ESD管理辦法規(guī)定規(guī)定

1、 名稱ESD靜電防護(hù)管制程序制訂 張明豐 審核 李超凡 核準(zhǔn) 張政獻(xiàn)目 的: 在制造.組裝.測試.包裝或貯藏高敏感電子裝置.裝配或產(chǎn)品之區(qū)域, 須有控制靜電的標(biāo)準(zhǔn),使其改善產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)力.降低電子產(chǎn)品或敏感組件受靜電的損害,使本公司以及外包廠商,有一個(gè)共同的標(biāo)準(zhǔn)化、高質(zhì)量化,可執(zhí)行之制度,并滿足客戶要求。范 圍: 凡對(duì)廠內(nèi)、外包廠商等單位之敏感組件、組裝、裝配和產(chǎn)品造成損壞之區(qū)域或人員均適之。定 義:靜電(ELECTROSTATIC):靜電之含義: 是物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷,一種電能形式, 它留存于物體表面,是正電荷和負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的 結(jié)果,是通過電子或離子的轉(zhuǎn)移而形成

2、的。靜電之產(chǎn)生: 通過摩擦、沖流、冷凍、電解、壓電、溫差等所產(chǎn) 生的。 靜電產(chǎn)生過程:在工業(yè)生產(chǎn)中常見的靜電產(chǎn)生物理過程包括:固體靜電產(chǎn)生包含:接觸帶電.金性屬與高分固體的接觸帶 及斷裂.壓電效應(yīng).熱電效應(yīng).剝離.電解等)。3. 1. 3. 2粉體起電。3. 1. 3 .3液體起電。 靜電現(xiàn)象: 是電荷的產(chǎn)生和消失的過程中產(chǎn)生的靜電現(xiàn)象的總稱。 靜電之優(yōu)缺點(diǎn): 靜電具有雙重性,即能為人類造福.即為利用靜電應(yīng)用技術(shù)制造出靜電復(fù)印.靜電涂敷.靜電除塵等,但是.在電子工業(yè)制造中也存在靜電危害,現(xiàn)正在日益表露出來并逐漸受人們所重視.其在電子工業(yè)領(lǐng)域的靜電危害形式如下: 靜電吸附 靜電放電引起的器件擊穿

3、(硬擊穿.軟擊穿) 靜電感應(yīng). 靜電放電時(shí)產(chǎn)生的電磁脈沖 敏感組件:電子組件在電子產(chǎn)品制造業(yè)上最為普遍,最嚴(yán)重的是靜電危害.即電子組件在預(yù)處理.焊接.清洗.單板測試.組裝,調(diào)試.直到包裝,貯存,發(fā)送等工序時(shí),由于接觸 - 分離 - 摩擦 - 感應(yīng)等作用,都會(huì)使操作人員.工具.工作臺(tái)面,電子組件,電子組件包裝容器等產(chǎn)生靜電,同時(shí)會(huì)隨時(shí)對(duì)電子組件造成靜電損害.因此.此類電子組件為靜電敏感組件(如IC.晶體等),總稱 敏感組件。 靜電釋放: ESD (ELECTROSTATIC DISCHARGE)一種突然產(chǎn)生的靜電重新分配,這對(duì)敏感組件或裝置會(huì)造成損壞。靜電(ESD)防護(hù)安全距離:為能使容易受靜電

4、破壞之產(chǎn)品.敏感組件得到有效安全的保護(hù).設(shè)立1米(3尺)保護(hù)范圍的安全距離。 ESD稽核員: 對(duì)靜電防護(hù)的產(chǎn)品.工作區(qū)域.敏感組件等進(jìn)行技術(shù)性之量測和處理之專業(yè)稽核檢查人員。特定工作人員:指正規(guī)受訓(xùn)過并考試合格之ESD稽核員和主管級(jí)以上干部。自我檢查: 表示工作區(qū)域內(nèi)之全部人員每日上班前對(duì)自己工作區(qū)域內(nèi)靜 電防護(hù)檢查。保護(hù)接地: 將電氣設(shè)備.裝置不帶電的金屬部分與接地體(地壤直接接觸 的導(dǎo)電金屬體)之間作良好的金屬連接。3. 9表面阻抗: 表示物體之表面部分與接地線之間的絕緣電阻阻抗數(shù)值, 通常用奧姆()表示。靜電電壓: 表示物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷量.用電壓伏(Voltage) 表示。防

