單一來源采購專業(yè)人員論證意見表

1、單一來源采購專業(yè)人員論證意見表時間： 2016年 10月25 日中央主管預(yù)算單位中國科學(xué)院中央預(yù)算單位中國科學(xué)院物理研究所項目名稱硅鍺分子束外延系統(tǒng)中國科學(xué)院物理研究所納米物理與器件實驗室承擔(dān)了國家重點研發(fā)計劃 “半導(dǎo)體量子芯片” 的課題“高質(zhì)量硅基半導(dǎo)體量子芯片材料研究” ，擬開展擁有長量子相干時間的硅基半導(dǎo)體量子材料的研究， 以獲得比特品質(zhì)因子 1000、比特數(shù) 4-6 的集成量子芯片，為項目提供具有獨特性質(zhì)的高質(zhì)量材料。 課題的核心是獲得長量子相干時間，若材料中存在核自旋， 電子自旋和核自旋的超精細相互作用使得量子相干容易在短時間內(nèi)丟項目背景失，為此，實驗室計劃購置一臺用于生長沒有核自旋

2、的同位素純化的高質(zhì)量硅鍺材料 （不含硅 29 和鍺 73）的分子束外延系統(tǒng)。實驗所需的分子束外延系統(tǒng)要求： 能夠生長高質(zhì)量的同位素純化的高純硅基量子材料。 一方面需要設(shè)備能夠生長高純的同位素純化的硅鍺材料； 另一方面需要具有非常干凈的腔體即超高真空和極低的背景摻雜濃度，背景摻雜濃度需要小于14-310 cm 。此外，量子材料的生長還需設(shè)備能夠在襯底溫度低于零下 100 攝氏度的條件下進行。中國科學(xué)院物理研究所因承擔(dān)國家重點研發(fā)計劃“半導(dǎo)體量子芯片” 的課題“高質(zhì)量硅基半導(dǎo)體量子芯片材料研究” ，需要采購一臺用于生長同位素純化的高質(zhì)量硅鍺材料的分子束外延系統(tǒng)。 該系統(tǒng)需要具有如下技術(shù)指標(biāo)：生長的

3、同位素純化的硅鍺材料中硅28 含量大于 99.99%，鍺 73 的含量小于 0.02%，背景摻雜濃度14-3專家 1論證意見需要小于 10cm ，襯底溫度可以低至零下 100C以下。能夠滿足上述實驗要求的設(shè)備目前國內(nèi)還無法生產(chǎn)， 國際上也只有德國的 Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH公司提供的產(chǎn)品能夠滿足上述技術(shù)指標(biāo)。 因此只能采用單一來源方式采購進口產(chǎn)品。專家姓名：王新強工作單位：北京大學(xué)職稱：教授專家 2論證意見專家 3論證意見中國科學(xué)院物理研究所因承擔(dān)國家重點研發(fā)計劃課題“高質(zhì)量硅基半導(dǎo)體量子芯片材料研究”，擬開展擁有長量子相干時間的硅基半導(dǎo)體量子材料的研究，以

4、獲得比特品質(zhì)因子 1000、比特數(shù) 4-6 的集成量子芯片， 為項目提供具有獨特性質(zhì)的高質(zhì)量材料。為此，實驗室計劃購置一臺用于能夠生長沒有核自旋的同位素純化的高質(zhì)量硅鍺材料（不含硅 29和鍺 73）的分子束外延系統(tǒng)。實驗所需設(shè)備要求：能夠生長高純的同位素純化的硅鍺材料（硅 28含量大于 99.99%，鍺73的含量小于 0.02%）；另一方面需要具有超高真空和極低的背景摻雜濃度小-3于 10 cm 。此外，量子材料的生長還需設(shè)備能夠在襯底溫度低于零下 100攝氏度的條件下進行。能夠滿足上述實驗要求的設(shè)備目前國內(nèi)還無法生產(chǎn)， 國際上也只有德國的 Dr. Eberl MBE-KomponentenG

5、mbH公司提供的設(shè)備能滿足我們的要求。因此只能采用單一來源方式采購進口產(chǎn)品。專家姓名：何珂工作單位：清華大學(xué)職稱：教授中科院物理所因開展擁有長量子相干時間的硅基半導(dǎo)體量子材料的研究，以獲得比特品質(zhì)因子 1000、比特數(shù) 4-6 的集成量子芯片，需要采購一臺硅鍺分子束外延系統(tǒng)用于生長高質(zhì)量的同位素純化的硅鍺半導(dǎo)體量子芯片材料。系統(tǒng)需要硅鍺材料中硅是沒有核自旋的硅28材料，鍺是不含鍺 73的材料，背景摻雜濃度需要小于14-3前能夠滿足上述實驗要求的設(shè)備國內(nèi)還無法生產(chǎn)，國際上也只有德國的 Dr. Eberl MBE-KomponentenGmbH公司提供的產(chǎn)品能夠滿足要求。 因此只能采用單一來源方式

6、采購進口產(chǎn)品。專家 4論證意見專家 5論證意見專家姓名：趙建華工作單位：中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所職稱：研究員中科院物理所承擔(dān)的國家重點研發(fā)計劃“半導(dǎo)體量子芯片”的課題“高質(zhì)量硅基半導(dǎo)體量子芯片材料研究”，需要生長高質(zhì)量的同位素純化的硅基半導(dǎo)體量子芯片材料，以獲得長量子相干時間。 為此，需要采購一臺硅鍺分子束外延系統(tǒng)。 系統(tǒng)需要硅鍺材料是同位素純化的，即硅 28含量大于 99.99%，鍺73的含量小于 0.02 ）；14-3同時背景摻雜濃度需要小于 10 cm ；且可在低于零下 100 C的條件下進行生長。能夠滿足上述實驗要求的設(shè)備目前國內(nèi)還無法生產(chǎn)，國際上也只有德國的Dr.Eberl MBE-KomponentenGmbH公司提供的產(chǎn)品能夠滿足實驗所需技術(shù)要求。因此只能采用單一來源方式采購進口產(chǎn)品。專家姓名：劉峰奇