質(zhì)量流量控制器技術(shù)說明書

1、PAGE PAGE 41 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)使 用 說 明 書特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域質(zhì)量流量控制器器（Masss Floww Conttrolleer縮寫為MMFC）用于于對氣體的質(zhì)質(zhì)量流量進(jìn)行行精密測量和和控制。質(zhì)量量流量計(jì)（MMass FFlow MMeter縮縮寫為MFMM），用于對對氣體的質(zhì)量量流量進(jìn)行精精密測量。S49系列質(zhì)量量流量控制器器和質(zhì)量流量量計(jì)特點(diǎn)：R*采用主體不銹銹鋼（3166L）結(jié)構(gòu)，與與氣體接觸部部分采用鐵素素體高耐腐蝕蝕軟磁不銹鋼鋼、VITOON 、聚四四氟乙烯等R*適用于各種腐腐蝕性氣體*氣體流量不因因溫度、壓力力的變化而失失準(zhǔn)*高精度 *重復(fù)性好好 *響應(yīng)速度快

2、快、軟啟動、穩(wěn)穩(wěn)定可靠*低壓降*工作壓力范圍圍寬（可以在在高壓或真空空條件下工作作）。*操作使用方便便，可任意位位置安裝*便于與計(jì)算機(jī)機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自自動控制。S49系列質(zhì)量量流量控制器器和質(zhì)量流量量計(jì)主要應(yīng)用用領(lǐng)域：*半導(dǎo)體制造行行業(yè)的氣體流流量控制*分析儀器設(shè)備備的氣體計(jì)量量與控制*各種形式的真真空鍍膜設(shè)備備*環(huán)境檢測與分分析設(shè)備*化工、石化、食食品行業(yè)氣體體流量監(jiān)測和和控制*特種材料表面面處理裝置與與燃燒控制*混氣配氣系統(tǒng)統(tǒng)和泄漏探測測系統(tǒng)等2S49系列列質(zhì)量流量控控制器和質(zhì)量量流量計(jì)型號號 本產(chǎn)品采用用中華人民共共和國電子行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJJ/T105583-944以及SJ337所規(guī)定的的通用

3、技術(shù)條條件及命名方方法。其中：S49-33/MTT型為高精度度質(zhì)量流量控控制器 SS49-333A/MT型型高精度質(zhì)量量流量計(jì)。 SS49-333M/MT型型為普通型質(zhì)質(zhì)量流量控制制器 SS49-333BM/MTT型普通型質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量計(jì)主要要精確測量氣氣體流量，質(zhì)質(zhì)量流量控制制器不但具有有質(zhì)量流量計(jì)計(jì)的功能還具具備自動控制制氣體流量的的功能。執(zhí)行Q/XCHHBY0011-20033企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3主要技術(shù)指指標(biāo)質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)質(zhì)量流量控制制器出廠通常常用氮?dú)猓∟N2）標(biāo)定。質(zhì)量流量的單位位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升升/分);SLM (標(biāo)準(zhǔn)升升/分)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為為: 溫度 2773.15

4、KK ( 0 ); 氣壓 1011325 PPa (7760mm Hg)F.S (Fuull Sccale): 表示滿量量程值表1 S49-33/MTT型S49-333M/MTT型質(zhì)量流量量控制器技術(shù)術(shù)指標(biāo)編號項(xiàng) 目目S49-33/MTS49-33MM/MT1流量規(guī)格( 05,110,20,30,500,100,200,3300,5000) SSCCM( 01,22,3,5,10,155,20,330) SLMM2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥3調(diào)節(jié)閥靜止位置置常閉4準(zhǔn)確度 1 % F.S （55sccm10slmm） 2 % F.S5線性 (0.511.5) % F.S6重復(fù)精度 0.2 %F.S7響

5、應(yīng)時(shí)間(1 100) seec8工作壓差范圍(0.05 0.4) Mpa 10030L(0.100.4) MMpa9耐壓3 Mpa 10 Mppa10工作環(huán)境溫度5 445 11材料不銹鋼316LL12標(biāo)準(zhǔn)密封材料VitonEEPDM, 或其他13漏率210-99mbar.1/s HHe14接頭6mm, 11/4Swageelok, 1/4VCR, 或其他15輸入輸出信號0 V +5.00 V(輸入阻抗大于于100K, 輸出電流流不大于3mmA)16電源+15 V 50 mA-15V 2200 mA17外形尺寸 mm量 kg1.2表2. S449-33AA/MT S4