5、靜電屏蔽袋: 用防靜電材料之包裝袋進(jìn)行成品或半成品包裝(適用于客戶要求)。導(dǎo)體容器: 用于存放防靜電成品,半成品之導(dǎo)電體容器。 有線靜電手環(huán): 為防止人體接觸敏感組件而造成靜電破壞,佩帶于手(腳) 6 8 上的防靜電物品,并用一根導(dǎo)線連接接到大。.要求:手環(huán)上之電阻在6 8 10 10范圍內(nèi).佩帶手環(huán)之緊度要接觸皮膚為準(zhǔn). 靜電手環(huán)又俗稱“靜電手腕”。 6 9靜電手套: 為防止人手觸摸敏感組件,使其上汗.油污并造成靜電破壞和 6 9 腐蝕,特佩帶防靜電的材料制作成的手套,并要求靜電阻抗為10 10,范圍內(nèi),靜電電壓為100伏特以下。防靜電周轉(zhuǎn)箱: 為使容易受靜電敏感之成品.半成品,存放于用防靜

6、電材 料制作的容器內(nèi),進(jìn)行儲(chǔ)存或運(yùn)輸.并要求用防靜電材料制作之隔板進(jìn) 行隔離。 檢定: 即用標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)被量測之儀器進(jìn)行比對(duì).檢定值是否超出誤差范圍。 內(nèi)校: 利用現(xiàn)有的可追溯到國家或國際之標(biāo)準(zhǔn)器,校正檢定公司內(nèi)之儀器。 校正失效: 用標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)廠內(nèi)儀器進(jìn)行量測比對(duì),被量測之儀器示值超出 最大允許誤差范圍,則判定為校正不合格. 即為校正失效。校驗(yàn)周期: 儀器設(shè)備視其使用頻繁程度,規(guī)定其每年進(jìn)行校驗(yàn)檢定次數(shù)。 即為校驗(yàn)周期。權(quán) 責(zé): 儀校中心負(fù)責(zé)靜電(ESD)控制技術(shù)指標(biāo).制訂靜電防護(hù)辦法,以及工作之倡導(dǎo)。品保單位.制造單位.SMT單位.實(shí)施靜電防護(hù)工作.并每日進(jìn)行自我檢查,提報(bào)不良狀況。資材部實(shí)施靜

7、電保護(hù)工作.并對(duì)敏感之組件和成品.半成品妥善之保存和防護(hù)。 生技課ESD工程師負(fù)責(zé)對(duì)全廠內(nèi)靜電防護(hù)單位和個(gè)人進(jìn)行ESD技術(shù)性之控制.量測.稽核和處理改善。 程序內(nèi)容: 靜電(ESD)防護(hù)流程圖 新進(jìn)員工特定工作人員 ESD訓(xùn)練合格靜電防護(hù)區(qū)域工作或接觸敏感組件(進(jìn)入)ESD技術(shù)量測和監(jiān)督 隔離. 改善靜電電壓超過100V 稽核小組 靜電防護(hù)單位靜電控制和自我檢查 編寫受訓(xùn)教材 考試不合格 作業(yè)說明: 訓(xùn)練: 對(duì)新進(jìn)員工,必須進(jìn)行靜電防護(hù)(ESD)之教育訓(xùn)練.受訓(xùn)時(shí)間不低 于4小時(shí)。 無受過靜電防護(hù)(ESD)訓(xùn)練培訓(xùn)者,不可上線靜電防護(hù)區(qū)域或接觸敏感組件。特定人員.靜電防護(hù)組織成員,稽核小組必須

8、定期受訓(xùn)?；诵〗M組長擬訂教育訓(xùn)練計(jì)劃表(附件一)并根據(jù)計(jì)劃 表對(duì)全廠員工受訓(xùn),受訓(xùn)時(shí)必須作出教育訓(xùn)練記錄。 受訓(xùn)過靜電防護(hù)的人員,必須有靜電防護(hù)識(shí)別標(biāo)示(如下圖一所 示),分期對(duì)人員進(jìn)行受訓(xùn)。靜電防護(hù)受訓(xùn)靜電防護(hù)受訓(xùn)合格后上崗識(shí)別標(biāo)示 (圖一(圖一)受訓(xùn)后人員必須進(jìn)行考試,及格為80分?？荚囶}目如(附件二)(附 件三)所示。 受訓(xùn)課程必須包含以下內(nèi)容: 受訓(xùn)內(nèi)容 受訓(xùn)時(shí)間 受訓(xùn)人數(shù) (不得超過)靜電之概念 產(chǎn)生物理過程 1 H30靜電之來源.對(duì)半導(dǎo)體組件的不良影響.30靜電防護(hù)區(qū)域之化分及防護(hù)措施 H30保護(hù)靜電之包裝.運(yùn)輸.儲(chǔ)存 30靜電防護(hù)的識(shí)別標(biāo)示. 30ESD管理小組及工作職掌 30

