第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)保障措施

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)保障措施發(fā)展現(xiàn)狀（一）從國(guó)際看隨著全球貿(mào)易摩擦持續(xù)，半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石，一直是各國(guó)貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn)。近年來(lái)，美、歐、日等加速搶占全球第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)，已形成三足鼎立之勢(shì)。美國(guó)在碳化硅（SiC）領(lǐng)域全球獨(dú)大，其SiC襯底及外延較為發(fā)達(dá)，擁有科銳（Cree）、貳陸（II-VI）等知名企業(yè)。歐洲在SiC電力電子市場(chǎng)具有強(qiáng)大話語(yǔ)權(quán)，具備完善的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，其強(qiáng)勢(shì)領(lǐng)域集中在器件環(huán)節(jié)，擁有德國(guó)英飛凌、愛(ài)思強(qiáng)、瑞士意法半導(dǎo)體、ABB等知名半導(dǎo)體制造商。日本是模塊和半導(dǎo)體制造設(shè)備開發(fā)的絕對(duì)領(lǐng)先者，其氮化鎵（GaN）襯底產(chǎn)業(yè)較為發(fā)達(dá)，主要有羅姆、三菱電機(jī)、新日鐵、東芝等國(guó)際一流企業(yè)。韓國(guó)通過(guò)SK集團(tuán)收購(gòu)美國(guó)杜邦公司的SiC晶圓業(yè)務(wù)，完善其國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，追趕美、歐、日發(fā)展步伐。（二）從國(guó)內(nèi)看目前國(guó)內(nèi)5G、人工智能、新能源、智能制造等發(fā)展提速，對(duì)半導(dǎo)體需求猛增，產(chǎn)業(yè)的關(guān)注度日益增高，成為發(fā)展趨勢(shì)，迎來(lái)了第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機(jī)遇，近幾年持續(xù)保持迅速擴(kuò)張的勢(shì)頭，國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體在器件開發(fā)、產(chǎn)能建設(shè)、制備技術(shù)、應(yīng)用推廣等領(lǐng)域取得了一定的進(jìn)展，初步形成了技術(shù)和產(chǎn)業(yè)體系。區(qū)域布局方面，我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)初步在京津冀魯、長(zhǎng)三角、珠三角、閩三角、中西部等區(qū)域?qū)崿F(xiàn)聚集。國(guó)家大力發(fā)展新基建也為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了新的機(jī)遇。2020年，《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策的通知》（國(guó)發(fā)〔2020〕8號(hào)）強(qiáng)調(diào)了構(gòu)建全鏈條覆蓋的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)布局，我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)蓬勃發(fā)展期。（三）從省內(nèi)看經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)形成了一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，極具發(fā)展?jié)摿?，擁有第三代半?dǎo)體企業(yè)20余家，2020年實(shí)現(xiàn)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入38．7億元，主要呈現(xiàn)以下特點(diǎn)。創(chuàng)新能力穩(wěn)步提升，以山東大學(xué)為代表的高校和研究院所承擔(dān)了973、863等重大工程，科技支撐計(jì)劃、核高基等國(guó)家重大項(xiàng)目，擁有第三代半導(dǎo)體材料和器件等多項(xiàng)高水平原創(chuàng)性成果積累，成功制備了世界首枚硅基GaN垂直結(jié)構(gòu)金屬氧化物場(chǎng)效應(yīng)晶體管（MOSFET）及單片集成功率模塊，掌握了最新一代垂直結(jié)構(gòu)功率器件及模塊制備的核心技術(shù)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在第三代半導(dǎo)體垂直結(jié)構(gòu)功率器件及模塊方面的空白。山東天岳已經(jīng)全面攻克SiC晶體生產(chǎn)、襯底加工核心技術(shù)，SiC襯底產(chǎn)品性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。我省建有碳化硅半導(dǎo)體材料研發(fā)技術(shù)國(guó)家地方聯(lián)合工程研究中心、新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)平臺(tái)、晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體發(fā)光材料與器件國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心等國(guó)家級(jí)科研平臺(tái)，山東大學(xué)、青島科技大學(xué)等高校微電子學(xué)院的半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)積極推動(dòng)教學(xué)創(chuàng)新和校企合作，為我省開展第三代半導(dǎo)體研發(fā)工作提供了良好的人才儲(chǔ)備和條件保障。產(chǎn)業(yè)鏈條逐步完善，山東在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域已經(jīng)逐步形成了襯底材料、外延材料、芯片設(shè)計(jì)、器件制造與封測(cè)等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，山東天岳是我國(guó)最大的SiC單晶材料供應(yīng)商，浪潮華光在外延材料生長(zhǎng)、芯片制備及器件封裝具有完備的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，為我省發(fā)展第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。融合應(yīng)用日益深入，我省在軌道交通牽引變流器、變頻逆變、家用電器、新能源汽車、光伏發(fā)電等領(lǐng)域擁有一定實(shí)力的企業(yè)，在汽車電子和家用電器方面，產(chǎn)業(yè)融合度不斷加深。