2022年無塵室環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn)

精選文檔精選文檔..精選文檔.目的標(biāo)準(zhǔn)無塵室內(nèi)環(huán)境檢測方法及判定作業(yè)。 范圍適用于公司所有無塵室的環(huán)境檢測作業(yè)。3.職責(zé)3.1無塵室管事部:負(fù)責(zé)無塵室的定期檢測及檢測數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析,無塵室檢測異常的提出。3.2生產(chǎn)部:負(fù)責(zé)對無塵室的日常維護及保養(yǎng)。3.3機電部:負(fù)責(zé)無塵室高效及低效過濾網(wǎng)的更換及維修。3.4設(shè)備部：負(fù)責(zé)無塵室的定期保養(yǎng),新過濾網(wǎng)的請購。4.內(nèi)容4.1無塵室落塵檢測：4.1.1靜態(tài)檢測:生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢,且正常運行但無人員工作狀態(tài)下檢測。4.1.2動態(tài)檢測:生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢正常運行,且工作人員正常工作狀態(tài)下檢測。4.2檢測周期:無塵室2次/周。作業(yè)面區(qū)域2次/周，F(xiàn)FU過濾網(wǎng)檢測1次/年度，生產(chǎn)依據(jù)檢測排查結(jié)果，開出工程需求申請單，請購濾網(wǎng)進行更換。注：CCM及三星專線無塵車間為每日點檢。4.3無塵車間人數(shù)規(guī)定，按每3m2最多只能容納1人計算；比方：100m2的車間，最多只能容納33人,每天進入無塵車間人員需做清點及統(tǒng)計，并記錄于?無塵室人數(shù)點檢表?中，超出空間限制人員數(shù)量時應(yīng)由無塵室管理禁止及進入。(參考國標(biāo)GB50073-2001)。4.4檢測方式:4.4.1檢測時使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計數(shù)器。4.4.2測量時位于工作區(qū)的高度(距離地面高度約0.8m)處進行檢測。 4.4.3測量時間最少為1min。4.5檢測異常處理：灰塵度檢測人員對檢測結(jié)果進行判定，如檢測結(jié)果超出標(biāo)準(zhǔn)，無塵室管理部開出?無塵室檢測異常聯(lián)絡(luò)單?，要求產(chǎn)線和相關(guān)部門進行改善，改善后再進行生產(chǎn)。4.6檢測方法要求：4.6.1參考：ISO14644-1/2NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom4.6.2潔凈室的測試點以不少于總面積開平方根的數(shù)量來均勻劃分?！怖纾?000平米車間至少需32個檢測點〕4.6.3取樣量為每分鐘1個立方英尺,取樣時間為一分鐘。4.6.4在每個點的中心最小取一分鐘，高度在0.8米左右.〔靠近人員實際作業(yè)區(qū)域〕4.6.5當(dāng)有障礙物時采樣點放在障礙物12英寸上面4.7檢測等級判定：4.7.1本司檢測設(shè)備檢測量為2.83L/min(即0.1ft/min)。4.7.2依據(jù)FS-209E/GB50073-2001標(biāo)準(zhǔn)進行檢測判定,即1ft的空間里面含有≥0.5um落塵的數(shù)量即為多少等級,也可依1m3空間來計算,換算公式為1m3=1000L。例:現(xiàn)設(shè)備檢測1min,≥0.5um的落塵顯示數(shù)值為87。即為:在0.1ft空間內(nèi)有87個≥0.5um的落塵=1ft空間內(nèi)有870個≥0.5um的落塵。依標(biāo)準(zhǔn)判定無塵室等級為870級。4.7.3FS-209E標(biāo)準(zhǔn)的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(ft&m3比對表)等級標(biāo)準(zhǔn)等級限制0.1um0.2um0.3um0.5um5um容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位m3Ft3m3Ft3m3Ft3m3Ft3m3Ft3——10——2————————————————100——24——10——4——————11000352377.51023351————1010000350237075102030352≦10————100100000——2370075010200300352010029——10001000000——237000——102000——35200996293710000————————————3520009962293070100000————————————35200009961629300700——————————————35200000——293000——4.8FFU濾網(wǎng)檢測：參考：ISO14644-3：注1：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境----第3局部：計量和測試方法。4.8.1檢測頻率：4.8.2更換周期為1次/1年(依據(jù)檢測結(jié)果而定)。4.8.3測試方法4.8.3.1對于每個2`X4`過濾器,距離其外表150MM處均勻取2個讀數(shù)4.8.3.2對于每個4`X4`過濾器,距離其外表150MM處均勻取4個讀數(shù)4.8.3.3平均風(fēng)速：0.45m/s±20%4.9無塵室壓力管控4.9.1?潔凈廠房設(shè)計