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文檔簡介

1、分子泵機組控制系統(tǒng)的設計 在高功率激光器系統(tǒng)中，使用空間濾波器是抑制光束高頻成分的非線性增長、改善光束傳輸質量的有效措施之一。激光束在到達濾波器小孔位置時會發(fā)生空氣擊穿，因此管道內必須到達一定的高真空，通過對選用的分子泵機組內部控制電路的研究分析，設計了一套控制方案，很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。 空間濾波器由一對共焦正透鏡和共焦的濾波小孔組成，基本構造見(圖1)，清潔空氣的擊穿閾值為107w/cm2，當激光的功率密度超過109w/cm2時，需要抽高真空至110-3Pa，在不開展全系統(tǒng)烘烤的情況下，分子泵組全速運轉一段時間后系統(tǒng)真空度可達10-5Pa，過高的真空度會加速管道內部電纜、潤

2、滑脂的蒸發(fā)，進而影響光學元件表面的潔凈度，因此，真空技術網(wǎng)(http:/)認為我們需要研制相應的控制系統(tǒng)，將真空度控制在一定范圍內，既要保證激光器系統(tǒng)的正常運行，又能減小內部各類材料的蒸發(fā)量。 圖1 空間濾波器示意圖 2、方案設計 為了實現(xiàn)高真空度的可控，最簡單的方法就是降低高真空泵對真空腔體的抽速，可以采用以下兩種方案： (1)在泵體與管道間增加一臺開啟量可控閥門，通過控制閥門開啟的大小來控制系統(tǒng)抽速； (2)不增加其他設備，僅調節(jié)分子泵的轉速來控制系統(tǒng)抽速。比較后我們選用了第二種方案，由于真空計和分子泵控制器均自帶RS485通訊端口，利用真空計監(jiān)測管道內真空度，由工控機實時讀取真空值，當讀

3、數(shù)超過設定值時，工控機控制分子泵控制器調節(jié)轉速，由此形成閉環(huán)控制系統(tǒng)，見(圖2)。 圖2 控制設計 3、控制流程設計 (圖3)首先需要為控制系統(tǒng)設定3個參數(shù)：穩(wěn)定運行所需的真空值、每次條件判斷后調整的轉速值和延遲時間，需要注意的是，由于分子泵到達10-3Pa后真空值下降非常緩慢，對泵體調速后觀察到真空值變化也需要一定時間，所以t的設定需要經(jīng)過多次測試才能滿足使用要求，減小真空值的波動。 圖3 流程設計 4、實驗 TV551系列分子泵最小的可調轉速為1000rpm，為了保證控制精度，我們就取其最小值，空間濾波器日常運行所需真空值設定為210-3Pa，每次設定t值后觀察24小時內真空值的變化量，結果顯示，當延時設定在15min時，系統(tǒng)真空值變化量最小(表1)。 表1 5、結語 通過對分子泵機組控制系統(tǒng)的設計，并經(jīng)過測試不斷改良參數(shù)值，我

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