防靜電培訓(xùn)課件

防靜電培訓(xùn)防靜電培訓(xùn)靜電靜電2目錄一.靜電基本知識(shí)介紹

1.靜電的概念及產(chǎn)生原因2.決定帶電量的主要因素3.靜電防護(hù)的目的4.工作上的靜電介紹四.現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施1.使用防靜電物品2.現(xiàn)場使用去靜電裝置3.防靜電和去靜電物品的檢測4.基板除靜電效果測定事例

5.生產(chǎn)環(huán)境管理二.ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念

2.ESD放電模式3.

ESD危害4.敏感性器件ESD損傷失效模式三.ESD的防護(hù)與改善1.

ESD的防護(hù)與改善方向2.ESD防護(hù)措施目錄一.靜電基本知識(shí)介紹四.現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施二.ESD的3一、靜電的基本知識(shí)1.靜電的概念及產(chǎn)生原因1.1靜電的概念(Electrostatic)：靜電是一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。由它所引起的電磁場效應(yīng)較之電場效應(yīng)

可以忽略不計(jì)1.2靜電的特點(diǎn)：一、靜電的基本知識(shí)1.靜電的概念及產(chǎn)生原因1.1靜電的概4防靜電培訓(xùn)課件51.3靜電的產(chǎn)生原因：1.3.1電子工業(yè)靜電產(chǎn)生的主要方式：接觸摩擦分離，剝離與感應(yīng)。1.接觸起電：當(dāng)兩個(gè)不同物體相互接觸時(shí)久會(huì)使得其中一個(gè)物體失去一些電荷帶正電，而另一物體得到電子而帶負(fù)電。若在分離的過程中電荷難以中和，電荷就會(huì)積累使物體帶上靜電。A++++----B接觸++++----分離++++-(+)(-)---2.靜電感應(yīng)(導(dǎo)體)：靜電場中，靜電感應(yīng)使導(dǎo)體上的電荷重新分配，電位發(fā)生變化。當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)在不帶電的導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電。1.3靜電的產(chǎn)生原因：1.接觸起電：A++++----B接61.3.2靜電產(chǎn)生的原因：分為固體起電，粉體起電，液體起電。固體起電：固體接觸摩擦分離起電。帶電形式分為5中：斷裂帶電壓電效應(yīng)起電

熱電效應(yīng)起電剝離起電

電解起電例如：玻璃基板與物流線體之間的摩擦，DFR膜、PR膠剝離過程均可產(chǎn)生大量靜電。粉體起電：粉體與壁器，粉體與粉體間相互碰撞，分離，摩擦，碎裂引起的。起電量與其分散度，電導(dǎo)率，壁面電導(dǎo)率，速度，周圍空氣濕度，相互作用的強(qiáng)烈程度與碰撞時(shí)的接觸程度及接觸面積有關(guān)。顆粒越小，相互作用越強(qiáng)烈，碰撞面越大，起電就越強(qiáng)。例如：BIR制作工藝過程中的噴砂工序，粉塵顆粒與障壁介質(zhì)碰撞，摩擦?xí)a(chǎn)生大量靜電1.3.2靜電產(chǎn)生的原因：分為固體起電，粉體起電，液體起電7液體起電：液相(如樹脂，漆類)與固相(如金屬，高分子材料)界面形成的偶電層，內(nèi)層是緊貼在固體表面上的離子，稱為固定層或吸附層，而外層離子是可動(dòng)的稱為活動(dòng)層或擴(kuò)散層。這種液體起電如下圖所示：液體起電：81.速度：速度越快,帶電量越多.2.壓力：壓力越大帶電量越多.

3.濕度：濕度越低,帶電量越多.

4.磨擦頻率：頻率越高,帶電量越多.

5.接觸面積：表面積越大,帶電量亦多.材料的阻抗值是決定帶電量的主要因素一.靜電介紹2.決定帶電量的主要因素1.速度：速度越快,帶電量越多.一.靜9靜電的相關(guān)材料靜電相關(guān)材料的劃分：GB12158《防靜電事故通用導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》如下圖所示：劃分標(biāo)準(zhǔn)為材料體表面或體積電阻率大小靜電耗散材料：靜電耗散：帶電體上的電荷由于靜電中和，泄露，放電而使之部分或全部消失的現(xiàn)象。

靜電耗散材料在電子行業(yè)使用廣泛，車間的地面，墻壁，工作臺(tái)表面，臺(tái)車表面，潔凈服等均為靜電耗散材質(zhì)，其表面阻抗率滿足要求。靜電的相關(guān)材料靜電相關(guān)材料的劃分：GB12158《防靜電事故10