9、自我檢查的流程內(nèi)容及實(shí)施 30 靜電控制區(qū)域:凡對(duì)敏感組件會(huì)造成傷害之區(qū)域必須用班瑪帶標(biāo)貼 靜電(ESD防護(hù)安全距離 如下圖(二)所示。只能在其范圍內(nèi)組裝和裝置。有效距離為1米 (3尺)內(nèi)。 (圖二)靜電防護(hù)在其控制作業(yè)中,每周指派專人進(jìn)行技術(shù)量測和稽核,并記錄于【ESD稽核檢查記錄周報(bào)表】(PHG-Q4-PE39)內(nèi)。 每年必須對(duì)外包廠進(jìn)行之評(píng)鑒一次以上,記錄于【外包廠ESD 評(píng)監(jiān)報(bào)告】(PHG-Q4-PE42)內(nèi),對(duì)不良狀況提出改善意見和對(duì)策,并定期進(jìn)行追蹤處理結(jié)果,記錄于【ESD異常處理對(duì)策單】(PHG-Q4-PE43)內(nèi)。 矯正措施: 當(dāng)靜電電壓超過100V時(shí),并對(duì)其進(jìn)行隔離,分析不良

10、原因,加 以改善,必須有ESD稽核員。ESD工程師和ESD主任3人以上人員進(jìn)行確認(rèn)并記錄于【ESD異常處理對(duì)策單】內(nèi)。 緊急事故處理: 當(dāng)在靜電防護(hù)區(qū)域作業(yè)時(shí),發(fā)生意外事故時(shí),應(yīng)先考慮是否對(duì) 人身安全有危害,并立即采取措施解決.爾后,再考慮解決是否對(duì)靜 電防護(hù)有破壞,并加以改善。 對(duì)外包廠商靜電防護(hù)要求: 外包廠商與公司有直接的業(yè)務(wù)來往,為了質(zhì)量的提升,為降低不良的發(fā)生,對(duì)其也要作靜電防護(hù)的要求: 生產(chǎn)工藝: 在生產(chǎn)制程過程中,須作靜電防護(hù)。 包裝:對(duì)靜電有敏感之組件(如:IC.晶體等)必須防靜電膠帶包裝。 運(yùn)輸: 必須把完成品存放于防靜電屏蔽袋內(nèi)而運(yùn)輸,并標(biāo)明靜電防護(hù)標(biāo)示。如下(圖三)所示。

11、 (圖三) ESD管理組職: (附件三). 稽核組織成員: 必須受過ESD正規(guī)的教育訓(xùn)練,是廠內(nèi)ESD的技術(shù)顧問,對(duì) 靜電防護(hù)進(jìn)行技術(shù)的量測。檢驗(yàn)和管理,并制訂受訓(xùn)計(jì)劃和進(jìn)行倡導(dǎo), 稽核組織成員工作職掌如(附件四)所示。 靜電防護(hù)成員: 必須受過靜電防護(hù)(ESD)正規(guī)訓(xùn)練,獲得ESD資格,對(duì)全廠內(nèi)靜電防護(hù)進(jìn)行管理和推動(dòng)實(shí)施。靜電防護(hù)之成員必須是生產(chǎn)線班組長以上干部。工作職掌如(附件四)所示。 靜電(ESD)檢查: 靜電ESD每日自我檢查: 各靜電防護(hù)(ESD)單位之員工每日上班前進(jìn)行靜電防護(hù)自我檢查。 使用之有線靜電環(huán)是否測試過。如有測試, 是否記錄于【靜電環(huán) 檢查記錄表】(PHG-Q4-PE

12、45)內(nèi)。 在其工作區(qū)域內(nèi)之靜電臺(tái)墊是否接地,臺(tái)面是否清潔,干凈。在其工作之工作臺(tái)面上是否有產(chǎn)生靜電物(如:塑料帶(袋等)。 儀器.治具是否完全接地。員工本人使用之烙鐵是否3 Pin之插頭.若為2 Pin應(yīng)立即通知 所在單位的負(fù)責(zé)人聯(lián)絡(luò)ESD工程師加以改善。 檢查自己是否有靜電防護(hù)訓(xùn)練合格后,所佩帶的ESD認(rèn)別標(biāo)示 牌.如上圖(一)所示。 每個(gè)員工進(jìn)行自我檢查后,并記錄于【ESD每日自我檢查記錄表】 (PHG-Q4-PE46)內(nèi).經(jīng)所在單位負(fù)責(zé)人確認(rèn)后方能上線工作。 稽核檢查: 為使靜電防護(hù)得到徹底的推動(dòng)執(zhí)行和質(zhì)量提升。能及時(shí)發(fā)現(xiàn)不良 現(xiàn)象,并得到有效之改善。特ESD稽核小組每月內(nèi)派專人負(fù)責(zé)稽

