電子級氯化氫、氯氣項目建議書

1、電子級氯化氫、氯氣產品項目建議書一、項目背景：目前，我國大宗化學品大都過剩，而相應的高純電子級化學品卻長期依賴進口，隨著 國內電子行業(yè)的發(fā)展，電子級化學品在國內有較大缺口。電子級產品主要應用在大規(guī)模集 成電路、液晶屏、光電半導體、光導纖維等方面、太陽能多晶硅電池、太陽能薄膜電池等 領域。目前微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向飛速發(fā)展，對廣 泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的5.0N電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具 有99.999%以上的純度，還要求THC、H2O和金屬離子等有機雜質的含量越低越好。5.0N 電子級氯化氫氣體主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕，清除

2、鈉離子。也用于金 屬表面化學處理，激光用混合氣、膠片生產及碳纖維表面處理。過去我國大多從美、日等 國進口，但近年來，我國電子工業(yè)所需的化學氣體的研制，在技術上已有不少突破。大宗 化學品價格低迷，而電子級產品附加值高，利潤豐厚，目前國內僅有極少數廠家生產。電 子級產品所需檢測手段要求高，金屬離子檢測要求達到ppbC即十億分之一）。半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料 氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和 運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為 電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級

3、，VLSI （超大規(guī)模集成電路）級和ULSI（特大規(guī)模集成 電路）級。電子級氣體分類如下氣體種類氣體純度雜質含量（v/v）（或mol/mol）純氣0.01% ,100 x10-6高純氣99.999%(5N)0.001% ,99.9999%(6N)0.0001% ,99.99999%(7N)0.00001% ,99.999999%(8N)0.000001% ,99.9999999%(9N)0.0000001% ,0.001x10-6二、技術來源中昊光明化工研究設計院始建于1964年，是原化工部直屬科研院所，目前隸屬于 中國昊華化工集團總公司，是我國目前唯一以特種氣體為主要專業(yè)研究方向的科研單位。

4、集科研生產、開發(fā)設計、技術服務、質量檢定于一體的綜合性研究機構，成為我國重要的 特種氣體研究、生產基地之一，是承擔國家特種氣體科研項目時間最早、研制品種最多的 研究單位。山東新龍集團的高純氯化氫、高純氯氣即為該院設計，取得了良好的效益。目 前新龍集團高純氯化氫已經部分取代美國占市場份額的60%，目前正計劃籌建高純氯氣， 以期取代日本公司。中昊光明化工研究設計院部分業(yè)績序號項目時間項目名稱項目規(guī)模備注12007年5月四川新光硅業(yè)科技有限公司1500噸/年氯氣純化22007年10月宜昌南玻硅材料有限公司1500噸/年氯氣純化32007年11月寧夏陽光硅業(yè)有限公司1500噸/年氯氣純化42008年7

5、月江西賽維LDK光伏硅科技有限公司1.5萬噸/年氯氣純化52009年2月昆明冶研新村料股份有限公司3000噸/年氯氣純化62009年5月浙江協(xié)成硅業(yè)有限公司1000噸/年氯氣純化72013年6月江蘇聯(lián)化科技有限公司500噸/年氯化氫回收及純化三、項目規(guī)模1000噸/年高純氯化氫氣體1000噸/年高純氯氣四、資金投入單套裝置750萬元，兩套共計1500萬元。五、效益分析以電子級氯化氫為例，目前國內電子產品生產廠家一般使用美國、德國產品，價格為 13萬元/噸，而國內山東新龍公司生產成本僅為3萬元/噸，銷售價格為9萬元/噸，以1000 噸/年規(guī)模計，每年可新增利潤6000萬元。高純氯氣99.999%

6、（5N）目前價格180000元/噸，是普通液氯的200倍左右，大都為 日本產品，生產成本需調研。六、市場容量以下是河南省著名電子企業(yè)，市場情況需逐家調研、逐家開拓。河南省電子行業(yè)著名企業(yè)列表（來自河南省工信廳官網）企業(yè)名稱主要產品電子級化學品及需求量許繼集團有限公司電力、電氣、電子信息需調研河南森源集團有限公司電力、電氣、電子信息需調研河南科隆集團有限公司新能源（鎳氫電池）、制冷、機械需調研河南新天科技股份有限公司民用智能計量表需調研百年金?？萍加邢薰靖咝录夹g、智能建筑、安防科技需調研河南省通信電纜有限公司電纜、光纜、數據纜需調研安陽市鳳凰光伏科技有限公司多晶硅鑄錠需調研洛陽中重自動化工程有限責任 公司提升機電控設備的設計需調研河南環(huán)宇集團有限公司堿性二次電池、太陽能電池需調研中航光電科技股份有限公司光、電連接器需調研洛陽中硅高科技有限公司多晶硅需調研阿特斯光伏電力（洛陽）有限公司多晶硅片需調研河南協(xié)鑫光伏科技有限公司單晶硅棒需調研河南新能光伏有限公司太陽能電池需調研河南義鑫威新能源科技有限公 司晶體硅太陽能電池片和晶體硅電池組件需調研富士康集團鄭州分公司計算機、通訊、手機、消費性電子 等零組件、機構件及系統(tǒng)軟件需調研七、結論高純氣體屬精細化學