適用于全廠所有由于靜電問題影響到產(chǎn)品的品質(zhì)及環(huán)境安全的人,設(shè)備,材料.工具及環(huán)境的控制.確保全廠所生產(chǎn)的產(chǎn)品的品質(zhì),提升產(chǎn)品的良率,

把公司內(nèi)因?yàn)殪o電放電及靜電吸附所產(chǎn)生問題的發(fā)生機(jī)率降低.以達(dá)到靜電防護(hù)的目的.靜電防護(hù)的目的適用的范圍3.靜電防護(hù)目的及范圍適用于全廠所有由于靜電問題影響到產(chǎn)品的品質(zhì)及環(huán)境安114.工作上的靜電介紹靜電的產(chǎn)生是不可避免的,但良好的靜電防制工作卻能降低靜電的產(chǎn)生及累積,甚至排除靜電,因此如何避免電子元件受ESD破壞及如何做好靜電防制工作是非常重要的.例子1:圖1工作桌上沒有靜電防制桌墊,是不可將產(chǎn)品放在沒有靜電防護(hù)的工作桌上的.圖1X圖2√4.工作上的靜電介紹靜電的產(chǎn)生是不可避免的,但良好的124.工作上的靜電介紹例子2:圖3兩片Cell重疊放置在

一起,是錯(cuò)誤的.應(yīng)該將其分開放放置如圖4,或是只單獨(dú)放置一片如圖5.圖3X圖4√圖5√4.工作上的靜電介紹例子2:圖3兩片Cell重疊放置在

一起134.工作上的靜電介紹例子3:圖6在拿取模組時(shí),沒有任何的靜電防護(hù)措施,是不可行的.須按照圖7所示的操作,才能確保產(chǎn)品不會(huì)因靜電的問題造成傷害.圖6X√圖74.工作上的靜電介紹例子3:圖6X√圖7144.工作上的靜電介紹例子4:圖8作業(yè)時(shí)沒有將離子風(fēng)扇的電源開關(guān)打開,正確的做法:如圖9,

將離子風(fēng)扇的電源開關(guān)打開后再進(jìn)行作業(yè).圖8X圖9√電源開關(guān)總結(jié):從剛才的四個(gè)例子中可以看出,我們的產(chǎn)品是很怕靜電傷害的.所以公司是很注重靜電的消除與靜電防制工作的.4.工作上的靜電介紹例子4:圖8作業(yè)時(shí)沒有將離子風(fēng)扇的電源開15二、ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念ESD:ElectrostaticDischarge靜電放電物體積累的靜電荷瞬間釋放過程中會(huì)產(chǎn)生大電流及電壓，對電子產(chǎn)品產(chǎn)生較大的危害。水往低處流二、ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念ESD:162.ESD放電模式(積累靜電的物體)HBM:Humanbodymodel人體模式MM:Machinemodel機(jī)臺(tái)模式CDM:ChargedDevicemodel組件充電模式人體在地上走動(dòng)磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電當(dāng)此人去碰觸到IC時(shí)，人體上的靜電便會(huì)經(jīng)由IC(pin)而進(jìn)入IC內(nèi)再經(jīng)由IC放電到地或其他組件去

生產(chǎn)中的局部靜電量

(人體，制品，部品等)

一般為10E-9C(庫倫)，

放電時(shí)間一般為納秒(10E-9秒)，

因此瞬間的放電電流能達(dá)到1A(安培)

，如此大的瞬間電流通過IC內(nèi)部，

立刻將IC內(nèi)部的組件燒毀，引起

產(chǎn)品的功能性缺陷。人體模式：203貼膜與裝配線體發(fā)生較多。2.ESD放電模式(積累靜電的物體)HBM:Human17機(jī)臺(tái)模式：產(chǎn)線機(jī)臺(tái)內(nèi)部，各種臺(tái)車及各種金屬治具(電動(dòng)起子)等。機(jī)臺(tái)的等效電容為200PF,而其等效電阻因機(jī)臺(tái)多為金屬架構(gòu)而通常被認(rèn)為電阻值很小,可以忽略.組件充電模式：器件本身積累靜電而迅速放電造成組件(如一個(gè)集成芯片)損壞。分析廠內(nèi)狀況，此模式一般與人體模式結(jié)合在一起。機(jī)臺(tái)模式：產(chǎn)線機(jī)臺(tái)內(nèi)部，各種臺(tái)車及各種金屬治具(電動(dòng)起子)等183.ESD的危害ESD靜電對微電子制造行業(yè)的危害形式：吸附塵埃，靜電放電和靜電感應(yīng)。吸附塵埃：靜電能吸附細(xì)小塵埃附著在基板表面。例如在涂覆，印刷，貼膜工序容易造成不良。對電子器件，灰塵吸附在芯片上，可造成芯線之間的絕緣程度降低，使芯片漏電流增大，使用壽命縮短，甚至很快造成芯片的損壞。靜電放電：靜電的瞬間釋放能夠產(chǎn)生大電壓及電流，對電子器件造成較大損傷。雷電時(shí)一種自然界宏觀靜電放電現(xiàn)象，其感應(yīng)電壓可達(dá)數(shù)十萬伏，對電器設(shè)備造成損害。靜電感應(yīng)：導(dǎo)電物體置于靜電場中感應(yīng)帶電，當(dāng)感應(yīng)到某個(gè)閾值也可以發(fā)生靜電放電。人體對IC的靜電放電