雖然我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)取得一定成績(jī)，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)看，還存在一些亟待解決的問(wèn)題。一是缺乏頂層設(shè)計(jì)。當(dāng)前我省缺乏統(tǒng)籌規(guī)劃和強(qiáng)有力的政策支持體系引領(lǐng)，產(chǎn)業(yè)布局分散，難以形成規(guī)模優(yōu)勢(shì)。二是產(chǎn)業(yè)生態(tài)尚未健全。我省SiC、GaN等外延及芯片生產(chǎn)線正處于起步階段，相關(guān)公共技術(shù)支撐平臺(tái)缺乏。三是投資渠道匱乏。我省現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)基金無(wú)法滿足產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期發(fā)展的融資需求，難以實(shí)現(xiàn)對(duì)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的有效投資支持。四是高端人才不足。高端人才缺乏制約了產(chǎn)業(yè)鏈延伸和全產(chǎn)業(yè)鏈布局，高水平專業(yè)技能人才培養(yǎng)明顯滯后?；驹瓌t1、優(yōu)化布局、協(xié)同發(fā)展統(tǒng)籌全省產(chǎn)業(yè)布局，支持濟(jì)南、青島、淄博、濰坊、濟(jì)寧等市先行先試，指導(dǎo)有條件的市做好產(chǎn)業(yè)配套，集中優(yōu)勢(shì)資源支持第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)突破、重點(diǎn)產(chǎn)品發(fā)展和重大項(xiàng)目建設(shè)，逐步做大產(chǎn)業(yè)規(guī)模。2、龍頭帶動(dòng)、鏈?zhǔn)桨l(fā)展不斷優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，延伸完善產(chǎn)業(yè)鏈條，發(fā)揮龍頭企業(yè)引領(lǐng)支撐作用，補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈缺失環(huán)節(jié)，促進(jìn)晶體材料—芯片及器件制造—模塊及系統(tǒng)應(yīng)用全產(chǎn)業(yè)鏈集聚發(fā)展，打造空間集聚、功能關(guān)聯(lián)的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。3、技術(shù)驅(qū)動(dòng)、創(chuàng)新發(fā)展以新基建為重要抓手，主動(dòng)承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)和重大工程，不斷突破共性關(guān)鍵技術(shù)和重大產(chǎn)品研發(fā)，加強(qiáng)對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)、核心技術(shù)掌控，提升產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。4、應(yīng)用導(dǎo)向、融合發(fā)展以市場(chǎng)為導(dǎo)向，以應(yīng)用為牽引，推動(dòng)技術(shù)集成、產(chǎn)品應(yīng)用、商業(yè)模式創(chuàng)新，強(qiáng)化第三代半導(dǎo)體企業(yè)、系統(tǒng)方案提供商與系統(tǒng)整機(jī)企業(yè)交流與合作，推進(jìn)第三代半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，帶動(dòng)全省電子信息產(chǎn)業(yè)融合發(fā)展。指導(dǎo)思想以推動(dòng)第三代半導(dǎo)體高質(zhì)量發(fā)展為主線，以應(yīng)用牽引、技術(shù)驅(qū)動(dòng)、協(xié)同創(chuàng)新、綠色發(fā)展為途徑，以骨干企業(yè)為龍頭，以重點(diǎn)產(chǎn)品為依托，以重大項(xiàng)目為抓手，優(yōu)化第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，著力發(fā)展以SiC、GaN為主的第三代半導(dǎo)體材料、器件、模組及系統(tǒng)應(yīng)用等。加快補(bǔ)短板、鍛長(zhǎng)板，提升第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈整體競(jìng)爭(zhēng)力，為推動(dòng)全省新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，培育壯大現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供有力支撐。保障措施（一）完善工作機(jī)制省工業(yè)和信息化廳會(huì)同相關(guān)部門做好規(guī)劃的組織實(shí)施和監(jiān)測(cè)評(píng)估等工作，強(qiáng)化統(tǒng)籌協(xié)調(diào)，在要素保障、市場(chǎng)需求、政策幫扶等領(lǐng)域精準(zhǔn)發(fā)力，形成穩(wěn)定、發(fā)展、提升的長(zhǎng)效機(jī)制。采取切實(shí)有效的政策措施，抓好重點(diǎn)任務(wù)落實(shí)。各市要結(jié)合本地實(shí)際，落實(shí)相關(guān)配套政策。相關(guān)行業(yè)組織要充分發(fā)揮橋梁和紐帶作用，協(xié)同推動(dòng)規(guī)劃的貫徹落實(shí)。有關(guān)部門、各地方、相關(guān)行業(yè)組織要加強(qiáng)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)推進(jìn)工作的經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｊ娇偨Y(jié)和宣傳推廣。要督促企業(yè)建立健全生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)全過(guò)程安全生產(chǎn)管理制度，守住安全底線。（二）加大資金支持充分發(fā)揮財(cái)稅政策的激勵(lì)作用，精準(zhǔn)扶植產(chǎn)業(yè)發(fā)展。重點(diǎn)支持一批應(yīng)用市場(chǎng)廣、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)好、易于快速產(chǎn)業(yè)化的第三代半導(dǎo)體項(xiàng)目，加強(qiáng)產(chǎn)融合作，鼓勵(lì)社會(huì)資本通過(guò)多種方式進(jìn)入第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。