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1、電加熱&Local ScrubberMAT507BWA2022-09-17基本規(guī)格2022-09-172基本規(guī)格No名稱規(guī)格1進(jìn)氣管NW502加熱室INCONEL600 + STS310 + STS3043中間法蘭法蘭STS304套管STS3104吸收體STS304, Teflon coating5水洗室STS 304, Teflon coating6水位感應(yīng)器PVC7噴嘴STS 304, Teflon coating8排氣管STS 304, Teflon coating2022-09-173燃燒空氣加熱室水洗室Air套管燃燒室內(nèi)反應(yīng)H2+1/2O2H2O2C2H2+5O24CO2+2H2OC

2、2H4+3O22CO2+2H2O2NF3 N2 + 3F2水洗室內(nèi)反應(yīng)F*, HF and by-products capturing循環(huán)泵排放泵自來(lái)水排水口排氣廢氣進(jìn)口H2, NF3, C2H2, C2H4處理后氣體排放H2, C2H2, C2H4 99%NF3 90%流程圖2022-09-174加熱室4個(gè)進(jìn)氣口 2個(gè)渦流空氣噴嘴 自動(dòng)清潔空氣噴嘴 -防止粉塵堆積 高防腐蝕材料 2套并行加熱系統(tǒng) -.備用加熱系統(tǒng) -.SiC加熱器 -.雙熱傳感器 外部可換式加熱器 -.不用打開(kāi)氣室 對(duì)熱隔絕的雙層防護(hù)加熱室分解圖加熱棒保護(hù)套加熱棒 加熱室加熱管2022-09-175中間法蘭 已氣流屏障防止從

3、水洗室來(lái)的濕氣 -.防止粉塵在燃燒室內(nèi)累積延長(zhǎng)P.M.頻率Sleeve N2 or Air2022-09-176水洗室 長(zhǎng)氣體通道提供良好的水溶性 -.雙吸收區(qū)域 -.高效率 -.有效清潔粉塵 兩個(gè)目標(biāo)噴嘴含蓋四個(gè)方向 一個(gè)自動(dòng)清洗噴嘴 -.可程序化 -.液位檢查 不銹鋼吸收器 電極式液位感知器水洗室1st Absorber Zone2nd Absorber Zone吸收箱吸收器2022-09-177第三吸收區(qū) 第三吸收區(qū) 供應(yīng)自來(lái)水 最后處理區(qū)排放循環(huán)自來(lái)水2022-09-178 直式結(jié)構(gòu)防爆之安全設(shè)計(jì) -.壓力擴(kuò)張將于水洗室內(nèi)被緩沖 水洗室之容量三倍大于燃燒室 由上向下流向 防止粉塵堵塞

4、方型燃燒與水洗室 -.有效空間利用 -.減少占地面積2022-09-179維護(hù)簡(jiǎn)單容易的維修自動(dòng)的乾/濕艙體的分離拆卸設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單 /快速維修循環(huán)泵與管路獨(dú)特的水洗室與循環(huán)系統(tǒng)減少維修點(diǎn)2022-09-1710設(shè)備拆解-.減少人力需求-.快速清潔時(shí)間 3小時(shí)-.易于維修 燃燒/水洗自動(dòng)拆解設(shè)備2022-09-1711設(shè)備拆卸2022-09-1712- 關(guān)鍵問(wèn)題 1:粉塵堆積進(jìn)氣口AC馬達(dá)Y型連接器STS彈簧去除附著在進(jìn)氣口的粉塵移除 機(jī)械方式 內(nèi)部壓力不會(huì)下降 簡(jiǎn)單彈簧更換 在觸控面板上可更改時(shí)間/頻率延長(zhǎng)P.M.頻率解決方案 1.進(jìn)氣口清洗系統(tǒng)2022-09-1713- 關(guān)鍵問(wèn)題 1:粉塵堆積

5、高壓 CDA 移除燃燒室內(nèi)的粉塵 在觸控面板上可更改時(shí)間/頻率延長(zhǎng)P.M.頻率解決方案 2.清潔空氣噴嘴2022-09-1714- 關(guān)鍵問(wèn)題 1:粉塵堆積解決方案 3.中間法蘭的N2套管Sleeve N2 or Air 利用空氣屏障將水洗室的濕氣隔絕 防止粉塵在干濕交接處產(chǎn)生 延長(zhǎng)P.M.頻率Sleeve N2 or Air2022-09-1715- 關(guān)鍵問(wèn)題 1:粉塵堆積解決方案 4.清潔水噴頭 粉塵會(huì)收集在水洗室的型V底層 高壓水流把粉塵帶出 在觸控面板上可更改時(shí)間/頻率 延長(zhǎng)P.M.頻率2022-09-1716 所有濕區(qū)的表面 -.持續(xù)性的清洗 -.鐵氟龍涂層關(guān)鍵問(wèn)題 2:腐蝕 高防腐蝕

6、材料應(yīng)用于會(huì)發(fā)生腐蝕處 -. B/C加熱管: Inconel 600 -. B/C T/C管:Inconel 600 -.中間法蘭:STS310+鐵氟龍涂層解決方案 1.防腐蝕材料2022-09-1717流程圖SPRSSWaterAirAirRe-cir.Pump1Re-cir.Pump2Cleaning WaterSleeve AirSupply WaterGas InGas OutBurning AirCleaning#1Cleaning#2Cleaning#3Inlet PressureExhaust PressureFilter BoxPower Drain PumpCirculation TankPRPressure regulatorFlow meterSFlow SwitchAuto ValveManual ValvePressure GaugeCheck ValvePumpDrain2022-09-1718廠務(wù)20

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