塵埃粒度與IC芯片間距的比較

3.ESD的危害ESD靜電對微電子制造行業(yè)的危害形式：吸附塵194.敏感性器件ESD損傷失效模式突發(fā)性完全失效(10%)和潛在緩慢性失效(90%)。突發(fā)性完全失效：突發(fā)性完全失效是器件的一個(gè)或多個(gè)電參數(shù)突然惡化，完全失去規(guī)定功能的一種失效。潛在性緩慢性失效：ESD損傷具有潛在性和積累性。如果帶電體的幾個(gè)點(diǎn)位或存儲(chǔ)的靜電能量較低，或者ESD回路有限流電阻存在，在這種情況下，一次ESD脈沖不足以引起器件發(fā)生突發(fā)性完全損傷，但他會(huì)在器件內(nèi)部造成輕微的損傷，經(jīng)過積累，隨著ESD脈沖次數(shù)的增加，器件的損傷閾值電壓會(huì)逐漸下降，使器件的電參數(shù)逐漸路惡化，稱之為潛在性失效。ESD放電造成SSD損壞的圖釋4.敏感性器件ESD損傷失效模式突發(fā)性完全失效(10%)和潛201.ESD防護(hù)與改善方向三、ESD的防護(hù)與改善ESD主要的殺傷力來源于瞬間放電所形成的大電流,因此防護(hù)ESD傷害,主要從三個(gè)方面去考慮：避免靜電的產(chǎn)生,減少靜電累積(Electro)減少靜電放電機(jī)率(Discharge)降低ESD所產(chǎn)生的瞬間電流值(Current)