引導(dǎo)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與金融資本深度合作，在銀行信貸、股權(quán)融資等方面為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供資本支持，形成財(cái)政資金、金融資本、社會(huì)資金多方投入的新格局。（三）打造產(chǎn)業(yè)生態(tài)做好與國(guó)家有關(guān)部門的溝通協(xié)調(diào)，加強(qiáng)對(duì)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重大項(xiàng)目建設(shè)的服務(wù)和指導(dǎo)，有序引導(dǎo)和規(guī)范產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低重大項(xiàng)目投資風(fēng)險(xiǎn)。組建第三代半導(dǎo)體專家委員會(huì)，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供決策性服務(wù)。成立第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，充分發(fā)揮社會(huì)組織作用，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游交流合作。積極爭(zhēng)取工信部等國(guó)家部委支持，承接國(guó)際級(jí)和國(guó)家級(jí)重大論壇、展會(huì)、賽事等活動(dòng)，提升行業(yè)影響力。（四）建設(shè)多層次人才體系依托省內(nèi)山東大學(xué)等高校、科研院所、國(guó)家和省級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、重點(diǎn)工程中心、創(chuàng)新中心等機(jī)構(gòu)，打造第三代半導(dǎo)體技術(shù)高端人才引進(jìn)平臺(tái)，吸引全球第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域高端人才。支持高校、科研院所聯(lián)合企業(yè)設(shè)立人才培養(yǎng)基地，不斷增加人才培養(yǎng)數(shù)量、提高人才培養(yǎng)質(zhì)量。建立健全人才培養(yǎng)、培訓(xùn)體系，有針對(duì)性地培養(yǎng)符合產(chǎn)業(yè)需求的專業(yè)人才。共同開展技術(shù)研發(fā)、科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，形成科研薪酬激勵(lì)和成果轉(zhuǎn)化激勵(lì)機(jī)制，完善配套措施及待遇，激發(fā)人才創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的動(dòng)力和活力。培育優(yōu)勢(shì)主體，拉動(dòng)產(chǎn)業(yè)整體規(guī)?？焖贁U(kuò)大1、壯大龍頭企業(yè)加大對(duì)重點(diǎn)企業(yè)的關(guān)注和扶持力度，實(shí)行一企一策，協(xié)調(diào)解決企業(yè)發(fā)展關(guān)鍵制約點(diǎn)。優(yōu)先將符合條件的產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)項(xiàng)目納入山東省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目庫(kù)，充分利用好新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換政策，進(jìn)行重點(diǎn)扶持；圍繞SiC、GaN等晶體材料、功率器件和模塊、照明與顯示器件和下游應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，培育壯大細(xì)分行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。2、融通產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)強(qiáng)化需求牽引的作用，從應(yīng)用端需求入手，加強(qiáng)從材料、芯片、器件到模塊應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈上下游的深度合作。加強(qiáng)省內(nèi)省外行業(yè)對(duì)接合作，精準(zhǔn)招引、實(shí)施補(bǔ)鏈、延鏈、強(qiáng)鏈項(xiàng)目。沿鏈分批打造規(guī)模大、技術(shù)強(qiáng)、品牌響的領(lǐng)航型企業(yè)，培育細(xì)分領(lǐng)域的專精特新企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)緊密配套、融通發(fā)展，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性和競(jìng)爭(zhēng)力。優(yōu)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，打造良好發(fā)展生態(tài)1、建設(shè)公共技術(shù)平臺(tái)整合省內(nèi)優(yōu)勢(shì)中堅(jiān)力量，謀劃建設(shè)第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)研究公共技術(shù)平臺(tái)，搭建國(guó)際先進(jìn)的涵蓋第三代半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)技術(shù)、器件物理研究、微納器件設(shè)計(jì)與加工技術(shù)、芯片封裝與測(cè)試等核心技術(shù)實(shí)體研發(fā)創(chuàng)新中心，提升研發(fā)水平和效率。建設(shè)國(guó)際先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體研發(fā)、檢測(cè)和服務(wù)公共平臺(tái)，開展芯片和器件關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新材料、新工藝、新器件。深入開展核心關(guān)鍵技術(shù)研究、應(yīng)用驗(yàn)證、測(cè)試等，引入高溫離子注入系統(tǒng)、化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)、等離子刻蝕機(jī)等關(guān)鍵工藝設(shè)備，以及大型分析檢測(cè)測(cè)試設(shè)備，為產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展提供服務(wù)支撐。2、搭建成果轉(zhuǎn)化平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體單晶材料生長(zhǎng)技術(shù)，器件設(shè)計(jì)與制備技術(shù)，封裝與測(cè)試技術(shù)等領(lǐng)域，加快推