6、9-33BM/MT型質(zhì)量量流量計(jì)技術(shù)術(shù)指標(biāo)編號項(xiàng) 目目S49-33AA/MTS49-33BBM/MT1流量規(guī)格( 05,110,20,30,500,100,200,3300,5000) SSCCM ( 011,2,3,5,10,15,200,30) SLM2準(zhǔn)確度1 % FF.S2 % FF.S3線性 (0.511.5) % F.S4重復(fù)精度 0.2 %FF.S5響應(yīng)時(shí)間14 secc6氣壓降0.01 MMPa7耐壓3 MPa 100 MPa8工作環(huán)境溫度5 445 11材料不銹鋼316LL12標(biāo)準(zhǔn)密封材料VitonEEPDM, 或其他13漏率210-99mbar.1/s HHe14接頭6mm

7、, 11/4Swageelok, 1/4VCR, 或其他電源+15 V 50 mA -155 V 50 mA11外形尺寸 mmm13413443813413443812重量 kg11注意： S499系列質(zhì)量流流量控制器，質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)分分不同的流量量范圍，供用用戶選擇，也也可根據(jù)用戶戶提出流量定定制。4. 工作原理理圖一 熱式質(zhì)量量流量計(jì)的工工作原理圖質(zhì)量流量計(jì)由流流量傳感器, 分流器通通道和流量放放大電路等部部件組成；在在質(zhì)量流量計(jì)計(jì)的基礎(chǔ)上，再再加上調(diào)節(jié)閥閥門和PIDD控制電路就就構(gòu)成了質(zhì)量量流量控制器器。流量控制器利用用流動流體傳傳遞熱量改變變測量毛細(xì)管管壁溫度分布布的熱傳導(dǎo)分分布效應(yīng)而制

8、制成，即熱分分布式流量計(jì)計(jì)（Therrmal PProfille Floowmeteer）。采用用毛細(xì)管傳熱熱溫差量熱法法原理測量氣氣體的質(zhì)量流流量，可以不不受溫度和壓壓力的影響。將將傳感器測得得的流量信號號進(jìn)行放大，然然后與設(shè)定的的電壓進(jìn)行比比較，用所得得的差值信號號去驅(qū)動控制制調(diào)節(jié)閥門，閉閉環(huán)控制流過過通道的流量量使之與設(shè)定定的流量相等等。分流器在主通道道和毛細(xì)管間間產(chǎn)生層流，控控制器輸出的的流量檢測電電壓與流過通通道的質(zhì)量流流量成正比,滿量程(F.S)流流量檢測輸出出電壓為+55V。質(zhì)量流流量控制器的的流量控制范范圍是(5100)%F.S（量量程比為500:1）, 流量分辨率率是0.1%

9、F.S。控制操作一般在在MT-500系列流量顯顯示儀上進(jìn)行行。當(dāng)設(shè)定與與“內(nèi)”設(shè)相連時(shí)，由由流量顯示儀儀上的設(shè)定電電位器控制流流量。當(dāng)與“外”設(shè)相連時(shí)，由由用戶提供的的外部0+5V電壓控控制流量。在流量顯示儀的的顯示面板上上設(shè)置有三位位閥門控制開開關(guān)，當(dāng)置于于“閥控”時(shí)，則按設(shè)設(shè)定電位器的的數(shù)值自動控控制流量，當(dāng)當(dāng)置“關(guān)閉”位時(shí)，閥門門關(guān)閉；當(dāng)置置“清洗”位時(shí)，閥門門開到最大，以以便氣路清洗洗，或作為流流量計(jì)使用。在在做流量計(jì)使使用時(shí)，流量量檢測電壓的的輸出值最大大可能達(dá)到+10V以上上，不過要注注意，當(dāng)流量量超過滿量程程（+5V）后后，流量檢測測電壓與通過過的實(shí)際流量量不成線性對對應(yīng)關(guān)系。清