如公式所示:I=U/R，通過減少靜電電壓U并增加R阻抗來達(dá)到減少電流I的效果。2.ESD防護(hù)措施靜電耗散及泄露：將生產(chǎn)環(huán)境和各種操作過程中產(chǎn)生的靜電迅速耗散及泄露是防止靜電危害行之有效的方法。一般要求：將各類ESD防護(hù)用品或裝備，儀器設(shè)備，生產(chǎn)存儲(chǔ)環(huán)境的導(dǎo)體與大地之間進(jìn)行電氣連接，將上述物體積累或感應(yīng)的靜電泄放到大地。例如：潔凈服，乳膠手套，靜電環(huán)，防靜電地板均及防靜電桌椅屬于靜電耗散及泄露。根據(jù)以上，對ESD進(jìn)行措施改善如下：1.ESD防護(hù)與改善方向三、ESD的防護(hù)與改善ESD主要的殺21靜電中和：帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所待靜電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。例如：工廠內(nèi)使用離子風(fēng)扇和離子Bar等都屬于靜電中和原理。靜電屏蔽與接地：靜電屏蔽的作用是通過將一個(gè)區(qū)域封閉起來的殼體實(shí)現(xiàn)的。接地分為設(shè)備和人員接地，要求對地阻抗小于5Ω，人員與設(shè)備接地點(diǎn)必須分開，以防止設(shè)備摩擦產(chǎn)生的靜電釋放引起的大電流對人體的沖擊危害。靜電中和：靜電屏蔽與接地：22環(huán)境加濕：環(huán)境相對濕度增加，則非導(dǎo)體材料(衣服，工作臺(tái)等)表面的電阻減小，使物體積蓄的靜電荷可以更快的泄露。另外，濕度過高會(huì)使工作人員感覺不適，而且設(shè)備生銹和材料收到損害，場地面積大，增濕費(fèi)用較大。電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)：通過修改電子器件內(nèi)部回路設(shè)計(jì)，增強(qiáng)其防靜電能力，通過串聯(lián)或并聯(lián)電阻的形式實(shí)現(xiàn)。動(dòng)作相對濕度(%)10%40%55%在地毯上走動(dòng)35,000V15,000V7,500V在塑料地磚上走動(dòng)12,000V5,000V3,000V工作臺(tái)操作員6,000V800V400V環(huán)境加濕：電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)：動(dòng)作相對濕度(%)10%231、使用防靜電物品防靜電衣服防靜電褲子防靜電工作服防靜電工鞋作用：防靜電衣服防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電褲子防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電工作服是由人造纖維和導(dǎo)電纖維混紡織而成，具有優(yōu)異、持久的導(dǎo)電性能和有效的泄放操作人員人體靜電電荷的特性。作用：防靜電工作鞋是泄放操作人員人體靜電電荷的最有效和最可靠的方法。四、生產(chǎn)現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施1、使用防靜電物品防靜電衣服防靜電褲子防靜電工作服防靜電工鞋24防靜電手套WS防靜電膠套防靜電海綿防靜電手腕作用：戴防靜電手套可避免操作人員手指直接觸靜電敏感元器件同時(shí)能安全泄放操作人員所帶的人體靜電電荷。作用：防靜電膠套防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電海棉采用聚乙烯及碳墨材料制成，具有材質(zhì)軟，彈性好及有效泄放靜電電荷的特性，適用于墊放靜電敏感的集成元器件及需防震的靜電敏感器件、半成器、成品等。作用：靜電腕主要起連接人體與靜電線，及時(shí)把人體產(chǎn)生靜電道入大地，減少因人體靜電造成產(chǎn)品損壞。防靜電手套WS防靜電膠套防靜電海綿防靜電手腕作用：作用：作用25防靜電周轉(zhuǎn)箱防靜電毛刷靜電皮防靜電元件盒作用：具有箱體輕，防震性能好，摩擦起電低，并能有效泄放儲(chǔ)存物中的靜電電荷等特性。作用：防靜電毛刷是由特殊塑膠及尼龍材料制成的曲柄毛刷，適用于清潔各種元器件，PCB板彈性毛刷不損壞元器件。作用：防靜電臺(tái)墊為二層結(jié)構(gòu)，上層為靜電耗散層，下層為導(dǎo)電層。作用：靜電元件盒是采用防靜電材料制成，具有有效泄放靜電電荷特性，適用于儲(chǔ)裝靜電敏感元器件。防靜電周轉(zhuǎn)箱防靜電毛刷靜電皮防靜電元件盒作用：作用：作用：作26防靜電中空周轉(zhuǎn)箱防靜電手指套防靜電周轉(zhuǎn)架防靜電袋作用：防靜電中空周轉(zhuǎn)箱是采用防靜電中空板制成，具有箱體輕，防震性能好，摩擦起電低，并能有效泄放儲(chǔ)存物中的靜電電荷等特性。作用：采用防靜電材料制成，可避免操作人員手指直接觸靜電敏感元器件同時(shí)能安全泄放操作人員所帶的人體靜電電荷作用：具有有效泄放靜電電荷特性，適用于儲(chǔ)裝靜電敏感元器件。作用：具有有效泄放靜電電荷特性，適用于儲(chǔ)裝靜電敏感元器件。防靜電中空周轉(zhuǎn)箱防靜電手指套防靜電周轉(zhuǎn)架防靜電袋作用：作用27運(yùn)輸用的推車、周轉(zhuǎn)架也用金屬導(dǎo)電體和放靜電做的地板磚連接。流水線、放產(chǎn)品用的墊板接靜電線防靜電。運(yùn)輸用的推車、周轉(zhuǎn)架也用金屬導(dǎo)電體和放靜電做的地板磚連接。流28設(shè)備接地線防靜電放產(chǎn)品用的墊板用電源線和靜電線連接放產(chǎn)品的凳子和流水線上的靜電線連接貨架之間也要用電線連接,另一端要和靜電線相連.設(shè)備接地線防靜電放產(chǎn)品用的墊板用電源線和靜電線連接放產(chǎn)品的凳29設(shè)備接地線防靜電裝IC盤是防靜電材質(zhì)做成車間地板是防靜電的IC整形治具接防靜電線設(shè)備接地線防靜電裝IC盤是防靜電材質(zhì)做成車間地板是防靜電的I302、現(xiàn)場使用去靜電裝置離子風(fēng)扇離子BAR離子風(fēng)槍去靜電繩2、現(xiàn)場使用去靜電裝置離子風(fēng)扇313、防靜電和去靜電物品的檢測離子風(fēng)機(jī)平板測試儀：測量對象：靜電消除器(FAN/BAR/GUN)測量內(nèi)容：靜電消除速度，殘留電壓靜電消除速度為±3S以內(nèi)。儀器圖示如下：MODE選擇鍵DECAYTIME顯示屏電壓顯示屏手掌靜電儀：測量對象：物體表面靜電量，靜電消除器