13、核檢 查,每周依據(jù)稽核檢查程序進(jìn)行稽核檢查一次。 檢查所有員工是否依據(jù)自我檢查程序進(jìn)行自我檢查,并有完整記錄。5 8 量測工作臺(tái)墊靜電電壓和阻抗的實(shí)際示值,靜電電壓和阻抗是否分別為100伏特以下或1010 5 8 量測靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓是否超過100伏特。有線靜電手環(huán)是否有不良現(xiàn)象,如不良現(xiàn)象,有無改善措施和對(duì)策。靜電安全區(qū)之儀器.設(shè)備.工具是否安全接地。 每日上班前所有員工是否進(jìn)行靜電手環(huán)測試并記錄于靜電環(huán)檢查記錄表不允許沒有帶靜電腕環(huán)(或接地線)的人靠近你的靜電安全區(qū)1米(3尺)之內(nèi),告訴他們?cè)谀愕膮^(qū)域要靠近和觸摸,任何對(duì)象之前的人,要帶靜電腕環(huán)(或接線)才可進(jìn)入,而觸摸元?dú)饧仨毰鍘ъo

14、電手套。 靜電防護(hù)控制區(qū)域是否有狀態(tài)標(biāo)示(如上圖二所示).是否劃線列出管制。儀器.治具是否超出100伏特。 靜電安全區(qū)域所有物品均是否低于100伏特。 IC房.濕度是否控制在55%10%。檢查靜電防護(hù)工作區(qū)的接地線是否漏接,損壞或開路,斷線現(xiàn)象。檢查工作區(qū)是否會(huì)產(chǎn)生靜電物.如未處理塑料袋.箱子.保力龍,膠帶或個(gè)人用品,最少離ESD敏感組件1米(3尺)檢查所有的ESD敏感組件,半成品.成品是否完全的放在導(dǎo)體容器(導(dǎo)靜電籃子)內(nèi)。 確認(rèn)裝ESD敏感組件的導(dǎo)體容器(導(dǎo)靜電籃子)內(nèi)沒有會(huì)產(chǎn)生靜電物。確認(rèn)所有保護(hù)容器在外邊均有一承認(rèn)的靜電注意標(biāo)志。如上(圖三)所示。 如任一檢測項(xiàng)目失敗的話,則未受到保護(hù)

15、,ESD敏感組件不許搬動(dòng),直到改善為止,如執(zhí)行者不能改善這些錯(cuò)誤,則ESD主任須負(fù)責(zé)改善。 各部門有責(zé)任將其自我檢查及執(zhí)行情形接受班組長之確認(rèn),并將其結(jié)果完整記錄送交稽核小組內(nèi)存盤管制。 ESD工程師經(jīng)常執(zhí)行ESD稽核使ESD控制的標(biāo)準(zhǔn)化能落實(shí)。從他們對(duì)部門程序的了解,ESD稽核員應(yīng)每月一次執(zhí)行稽核。執(zhí)行每月ESD自我稽核時(shí),需確認(rèn)其程序書仍是可用的,及能使 用正確的儀器、設(shè)備,并須定期受校正檢定。 當(dāng)發(fā)現(xiàn)不符規(guī)定的事項(xiàng)能迅速的采取改善措施。 年度稽核在11-12月中進(jìn)行。 稽核檢查結(jié)果應(yīng)記錄于ESD稽核檢查記錄表內(nèi)。另: 稽核檢查表及未列入表內(nèi)以外的上述內(nèi)容,如有不良現(xiàn)象發(fā)生,應(yīng)出具【ESD