10、清洗時(shí)，流量量顯示不準(zhǔn)確確，還可能出出現(xiàn)流量增大大顯示反而減減小的異?，F(xiàn)現(xiàn)象，但不會會對流量計(jì)本本身造成損傷傷。（參考流流量顯示儀的的使用說明書書）5.安裝和接線線5.1 S499系列質(zhì)量流流量控制器外外形及安裝尺尺寸如圖二所所示 圖二 S449系列質(zhì)量量流量控制器器外形及安裝裝尺寸5.2入口和出出口氣路接頭頭形式可以根據(jù)用戶的的不同需求，選選用兩種類型型：1. 雙卡套（SSwagellok）；6mm； bb. 3； c. 1/4；d.或其其他2.VCR a. 1/44； b. 3/8連接方法如圖三三，圖四所示示 圖三 雙雙卡套接頭的的連接方法注意：按上圖所所示安裝接管管時(shí)，在裝上上前卡套、后

11、后卡套、螺母母后，先用手手將螺母與接接頭擰緊，再再用板手?jǐn)Q緊緊，以保證不不漏氣。注意意應(yīng)使用雙扳扳手操作，用用一只扳手卡卡住接頭不動動，用另一只只扳手旋轉(zhuǎn)螺螺母。特別是是在拆卸時(shí)必必須使用雙扳扳手操作，否否則會引起接接頭松動，影影響密封。圖四 VCR 接頭的連接接方法5.3質(zhì)量流量量控制器連接接電纜接口S49系列質(zhì)量量流量控制器器的電纜接線線插頭，主要要采用DB-15-piin針型接口口和DB-115- hoole孔型接接口兩種。其其接線方法見見圖所示。設(shè)定(0+5.00V)設(shè)定(0+5.00V)空腳-15V+15V0電平外調(diào)零清洗流量檢測（0+5V）-15V+15V+15V-15V空腳關(guān)閉電

12、源地（GND）閥控空腳大地（Earth）空腳空腳OV（EO）815714613512411310291 圖五 DB-115-pinn針型接口配配線圖192103114125136147158外調(diào)零外調(diào)零設(shè)定(0+5.00V)流量檢測（0+5V）大地（Earth）0電平閥控0V（EO）電源地（GND）+15V-15V-15V+15V清洗-15V關(guān)閉-15V+15V空腳空腳空腳 圖六DB-155- holle孔型接口口配線圖注意：S49系系列質(zhì)量流量量計(jì)接線與上上述接線只是是少了“閥控”和“設(shè)定”兩根線其它完全相同。5.4 與計(jì)計(jì)算機(jī)的連接接方法a. 通過流量量顯示儀與計(jì)計(jì)算機(jī)(或其其它外部信號號

13、)的連接方方法, 見圖圖7。圖七圖七 通過流量顯示儀與計(jì)算機(jī)的連接質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計(jì)流量顯示儀連接電纜流量檢測外設(shè)零電平閥控A/D轉(zhuǎn)換輸入信號地D/A轉(zhuǎn)換輸出信號地+15V關(guān)閉-15V清洗計(jì)算機(jī)或PLC( 注意: 質(zhì)量流量計(jì)無閥控線和設(shè)定線 )內(nèi)設(shè)設(shè)定閥控制若要檢測流量輸輸出信號(00V+5VV)時(shí), 將將線引至顯示示儀外控信號號插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也也可直接與計(jì)計(jì)算機(jī)的模數(shù)數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器連接接，+5.000V輸出電電壓對應(yīng)MFFC滿量程額額定流量值。流流量檢測輸出出電流3mA。b. 流量計(jì)直直接與計(jì)算機(jī)機(jī)連接的接線線方法，見圖圖8。圖八 直接與計(jì)算機(jī)連接的接線