測量內(nèi)容：靜電量和平衡電壓儀器圖示如下：校零鍵電源開關(guān)Hold鍵顯示區(qū)域示區(qū)3、防靜電和去靜電物品的檢測離子風(fēng)機(jī)平板測試儀：MODE選擇32表面阻抗儀：測量對象：潔凈服，桌面，地面，墻壁，小車表面，手套測量內(nèi)容：物體表面阻抗率儀器圖示如下：④手腕帶防靜電測試儀：測量對象：有線腕帶，無線腕帶測量內(nèi)容：手腕和接地線、靜電手腕與皮膚之間接觸的阻抗，檢驗(yàn)腕帶是否有效。儀器圖示如下：表面阻抗儀：④手腕帶防靜電測試儀：334.基板靜電去除效果測定事例（帶電量測定）4.基板靜電去除效果測定事例（帶電量測定）341、生產(chǎn)設(shè)備具有良好的接地設(shè)施.2、人員須做好靜電防制工作

(如佩帶靜環(huán),無塵衣,靜電鞋,靜電手套等).3、使用靜電防護(hù)桌墊及地磚.4、使用靜電防護(hù)材料包裝IC產(chǎn)品.5、環(huán)境相對溫濕度控制.(溫度:23±2℃

濕度:55±5%)6、使用不易產(chǎn)生靜電的器具、治工具.5.生產(chǎn)環(huán)境管理1、生產(chǎn)設(shè)備具有良好的接地設(shè)施.5.生產(chǎn)環(huán)境管理355-1.靜電手環(huán)配戴:阻抗值250KΩ-1MΩ金屬片靜電插頭金屬片要緊貼皮膚5.生產(chǎn)環(huán)境管理5-1.靜電手環(huán)配戴:阻抗值250KΩ-1MΩ金屬片365-2.靜電防制桌墊5-3.接地點(diǎn)接地鏈靜電防制桌墊5.生產(chǎn)環(huán)境管理5-2.靜電防制桌墊5-3.接地點(diǎn)接地鏈靜電防制桌墊37XX公司靜電控制規(guī)范XX公司靜電控制規(guī)范38防靜電培訓(xùn)防靜電培訓(xùn)靜電靜電40目錄一.靜電基本知識(shí)介紹

1.靜電的概念及產(chǎn)生原因2.決定帶電量的主要因素3.靜電防護(hù)的目的4.工作上的靜電介紹四.現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施1.使用防靜電物品2.現(xiàn)場使用去靜電裝置3.防靜電和去靜電物品的檢測4.基板除靜電效果測定事例

5.生產(chǎn)環(huán)境管理二.ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念

2.ESD放電模式3.

ESD危害4.敏感性器件ESD損傷失效模式三.ESD的防護(hù)與改善1.

ESD的防護(hù)與改善方向2.ESD防護(hù)措施目錄一.靜電基本知識(shí)介紹四.現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施二.ESD的41一、靜電的基本知識(shí)1.靜電的概念及產(chǎn)生原因1.1靜電的概念(Electrostatic)：靜電是一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。由它所引起的電磁場效應(yīng)較之電場效應(yīng)

可以忽略不計(jì)1.2靜電的特點(diǎn)：一、靜電的基本知識(shí)1.靜電的概念及產(chǎn)生原因1.1靜電的概42防靜電培訓(xùn)課件431.3靜電的產(chǎn)生原因：1.3.1電子工業(yè)靜電產(chǎn)生的主要方式：接觸摩擦分離，剝離與感應(yīng)。1.接觸起電：當(dāng)兩個(gè)不同物體相互接觸時(shí)久會(huì)使得其中一個(gè)物體失去一些電荷帶正電，而另一物體得到電子而帶負(fù)電。若在分離的過程中電荷難以中和，電荷就會(huì)積累使物體帶上靜電。A++++----B接觸++++----分離++++-(+)(-)---2.靜電感應(yīng)(導(dǎo)體)：靜電場中，靜電感應(yīng)使導(dǎo)體上的電荷重新分配，電位發(fā)生變化。當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)在不帶電的導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電。1.3靜電的產(chǎn)生原因：1.接觸起電：A++++----B接441.3.2靜電產(chǎn)生的原因：分為固體起電，粉體起電，液體起電。固體起電：固體接觸摩擦分離起電。帶電形式分為5中：斷裂帶電壓電效應(yīng)起電