16、異常處理對(duì)策單】,送出靜電防護(hù)管理組織相關(guān)人員進(jìn)行對(duì)策和加以改善。 量規(guī)儀器靜電區(qū)域之管制: 靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)之儀器.設(shè)備必須安全接地,其靜電電壓值不 得超過100Voltage,如果超出儀器設(shè)備必須進(jìn)行隔離直至處理改善后方能再投入使用,并記錄【ESD異常處理對(duì)策單】內(nèi)。 每三個(gè)月儀校中心進(jìn)行靜電保護(hù)接地是否良好檢查,并記錄于ESD 季度接地檢查記錄表】(PHG-Q4-PE41)如內(nèi)。接地電阻不得超過3。 防靜電用品.裝備之質(zhì)量檢驗(yàn)。防靜電工作服和帽: 外觀質(zhì)量:防靜電工作服.帽外觀要求無破損.斑點(diǎn).污物以及影響衣、帽上之性能缺陷.結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要滿足穿著輕便,舒適便于解脫.服裝上一般不得使用金屬或橡

17、膠佩件. 如金屬或橡膠帶靜電之銘牌或商標(biāo)等。 靜電量檢驗(yàn): 對(duì)防靜電工作服和帽進(jìn)行靜電量測時(shí).先進(jìn)行洗滌(不包含新購入未使用服裝和帽),其洗滌條件應(yīng)符合(表一),并 洗滌脫水自然晾干后方可量測.靜電電壓不得超過50伏特。 洗滌條件項(xiàng)目條件項(xiàng)目條件洗滌方式普洗洗滌液濃度2g/升水溫40+3溶比1:30水溶量30升 (表一) (注:洗滌劑呈中性或微堿性 PH=7-8)。 防靜電鞋: 5 8外觀質(zhì)量: 鞋底應(yīng)無絕緣物,無裂紋.無開膠.無孔洞.鞋面不得帶有金屬或其它帶靜電橡膠銘牌等。 5 85 8質(zhì)量檢驗(yàn):鞋底電阻阻抗值應(yīng)為 10 10 范圍內(nèi),鞋面電壓值不得超過100伏特。5 8防靜電工作臺(tái)墊:表面

18、阻抗應(yīng)為10 10 范圍內(nèi),鞋面靜電值不得超過100伏特。 防靜電零件盒,周轉(zhuǎn)箱.膠帶。 外觀質(zhì)量:應(yīng)無裂紋,破損.不得有明顯變形.并要求盒箱表面光滑,且膠帶必須柔軟、光滑。質(zhì)量檢驗(yàn):靜電量不得超過100伏特。 防靜電手環(huán): 外觀質(zhì)量:手環(huán)帶應(yīng)無毛刺.裂跡和孔洞。 86質(zhì)量檢驗(yàn):用靜電手環(huán)測試器測試是否為GOOD。 866 或用FLUKE5500A檢定電阻值在 10 - 10 范圍內(nèi),并且手環(huán)帶引出線必須串接一只10 電阻。 6 注明: 以上防靜電用品測試不合格為A類不合格.不可使用.另外觀不合 格為B類不合格.視其情形酌情考慮是否可使用之。 防靜電測試器之檢驗(yàn): 防靜電測試用之儀器: 靜電手

19、環(huán)測試器.表面阻抗測試器.靜電電壓測試儀.接地阻抗測試器,依據(jù)【儀器設(shè)備管制計(jì)劃表】(PHG-Q4-CC02)之校驗(yàn)周期.計(jì)劃校驗(yàn)日期進(jìn)行送出中國電子工業(yè)部第五研究所601計(jì)量站國家級(jí)計(jì)量單位檢定,或依據(jù)廠內(nèi)自身校正能力進(jìn)行內(nèi)校.檢定失效或不合格則進(jìn)行改善對(duì)策,并記錄于【標(biāo)準(zhǔn)器.量規(guī).儀器校正失效記錄表】(PHG-Q4-CC07)內(nèi)。附 件:新進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題 (附件一) 新進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題 (附件二) ESD管理組職圖 (附件三) ESD管理組職工作職掌 (附件四) ESD稽核檢查記錄周報(bào)表(PHG-Q4-PE39)外包廠.協(xié)力廠ESD評(píng)鑒報(bào)告(PHG-Q4-PE42) ESD異常處理對(duì)策單(PHG-Q4-PE43)靜電環(huán)檢查記錄表(PHG-Q4-PE45) ESD每日自我檢查記錄表(PHG-Q4-PE46) ESD季度接地檢查記錄表(PHG-Q4-PE41)儀器設(shè)備管制計(jì)劃表(PHG-Q4-CC02)標(biāo)準(zhǔn)器.量規(guī).儀器校正失效記錄表 (PHG-Q4-CC07) 相關(guān)文件: 靜電防護(hù)手冊(cè). 靜電基礎(chǔ)理論 附件三靜 電 管 理 組 職 圖ELECTRO ST