14、方法圖八 直接與計(jì)算機(jī)連接的接線方法質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計(jì)流量檢測設(shè)定零電平閥控A/D轉(zhuǎn)換輸入信號地D/A轉(zhuǎn)換輸出信號地+15V關(guān)閉-15V清洗計(jì)算機(jī)或PLC( 注意: 質(zhì)量流量計(jì)無閥控線和設(shè)定線 )閥控+15V-15V0V0V(E0)+15V-15V電源COM0+5.00V 0+5VMFC/MFMM直接與計(jì)算算機(jī)連接，需需要用戶自己己提供15V電源源（如用于復(fù)復(fù)雜電氣環(huán)境境，要求電源源抗干擾能力力要強(qiáng)）；具體連接方法：* 將“設(shè)定流流量”線與D/AA端子相連*將“流量輸輸出”線與A/DD端子相連* 將“信號零零線”與A/D，DD/A卡中的的信號地相連連* 地（GNDD），0V(E0)分別

15、引線線，與15V電源源的地相連* 15V線線分別連接到到電源的+115V，-115V端子上上* 閥開關(guān)接到到控制閥門開開繼電器的一一端，控制閥閥門開的繼電電器另一端接接到電源的+15V上；* 閥開關(guān)接到到控制閥門關(guān)關(guān)繼電器的一一端，控制閥閥門關(guān)的繼電電器另一端接接到電源的-15V上注意：如采用特特殊接線，兩兩個(gè)繼電器同同時(shí)動作時(shí)，可可能導(dǎo)致電源源短路，損壞壞設(shè)備，因此此，要注意不不能兩個(gè)繼電電器同時(shí)動作作。5.5 零點(diǎn)的的調(diào)節(jié) 用戶在使用用的過程當(dāng)中中，有可能發(fā)發(fā)生零點(diǎn)偏移移，可進(jìn)行零零點(diǎn)偏移的調(diào)調(diào)節(jié)。零點(diǎn)的的調(diào)節(jié)可以兩兩種方式進(jìn)行行調(diào)節(jié)。*。當(dāng)與我我公司生產(chǎn)的的顯示儀配套套使用時(shí)，可可通過顯

16、示儀儀面板上的調(diào)調(diào)零電位器調(diào)調(diào)零,外但要要注意外調(diào)零零的調(diào)節(jié)范圍圍比較小。以制零節(jié)調(diào)孔位如線性增益內(nèi)調(diào)零 線性增益內(nèi)調(diào)零調(diào)零調(diào)零圖九 調(diào)零電位器位置示意圖圖九 調(diào)零電位器位置示意圖注意： * 調(diào)零時(shí)流量量控制器中不不得通氣。* 調(diào)零必須須在開機(jī)預(yù)熱熱15分鐘以以后進(jìn)行，以以待流量計(jì)零零點(diǎn)的穩(wěn)定，方方可進(jìn)行。* 除調(diào)零電電位器外，不不得輕易調(diào)整整其它電位器器。* 若遇到較較大的零點(diǎn)偏偏移，必需用用內(nèi)調(diào)零，才才能解決。6.使用方法和和操作步驟S49-33/MT質(zhì)量流流量控制器的的使用方法和和操作步驟（結(jié)結(jié)合MT-550系列流量量顯示儀）6.1 開機(jī)前前的準(zhǔn)備工作作 6.11.1 用我我公司提供的的

17、電纜線將質(zhì)質(zhì)量流量控制制器(計(jì))和和流量顯示儀儀連接。6.1.2 選擇設(shè)定信信號的來源，信信號的來源可可選擇內(nèi)部和和外部，選擇擇設(shè)定信號來來源的接口設(shè)設(shè)在流量顯示示儀的后面板板上，如果將將設(shè)定端子與與內(nèi)設(shè)相連時(shí)時(shí)，從流量顯顯示儀上獲得得設(shè)定信號。如果從其他設(shè)備備上得到設(shè)定定信號，則由由外部信號設(shè)設(shè)定流量。6.2 開機(jī)操操作 接通電源源后，先預(yù)熱熱15分鐘，待待零點(diǎn)穩(wěn)定后后再通氣工作作。最佳操作作方法：通電電后，將閥開開關(guān)置“關(guān)閉”位并將設(shè)定定電位器調(diào)到到零，再開氣氣。待零點(diǎn)穩(wěn)穩(wěn)定后，將閥閥開關(guān)轉(zhuǎn)置“閥控”位，然后再再將設(shè)定流量量調(diào)到您需要要的值，實(shí)際際流量跟蹤設(shè)設(shè)定值而改變變。 6.3 清清洗