熱電效應(yīng)起電剝離起電

電解起電例如：玻璃基板與物流線體之間的摩擦，DFR膜、PR膠剝離過程均可產(chǎn)生大量靜電。粉體起電：粉體與壁器，粉體與粉體間相互碰撞，分離，摩擦，碎裂引起的。起電量與其分散度，電導(dǎo)率，壁面電導(dǎo)率，速度，周圍空氣濕度，相互作用的強(qiáng)烈程度與碰撞時(shí)的接觸程度及接觸面積有關(guān)。顆粒越小，相互作用越強(qiáng)烈，碰撞面越大，起電就越強(qiáng)。例如：BIR制作工藝過程中的噴砂工序，粉塵顆粒與障壁介質(zhì)碰撞，摩擦?xí)a(chǎn)生大量靜電1.3.2靜電產(chǎn)生的原因：分為固體起電，粉體起電，液體起電45液體起電：液相(如樹脂，漆類)與固相(如金屬，高分子材料)界面形成的偶電層，內(nèi)層是緊貼在固體表面上的離子，稱為固定層或吸附層，而外層離子是可動(dòng)的稱為活動(dòng)層或擴(kuò)散層。這種液體起電如下圖所示：液體起電：461.速度：速度越快,帶電量越多.2.壓力：壓力越大帶電量越多.

3.濕度：濕度越低,帶電量越多.

4.磨擦頻率：頻率越高,帶電量越多.

5.接觸面積：表面積越大,帶電量亦多.材料的阻抗值是決定帶電量的主要因素一.靜電介紹2.決定帶電量的主要因素1.速度：速度越快,帶電量越多.一.靜47靜電的相關(guān)材料靜電相關(guān)材料的劃分：GB12158《防靜電事故通用導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》如下圖所示：劃分標(biāo)準(zhǔn)為材料體表面或體積電阻率大小靜電耗散材料：靜電耗散：帶電體上的電荷由于靜電中和，泄露，放電而使之部分或全部消失的現(xiàn)象。

靜電耗散材料在電子行業(yè)使用廣泛，車間的地面，墻壁，工作臺(tái)表面，臺(tái)車表面，潔凈服等均為靜電耗散材質(zhì)，其表面阻抗率滿足要求。靜電的相關(guān)材料靜電相關(guān)材料的劃分：GB12158《防靜電事故48

適用于全廠所有由于靜電問題影響到產(chǎn)品的品質(zhì)及環(huán)境安全的人,設(shè)備,材料.工具及環(huán)境的控制.確保全廠所生產(chǎn)的產(chǎn)品的品質(zhì),提升產(chǎn)品的良率,

把公司內(nèi)因?yàn)殪o電放電及靜電吸附所產(chǎn)生問題的發(fā)生機(jī)率降低.以達(dá)到靜電防護(hù)的目的.靜電防護(hù)的目的適用的范圍3.靜電防護(hù)目的及范圍適用于全廠所有由于靜電問題影響到產(chǎn)品的品質(zhì)及環(huán)境安494.工作上的靜電介紹靜電的產(chǎn)生是不可避免的,但良好的靜電防制工作卻能降低靜電的產(chǎn)生及累積,甚至排除靜電,因此如何避免電子元件受ESD破壞及如何做好靜電防制工作是非常重要的.例子1:圖1工作桌上沒有靜電防制桌墊,是不可將產(chǎn)品放在沒有靜電防護(hù)的工作桌上的.圖1X圖2√4.工作上的靜電介紹靜電的產(chǎn)生是不可避免的,但良好的504.工作上的靜電介紹例子2:圖3兩片Cell重疊放置在

一起,是錯(cuò)誤的.應(yīng)該將其分開放放置如圖4,或是只單獨(dú)放置一片如圖5.圖3X圖4√圖5√4.工作上的靜電介紹例子2:圖3兩片Cell重疊放置在

一起514.工作上的靜電介紹例子3:圖6在拿取模組時(shí),沒有任何的靜電防護(hù)措施,是不可行的.須按照圖7所示的操作,才能確保產(chǎn)品不會(huì)因靜電的問題造成傷害.圖6X√圖74.工作上的靜電介紹例子3:圖6X√圖7524.工作上的靜電介紹例子4:圖8作業(yè)時(shí)沒有將離子風(fēng)扇的電源開關(guān)打開,正確的做法:如圖9,

