi)，即判定為恒溫區(qū)的溫度穩(wěn)定性指標檢測合格。試運行開啟抽風排毒系統(tǒng)。散熱器通水。根據(jù)客戶提供的工藝方案設置好爐子各溫區(qū)的溫度。設置好保護溫控儀的報警溫度值，一般以高于爐子工作溫度1020c為宜。設置好恒溫槽的溫度。接入工藝氣體，將減

34、壓閥的輸出壓力調(diào)節(jié)在 0.4Mpa左右。配合客戶安裝源瓶。根據(jù)客戶提供的工藝方案在計算機上設置好工藝步驟及工藝參數(shù)。待爐溫及恒溫槽溫度到達設定值并穩(wěn)定后，手動出舟裝入試驗片。選定設置的工藝號，運行工藝。?1、首次運行工藝前應先對石英器件進行清洗，并將清洗烘干后的石英器件放入反應管內(nèi)運行一次飽和工藝。2、在初次設置爐溫時，一般情況是從爐尾至爐口溫度逐步增高，爐口溫度比爐尾溫度約高1020CO3、如果客戶只是單純購買中聯(lián)科利擴散爐，則我司沒有義務驗證工藝效果 和提供基準的擴散工藝方案，因此試運行的工藝方案由客戶提供。.使用、操作溫控儀的使用一般情況下，溫度目標值、升降溫速率等均可在計算機上設定，其

35、它參數(shù)由手動設置。由于型號不同，SDC-45A CH402的操作略有不同，詳細了解見所附外購 件說明書。 溫控儀是溫度控制的關鍵部件，其初始化參數(shù)切不可輕易更改，如控制方式、輸入類型、報警類型等一經(jīng)改動，即會造成爐溫失控且不報警；PID參數(shù)調(diào)整完畢后一經(jīng)隨意改動，即會造成爐溫波動且恒溫梢的操作使用應緩慢將水倒入恒溫槽內(nèi)，避免因管道內(nèi)的空氣不能排出而導致循環(huán)泵不工作。 5.2.2恒溫槽的溫度設定，上、下極限超溫保護的設定以及其他使用中應注意的事項， 詳見所附的恒溫槽操作使用說明書。計算機的操作使用工控機主機及其板卡均選用臺灣研華公司產(chǎn)品。整個工藝過程包括：自動進 出舟、凈化風機的開啟和關閉、斜率

36、升降溫、分段恒溫、開關電磁閥、質(zhì)量流量控 制器流量控制等各步驟工藝參數(shù)及工藝時間均可預先設置（可預置100條工藝曲線）各部分檢查無誤后，按下電控柜相應層上的電源上電開關，開啟計算機。此時擴散 爐監(jiān)控系統(tǒng)自動啟動，輸入密碼進入操作界面后，系統(tǒng)完成初始化動作：即關閉電 磁閥，清除流量信號，清除舟位置信號。選定工藝曲線后，啟動運行鍵，計算機自 動按程序完成全工藝過程，并可自動監(jiān)測和記錄工藝過程中的全部參數(shù)。詳細使用 方法見所附計算機操作使用說明書。爾注意在設備運行及暫時停用過程中，請保持計算機主機箱及顯示器的電源開關始終處于開啟狀態(tài)；關機時退出監(jiān)控系統(tǒng)后，在 windows下選“關閉計算 機”，然后

37、關掉面板上的上電開關即可。操作過程中應注意事項裝片和取片時請按下電控柜前面板上的“凈化”按鈕（也可在自動運行程序 中加入凈化風機的開、關步驟；當使用自動開、關凈化風機時，請保持“凈化”按 鈕不要按下），確保在操作臺范圍內(nèi)形成高潔凈區(qū)，同時可防止出舟時的高溫烤壞高 效過濾器及導軌前限位和前極限開關。正常工藝中不要關閉電控柜前面板上的“排 風”按鈕，以保證爐體柜能得到良好的散熱。加熱爐的恒溫區(qū)一經(jīng)調(diào)好，溫控儀中的各初始值、PID參數(shù)等均已選擇為最佳 值，除工藝溫度值根據(jù)需要可由工藝人員在計算機上進行設置外，其他參數(shù)一般均 不得輕易修改。否則，很可能造成恒溫區(qū)精度下降甚至引起爐溫失控。系統(tǒng)出現(xiàn)故障時

38、，報警器會發(fā)出聲光報警；通過軟件操作可解除報警或消音。急停按鈕是用在清洗石英管后精調(diào)石英爐門以及當進、出舟過程中出現(xiàn)意外 時，手動暫停步進電機轉動用的，在正常工藝時，請注意保持該按鈕不要按下。SiC懸臂槳的位置調(diào)好后，其支撐板上的上下、前后以及端頭的俯仰調(diào)節(jié)螺釘 均不得再隨意調(diào)動，否則在進出舟過程中極易造成石英隔熱擋片以及工藝片的損壞，嚴重的還會直接損壞石英管和SiC槳。石英爐門與SiC槳的接觸部位請定期進行清洗（一般每天清洗一次），防止由 于工藝殘留物堆積使得滑動不暢造成石英門損壞。主送氣管道在接入設備之前應先排空，通入純凈高壓氣體（高壓N2或高壓。2） 吹洗干凈，否則管道內(nèi)的不潔凈物質(zhì)會引

39、起氣動閥關閉不密封以及造成過濾器和質(zhì) 量流量控制器的堵塞及損壞。壓縮空氣、高純N2、高純O2等各種氣體進氣壓力設定值（氣源柜減壓閥表 讀數(shù)）均應調(diào)在0.30.4Mpa之內(nèi)，太小會使得氣動閥難以開啟以及質(zhì)量流量控制 器流量顯示不穩(wěn)定，太大則有可能損壞過濾器及質(zhì)量流量控制器。POCL3擴散源具有極強的腐蝕性，灌裝時應在化學間的抽風排毒柜內(nèi)進行。 從氣路中取下的含有殘液的源瓶應及時處理掉，不可密封置于氣源柜內(nèi)，否則會隨 著環(huán)境溫度的升高引起源瓶內(nèi)飽和蒸汽壓急增而炸瓶。當不小心將源瓶損壞，造成 磷源流失時，應立即進行清理，防止損壞氣路中的元器件，如果磷源灑在了恒溫槽 內(nèi)，應馬上拔下恒溫槽的電源插頭，將槽內(nèi)的水倒