18、與關(guān)閉功功能 欲用氣體吹洗管管路，可將閥閥開關(guān)置為“清洗”位，清洗時(shí)時(shí)的流量可達(dá)達(dá)該控制器額額定滿量程流流量的幾倍至至幾十倍。如如果不通氣，也也可根據(jù)需要要抽真空以排排除MFC內(nèi)部及及其上游殘存存氣體。然后后將閥關(guān)閉，再再開氣，并轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)到“閥控”位工作。注注意“清洗”后，不得直直接轉(zhuǎn)置“閥控”位。6.4 流量檢檢測和與計(jì)算算機(jī)A/D轉(zhuǎn)換器器的連接 若用戶戶檢測流量輸輸出信號（00+5V）時(shí)時(shí)，將線引至至外控信號插插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也也可直接與計(jì)計(jì)算機(jī)的模數(shù)數(shù)轉(zhuǎn)換器連接接，+5.000V輸出電電壓對應(yīng)MFFC滿量程額額定流量值。參參考圖8，99。注意，流流量檢測輸出出電流不大

19、于于3mA。6.5 閥控功功能 當(dāng)閥開開關(guān)置于閥控控位時(shí)，用戶戶也可通過外外控信號插座座上的“閥控制”線控制閥門門，當(dāng)閥控控線接+155V時(shí)，閥門門關(guān)閉；當(dāng)閥閥控線接-115V時(shí)，處處于清洗狀態(tài)態(tài)；當(dāng)閥控線線懸空時(shí)，閥閥門處于自動動控制狀態(tài)。參參見MT-550流量顯示示儀的使用說說明書。6.6 關(guān)機(jī) 斷電源后后，流量自動動載止。推薦薦先關(guān)氣，后后斷電源。7 注意事項(xiàng)項(xiàng)7.1 使用氣氣體必須凈化化，無塵液體體和油污。必必要時(shí)須在氣氣路中加裝過過濾器、干燥燥器等。7.2 使用腐腐蝕性氣體問問題 控制器器通道采用的的材料為：SSUS 3116L(000Cr17NNi14Moo2),Vitonn,氟橡

20、膠等等耐蝕材料。在在用戶系統(tǒng)無無水汽、無塵塵、勤清洗、使使用得當(dāng)?shù)臈l條件下，可以以用于控制一一般的腐蝕性性氣體。使用用強(qiáng)腐蝕性氣氣體和有機(jī)溶溶劑氣體時(shí)（如如NH3，BBBr3）等，應(yīng)在定定貨時(shí)聲明，所所有密封材料料都要作相應(yīng)應(yīng)改變。7.3 安裝位位置問題 本控制制器安裝時(shí)最最好保持安裝裝面水平，但但對位置并不不特別敏感，可可以任意位置置安裝，非水水平位安裝時(shí)時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)點(diǎn)偏移，可調(diào)調(diào)整零點(diǎn)后再再工作。如果果用戶訂貨時(shí)時(shí)注明安裝位位置，我廠也也可根據(jù)用戶戶的安裝位置置進(jìn)行標(biāo)定后后出廠。7.4 注意工工作壓差要特別注意工作作介質(zhì)的氣壓壓，應(yīng)注意使使控制器進(jìn)出出氣口兩端的的工作壓差保保持在指標(biāo)范范圍

21、之內(nèi)。特特別是在高壓壓下工作時(shí)，氣氣壓差過大，流流量將無法關(guān)關(guān)閉或調(diào)小。在在使用大流量量的質(zhì)量流量量控制器時(shí)，要要注意適當(dāng)加加粗管道和減減小氣源內(nèi)阻阻，若工作壓壓差小于要求求值，有可能能流量達(dá)不到到滿量程值。7.5閥口密封封問題 質(zhì)量流量控制制器的電磁閥閥是調(diào)節(jié)閥，不不是截止閥，不不能當(dāng)截止閥閥用，用戶應(yīng)應(yīng)另配截止閥閥。特別是用用戶如果使用用的是腐蝕性性氣體，通常常應(yīng)該在質(zhì)量量流量控制器器進(jìn)出氣口各各加裝一個(gè)截截止閥，以保保證安全。7.6標(biāo)定和不不同氣體的換換算本控制器出廠用用氮?dú)?N22)標(biāo)定，用用戶使用其它它氣體時(shí)，需需在訂貨時(shí)特特別申明或也也可以通過附附錄一的轉(zhuǎn)換換系數(shù)進(jìn)行換換算，將質(zhì)量