將離子風(fēng)扇的電源開關(guān)打開后再進(jìn)行作業(yè).圖8X圖9√電源開關(guān)總結(jié):從剛才的四個(gè)例子中可以看出,我們的產(chǎn)品是很怕靜電傷害的.所以公司是很注重靜電的消除與靜電防制工作的.4.工作上的靜電介紹例子4:圖8作業(yè)時(shí)沒有將離子風(fēng)扇的電源開53二、ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念ESD:ElectrostaticDischarge靜電放電物體積累的靜電荷瞬間釋放過程中會(huì)產(chǎn)生大電流及電壓，對電子產(chǎn)品產(chǎn)生較大的危害。水往低處流二、ESD的基本概念及危害1.ESD的基本概念ESD:542.ESD放電模式(積累靜電的物體)HBM:Humanbodymodel人體模式MM:Machinemodel機(jī)臺(tái)模式CDM:ChargedDevicemodel組件充電模式人體在地上走動(dòng)磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電當(dāng)此人去碰觸到IC時(shí)，人體上的靜電便會(huì)經(jīng)由IC(pin)而進(jìn)入IC內(nèi)再經(jīng)由IC放電到地或其他組件去

生產(chǎn)中的局部靜電量

(人體，制品，部品等)

一般為10E-9C(庫倫)，

放電時(shí)間一般為納秒(10E-9秒)，

因此瞬間的放電電流能達(dá)到1A(安培)

，如此大的瞬間電流通過IC內(nèi)部，

立刻將IC內(nèi)部的組件燒毀，引起

產(chǎn)品的功能性缺陷。人體模式：203貼膜與裝配線體發(fā)生較多。2.ESD放電模式(積累靜電的物體)HBM:Human55機(jī)臺(tái)模式：產(chǎn)線機(jī)臺(tái)內(nèi)部，各種臺(tái)車及各種金屬治具(電動(dòng)起子)等。機(jī)臺(tái)的等效電容為200PF,而其等效電阻因機(jī)臺(tái)多為金屬架構(gòu)而通常被認(rèn)為電阻值很小,可以忽略.組件充電模式：器件本身積累靜電而迅速放電造成組件(如一個(gè)集成芯片)損壞。分析廠內(nèi)狀況，此模式一般與人體模式結(jié)合在一起。機(jī)臺(tái)模式：產(chǎn)線機(jī)臺(tái)內(nèi)部，各種臺(tái)車及各種金屬治具(電動(dòng)起子)等563.ESD的危害ESD靜電對微電子制造行業(yè)的危害形式：吸附塵埃，靜電放電和靜電感應(yīng)。吸附塵埃：靜電能吸附細(xì)小塵埃附著在基板表面。例如在涂覆，印刷，貼膜工序容易造成不良。對電子器件，灰塵吸附在芯片上，可造成芯線之間的絕緣程度降低，使芯片漏電流增大，使用壽命縮短，甚至很快造成芯片的損壞。靜電放電：靜電的瞬間釋放能夠產(chǎn)生大電壓及電流，對電子器件造成較大損傷。雷電時(shí)一種自然界宏觀靜電放電現(xiàn)象，其感應(yīng)電壓可達(dá)數(shù)十萬伏，對電器設(shè)備造成損害。靜電感應(yīng)：導(dǎo)電物體置于靜電場中感應(yīng)帶電，當(dāng)感應(yīng)到某個(gè)閾值也可以發(fā)生靜電放電。人體對IC的靜電放電

塵埃粒度與IC芯片間距的比較

3.ESD的危害ESD靜電對微電子制造行業(yè)的危害形式：吸附塵574.敏感性器件ESD損傷失效模式突發(fā)性完全失效(10%)和潛在緩慢性失效(90%)。突發(fā)性完全失效：突發(fā)性完全失效是器件的一個(gè)或多個(gè)電參數(shù)突然惡化，完全失去規(guī)定功能的一種失效。潛在性緩慢性失效：ESD損傷具有潛在性和積累性。如果帶電體的幾個(gè)點(diǎn)位或存儲(chǔ)的靜電能量較低，或者ESD回路有限流電阻存在，在這種情況下，一次ESD脈沖不足以引起器件發(fā)生突發(fā)性完全損傷，但他會(huì)在器件內(nèi)部造成輕微的損傷，經(jīng)過積累，隨著ESD脈沖次數(shù)的增加，器件的損傷閾值電壓會(huì)逐漸下降，使器件的電參數(shù)逐漸路惡化，稱之為潛在性失效。ESD放電造成SSD損壞的圖釋4.敏感性器件ESD損傷失效模式突發(fā)性完全失效(10%)和潛581.ESD防護(hù)與改善方向三、ESD的防護(hù)與改善ESD主要的殺傷力來源于瞬間放電所形成的大電流,因此防護(hù)ESD傷害,主要從三個(gè)方面去考慮：避免靜電的產(chǎn)生,減少靜電累積(Electro)減少靜電放電機(jī)率(Discharge)降低ESD所產(chǎn)生的瞬間電流值(Current)