22、量控制器顯示示出的流量讀讀數(shù)，與某使使用氣體的轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換系數(shù)相乘乘，即得該被被測氣體在標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的的質(zhì)量流量。如果用戶使用混混合氣體，可可以通過附錄錄二介紹的方方法，計(jì)算出出混合氣體的的轉(zhuǎn)換系數(shù)。8.故障判斷和和處理表4故障判斷和和處理一覽表表序號故障現(xiàn)象故障可能原因處理方法1開機(jī)后，無氣流流過開通接通氣源，開通通氣路1.2閥控開關(guān)關(guān)關(guān)閉將閥開關(guān)置于“閥控”位或“清洗”位1.3無設(shè)定信信號器的1.4過濾器堵堵塞*更換過濾器1.5調(diào)節(jié)閥故故障檢查閥線包是否否斷，*清洗洗調(diào)節(jié)閥1.6電路故障障*維修電路2開機(jī)不通氣的情情況下，流量量檢測不正常常2.1零點(diǎn)偏差差調(diào)整調(diào)零電位器器2.2電源故障障*檢查1

23、5VV電源等2.3傳感器故故障*更換傳感器2.4其障*更換運(yùn)放，維維修電路3在閥門關(guān)閉的情情況下，仍有有較大的流量量流過3.1入口氣壓壓過高，進(jìn)出出氣口之間的的壓差超過額額定值適當(dāng)降低輸入氣氣壓，減小氣氣壓差3.2 閥門污污染清洗閥門，更換換密封件3.3 調(diào)節(jié)閥閥故障重新調(diào)整調(diào)節(jié)閥閥4流量顯示不能達(dá)達(dá)到滿量程度度4.1 氣壓降降低于額定值值提高入口氣壓4.2 通道堵堵塞*清洗FMC通通道4.3 設(shè)定電電壓低于5.00V檢查設(shè)定電壓4.4 其它電電路故障維修電路續(xù)表4故障判斷斷和處理一覽覽表5氣流控制不穩(wěn)定定5.1 氣源壓壓強(qiáng)太低或不不穩(wěn)提高氣源氣壓，穩(wěn)穩(wěn)定氣源壓強(qiáng)強(qiáng)5.2 氣源內(nèi)內(nèi)阻過大大注門

24、道聯(lián)高能5.3 電路或或調(diào)節(jié)閥故障障*維修調(diào)整6使用高頻源時(shí)流流量控制器受受干擾6.1 供電系系統(tǒng)的地線和和零線連接或或機(jī)殼接地有有問題檢查接地系統(tǒng)，注注意一點(diǎn)接地地6.2 信號參參考端連接問問題檢查信號連接線線6.3 空間干干擾適當(dāng)屏蔽，遠(yuǎn)離離干擾源，選選用屏蔽線7實(shí)際流量與顯示示流量不一致致7.1 顯示器器量程或單位位與控制器不不匹配*重調(diào)顯示器7.2 控制器器通道被污染染，引起流量量精度發(fā)生偏偏差*對控制器進(jìn)行行清洗標(biāo)定7.3 流量計(jì)計(jì)零點(diǎn)*更換傳感器，維維修電路8設(shè)定為零時(shí)仍有有流量流過8.1 調(diào)節(jié)閥閥漏氣*維修調(diào)節(jié)閥8.2 流量計(jì)計(jì)零點(diǎn)偏負(fù)將流量計(jì)零點(diǎn)為為零或偏正9通道有很大氣流流流