如公式所示:I=U/R，通過減少靜電電壓U并增加R阻抗來達(dá)到減少電流I的效果。2.ESD防護(hù)措施靜電耗散及泄露：將生產(chǎn)環(huán)境和各種操作過程中產(chǎn)生的靜電迅速耗散及泄露是防止靜電危害行之有效的方法。一般要求：將各類ESD防護(hù)用品或裝備，儀器設(shè)備，生產(chǎn)存儲(chǔ)環(huán)境的導(dǎo)體與大地之間進(jìn)行電氣連接，將上述物體積累或感應(yīng)的靜電泄放到大地。例如：潔凈服，乳膠手套，靜電環(huán)，防靜電地板均及防靜電桌椅屬于靜電耗散及泄露。根據(jù)以上，對ESD進(jìn)行措施改善如下：1.ESD防護(hù)與改善方向三、ESD的防護(hù)與改善ESD主要的殺59靜電中和：帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所待靜電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。例如：工廠內(nèi)使用離子風(fēng)扇和離子Bar等都屬于靜電中和原理。靜電屏蔽與接地：靜電屏蔽的作用是通過將一個(gè)區(qū)域封閉起來的殼體實(shí)現(xiàn)的。接地分為設(shè)備和人員接地，要求對地阻抗小于5Ω，人員與設(shè)備接地點(diǎn)必須分開，以防止設(shè)備摩擦產(chǎn)生的靜電釋放引起的大電流對人體的沖擊危害。靜電中和：靜電屏蔽與接地：60環(huán)境加濕：環(huán)境相對濕度增加，則非導(dǎo)體材料(衣服，工作臺(tái)等)表面的電阻減小，使物體積蓄的靜電荷可以更快的泄露。另外，濕度過高會(huì)使工作人員感覺不適，而且設(shè)備生銹和材料收到損害，場地面積大，增濕費(fèi)用較大。電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)：通過修改電子器件內(nèi)部回路設(shè)計(jì)，增強(qiáng)其防靜電能力，通過串聯(lián)或并聯(lián)電阻的形式實(shí)現(xiàn)。動(dòng)作相對濕度(%)10%40%55%在地毯上走動(dòng)35,000V15,000V7,500V在塑料地磚上走動(dòng)12,000V5,000V3,000V工作臺(tái)操作員6,000V800V400V環(huán)境加濕：電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)：動(dòng)作相對濕度(%)10%611、使用防靜電物品防靜電衣服防靜電褲子防靜電工作服防靜電工鞋作用：防靜電衣服防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電褲子防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電工作服是由人造纖維和導(dǎo)電纖維混紡織而成，具有優(yōu)異、持久的導(dǎo)電性能和有效的泄放操作人員人體靜電電荷的特性。作用：防靜電工作鞋是泄放操作人員人體靜電電荷的最有效和最可靠的方法。四、生產(chǎn)現(xiàn)場靜電防護(hù)及措施1、使用防靜電物品防靜電衣服防靜電褲子防靜電工作服防靜電工鞋62防靜電手套WS防靜電膠套防靜電海綿防靜電手腕作用：戴防靜電手套可避免操作人員手指直接觸靜電敏感元器件同時(shí)能安全泄放操作人員所帶的人體靜電電荷。作用：防靜電膠套防止靜電產(chǎn)生。作用：防靜電海棉采用聚乙烯及碳墨材料制成，具有材質(zhì)軟，彈性好及有效泄放靜電電荷的特性，適用于墊放靜電敏感的集成元器件及需防震的靜電敏感器件、半成器、成品等。作用：靜電腕主要起連接人體與靜電線，及時(shí)把人體產(chǎn)生靜電道入大地，減少因人體靜電造成產(chǎn)品損壞。防靜電手套WS防靜電膠套防靜電海綿防靜電手腕作用：作用：作用63防靜電周轉(zhuǎn)箱防靜電毛刷靜電皮防靜電元件盒作用：具有箱體輕，防震性能好，摩擦起電低，并能有效泄放儲(chǔ)存物中的靜電電荷等特性。作用：防靜電毛刷是由特殊塑膠及尼龍材料制成的曲柄毛刷，適用于清潔各種元器件，PCB板彈性毛刷不損壞元器件。作用：防靜電臺(tái)墊為二層結(jié)構(gòu)，上層為靜電耗散層，下層為導(dǎo)電層。作用：靜電元件盒是采用防靜電材料制成，具有有效泄放靜電電荷特性，適用于儲(chǔ)裝靜電敏感元器件。防靜電周轉(zhuǎn)箱防靜電毛刷靜電皮防靜電元件盒作用：作用：作用：作64防靜電中空周轉(zhuǎn)箱防靜電手指套防靜電周轉(zhuǎn)架防靜電袋作用：