25、過，而輸輸出無流量顯顯示9.1 傳感器器堵塞感應(yīng)加若等應(yīng)的氣9.2 電路故故障*維修電路10不通氣時(shí)，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)零點(diǎn)不穩(wěn)，或或零點(diǎn)長時(shí)間間慢漂移10.1 傳感感器故障*更換傳感器注意 標(biāo)標(biāo)*號的處理理項(xiàng)目，應(yīng)由由專業(yè)維修人人員修理，或或送回本公司司修理。9、氣體質(zhì)量流流量轉(zhuǎn)換系數(shù)數(shù) 附錄一. 氣體質(zhì)量流流量轉(zhuǎn)換系數(shù)數(shù)：氣 體比熱(卡/克)密度(克/升00)轉(zhuǎn)換系數(shù) 空氣 Airr 0.2400 1.2930 1.0006 氬氣 Ar 0.1250 1.7837 1.4415 砷烷 AsHH3 0.1168 3.4780 0.6673 三溴化硼 BBr3 0.0647 11.1800 0.3378

26、三氯化硼 BCl3 0.1217 5.2270 0.4430 三氟化硼 BF3 0.1779 3.0250 0.5508 硼 烷 B2H6 0.5020 1.2350 0.4441 四氯化碳 CCl4 0.1297 6.8600 0.3307 四氟化碳 CF4 0.1659 3.9636 0.4428 甲烷 CH44 0.5318 0.7150 0.7719 乙炔 C2H2 0.4049 1.1620 0.5581 乙烯 C2H4 0.3658 1.2510 0.5598 乙烷 C2H6 0.4241 1.3420 0.4481 丙炔 C3H4 0.3633 1.7870 0.4421 丙烯

27、C3H6 0.3659 1.8770 0.3398 丙烷 C3H8 0.3990 1.9670 0.3348 丁炔 C4H6 0.3515 2.4130 0.3322 丁烯 C4H8 0.3723 2.5030 0.2294 丁烷 C4H10 0.4130 2.5930 0.2255 戊烷 C5H12 0.3916 3.2190 0.2217 甲醇 CH33OH 0.3277 1.4300 0.5584 乙醇 C2H6O 0.3398 2.0550 0.3392 三氯乙烷 C2H3Cl3 0.1654 5.9500 0.2278 一氧化碳 CO 0.2488 1.2500 1.0000 二氧化

28、碳 CO2 0.2017 1.9640 0.7737 氰氣 C2N2 0.2608 2.3220 0.4452 氯氣 Cl22 0.1145 3.1630 0.8858 氘氣 D2 1.7325 0.1798 0.9998 氟氣 F2 0.1970 1.6950 0.9931 四氯化鍺 GeCl44 0.1072 9.5650 0.2267 續(xù)表1. 氣氣體質(zhì)量流量量轉(zhuǎn)換系數(shù)表表氣 體比熱(卡/克)密度(克/升00)轉(zhuǎn)換系數(shù) 鍺烷 GeH44 0.1405 3.4180 0.5569 氫氣 H2 3.4224 0.0899 1.0010 溴化氫 HBr 0.0861 3.6100 1.0000

29、 氯化氫 HCl 0.1911 1.6270 1.0000 氟化氫 HF 0.3482 0.8930 1.0000 碘化氫 HI 0.0545 5.707 0.9999 硫化氫 H2S 0.2278 1.5200 0.8844 氦氣 He 1.2418 0.1786 1.4415 氪氣 Kr 0.0593 3.7390 1.4415 氮?dú)?N2 0.2486 1.2500 1.0000 氖氣 Ne 0.2464 0.9000 1.4415 氨氣 NH3 0.5005 0.7600 0.7719 一氧化氮 NNO 0.2378 1.3390 0.9976 二氧化氮 NNO2 0.1923 2.0520 0.7741 一氧化二氮 N22O 0.2098 1.9640 0.7709 氧氣 O2 0.2196 1.4270 0.9992 三氯化磷 PPCl3 0.1247 6.1270 0.3358 磷烷 PH3 0.2610 1.5170 0.6691 五氟化磷 PPF5 0.1611 5.6200 0.3302 三氯氧磷 PPOCl3 0.1324 6.8450 0.3302 四氯化硅 SSiCl4 0.1270 7.5847 0.2284 四氟化硅 SSiF4 0.1692 4.6430 0.3348 硅烷 S